本發(fā)明涉及一種超薄電子玻璃的精細(xì)拋光設(shè)備及精細(xì)拋光方法，屬于玻璃加工機(jī)械領(lǐng)域，尤其是超薄電子玻璃的精細(xì)拋光加工的領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

1、現(xiàn)有平板電磁爐微晶玻璃拋光皮帶流水線技術(shù)，是皮帶載體流水線技術(shù)：

A、主要產(chǎn)品為3-4mm厚度的僅400mm長(zhǎng)寬尺寸的電磁爐微晶玻璃。而本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是：[1]要對(duì)0.3-1.1mm的超薄厚度的電子平板玻璃進(jìn)行精細(xì)拋光；[2]要對(duì)超大的2-6平方米面積的0.1-0.7mm的超薄厚度的電子平板玻璃進(jìn)行精細(xì)拋光，而不破碎；[3]要達(dá)到“2厘米內(nèi)波紋起伏度為不超過(guò)0.10微米”的超薄的電子玻璃的平面精度質(zhì)量的要求；

B、現(xiàn)有平板電磁爐微晶玻璃拋光皮帶流水線技術(shù)的工藝特點(diǎn)是電磁爐微晶玻璃是處在移動(dòng)狀態(tài)的皮帶之上來(lái)進(jìn)行拋光的，這就產(chǎn)生了幾個(gè)工藝技術(shù)問(wèn)題：

A、因?yàn)槌〉碾娮硬Ａб蟮钠矫婢_度是2厘米內(nèi)波紋起伏度為不超過(guò)0.10微米，而上述現(xiàn)有平板電磁爐微晶玻璃拋光皮帶流水線技術(shù)工藝中，電磁爐微晶玻璃是處在移動(dòng)狀態(tài)的皮帶之上來(lái)進(jìn)行拋光的。

所以不管如何降低移動(dòng)速度，只要超薄的電子平板玻璃處于皮帶上的移動(dòng)狀態(tài)，絕對(duì)不可能處于超薄的電子平板玻璃要求的精確的平面軌跡上的平行移動(dòng)(2厘米內(nèi)起伏度為不超過(guò)0.10微米)；1、所以現(xiàn)有平板電磁爐微晶玻璃拋光皮帶流水線技術(shù)工藝，拋光機(jī)和拋光盤(pán)的壓力或拋光液的壓力都會(huì)把處在平行移動(dòng)狀態(tài)上的皮帶上的0.3-1.1mm的超薄厚度的電子平板玻璃打碎；2、所以現(xiàn)有平板電磁爐微晶玻璃拋光皮帶流水線技術(shù)工藝，只能拋光3-4mm厚度的僅400mm長(zhǎng)寬尺寸的電磁爐微晶玻璃；3、所以現(xiàn)有平板電磁爐微晶玻璃拋光皮帶流水線技術(shù)工藝，根本不可能拋光0.3-1.1mm的400mm長(zhǎng)寬尺寸的超薄厚度的 電子平板玻璃；4、所以現(xiàn)有平板電磁爐微晶玻璃拋光皮帶流水線技術(shù)工藝，更不可能拋光超過(guò)1平方米的尺寸的2-6平方米面積的，0.3-1.1mm的超薄厚度的電子平板玻璃。

B、此現(xiàn)有平板電磁爐微晶玻璃拋光皮帶流水線技術(shù)工藝，由于拋光時(shí)拋光機(jī)和拋光盤(pán)的壓力，更使移動(dòng)中的皮帶與皮帶之下的承載平板的長(zhǎng)期壓力摩擦：1、更會(huì)破壞皮帶下部與皮帶之下的承載平板上部的平整度；2、會(huì)使皮帶上移動(dòng)的超薄厚度的電子平板玻璃的平行移動(dòng)狀態(tài)越來(lái)越差，3、更會(huì)把處在平行移動(dòng)狀態(tài)上的皮帶上進(jìn)行拋光的0.3-1.1mm的超薄厚度的電子平板玻璃打碎。

