金屬件的滲氮裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提出了一種金屬件的滲氮裝置，包括密閉容器、設于該密閉容器內(nèi)用于承載金屬件的承載臺、對應設于該承載臺上方用于向金屬件噴射含氮原子的氣體的噴嘴、設于噴嘴前端的溫度傳感器、與噴嘴連接的氣體供應裝置、及分別與氣體供應裝置及溫度傳感器電連接的控制裝置，所述控制裝置還與一高周波電源電連接，所述高周波電源還分別與所述噴嘴和載物臺電連接，所述載物臺接地。本實用新型中的滲氮裝置中的控制裝置通過溫度傳感器檢測的噴嘴前端的溫度調整高周波電源的電壓及波數(shù)來實現(xiàn)對金屬件表面滲氮時間的管控。
【專利說明】金屬件的滲氮裝置

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種滲氮裝置，特別涉及一種金屬件的滲氮裝置。

【背景技術】
[0002]離子滲氮技術是利用氣體輝光放電原理，將工件置于陰極，爐壁為陽極，陰陽極之間加以數(shù)百伏直流或直流脈沖電壓，真空室內(nèi)放電導致低壓氮氫氣體電離，并在高壓電場的作用下核能轟擊金屬工件表面，產(chǎn)生大量的熱量加熱工件至滲氮溫度，同時放電產(chǎn)生的活性氮在金屬工件表面發(fā)生吸附、化合、擴散等物理化學反應，獲得一定深度的滲氮層?，F(xiàn)有的離子體源的滲氮裝置反應時間較長，降低產(chǎn)出效率。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型提出一種離子體源的滲氮裝置，解決了現(xiàn)有技術中滲氮時間產(chǎn)而降低產(chǎn)出等問題。
[0004]本實用新型的技術方案是這樣實現(xiàn)的:
[0005]一種金屬件的滲氮裝置，包括密閉容器、設于該密閉容器內(nèi)用于承載金屬件的承載臺、對應設于該承載臺上方用于向金屬件噴射含氮原子氣體的噴嘴、設于噴嘴前端的溫度傳感器、與噴嘴連接的氣體供應裝置、及分別與氣體供應裝置及溫度傳感器電連接的控制裝置，所述控制裝置還與一高周波電源電連接，所述高周波電源分別與所述噴嘴和載物臺電連接，所述載物臺接地，所述控制裝置通過溫度傳感器檢測的噴嘴前端的溫度調整高周波電源的電壓及波數(shù)來實現(xiàn)對金屬件表面滲氮時間的管控。
[0006]優(yōu)選方案為，所述密閉容器的頂端設有一供噴嘴伸入的安裝孔，所述噴頭的頭端由密閉容器的安裝孔伸入至密閉容器的空間內(nèi)，所述噴嘴的尾端的兩側與箱體的安裝孔邊端固定連接。
[0007]優(yōu)選方案為，所述噴嘴的尾端與密閉容器于安裝孔的邊端之間設有密封墊。
[0008]優(yōu)選方案為，所述密閉容器的底端通過一排氣管與真空泵相連。
[0009]優(yōu)選方案為，所述金屬件為鐵鋼金屬件。
[0010]優(yōu)選方案為，所述噴嘴為導電耐熱的金屬噴嘴。
[0011]優(yōu)選方案為，所述控制裝置控制溫度傳感器的溫度為400-1000°C。
[0012]本實用新型的有益效果為:
[0013]本實用新型中的滲氮裝置，通過控制裝置控制高周波電源使其處于一定的電壓及周波數(shù)，并在噴嘴和載物臺之間產(chǎn)生脈沖放電，使由噴嘴的前端噴射的含氮原子氣體等離子化，該等離子化的氣體噴射至金屬件的表面進行滲氮處理，由于噴嘴前端設有溫度傳感器，由溫度傳感器檢測出的噴嘴前端的溫度，發(fā)送信號至控制裝置，控制裝置由接收到的信號來調節(jié)控制高周波電源的電壓及周波數(shù)，從而能夠容易的控制噴嘴前端的溫度來調整噴嘴的放電時間，進而達成短時間內(nèi)對金屬件的表面進行滲氮處理，提高工作效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0015]圖1為本實用新型的金屬件的滲透裝置的示意圖。
[0016]圖中:
[0017]10、密閉容器；11、排氣管；20、載物臺；30、噴嘴；40、氣體供應裝置；50、控制裝置；60、溫度傳感器；70、金屬件；80、高周波電源；90、管道。

