一種新型靶材壓條的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種新型靶材壓條，安裝于絕緣底座上用于壓緊靶材，設(shè)所述新型靶材壓條上安裝后位于外側(cè)且與所述絕緣底座相對(duì)的表面為外表面，設(shè)所述新型靶材壓條上安裝后靠近所述靶材的側(cè)面為第一側(cè)面，所述新型靶材壓條的外表面與第一側(cè)面之間直接連接且為直角。本實(shí)用新型將傳統(tǒng)靶材壓條的斜面去掉，改為直角，形成本新型靶材壓條，從而消除了靶材壓條與靶材之間的臺(tái)階，可有效防止在磁控濺射靶材過(guò)程中產(chǎn)生導(dǎo)電碎屑導(dǎo)致短路，濺射系統(tǒng)在靶材的使用壽命周期內(nèi)一直能穩(wěn)定工作。
【專利說(shuō)明】—種新型靶材壓條

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種表面加工、涂層領(lǐng)域PVD鍍膜行業(yè)的磁控濺射靶材壓條，具體涉及一種可有效防止靶材使用過(guò)程中產(chǎn)生導(dǎo)電碎屑導(dǎo)致短路的新型靶材壓條。

【背景技術(shù)】
[0002]采用平面磁控濺射靶材進(jìn)行濺射沉積的方式在PVD真空鍍膜行業(yè)中被廣泛運(yùn)用，平面靶材的固定方式有多種，其中方式之一就是采用靶材壓條進(jìn)行固定。
[0003]傳統(tǒng)靶材壓條I的結(jié)構(gòu)如圖1所示，其外表面(安裝后位于外側(cè)且與絕緣底座5相對(duì)的表面)與安裝后靠近靶材的側(cè)面之間設(shè)有過(guò)渡的斜面3 (也稱為倒角)，傳統(tǒng)靶材壓條I上設(shè)有用于安裝的螺孔2。如圖2和圖3所示，安裝時(shí)，使用螺桿6將傳統(tǒng)靶材壓條I鎖緊在絕緣底座5上，利用傳統(tǒng)靶材壓條I壓緊固定住靶材7。靶材7為陰極，與陽(yáng)極4之間通過(guò)絕緣底座5隔開(kāi)。傳統(tǒng)靶材壓條I 一般采用不銹鋼材料，其斜面3與靶材7的側(cè)面之間形成臺(tái)階8。
[0004]如圖3所示，在使用過(guò)程中，傳統(tǒng)靶材壓條I會(huì)受到一定程度的濺射，濺射的物質(zhì)在靶材7與斜面3之間的臺(tái)階8對(duì)應(yīng)的空隙內(nèi)沉積形成膜層，當(dāng)膜層增長(zhǎng)到一定厚度，由于震動(dòng)、重力等作用，膜層脫落掉到靶材7(陰極)與陽(yáng)極4之間形成導(dǎo)電碎片9，導(dǎo)電碎片9中含有鐵、鎳等磁性材料成分，在陰極磁場(chǎng)的作用下可能會(huì)豎立起來(lái)，使靶材7 (陰極)與陽(yáng)極4之間接觸導(dǎo)致短路，從而導(dǎo)致靶濺射系統(tǒng)不能正常工作。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型的目的就在于為了解決上述問(wèn)題而提供一種可有效防止靶材使用過(guò)程中產(chǎn)生導(dǎo)電碎屑導(dǎo)致短路的新型靶材壓條。
[0006]本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)上述目的:
[0007]—種新型靶材壓條，安裝于絕緣底座上用于壓緊靶材，設(shè)所述新型靶材壓條上安裝后位于外側(cè)且與所述絕緣底座相對(duì)的表面為外表面，設(shè)所述新型靶材壓條上安裝后靠近所述靶材的側(cè)面為第一側(cè)面，所述新型靶材壓條的外表面與第一側(cè)面之間直接連接且為直角。
[0008]進(jìn)一步，所述外表面與所述靶材齊平，這樣能進(jìn)一步避免導(dǎo)電碎片的形成。
[0009]本實(shí)用新型的有益效果在于:
[0010]本實(shí)用新型將傳統(tǒng)靶材壓條的斜面去掉，改為直角，形成本新型靶材壓條，從而消除了靶材壓條與靶材之間的臺(tái)階，可有效防止在磁控濺射靶材過(guò)程中產(chǎn)生導(dǎo)電碎屑導(dǎo)致短路，濺射系統(tǒng)在靶材的使用壽命周期內(nèi)一直能穩(wěn)定工作。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1是傳統(tǒng)靶材壓條的立體圖；
[0012]圖2是將傳統(tǒng)靶材壓條安裝于絕緣底座后的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖3是圖2中右側(cè)結(jié)構(gòu)的局部放大圖；
[0014]圖4是本實(shí)用新型所述新型靶材壓條的立體圖；
[0015]圖5是將本實(shí)用新型所述新型靶材壓條安裝于絕緣底座后的局部放大圖，與圖3的視角和部位區(qū)域一致。

【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明:
[0017]如圖4和圖5所示，本實(shí)用新型所述新型靶材壓條10安裝于絕緣底座5上用于壓緊靶材7，設(shè)新型靶材壓條10上安裝后位于外側(cè)且與絕緣底座5相對(duì)的表面為外表面12，設(shè)新型靶材壓條10上安裝后靠近靶材7的側(cè)面為第一側(cè)面13，新型靶材壓條10的外表面12與第一側(cè)面13之間直接連接且為直角，外表面12與靶材7齊平。說(shuō)明:上述直角是相對(duì)概念，從使用安全性角度來(lái)說(shuō)，該直角也可以是微弧形角，如采用小于ImmXlmm的小倒角，這樣不會(huì)在使用過(guò)程中割傷皮膚，不過(guò)這是為了使用安全而采用的常規(guī)結(jié)構(gòu)，不對(duì)本實(shí)用新型的創(chuàng)新設(shè)計(jì)構(gòu)成影響。
[0018]如圖4和圖5所示，使用時(shí)，將螺桿6穿過(guò)新型靶材壓條10的螺孔11再旋緊于絕緣底座5上，新型靶材壓條10壓緊靶材7的邊部實(shí)現(xiàn)靶材7的安裝。圖5中的其它未說(shuō)明部件與圖3中是相同的，見(jiàn)前述【背景技術(shù)】?jī)?nèi)容。
[0019]對(duì)比圖3和圖5可知，新型靶材壓條10與靶材7之間臺(tái)階沒(méi)有了，可有效防止在磁控濺射靶材過(guò)程中產(chǎn)生導(dǎo)電碎屑導(dǎo)致短路，濺射系統(tǒng)在靶材的使用壽命周期內(nèi)一直能穩(wěn)定工作。
【權(quán)利要求】
1.一種新型靶材壓條，安裝于絕緣底座上用于壓緊靶材，其特征在于:設(shè)所述新型靶材壓條上安裝后位于外側(cè)且與所述絕緣底座相對(duì)的表面為外表面，設(shè)所述新型靶材壓條上安裝后靠近所述靶材的側(cè)面為第一側(cè)面，所述新型靶材壓條的外表面與第一側(cè)面之間直接連接且為直角。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型靶材壓條，其特征在于:所述外表面與所述靶材齊平。
【文檔編號(hào)】C23C14/35GK204138754SQ201420565478
【公開(kāi)日】2015年2月4日 申請(qǐng)日期:2014年9月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月28日
【發(fā)明者】周冬, 胡尚智, 汪濤, 張加友, 劉占偉 申請(qǐng)人:山東淄博漢能光伏有限公司