基板夾和真空鍍膜設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種基板夾和真空鍍膜設(shè)備。該基板夾，包括：夾持器底座，安裝在所述夾持器底座上的夾持器，安裝在所述夾持器上的夾頭，以及安裝在所述夾持器底座上的工件基座；所述夾持器底座上設(shè)置有條形導(dǎo)軌，所述條形導(dǎo)軌上支撐放置所述工件基座，所述工件基座上設(shè)置有與所述夾持器可拆卸連接的定位件。本實(shí)用新型在基板夾底座上添加條形滑軌，利用條形導(dǎo)軌帶動(dòng)基板夾底座進(jìn)行位置調(diào)整，確定好工件基座和夾頭之間的開度值后，然后使用頂端聯(lián)動(dòng)的定位件進(jìn)行定位，操作簡(jiǎn)單，簡(jiǎn)化操作人員工作，減少由于玻璃夾碎所導(dǎo)致的停機(jī)，提高設(shè)備嫁動(dòng)率。
【專利說(shuō)明】基板夾和真空鍍膜設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及真空鍍膜【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種基板夾和包括該基板夾的真空鍍膜設(shè)備。

【背景技術(shù)】
[0002]在真空鍍膜等領(lǐng)域由于工件被加工時(shí)所在環(huán)境為真空環(huán)境，無(wú)法使用真空吸附來(lái)固定工件，而只能采用機(jī)械夾具固定，如圖1至圖3所示夾頭2通過(guò)夾頭固定螺栓3固定在夾頭夾持器4上，夾頭夾持器4通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸6固定在夾持器底座5上；夾持器底座5固定在鍍膜基座9上；當(dāng)驅(qū)動(dòng)頂桿7上下運(yùn)動(dòng)時(shí)，夾持器4帶動(dòng)夾頭2和旋轉(zhuǎn)軸6形成杠桿原理，工件I在加工時(shí)，夾具夾頭2與絕緣均熱板8之間要有適當(dāng)?shù)拈_度來(lái)保證工件不會(huì)脫落或被夾壞；而工件鍍膜時(shí)，基板夾上，尤其是夾具夾頭2會(huì)被污染，需要定期的更換與調(diào)整，如圖4所示，原有的拆裝調(diào)整的方法是將基板夾用四個(gè)螺絲固定，靠松動(dòng)固定螺絲推動(dòng)基板夾安裝板來(lái)調(diào)整開度值的大?。挥捎诼萁z是從基板夾安裝板底部安裝，故存在調(diào)整空間小，導(dǎo)致調(diào)整精度不夠，從而影響開度值，導(dǎo)致工件在真空腔體內(nèi)被夾碎的現(xiàn)象。
[0003]由于真空鍍膜設(shè)備夾具夾頭更換的次數(shù)頻繁，且原有基板夾安裝較為復(fù)雜，調(diào)試方法存在調(diào)試精度不準(zhǔn)確，腔體的調(diào)試空間小，調(diào)試時(shí)需多人協(xié)同作業(yè)等不足，費(fèi)時(shí)費(fèi)力。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004](一 )要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0005]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是如何簡(jiǎn)化基板夾安裝和調(diào)試操作的復(fù)雜度。
[0006]( 二 )技術(shù)方案
[0007]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種基板夾，包括:夾持器底座，安裝在所述夾持器底座上的夾持器，安裝在所述夾持器上的夾頭，以及安裝在所述夾持器底座上的工件基座；所述夾持器底座上設(shè)置有條形導(dǎo)軌，所述條形導(dǎo)軌上支撐放置所述工件基座，所述工件基座上設(shè)置有與所述夾持器可拆卸連接的定位件。
[0008]優(yōu)選地，所述條形導(dǎo)軌具有兩條，平行于所述夾頭的長(zhǎng)度方向設(shè)置。
[0009]優(yōu)選地，所述定位件為定位螺母，所述夾持器上設(shè)置有與所述定位螺母配合的螺紋孔。
[0010]優(yōu)選地，所述工件基座為絕緣均熱板。
[0011 ] 優(yōu)選地，所述條形導(dǎo)軌具有兩條，平行設(shè)置。
[0012]優(yōu)選地，所述條形導(dǎo)軌通過(guò)螺栓安裝在所述夾持器底座上。
