1.一種鉻鉬靶坯的制造方法，其特征在于，包括：
提供鉻、鉬混合粉末；
對所述鉻、鉬混合粉末進(jìn)行冷等靜壓工藝，形成鉻、鉬粉末坯料；
將所述鉻、鉬粉末坯料裝入包套并對所述包套抽真空以形成真空包套后，對所述鉻、鉬粉末坯料進(jìn)行熱等靜壓工藝，形成鉻鉬合金；
去除所述真空包套，獲得鉻鉬靶坯。
2.如權(quán)利要求1所述的鉻鉬靶坯的制造方法，其特征在于，所述冷等靜壓工藝的工藝溫度為25℃至200℃，環(huán)境壓強(qiáng)為150MPa至180MPa，在所述工藝溫度和環(huán)境壓強(qiáng)下的工藝時間為10分鐘至30分鐘。
3.如權(quán)利要求1所述的鉻鉬靶坯的制造方法，其特征在于，所述熱等靜壓工藝包括加熱工藝和熱等靜壓燒結(jié)工藝。
4.如權(quán)利要求3所述的鉻鉬靶坯的制造方法，其特征在于，所述加熱工藝的工藝溫度為250℃至500℃，在所述溫度下的加熱時間為3小時至4小時。
5.如權(quán)利要求3所述的鉻鉬靶坯的制造方法，其特征在于，所述熱等靜壓燒結(jié)工藝的工藝溫度為1100℃至1300℃，環(huán)境壓強(qiáng)為150MPa至180MPa，在所述工藝溫度和環(huán)境壓強(qiáng)下的工藝時間為3小時至6小時。
6.如權(quán)利要求3所述的鉻鉬靶坯的制造方法，其特征在于，對所述真空包套抽真空的步驟包括：將所述鉻、鉬粉末坯料放置于包套后，對所述包套進(jìn)行抽真空，抽真空后所述真空包套內(nèi)的真空度至少為2E-3Pa，且在所述熱等靜壓工藝過程中使所述真空包套保持密封真空狀態(tài)。
7.如權(quán)利要求1所述的鉻鉬靶坯的制造方法，其特征在于，將所述冷等靜壓后的鉻、鉬粉末坯料裝入真空包套后，對所述真空包套抽真空之前，所述制造方法還包括：采用氬弧焊接的方式封死所述真空包套；在所述真空包套引出一脫氣管；
通過所述脫氣管對真空包套進(jìn)行抽真空。
8.如權(quán)利要求1所述的鉻鉬靶坯的制造方法，其特征在于，去除所述真空包套前，所述制造方法還包括：對所述真空包套進(jìn)行去壓冷卻。
9.如權(quán)利要求1所述的鉻鉬靶坯的制造方法，其特征在于，提供所述鉻、鉬混合粉末的步驟包括：提供鉻粉和鉬粉；采用混粉機(jī)對所述鉻粉和鉬粉進(jìn)行機(jī)械混合以形成鉻、鉬混合粉末。
10.如權(quán)利要求9所述的鉻鉬靶坯的制造方法，其特征在于，所述鉻粉和鉬粉的質(zhì)量比為10.9:9.1至11.1:8.9。
11.如權(quán)利要求9所述的鉻鉬靶坯的制造方法，其特征在于，提供所述鉻、鉬混合粉末的步驟還包括：采用混粉機(jī)對所述鉻粉和鉬粉進(jìn)行機(jī)械混合前，向所述混粉機(jī)內(nèi)充入惰性氣體使混粉機(jī)內(nèi)達(dá)到正壓。
12.如權(quán)利要求9所述的鉻鉬靶坯的制造方法，其特征在于，采用混粉機(jī)對所述鉻粉和鉬粉進(jìn)行機(jī)械混合的過程中，向所述混粉機(jī)中加入介質(zhì)球，所述介質(zhì)球為鉻球或鉬球。
13.如權(quán)利要求12所述的鉻鉬靶坯的制造方法，其特征在于，所述介質(zhì)球和所述鉻、鉬混合粉末的質(zhì)量比為2.5：1至3.5：1。