2、現(xiàn)有的電子平板玻璃精細(xì)拋光加工技術(shù)，都采用最大為30CM小尺寸玻璃的，5組同時(shí)雙面精細(xì)拋光工藝加工技術(shù)，從來(lái)都沒(méi)有采用精細(xì)拋光流水線裝置連續(xù)加工技術(shù)；都是在拋光區(qū)域的位置上，用人工每次放入及取出電子平板玻璃，效率低又只限于小尺寸產(chǎn)品；

3、現(xiàn)有的電子平板玻璃拋光單面精細(xì)加工設(shè)備技術(shù)，都不是流水線技術(shù)；也從來(lái)沒(méi)有超過(guò)0.6平方米的電子平板玻璃拋光單面精細(xì)加工設(shè)備技術(shù)，在制作0.7-1.3mm的超薄厚度的電子平板玻璃加工時(shí)，都是在拋光位置上用人工每次放入及取出電子平板玻璃；工藝上都采用玻璃拋光面向下方，技術(shù)方案中拋光裝置從下方向朝上來(lái)拋光玻璃的下平面，這主要為了可利用玻璃自重，來(lái)人工細(xì)心的取下超薄電子平板玻璃，而從下面取出超薄電子平板玻璃會(huì)因產(chǎn)品重力及吸附力，使超薄電子平板玻璃很易破裂；這種從上部取出超薄電子平板玻璃的技術(shù)方案，完全不可能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化連續(xù)流水線生產(chǎn)作業(yè)的目標(biāo)。

4、本發(fā)明人的專(zhuān)利號(hào)為：201410833462.1，發(fā)明名稱為：一種超薄電子玻璃的精細(xì)拋光設(shè)備及精細(xì)拋光方法。其發(fā)明的目的是：為了克服尤其是超薄電子玻璃精細(xì)拋光加工的領(lǐng)域中，各種現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提出了創(chuàng)造性的技術(shù)方案，從而能達(dá)到出乎予料的技術(shù)效果；本發(fā)明要?jiǎng)?chuàng)造性的解決的技術(shù)問(wèn)題是：[1]能對(duì)0.3-1.1mm的超薄厚度的電子平板玻璃，提供拋光皮帶流水線連續(xù)生產(chǎn)工藝技術(shù)，進(jìn)行精細(xì)拋光；[2]能對(duì)超大的0.5-1.99平方米面積或2-6平方米面積的0.1-0.7mm的超薄厚度的電子平板玻璃，提供拋光皮帶流水線連續(xù)生產(chǎn)工藝技術(shù)，進(jìn)行精細(xì)拋光；[3]能提供拋光皮帶流水線連續(xù)生產(chǎn)工藝技術(shù)。

但存在的幾個(gè)技術(shù)效果缺陷，本發(fā)明能克服：

A.由于皮帶是軟性的，又很長(zhǎng)，又要制為無(wú)接縫的聯(lián)接狀，皮帶生產(chǎn)制造中厚薄差不易控制，不易達(dá)到與平面度極好的電子平板玻璃的高水平貼合效果，會(huì)影響拋光時(shí)的平面精度效果；而本發(fā)明由于平面托板下部是不易變型的球墨鑄鐵板，上面是一層很平整的樹(shù)脂，在生產(chǎn)制造中可以在大面積0.5-2-7平方米的范圍，控制平面精度效果，從而達(dá)到與平面度極好的電子平板玻璃的高水平貼合，更能保障其精細(xì)拋光水平，并更不易因平整性不夠而在精細(xì)拋光大面積0.5-2-7平方米范圍的又僅0.1-0.7mm厚的超薄電子玻璃時(shí)產(chǎn)生破損。

