技術(shù)總結(jié)
一種垂直式HVPE生長(zhǎng)設(shè)備用溫場(chǎng)裝置，包括反應(yīng)器和加熱器，該反應(yīng)器下部套裝在加熱器內(nèi)，加熱器內(nèi)設(shè)置有升降桿，該升降桿頂端安裝有襯底支撐盤，升降桿上活動(dòng)套裝有隔熱層，隔熱層與襯底支撐盤之間設(shè)置有伸縮式連接器，該伸縮式連接器上端與升降桿上部連接，下端與隔熱層連接，該隔熱層由至少兩層隔熱層間隔設(shè)置構(gòu)成，該升降桿升降運(yùn)動(dòng)的同時(shí)還能轉(zhuǎn)動(dòng)。本發(fā)明中，利用升降桿和伸縮式連接器，實(shí)現(xiàn)伸縮連接器與升降桿在加熱器內(nèi)所占的高度空間最小，減低設(shè)備制造高度，節(jié)約了成本，利用隔熱層具有的多層隔熱層結(jié)構(gòu)，將隔熱層區(qū)域的溫場(chǎng)分為多個(gè)溫度梯度帶，增大恒溫區(qū)范圍，減少溫區(qū)內(nèi)部熱量的散失，恒溫區(qū)溫場(chǎng)更加穩(wěn)定。

技術(shù)研發(fā)人員：趙紅軍;劉鵬;李銳;楊鈞杰;張國(guó)義
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東莞市中鎵半導(dǎo)體科技有限公司
文檔號(hào)碼：201610598446
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.27
技術(shù)公布日：2017.02.22