濺射靶的制作方法
【專(zhuān)利摘要】一種濺射靶，包括靶材和背板，背板為長(zhǎng)條狀，背板包括多段依次連接的分背板，分背板與相鄰分背板的連接處設(shè)置有連接面，且連接面的形狀與相鄰分背板的連接面的形狀相適配；靶材為多塊，靶材一一對(duì)應(yīng)的粘貼在分背板上，且靶材的形狀與分背板的形狀相適配。上述濺射靶，背板包括多段相對(duì)較小的分背板，靶材和分背板一一對(duì)應(yīng)，一個(gè)分背板粘貼一塊靶材。更換時(shí)，只需要將快用完的靶材換掉，不僅節(jié)約了靶材，而且保證了靶材的均勻度，有助于提高濺鍍的質(zhì)量。分背板相連處設(shè)置相互匹配的連接面，可以防止濺射過(guò)程中濺鍍?cè)想S縫隙濺入到陰極背板上，影響到陰極的使用質(zhì)量。
【專(zhuān)利說(shuō)明】濺射靶

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及濺鍍的【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種濺射靶。

【背景技術(shù)】
[0002] -般的銅背板比較長(zhǎng)，銅背板的同一側(cè)上粘貼兩塊靶材。有時(shí)在需要更換靶材時(shí)， 一塊靶材快用完了，但另一塊還剩很多，但是由于兩塊靶材粘在同一個(gè)銅背板上，所以?xún)蓧K 靶材要同時(shí)拆下來(lái)。因此會(huì)造成靶材浪費(fèi)，增加了成本，同時(shí)也會(huì)增加工時(shí),提高了人力成 本。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0003] 基于此，有必要針對(duì)長(zhǎng)背板容易造成靶材浪費(fèi)的問(wèn)題，提供一種濺射靶。
[0004] 一種濺射靶，包括背板和靶材；
[0005] 所述背板為長(zhǎng)條狀，所述背板包括多段依次連接的分背板，所述分背板與相鄰所 述分背板的連接處設(shè)置有連接面，且所述連接面的形狀與相鄰所述分背板的所述連接面的 形狀相適配；
[0006] 所述靶材為多塊，所述靶材一一對(duì)應(yīng)的粘貼在所述分背板上，且所述靶材的形狀 與所述分背板的形狀相適配。
[0007] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述連接面為斜面。
[0008] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述連接面與所述背板延伸平面的夾角為15度至75度。
[0009] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述連接面上設(shè)置有階形部。
[0010] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述階形部包括平行于所述背板延伸平面的平行面。
[0011] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述連接面為曲面。
[0012] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述連接面為彎折面。
[0013] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述背板的兩長(zhǎng)邊處設(shè)置有臺(tái)階部。
[0014] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述分背板的材質(zhì)為銅。
[0015] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述靶材和所述分背板之間設(shè)有連接層，所述連接層為銦 層。
[0016] 上述濺射靶，背板包括多段相對(duì)較小的分背板，靶材和分背板一一對(duì)應(yīng)，一個(gè)分背 板粘貼一塊靶材。更換時(shí)，只需要將快用完的靶材換掉，不僅節(jié)約了靶材，而且保證了靶材 的均勻度，有助于提高濺鍍的質(zhì)量。分背板相連處設(shè)置相互匹配的連接面，可以防止濺射過(guò) 程中濺鍍?cè)想S縫隙濺入到陰極背板上，影響到陰極的使用質(zhì)量。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017] 圖1為一實(shí)施例濺射靶的示意圖；
[0018] 圖2為圖1所示濺射靶的A處放大圖；
[0019] 圖3為圖1所示濺射靶的分背板的示意圖；
[0020] 圖4為圖1所示濺射靶的側(cè)視圖；
[0021] 圖5為圖4所示濺射靶的B處放大圖；
[0022] 圖6為圖4所示濺射靶的分背板的側(cè)視圖；
[0023] 圖7為又一實(shí)施例濺射靶的示意圖；
[0024] 圖8為又一實(shí)施例濺射靶的示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0025] 為了便于理解本實(shí)用新型，下面將參照相關(guān)附圖對(duì)濺射靶進(jìn)行更全面的描述。附 圖中給出了濺射靶的首選實(shí)施例。但是，濺射靶可以以許多不同的形式來(lái)實(shí)現(xiàn)，并不限于本 文所描述的實(shí)施例。相反地，提供這些實(shí)施例的目的是使對(duì)濺射靶的公開(kāi)內(nèi)容更加透徹全 面。
[0026] 除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語(yǔ)與屬于本實(shí)用新型的技術(shù)領(lǐng) 域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在濺射靶的說(shuō)明書(shū)中所使用的術(shù)語(yǔ)只是為了描 述具體的實(shí)施例的目的，不是旨在于限制本實(shí)用新型。本文所使用的術(shù)語(yǔ)"及/或"包括一 個(gè)或多個(gè)相關(guān)的所列項(xiàng)目的任意的和所有的組合。