B.由于皮帶是軟性的，又因皮帶制造中厚薄差不易控制，加之軟性的皮帶與皮帶下平面托板的迭合也存在一定的迭合誤差，也會(huì)影響拋光時(shí)的平面精度效果。

C.因?yàn)樵诤‰娮硬Ａ媾c含水的塑料面之間，會(huì)形成的極大吸附力，先有技術(shù)只靠從邊沿用氣來(lái)吹來(lái)達(dá)到，分離含水超薄電子玻璃面與含水的塑料面，有時(shí)會(huì)因邊沿用氣量不均，造成超薄電子玻璃破裂；而本發(fā)明由于從10-10000個(gè)氣孔吹出氣體，能使超薄的0.1-0.7mm的，又超大面積的0.5-1.99平方米或2-7平方米的電子玻璃安全不易碎裂的又高效快速的飄浮起來(lái)；不會(huì)因邊沿用氣量不均，造成超薄電子玻璃破裂。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明為解決現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，提出了一種具有氣浮分離功能的超薄電子玻璃的連續(xù)精細(xì)拋光裝置和連續(xù)精細(xì)拋光方法。

一種具有氣浮分離功能的超薄電子玻璃的連續(xù)精細(xì)拋光裝置，其特征在于包括：

用于拋光超薄電子玻璃的拋光機(jī)械和拋光液系統(tǒng)；

用于承載超薄電子玻璃的平面托板，其表面有10-10000個(gè)氣孔；

用于向所述氣孔供氣的氣浮動(dòng)力系統(tǒng)；

用于帶動(dòng)所述平面托板移動(dòng)的直向輸送系統(tǒng)，該輸送系統(tǒng)安裝在所述平面 托板的下部，其中該直向輸送裝置上具有：

拋光段，所述拋光機(jī)械和拋光液系統(tǒng)均位于該拋光段上，

氣浮分離段，該氣浮動(dòng)力系統(tǒng)的輸出氣管連接至位于該氣浮分離段的平面托板的多個(gè)氣孔，以及

準(zhǔn)備段，所述平面托盤(pán)從該準(zhǔn)備段進(jìn)入所述輸送裝置的上方。

根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)精細(xì)拋光裝置，其特征在于：所述直線輸送裝置為皮帶輸送裝置或軌道輸送裝置。

根據(jù)權(quán)利要求1的連續(xù)精細(xì)拋光裝置，其特征在于：在直向輸送系統(tǒng)之外，設(shè)有單向循環(huán)式輸送裝置；該單向循環(huán)式輸送裝置，能將直向輸送系統(tǒng)中氣浮分離段位置的平面托板，傳遞至直向輸送系統(tǒng)中準(zhǔn)備段。

根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)精細(xì)拋光裝置，在直向輸送系統(tǒng)之外的，單向循環(huán)式輸送裝置，或者是吊裝循環(huán)式輸送裝置；或者是皮帶循環(huán)式輸送裝置；或者是軌道循環(huán)式輸送裝置。

根據(jù)權(quán)利要求1的連續(xù)精細(xì)拋光裝置，其特征在于：該直向輸送裝置為往復(fù)式直向輸送裝置。

根據(jù)權(quán)利要求1的連續(xù)精細(xì)拋裝置，其特征在于：該連續(xù)精細(xì)拋光裝置還包括升降所述平面托板的升降裝置，該升降裝置位于所述拋光機(jī)械的下方。