[0013]進(jìn)一步的，本實(shí)用新型提供一種真空鍍膜設(shè)備，包括上述任一項(xiàng)所述的基板夾。
[0014](三)有益效果
[0015]上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn):在基板夾底座上添加條形滑軌，利用條形導(dǎo)軌帶動(dòng)基板夾底座進(jìn)行位置調(diào)整，確定好工件基座和夾頭之間的開度值后，然后使用頂端聯(lián)動(dòng)的定位件進(jìn)行定位，操作簡(jiǎn)單，簡(jiǎn)化操作人員工作，減少由于玻璃夾碎所導(dǎo)致的停機(jī)，提高設(shè)備嫁動(dòng)率。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1至圖4是現(xiàn)有技術(shù)中基板及基板夾的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0017]圖5和圖6是現(xiàn)有技術(shù)中基板夾主要部件的側(cè)視和俯視圖；
[0018]圖7和圖8是本實(shí)施例基板夾主要部件的側(cè)視和俯視圖。
[0019]其中，1:工件；2:夾頭；3:固定螺檢；4:夾持器；5:夾持器底座；6:旋轉(zhuǎn)軸；7:驅(qū)動(dòng)頂桿；8:絕緣均熱板；9:鍍膜基座；10:定位螺栓；11:條形導(dǎo)軌；12:定位螺母。

【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本實(shí)用新型，但不用來(lái)限制本實(shí)用新型的范圍。
[0021]本實(shí)用新型涉及應(yīng)用在真空鍍膜，尤其是在PVD (Physical Vapor Deposit1n,物理氣相沉積)真空鍍膜領(lǐng)域，包括:濺射鍍膜、蒸發(fā)鍍膜、離子鍍膜設(shè)備，以及CVD (ChemicalVapor Deposit1n,化學(xué)氣相沉積)真空鍛膜領(lǐng)域,包括PECVD (Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposit1n,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)、LPECVD (Low Pressure Plasma EnhancedChemical Vapor Deposit1n,低壓等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)、LPCVD (Low PressureChemical Vapor Deposit1n低壓力化學(xué)氣相沉積法)等以及離子刻蝕(包括等離子刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕)和離子注入設(shè)備。
[0022]基于現(xiàn)有技術(shù)中涉及到的真空磁控濺射等真空鍍膜領(lǐng)域的固定基板夾，特別是TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,即薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管液晶顯不器)領(lǐng)域固定玻璃基板的基板夾，為了簡(jiǎn)化其安裝和調(diào)試，減少對(duì)玻璃基板的壓損，本實(shí)用新型提供一種改進(jìn)的基板夾結(jié)構(gòu)，以使基板夾安裝時(shí)更加簡(jiǎn)捷，調(diào)整夾具的開度時(shí)更加的準(zhǔn)確，能有效的防止在鍍膜過(guò)程中玻璃基板破損，延長(zhǎng)設(shè)備的使用周期，提高設(shè)備嫁動(dòng)率。
[0023]參照?qǐng)D7和圖8所示，本實(shí)施例的基板夾包括夾持器底座5，安裝在夾持器底座5上的夾持器4，安裝在夾持器4上的夾頭2，以及安裝在夾持器底座5上的工件基座，工件基座優(yōu)選為絕緣均熱板8，夾頭2通過(guò)夾頭固定螺栓固定在夾持器4上，夾持器4通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸固定在夾持器底座5上；夾持器底座5固定在鍍膜基座上；驅(qū)動(dòng)頂桿上下運(yùn)動(dòng),使夾持器4帶動(dòng)夾頭2和旋轉(zhuǎn)軸形成杠桿原理，絕緣均熱板8上放置的待加工工件在加工時(shí)，夾頭2與絕緣均熱板8之間要有適當(dāng)?shù)拈_度來(lái)保證工件不會(huì)脫落或被夾壞。