技術(shù)編號：3336406
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型公開了一種新型靶材壓條，安裝于絕緣底座上用于壓緊靶材，設(shè)所述新型靶材壓條上安裝后位于外側(cè)且與所述絕緣底座相對的表面為外表面，設(shè)所述新型靶材壓條上安裝后靠近所述靶材的側(cè)面為第一側(cè)面，所述新型靶材壓條的外表面與第一側(cè)面之間直接連接且為直角。本實用新型將傳統(tǒng)靶材壓條的斜面去掉，改為直角，形成本新型靶材壓條，從而消除了靶材壓條與靶材之間的臺階，可有效防止在磁控濺射靶材過程中產(chǎn)生導(dǎo)電碎屑導(dǎo)致短路，濺射系統(tǒng)在靶材的使用壽命周期內(nèi)一直能穩(wěn)定工作。專利說明—種新...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。