根據(jù)權(quán)利要求1的連續(xù)精細(xì)拋光裝置，其特征在于：該平面托板包括下方的金屬層和上方的樹(shù)脂層。

一種有氣浮分離功能的超薄電子玻璃連續(xù)精細(xì)拋光方法，其特征在于包括以下步驟：

把超薄電子平板玻璃，放置于直向輸送裝置之上的，準(zhǔn)備段的平面托板的上表面；

在直向輸送裝置之上的準(zhǔn)備段的，承載著超薄電子玻璃的平面托板，經(jīng)直向輸送裝置的移動(dòng)，到達(dá)拋光位置；

升降裝置使承載著超薄電子玻璃的平面托板向上移動(dòng)，到達(dá)拋光平面位；

拋光液系統(tǒng)開(kāi)始送出拋光液，拋光機(jī)械開(kāi)始對(duì)平面托板上的超薄電子玻璃進(jìn)行拋光；

完成對(duì)超薄電子玻璃拋光后，升降裝置使承載著超薄電子玻璃的平面托板向下移動(dòng)，拉開(kāi)與拋光機(jī)械的距離；

承載著已精細(xì)拋好光的超薄電子玻璃的平面托板經(jīng)直線輸送裝置的移動(dòng)，到達(dá)氣浮分離位置；在氣浮動(dòng)力裝置的作用下，通過(guò)10-10000個(gè)氣孔的吹氣，使超薄電子玻璃克服平面托板表平面的樹(shù)脂層及水分形成的吸附力，快速又完整的飄浮起來(lái)，再由機(jī)械手移到清洗工序清洗、干燥；

同時(shí)，在直向輸送系統(tǒng)之外的，單向循環(huán)式輸送裝置，在直線輸送裝置的準(zhǔn)備位置上，放置平面托板，又在平面托板上設(shè)置待拋光的超薄電子玻璃，此平面托板經(jīng)直線輸送裝置的移動(dòng)，又到達(dá)拋光位置；

重復(fù)以上步驟；實(shí)現(xiàn)超薄電子玻璃的連續(xù)拋光。

附圖說(shuō)明

圖1是一種用于超薄電子玻璃的有氣浮分離功能的連續(xù)精細(xì)拋光裝置中，承載超薄電子玻璃的平面托板的剖面示意圖。標(biāo)號(hào)1表示平面托板上層的樹(shù)脂層；標(biāo)號(hào)2表示平面托板的球墨鑄鐵材料層；標(biāo)號(hào)3表示平面托板的金屬支架層；標(biāo)號(hào)18表示平面托板上層的樹(shù)脂層上承載的超薄電子玻璃。

圖2是一種用于超薄電子玻璃的有氣浮分離功能的連續(xù)精細(xì)拋光裝置中，承載超薄電子玻璃的平面托板的平面示意圖，標(biāo)號(hào)4表示平面托板的表平面的氣孔。

圖3是一種用于超薄電子玻璃的有氣浮分離功能的連續(xù)精細(xì)拋光裝置中，在皮帶上放置的承載超薄電子玻璃的平面托板，在順著移動(dòng)方向的正面的剖面示意圖；標(biāo)號(hào)5表示皮帶輸送裝置的皮帶層；標(biāo)號(hào)15表示拋光位置中的能使平面托板上下移動(dòng)的升降的裝置；標(biāo)號(hào)18表示平面托板上層的樹(shù)脂層上承載的超薄電子玻璃。

圖4是一種用于超薄電子玻璃的有氣浮分離功能的連續(xù)精細(xì)拋光裝置系統(tǒng) 的剖面示意圖，標(biāo)號(hào)12表示拋光液系統(tǒng)和拋光超薄電子玻璃的拋光機(jī)械；標(biāo)號(hào)13表示氣浮吹氣動(dòng)力裝置；標(biāo)號(hào)9表示皮帶承載輸送裝置的拋光位置，其上面的標(biāo)號(hào)18表示平面托板上層承載的超薄電子玻璃；標(biāo)號(hào)10表示皮帶承載輸送裝置中的用作氣浮分離超薄電子玻璃的氣浮分離位置上的平面托板；標(biāo)號(hào)11表示皮帶承載輸送裝置中的放置超薄電子玻璃的準(zhǔn)備位置上的平面托板；標(biāo)號(hào)5表示皮帶承載輸送裝置的皮帶；標(biāo)號(hào)6表示皮帶承載輸送裝置的傳動(dòng)筒；標(biāo)號(hào)7表示皮帶承載輸送裝置的承壓托板，標(biāo)號(hào)8表示皮帶承載輸送裝置的承壓托板的支撐架。