[0027] 如圖1、圖2所示，一實(shí)施方式的濺射靶10包括靶材100和背板200,背板200為 長(zhǎng)條狀，同時(shí)參見(jiàn)圖3,背板200包括多段依次連接的分背板220。同時(shí)參見(jiàn)圖4至圖6,分 背板220與相鄰分背板220的連接處設(shè)置有連接面222,且連接面222的形狀與相鄰分背板 220的連接面222的形狀相適配。靶材100為多塊，靶材100 -一對(duì)應(yīng)的粘貼在分背板220 上，且靶材100的形狀與分背板220的形狀相適配。分背板220的材質(zhì)可以是銅，靶材100 和分背板220之間設(shè)有連接層，連接層為銦層。靶材100和分背板220可以通過(guò)金屬銦連 接，即金屬銦加熱至170攝氏度左右，可以是140攝氏度至200攝氏度之間，金屬銦融化后 作為粘貼劑將靶材1〇〇和分背板220粘貼在一起。
[0028] 本實(shí)施例的背板200包括多段相對(duì)較小的分背板220,靶材100和分背板220-- 對(duì)應(yīng)，一個(gè)分背板220粘貼一塊靶材100。哪塊靶材100用完了就相應(yīng)的更換哪塊靶材100， 其他分背板220上的靶材100不必更換，只需要將快用完的靶材100換掉，節(jié)約了靶材100， 降低了原料成本。而且將背板200分為小塊，有助于控制背板200各個(gè)區(qū)域的靶材100的 量，保證了靶材的均勻度，有助于提高濺鍍的質(zhì)量。分背板220相連處設(shè)置相互匹配的連接 面222,可以防止濺射過(guò)程中濺鍍?cè)想S縫隙濺入到陰極背板上，影響到陰極的使用質(zhì)量。
[0029] 參見(jiàn)圖1至圖3,在其中一個(gè)實(shí)施例中，背板200的兩長(zhǎng)邊處設(shè)置有臺(tái)階部240。臺(tái) 階部240可以位于每一個(gè)分背板220上，由于分背板220在加熱時(shí)會(huì)受熱膨脹，可以通過(guò)臺(tái) 階部240將分背板220固定在濺射裝置上，防止分背板220變形。
[0030] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，連接面222可以是斜面、曲面或彎折面。圖4至圖6所示 的實(shí)施例中，連接面222為斜面，連接面222與背板200延伸平面的夾角可以是15度至75 度，圖4至圖6所示的實(shí)施例中，連接面222與背板200延伸方向的夾角為45度。夾角在 15度至75度之間與直角相比，濺鍍?cè)喜蝗菀走M(jìn)入兩分背板220之間的縫隙，即使有少量 的濺鍍?cè)线M(jìn)入該縫隙，也會(huì)堆積在縫隙的邊緣，不會(huì)進(jìn)入縫隙的中部。因此可以阻止濺鍍 原料隨縫隙濺入到陰極背板上。
[0031] 同時(shí)參見(jiàn)圖7,在其中一個(gè)實(shí)施例中，連接面222上設(shè)置有階形部224,階形部224 包括平行于背板200延伸平面的平行面。如果有少量的濺鍍?cè)线M(jìn)入兩分背板220之間的 縫隙，平行面可以起到攔截濺鍍?cè)系淖饔茫M(jìn)一步防止濺鍍?cè)线M(jìn)入縫隙的中部。
[0032] 同時(shí)參見(jiàn)圖8,在其中一個(gè)實(shí)施例中，連接面222為曲面，兩分背板220之間的朝向 靶材100-側(cè)的縫隙開(kāi)口處，曲面的切向角度在15度至75度之間，也可以防止濺射過(guò)程中 濺鍍?cè)蠟R入縫隙。
[0033] 以上實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并 不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專(zhuān)利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù) 人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本 實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專(zhuān)利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1. 一種濺射靶，其特征在于，包括背板和靶材； 所述背板為長(zhǎng)條狀，所述背板包括多段依次連接的分背板，所述分背板與相鄰所述分 背板的連接處設(shè)置有連接面，且所述連接面的形狀與相鄰所述分背板的所述連接面的形狀 相適配； 所述靶材為多塊，所述靶材一一對(duì)應(yīng)的粘貼在所述分背板上，且所述靶材的形狀與所 述分背板的形狀相適配。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射靶，其特征在于，所述連接面為斜面。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的濺射靶，其特征在于，所述連接面與所述背板延伸平面的夾 角為15度至75度。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的濺射靶，其特征在于，所述連接面上設(shè)置有階形部。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的濺射靶，其特征在于，所述階形部包括平行于所述背板延伸 平面的平行面。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射靶，其特征在于，所述連接面為曲面。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射靶，其特征在于，所述連接面為彎折面。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的濺射靶，其特征在于，所述背板的兩長(zhǎng)邊處設(shè)置有 臺(tái)階部。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的濺射靶，其特征在于，所述分背板的材質(zhì)為銅。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的濺射靶，其特征在于，所述靶材和所述分背板之間設(shè)有連接 層，所述連接層為銦層。
【文檔編號(hào)】C23C14/34GK203890432SQ201420160844
【公開(kāi)日】2014年10月22日 申請(qǐng)日期:2014年4月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月3日
【發(fā)明者】張迅, 陽(yáng)威, 歐陽(yáng)小園, 易偉華 申請(qǐng)人:江西沃格光電股份有限公司