【具體實施方式】
[0018]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0019]如圖1所示，本實施例中的金屬件的滲氮裝置包括一密閉容器10、設于該密閉容器10內(nèi)的載物臺20與噴嘴30、與噴嘴30連接的氣體供應裝置40、與氣體供應裝置40電連接的控制裝置50、及與控制裝置50電連接的溫度傳感器60。
[0020]所述密閉容器10為方形箱體，其內(nèi)形成一密閉的空間。該密閉容器10的頂端設有一供噴嘴30伸入的安裝孔，其底端通過一排氣管11與一真空泵相連。所述載物臺20收容于所述密閉容器10的空間內(nèi)，并位于所述密閉容器10的底面中部，該載物臺20的頂面用于承載需要進行滲氮處理的金屬件70。該金屬件70為由能進行滲氮處理的如鐵鋼等金屬材料部件。
[0021]所述噴嘴30為導電耐熱的金屬噴嘴，其頭端由密閉容器10的安裝孔伸入至密閉容器10的空間內(nèi)，并與載物臺20相對應；所述噴嘴30的尾端的兩側與密閉容器的安裝孔邊端固定連接，并于二者之間設有密封墊，以實現(xiàn)二者之間的密封與絕緣。所述氣體供應裝置40通過管道與噴嘴30的尾端相連接，以通過噴嘴30向密閉容器10內(nèi)部供應氮氣、氧氣等氣體。
[0022]所述噴嘴30和載物臺20分別與高周波電源80連接，且所述載物20臺接地。所述溫度傳感器60設于噴嘴30的前端，用以檢測噴嘴30前端的溫度。所述控制裝置50還分別與氣體供應裝置40及高周波電源80電連接，用以控制氣體流量，并通過溫度傳感器60檢測出的溫度來調控高周波電源的電壓及波數(shù)，以使噴嘴30前端的溫度維持在400-1000°C。
[0023]使用該金屬件的滲氮裝置時，先將金屬件70放于密閉容器10的載物臺20上，該金屬件70可為螺釘?shù)葯C械件，使密閉容器10處于密閉狀態(tài)，再對密閉容器10進行沖洗。所述沖洗的過程具體為:通過與排氣管11連接的真空泵將密閉容器10內(nèi)的氣體排出，氣體供應裝置40通過管道90向噴嘴30供應一定流量的氮氣，所述氮氣再由噴嘴30的前端導入至密閉容器10內(nèi)，導入至密閉容器10內(nèi)的氮氣再由排氣管11排出，從而完成一次沖洗。該沖洗過程反復進行，可為3-5次。該沖洗過程中，也可采用氮氣中混合添加一定比例的氫氣。該沖洗過程中，通過控制裝置控制高周波電源80使其處于一定的電壓及周波數(shù)，由此，在噴嘴30和載物臺20之間產(chǎn)生脈沖放電，使由噴嘴30的前端噴射的氮氣等離子化，該等離子化的氮氣噴射至金屬件70的表面。由于噴嘴30前端設有溫度傳感器60，由溫度傳感器60檢測出的噴嘴30前端的溫度，發(fā)送信號至控制裝置50，控制裝置50由接收到的信號來調節(jié)控制高周波電源80的電壓及周波數(shù)，從而根據(jù)金屬件70本身的特性能夠容易的控制噴嘴30前端的溫度來調整噴嘴30的放電時間，進而達成短時間內(nèi)對金屬件70的表面進行滲氮處理，提高工作效率。
[0024]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權利要求】
1.一種金屬件的滲氮裝置，其特征在于:包括密閉容器、設于該密閉容器內(nèi)用于承載金屬件的承載臺、對應設于該承載臺上方用于向金屬件噴射含氮原子的氣體的噴嘴、設于噴嘴前端的溫度傳感器、與噴嘴連接的氣體供應裝置、及分別與氣體供應裝置及溫度傳感器電連接的控制裝置，所述控制裝置還與一高周波電源電連接，所述高周波電源還分別與所述噴嘴和載物臺電連接，所述載物臺接地，所述控制裝置通過溫度傳感器檢測的噴嘴前端的溫度調整高周波電源的電壓及波數(shù)來實現(xiàn)對金屬件表面滲氮時間的管控。
2.如權利要求1所述的金屬件的滲氮裝置，其特征在于:所述密閉容器的頂端設有一供噴嘴伸入的安裝孔，所述噴嘴的頭端由密閉容器的安裝孔伸入至密閉容器的空間內(nèi)，所述噴嘴的尾端的兩側與箱體的安裝孔邊端固定連接。
3.如權利要求2所述的金屬件的滲氮裝置，其特征在于:所述噴嘴的尾端與密閉容器于安裝孔的邊端之間設有密封墊。
4.如權利要求1所述的金屬件的滲氮裝置，其特征在于:所述密閉容器的底端通過一排氣管與真空泵相連。
5.如權利要求1所述的金屬件的滲氮裝置，其特征在于:所述金屬件為鋼鐵金屬件。
6.如權利要求1所述的金屬件的滲氮裝置，其特征在于:所述噴嘴為導電耐熱的金屬噴嘴。
7.如權利要求1所述的金屬件的滲氮裝置，其特征在于:所述控制裝置控制溫度傳感器的溫度為400-1000°C。
【文檔編號】C23C8/36GK204039485SQ201420344591
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2014年6月25日 優(yōu)先權日:2014年6月25日
【發(fā)明者】田紹潔, 王偉, 回博陽 申請人:大連圣潔真空技術開發(fā)有限公司