圖5是一種用于超薄電子玻璃的有氣浮分離功能的連續(xù)精細(xì)拋光裝置系統(tǒng)的平面示意圖，標(biāo)號(hào)9表示皮帶承載輸送裝置的拋光位置；標(biāo)號(hào)10表示皮帶承載輸送裝置中的用作氣浮分離超薄電子玻璃的氣浮分離位置；標(biāo)號(hào)11表示皮帶承載輸送裝置中的放置超薄電子玻璃的準(zhǔn)備位置；標(biāo)號(hào)14表示在皮帶承載輸送裝置系統(tǒng)或軌道承載輸送裝置系統(tǒng)的前后兩端，有一個(gè)在皮帶承載輸送裝置系統(tǒng)或軌道承載輸送裝置系統(tǒng)之外的，能對(duì)沒(méi)有承載超薄電子玻璃的備用的平面托板，從氣浮分離位置到放置超薄電子玻璃的準(zhǔn)備位置，進(jìn)行循環(huán)輸送的系統(tǒng)。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。

首先準(zhǔn)備好用于超薄電子玻璃的有氣浮分離功能的連續(xù)精細(xì)拋光裝置系統(tǒng)，其包括：

1.用于拋光超薄電子玻璃的拋光機(jī)械和拋光液系統(tǒng)。

2.用于承載超薄電子玻璃的平面托板的金屬上表面，還有一層樹(shù)脂層，其表面有10-10000個(gè)氣孔。

3.在所述用于承載超薄電子玻璃平面托板的下部，安裝有用于使所述承載超薄電子玻璃的平面托板移動(dòng)的，皮帶承載輸送裝置系統(tǒng)或軌道承載輸送裝置系統(tǒng)。

4.在皮帶承載輸送裝置系統(tǒng)或軌道承載輸送裝置系統(tǒng)中，有一個(gè)精細(xì)拋光機(jī)械的拋光位置。

5.在皮帶承載輸送裝置系統(tǒng)或軌道承載輸送裝置系統(tǒng)中，在拋光位置的后面還有一個(gè)用作氣浮分離超薄電子玻璃的氣浮分離位置.此位置還安裝有能通過(guò)平面托板表面的10-10000個(gè)氣孔的下部，向平面托板表面氣孔吹氣的，從而使電子玻璃能向上氣浮的動(dòng)力裝置。

6.在皮帶承載輸送裝置系統(tǒng)或軌道承載輸送裝置系統(tǒng)中，在拋光位置的前面，還有一個(gè)用作在平面托板上放置超薄電子玻璃的準(zhǔn)備位置。

7.在皮帶承載輸送裝置系統(tǒng)或軌道承載輸送裝置系統(tǒng)的前后兩端，有一個(gè)在皮帶承載輸送裝置系統(tǒng)或軌道承載輸送裝置系統(tǒng)之外的，能對(duì)沒(méi)有承載超薄電子玻璃的備用的平面托板，進(jìn)行循環(huán)輸送的系統(tǒng)。

8.在精細(xì)拋光位置下的，使所述用于承載超薄電子玻璃的平面托板上下移動(dòng)的升降的裝置。

步驟一：把6平方米面積的，又超薄的僅0.5mm厚度的8.5代線尺寸的面板電子平板玻璃，放置于承載超薄電子玻璃的平面托板[1]的上表面；

步驟二：在皮帶承載輸送裝置之上的承載著6平方米面積的，又超薄的僅0.5mm厚度的8.5代線尺寸的面板電子平板玻璃的平面托板[1]，經(jīng)皮帶承載輸送裝置的移動(dòng)，到達(dá)拋光位置；

步驟三：拋光位置中的能使平面托板[1]上下移動(dòng)的升降的裝置，開(kāi)始使承載著超薄電子玻璃的平面托板向上移動(dòng)；

步驟四：拋光液系統(tǒng)開(kāi)始送出拋光液，拋光超薄電子玻璃的拋光機(jī)械開(kāi)始對(duì)平面托板[1]上的6平方米面積的，又超薄的僅0.5mm厚度的8.5代線尺寸的面板電子平板玻璃進(jìn)行拋光；

