一種等離子鍍膜設(shè)備用勵(lì)磁電源裝置制造方法
【專利摘要】一種等離子鍍膜設(shè)備用勵(lì)磁電源裝置，該裝置由市電AC供電的由PWM控制的隔離開關(guān)電源，輔助電源的VCC和GND連接運(yùn)放IC和電位器RW1的VCC和GND，運(yùn)放IC的負(fù)輸入端連接選擇開關(guān)S1的Z端，選擇開關(guān)S1的Y端連接電位器RW1的移動(dòng)觸點(diǎn)，選擇開關(guān)的X端連接電位器RW2的移動(dòng)觸點(diǎn)，電位器RW2的輸入端連接電流傳感器，運(yùn)放IC1的輸出分別連接光耦I(lǐng)C2的a、b極，光耦I(lǐng)C2的c、d連接由PWM控制的開關(guān)電源。該發(fā)明中使用開關(guān)電源取代了工頻變壓器降壓整流電路和DC/DC轉(zhuǎn)換電路，還省去了驅(qū)動(dòng)電路及其輔助電源和PWM控制電路的輔助電源，生產(chǎn)穩(wěn)定性提高，使用壽命增加。
【專利說明】-種等離子鍍膜設(shè)備用勵(lì)磁電源裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于電源領(lǐng)域，特別涉及一種勵(lì)磁電源裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 電弧鍍膜、電弧離子鍍的原理是基于冷陰極自持真空弧光放電理論。在電弧源離 子鍍中，以鍍膜材料作為靶極（陰極），借助引孤裝置，使靶表面產(chǎn)生弧光放電。采用低電 壓、大電流、電弧放電技術(shù)，利用氣體放電或被蒸發(fā)物質(zhì)部分電離，并在氣體離子或被蒸發(fā) 物質(zhì)離子轟擊下，將被蒸發(fā)物質(zhì)或其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在基片上。它是一種自蒸發(fā)自離化式 固體蒸發(fā)源。這種蒸發(fā)源可蒸鍍金屬材料、合金材料，也可進(jìn)行反應(yīng)離子鍍，如TiN、TiC、 (TiAl) N、ZrN等超硬膜，A1、Ag、Cu高低溫耐蝕膜、不銹鋼、黃銅、鎳鉻、（TiAl) N、Ti、Cr等裝 飾保護(hù)膜等。在電弧鍍膜、空心陰極鍍膜、磁控濺射、離子束鍍膜等這許多方法中，其中電弧 鍍膜被認(rèn)為最具有市場(chǎng)價(jià)值。他運(yùn)用了等離子體真空鍍膜原理，將電弧鍍技術(shù)與磁控離子 鍍技術(shù)融合一體，實(shí)現(xiàn)多功能鍍膜的目的。
[0003] 在等離子電弧涂膜設(shè)備中磁控離子鍍所采用的勵(lì)磁電源必須要有人機(jī)界面和輸 出電壓著弧前后分別控制，確保安全、穩(wěn)定、可靠，現(xiàn)有該裝置是采用工頻變壓器隔離降 壓-經(jīng)整流濾波-DC/DC轉(zhuǎn)換-隔離驅(qū)動(dòng)及其隔離輔助電源-PWM控制及其隔離輔助電源， DZ/DC轉(zhuǎn)換器直接輸出1路，再經(jīng)模擬調(diào)壓電路調(diào)壓輸出為2路。
[0004] 該裝置較為復(fù)雜，缺乏保護(hù)系統(tǒng)，由于復(fù)雜就帶來了故障頻發(fā)，如開關(guān)管燒毀、機(jī) 外控制失靈等現(xiàn)象，由于復(fù)雜就帶來了生產(chǎn)成本提高，而且很不利于批量生產(chǎn)。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0005] 本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種等離子鍍膜設(shè)備用勵(lì)磁 電源裝置，該裝置不僅由開關(guān)電源取代了工頻變壓器降壓整流電路和DC/DC轉(zhuǎn)換電路，還 省去了驅(qū)動(dòng)電路及其輔助電源和PWM控制電路的輔助電源，生產(chǎn)穩(wěn)定性提高，使用壽命增 加。
[0006] 本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是：一種等離子鍍膜設(shè)備用勵(lì)磁電 源裝置，其特征是：市電AC供電的由PWM控制的隔離開關(guān)電源，輔助電源的VCC和GND連接 運(yùn)放1C和電位器RW1的VCC和GND，運(yùn)放1C的負(fù)輸入端連接選擇開關(guān)S1的Z端，選擇開 關(guān)S1的Y端連接電位器RW1的移動(dòng)觸點(diǎn)，選擇開關(guān)的X端連接電位器RW2的移動(dòng)觸點(diǎn)，電 位器RW2的輸入端連接電流傳感器，運(yùn)放IC1的輸出分別連接光耦I(lǐng)C2的a、b極，光耦I(lǐng)C2 的c、d連接由PWM控制的開關(guān)電源。
[0007] 本實(shí)用新型方法的有益效果是：不僅由開關(guān)電源取代了工頻變壓器降壓整流電路 和DC/DC轉(zhuǎn)換電路，還省去了驅(qū)動(dòng)電路及其輔助電源和PWM控制電路的輔助電源，該裝置具 有安全、穩(wěn)定、可靠的優(yōu)點(diǎn)，可以重復(fù)批量生產(chǎn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008] 圖1是本實(shí)用新型一種等離子鍍膜設(shè)備用勵(lì)磁電源裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009] 圖2是現(xiàn)有技術(shù)中電源裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0010] 以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說明，但是本發(fā)明并不局限于具體實(shí)施例。
[0011] 實(shí)施例
[0012] 市電AC供電的由PWM控制的隔離開關(guān)電源1，輔助電源2的VCC和GND連接運(yùn)放 1C和電位器RW1的VCC和GND，運(yùn)放1C的負(fù)輸入端連接選擇開關(guān)S1的Z端，選擇開關(guān)S1的 Y端連接電位器RW1的移動(dòng)觸點(diǎn)，選擇開關(guān)的X端連接電位器RW2的移動(dòng)觸點(diǎn)，電位器RW2 的輸入端連接電流傳感器（3)，運(yùn)放IC1的輸出分別連接光耦I(lǐng)C2的a、b極，光耦I(lǐng)C2的c、 d連接由PWM控制的開關(guān)電源1。
[0013] 開關(guān)電源的輸出端直接輸出1路，再經(jīng)模擬調(diào)壓電路調(diào)壓輸出為2路。
【權(quán)利要求】
1. 一種等離子鍍膜設(shè)備用勵(lì)磁電源裝置，其特征是：市電AC供電的由PWM控制的隔離 開關(guān)電源（1)，輔助電源⑵的VCC和GND連接運(yùn)放1C和電位器RW1的VCC和GND，運(yùn)放1C 的負(fù)輸入端連接選擇開關(guān)S1的Z端，選擇開關(guān)S1的Y端連接電位器RW1的移動(dòng)觸點(diǎn)，選擇 開關(guān)的X端連接電位器RW2的移動(dòng)觸點(diǎn)，電位器RW2的輸入端連接電流傳感器（3)，運(yùn)放IC1 的輸出分別連接光耦I(lǐng)C2的a、b極，光耦I(lǐng)C2的c、d連接由PWM控制的開關(guān)電源。
【文檔編號(hào)】C23C14/46GK203890434SQ201420289465
【公開日】2014年10月22日 申請(qǐng)日期:2014年5月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月30日
【發(fā)明者】林國強(qiáng), 錢立平, 韓治昀, 魏科科 申請(qǐng)人:大連理工常州研究院有限公司