為了便于基板夾安裝調(diào)試以及調(diào)整夾頭2與絕緣均熱板8之間的開度，夾持器底座5上設(shè)置條形導(dǎo)軌11，條形導(dǎo)軌11上支撐放置絕緣均熱板8，絕緣均熱板8上設(shè)置與夾持器4可拆卸連接的定位件，定位件優(yōu)選為定位螺母12。條形導(dǎo)軌12設(shè)置之后，能夠同步帶動(dòng)夾持器底座5運(yùn)動(dòng)，進(jìn)一步帶動(dòng)夾頭2與絕緣均熱板8之間進(jìn)行開度調(diào)整，夾頭2與絕緣均熱板8之間的開度值達(dá)到所需值之后，使用定位螺母12將絕緣均熱板8與夾持器4固定，此時(shí)，夾持器底座5不能夠沿條形導(dǎo)軌11運(yùn)動(dòng)，整個(gè)結(jié)構(gòu)達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)。
[0024]條形導(dǎo)軌11具有兩條，通過(guò)螺栓安裝在夾持器底座5上，平行于夾頭2的長(zhǎng)度方向設(shè)置，以帶動(dòng)夾持器底座5平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)，各個(gè)位置運(yùn)動(dòng)協(xié)調(diào)一致；夾持器4上設(shè)置有與定位螺母12配合的螺紋孔。
[0025]安裝條形滑軌11和頂端定位螺母12，靠滑軌的原理進(jìn)行前后的運(yùn)作來(lái)調(diào)整夾頭2與絕緣均熱板8之間開度值的大小，調(diào)整值更加準(zhǔn)確，調(diào)整值確認(rèn)后再用頂部定位螺母12進(jìn)行固定，使其夾具在使用過(guò)程中開度值不會(huì)由于長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)作而變化。
[0026]由以上實(shí)施例可以看出，本實(shí)用新型在基板夾底座上添加條形滑軌，利用條形導(dǎo)軌帶動(dòng)基板夾底座進(jìn)行位置調(diào)整，確定好工件基座和夾頭之間的開度值后，然后使用頂端聯(lián)動(dòng)的定位件進(jìn)行定位，操作簡(jiǎn)單，簡(jiǎn)化操作人員工作，減少由于玻璃夾碎所導(dǎo)致的停機(jī)，提高設(shè)備嫁動(dòng)率。
[0027]本實(shí)用新型實(shí)施例還提供一種真空鍍膜設(shè)備，包括上述的基板夾。由于使用了上述基板夾，可以簡(jiǎn)化操作人員工作，減少由于玻璃夾碎所導(dǎo)致的停機(jī)，進(jìn)而提高設(shè)備嫁動(dòng)率。
[0028]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種基板夾，包括:夾持器底座，安裝在所述夾持器底座上的夾持器，安裝在所述夾持器上的夾頭，以及安裝在所述夾持器底座上的工件基座；其特征在于，所述夾持器底座上設(shè)置有條形導(dǎo)軌，所述條形導(dǎo)軌上支撐放置所述工件基座，所述工件基座上設(shè)置有與所述夾持器可拆卸連接的定位件。
2.如權(quán)利要求1所述的基板夾，其特征在于，所述條形導(dǎo)軌平行于所述夾頭的長(zhǎng)度方向設(shè)置。
3.如權(quán)利要求1所述的基板夾，其特征在于，所述定位件為定位螺母，所述夾持器上設(shè)置有與所述定位螺母配合的螺紋孔。
4.如權(quán)利要求1所述的基板夾，其特征在于，所述工件基座為絕緣均熱板。
5.如權(quán)利要求1所述的基板夾，其特征在于，所述條形導(dǎo)軌具有兩條，平行設(shè)置。
6.如權(quán)利要求1所述的基板夾，其特征在于，所述條形導(dǎo)軌通過(guò)螺栓安裝在所述夾持器底座上。
7.一種真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的基板夾。
【文檔編號(hào)】C23C14/50GK203923366SQ201420343637
【公開日】2014年11月5日 申請(qǐng)日期:2014年6月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月24日
【發(fā)明者】辛旭, 馬海船, 陳曉斌 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司