步驟五：完成對(duì)平面托板上的超薄電子玻璃進(jìn)行拋光工藝后，拋光位置中的能使平面托板[1]上下移動(dòng)的升降的裝置，開(kāi)始使承載著超薄電子玻璃的平面托板向下移動(dòng)，拉開(kāi)與拋光機(jī)械的上下距離；

步驟六：在皮帶承載輸送裝置之上的承載著已精細(xì)拋好光的6平方米面積的，又超薄的僅0.5mm厚度的8.5代線尺寸的面板電子平板玻璃的平面托板[1]，經(jīng)皮帶承載輸送裝置的移動(dòng)，離開(kāi)拋光位置；到達(dá)在拋光位置的后面的一個(gè)用作氣浮分離超薄電子玻璃的氣浮分離位置，經(jīng)氣浮吹氣動(dòng)力裝置的作用，通過(guò)10-10000個(gè)氣孔的吹氣，使6平方米面積的，又超薄的僅0.5mm厚度的8.5代線尺寸的面板電子平板玻璃，克服平面托板[1]表平面的樹(shù)脂層及水分形成的很強(qiáng)的大面積吸附力，快速又完整的飄浮起來(lái)，再由機(jī)械手移到清洗工序清洗、干燥；

同時(shí)，在皮帶承載輸送裝置的拋光位置前面用作放置超薄電子玻璃的位置上，已經(jīng)在之前已把沒(méi)拋光的6平方米面積的，又超薄的僅0.5mm厚度的8.5代線尺寸的面板電子平板玻璃，放置在已備好的平面托板[2]，經(jīng)皮帶承載輸送裝置的移動(dòng)，離開(kāi)放置超薄電子玻璃的準(zhǔn)備位置，又到達(dá)在拋光位置；

步驟七：然后，由在皮帶承載輸送裝置系統(tǒng)的前后兩端，的一個(gè)在皮帶承載輸送裝置系統(tǒng)或軌道承載輸送裝置系統(tǒng)之外的，能對(duì)沒(méi)有承載超薄電子玻璃的備用的平面托板，進(jìn)行循環(huán)輸送的系統(tǒng)，把已經(jīng)取出了的精細(xì)拋好光的超薄電子玻璃的平面托板[1]，循環(huán)輸送到拋光位置前面用作放置超薄電子玻璃的位置上?；蛘邽榱思涌煅h(huán)效率，備用3-10個(gè)超薄電子玻璃的平面托板；

重復(fù)步驟一到七，就形成了一種用于超薄電子玻璃的有氣浮分離功能的連續(xù)精細(xì)拋光裝置的拋光工藝方法的實(shí)施例。

[A].本發(fā)明一種用于超薄電子玻璃的有氣浮分離功能的連續(xù)精細(xì)拋光裝置及其制備方法，是一種組合發(fā)明。

本發(fā)明的結(jié)構(gòu)組合包括：1.用于拋光超薄電子玻璃的拋光機(jī)械和拋光液系統(tǒng)；2.用于承載超薄電子玻璃的平面托板，其表面有10-10000個(gè)氣孔；3.在所述用于承載超薄電子玻璃平面托板的下部，安裝有用于使所述承載超薄電子玻璃的平面托板移動(dòng)的，皮帶承載輸送裝置系統(tǒng)或軌道承載輸送裝置系統(tǒng)；4.在皮帶承載輸送裝置系統(tǒng)或軌道承載輸送裝置系統(tǒng)中，有一個(gè)精細(xì)拋光機(jī)械的拋光位置，在此位置的所述用于承載超薄電子玻璃的平面托板的下方，其還有一個(gè)能使承載超薄電子玻璃的平面托板上升與下降的裝置；5.在皮帶承載輸送裝置系統(tǒng) 或軌道承載輸送裝置系統(tǒng)中，在拋光位置的后面還有一個(gè)用作氣浮分離超薄電子玻璃的氣浮分離位置.此位置還安裝有能通過(guò)平面托板表面的10-10000個(gè)氣孔的下部，向平面托板表面氣孔吹氣的，從而使電子玻璃能向上氣浮的動(dòng)力裝置；6.在皮帶承載輸送裝置系統(tǒng)或軌道承載輸送裝置系統(tǒng)中，在拋光位置的前面，還有一個(gè)用作在平面托板上放置超薄電子玻璃的準(zhǔn)備位置；7.在皮帶承載輸送裝置或軌道承載輸送裝置的前后兩端，有一個(gè)在皮帶承載輸送裝置或軌道承載輸送裝置之外的，能對(duì)沒(méi)有承載超薄電子玻璃的備用的平面托板，進(jìn)行循環(huán)輸送的系統(tǒng)。

其所組合的技術(shù)特征在功能上彼此互相是支持的，而且各個(gè)部分的現(xiàn)有技術(shù)都沒(méi)有給予對(duì)上述7個(gè)部分進(jìn)行組合的啟示，尤其要使[1]超大面積的0.5-1.99平方米或2-7平方米的超薄電子玻璃在拋光時(shí)放置于很平整的承載體表面，[2]又能在經(jīng)過(guò)循環(huán)移動(dòng)后，承載體在拋光時(shí)又能與拋光設(shè)備有精準(zhǔn)而穩(wěn)定的距離間隙與平面定位，[3]同時(shí)又能有自動(dòng)化循環(huán)的功能，[4]尤其還能快速克服超大面積的超薄電子玻璃因拋光水分與極平整的樹(shù)脂面形成的很強(qiáng)的大面積吸附力的難點(diǎn)；這4點(diǎn)在一個(gè)自動(dòng)化循環(huán)精細(xì)拋光裝備系統(tǒng)的技術(shù)方案中得到解決。從而達(dá)到對(duì)超薄的0.1-0.7mm的，又超大面積的0.5-1.99平方米或2-7平方米的電子玻璃進(jìn)行高質(zhì)量、又無(wú)破碎的、高效率的生產(chǎn)的技術(shù)效果。

尤其拋光位置中的能使平面托板上下移動(dòng)的升降的裝置，其創(chuàng)造性在于：上升的平面托板在拋光時(shí)，能處于精確穩(wěn)定位置，不會(huì)受皮帶或軌道運(yùn)動(dòng)的誤差或磨損誤差這種結(jié)抅變化，而產(chǎn)生的在精細(xì)拋光位置上，對(duì)所承載的平面托板與拋光機(jī)械之間的高低或平整度的誤差，而造成不能達(dá)到對(duì)用于對(duì)超薄的0.1-0.7mm的，又超大面積的0.5-1.99平方米或2-7平方米的電子玻璃進(jìn)行高質(zhì)量、又無(wú)破碎的、高效率的、自動(dòng)化循環(huán)精細(xì)拋光的技術(shù)效果。

本組合發(fā)明取得了，與各組合的原有的各個(gè)獨(dú)立的技術(shù)特征在功能上完全不同的總體的新的技術(shù)特征，所以不管其每個(gè)被組合的技術(shù)特征是否為已知特征，都不影響本發(fā)明的創(chuàng)造性。

這些技術(shù)組合方案的發(fā)明和尤其更明顯的是，經(jīng)過(guò)本發(fā)明的對(duì)超薄的0.1-0.7mm的，又超大面積的0.5-1.99平方米或2-7平方米的電子玻璃的精細(xì)拋 光工藝方法的過(guò)程，使本發(fā)明的完全不同的新的技術(shù)特征得以展現(xiàn)，這是本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員予先難以想到的，無(wú)法事先推測(cè)、無(wú)法預(yù)測(cè)的，具有非顯而易見(jiàn)的技術(shù)效果，具有突出的實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和顯著的技術(shù)進(jìn)步，具有創(chuàng)造性。

[B].本發(fā)明尤其是，能解決人們一直渴望解決但始終未能獲得成功的技術(shù)難題：一切公知的先有技術(shù)方案，都不能解決對(duì)超薄的0.1-0.7mm的，又超大面積的0.5-1.99平方米或2-7平方米的電子玻璃，進(jìn)行高質(zhì)量又無(wú)破碎的高效率的自動(dòng)化循環(huán)精細(xì)拋光的裝置技術(shù)難題和工藝方法的技術(shù)難題。在電子行業(yè)中，到目前為止還從來(lái)沒(méi)有人公開(kāi)或揭示過(guò)任何能解決以上難題的技術(shù)方案。

這涉及對(duì)高技術(shù)領(lǐng)域中，在有極高價(jià)值的TFT液晶面板玻璃的8.5代尺寸、7.5代尺寸、6.5代尺寸、5代尺寸、等超大面積的顯示器面板生產(chǎn)線環(huán)節(jié)中，對(duì)所需的0.8-1.99平方米或2-7平方米面積的，又超薄的僅0.1-0.7mm厚度的電子玻璃產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈應(yīng)用中，在制作電視或平板計(jì)算機(jī)或智能手能手機(jī)的顯示器面板前，對(duì)其TFT液晶面板玻璃的波紋度及劃痕及表面碴質(zhì)等質(zhì)量缺陷，進(jìn)行高質(zhì)量又無(wú)破碎的高效率的自動(dòng)化循環(huán)精細(xì)拋光質(zhì)量保障予先技術(shù)處理，或?qū)σ巡槌龅腡FT液晶面板玻璃波紋度及劃痕及表面碴質(zhì)等質(zhì)量缺陷進(jìn)行高質(zhì)量又無(wú)破碎的高效率的自動(dòng)化循環(huán)精細(xì)拋光的修復(fù)性技術(shù)處理等重大技術(shù)的新增和改革。這完全是一個(gè)人們一直渴望解決但始終未能獲得成功的，高技術(shù)電子產(chǎn)業(yè)的上游材料領(lǐng)域中有極高經(jīng)濟(jì)價(jià)值和技術(shù)難度的技術(shù)難題。說(shuō)明本發(fā)明方案有非顯而易見(jiàn)的技術(shù)效果，具有突出的實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和顯著的技術(shù)進(jìn)步，具有創(chuàng)造性。

在高技術(shù)的電子顯示器產(chǎn)業(yè)鏈的下游，本發(fā)明由于能解決能更好的克服TFT液晶面板玻璃波紋度及劃痕及表面碴質(zhì)等造成制作電視或平板計(jì)算機(jī)或智能手能手機(jī)的顯示面板的不合格率的主要材料性障礙因素，從而能提升TFT液晶面板玻璃的質(zhì)量及合格率或可靠性；這也完全是一個(gè)人們一直渴望解決但始終未能獲得成功的，高技術(shù)電子產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中有極高經(jīng)濟(jì)價(jià)值和技術(shù)難度的技術(shù)難題。也說(shuō)明本發(fā)明方案有非顯而易見(jiàn)的技術(shù)效果，具有突出的實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和顯著的技術(shù)進(jìn)步，具有創(chuàng)造性。

以上所述，僅是為了說(shuō)明本發(fā)明的較佳優(yōu)選實(shí)施例而已，然而其并非是對(duì) 本發(fā)明的限制，任何熟悉本項(xiàng)技術(shù)的人員可能利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容加以變更或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，都可以按不同要求，實(shí)施本發(fā)明一種用于超薄電子玻璃的有氣浮分離功能的連續(xù)精細(xì)拋光裝置及其制備方法。

可見(jiàn)，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，尤其是權(quán)利要求之內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改，等同變化與修飾，均仍屬本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。