一種大直徑碳化硅晶片的邊緣倒角用砂輪的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型屬于新材料加工【技術(shù)領(lǐng)域】，具體提供了一種大直徑碳化硅晶片的邊緣倒角的專用砂輪，該砂輪將粗倒角砂輪和精倒角砂輪整合在一起，利用兩次倒角的方式對(duì)切割后的碳化硅晶片進(jìn)行粗倒角和精倒角兩次倒角，最終利用這種特種砂輪實(shí)現(xiàn)了不需更換砂輪即可完成兩次倒角的工藝，實(shí)現(xiàn)晶片邊緣表面粗糙度小，無(wú)崩邊，無(wú)加工缺陷的大直徑碳化硅邊緣倒角。
【專利說(shuō)明】一種大直徑碳化硅晶片的邊緣倒角用砂輪
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于新材料晶體加工領(lǐng)域，具體涉及一種大直徑碳化硅晶片的邊緣倒角用砂輪。
【背景技術(shù)】
[0002]碳化硅(SIC)作為第三代寬帶隙半導(dǎo)體材料的核心，具有寬帶隙、高熱導(dǎo)率、高臨界擊穿電場(chǎng)、高電子飽和遷移速率、高化學(xué)穩(wěn)定性等特點(diǎn)，在高溫、高頻、大功率、高密度集成電子器件等方面具有巨大潛力。而碳化硅倒角是碳化硅加工領(lǐng)域很重要的環(huán)節(jié)之一。主要針對(duì)碳化硅襯底邊緣的崩邊、邊緣缺陷等進(jìn)行修復(fù)，經(jīng)過(guò)倒角的碳化硅晶片，邊緣上下面幅差、圓度、粗糙度等是關(guān)鍵的質(zhì)量參數(shù)，將直接影響到后工序的加工質(zhì)量和合格率。
[0003]碳化硅倒角技術(shù)難度大，因碳化硅莫氏硬度為9.2，僅次于金剛石，脆性大。在加工過(guò)程中極容易造成晶片崩邊、裂片，達(dá)不到后續(xù)加工要求，或倒角后面幅、圓度不均勻影響客戶使用，所以碳化硅晶片的高質(zhì)量倒角已成為碳化硅襯底生產(chǎn)所必須解決的重要問(wèn)題。
[0004]為了克服上述邊緣倒角設(shè)備存在的不足，需要研發(fā)一種新的大直徑碳化硅晶片的邊緣倒角設(shè)備。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足和空白，本實(shí)用新型的發(fā)明人提供了一種大直徑碳化硅晶片的邊緣倒角的專用砂輪，該砂輪將粗倒角砂輪和精倒角砂輪整合在一起，利用兩次倒角的方式對(duì)切割后的碳化硅晶片進(jìn)行粗倒角和精倒角兩次倒角，最終利用這種特種砂輪實(shí)現(xiàn)了不需更換砂輪即可完成兩次倒角的工藝，實(shí)現(xiàn)晶片邊緣表面粗糙度小，無(wú)崩邊，無(wú)加工缺陷的大直徑碳化硅邊緣倒角。
[0006]本實(shí)用新型的具體技術(shù)方案如下:
[0007]一種大直徑碳化硅晶片的邊緣倒角的專用砂輪，該砂輪包括砂輪中心軸，砂輪側(cè)面設(shè)置有兩組砂輪槽組，其中一組為粗倒角砂輪槽組，另一組為精倒角砂輪槽組，每組砂輪槽組中均設(shè)置有至少一條砂輪槽；
[0008]所述的粗倒角砂輪槽組中的砂輪采用100-1500目的金剛石砂輪；
[0009]所述的精倒角砂輪槽組中的砂輪采用500-3000目的金剛石砂輪；
[0010]精倒角所采用的金剛石砂輪目數(shù)大于粗倒角采用的金剛石砂輪目數(shù)；
[0011 ] 所述的砂輪可以以砂輪中心軸為圓心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，
[0012]采用這種結(jié)構(gòu)的砂輪，可以采用兩次倒角的方式對(duì)切割后的碳化硅晶片進(jìn)行粗倒角和精倒角兩次倒角，其中粗倒角是在保證邊緣無(wú)較大損傷的前提下快速去除前步切割過(guò)程中造成的邊緣損傷，降低表面的粗糙度，精倒角采用高目數(shù)的砂輪對(duì)晶片邊緣進(jìn)行精細(xì)倒角，進(jìn)一步改善晶片邊緣表面微粗糙度，實(shí)現(xiàn)晶片邊緣光滑無(wú)崩邊無(wú)損傷；
[0013]本實(shí)用新型將粗倒角砂輪和精倒角砂輪整合在同一個(gè)砂輪上，進(jìn)行粗倒角之后不需要進(jìn)行砂輪的更換，只需調(diào)整與其配合使用的工作臺(tái)高度，使固定在工作臺(tái)上的晶片對(duì)準(zhǔn)精倒角砂輪組進(jìn)行精倒角即可。
[0014]采用本實(shí)用新型的砂輪后，可以避免更換砂輪導(dǎo)致的位置變化而導(dǎo)致倒角質(zhì)量的下降，不需要對(duì)工作臺(tái)和砂輪進(jìn)行二次定位，提高了倒角的精度，實(shí)現(xiàn)了同一個(gè)砂輪即可完成粗倒角和精倒角兩步操作，大大降低了設(shè)備的成本，同時(shí)由于每組砂輪槽組中均設(shè)置有至少一條砂輪槽，一般可設(shè)置兩條以上的相同砂輪槽，這樣在一條砂輪槽損壞后依然有備份砂輪槽存在，大大提高了設(shè)備的使用時(shí)間，降低了更換砂輪的成本；同時(shí)這種砂輪可以配合現(xiàn)有的各種典型的半導(dǎo)體晶片倒角設(shè)備使用，具有良好的適配性。
[0015]綜上所述，采用這種結(jié)構(gòu)的砂輪，將粗倒角砂輪和精倒角砂輪整合在一起，利用兩次倒角的方式對(duì)切割后的碳化硅晶片進(jìn)行粗倒角和精倒角兩次倒角，最終利用這種特種砂輪實(shí)現(xiàn)了不需更換砂輪即可完成兩次倒角的工藝，實(shí)現(xiàn)晶片邊緣表面粗糙度小，無(wú)崩邊，無(wú)加工缺陷的大直徑碳化硅邊緣倒角。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1為本實(shí)用新型所述砂輪的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本實(shí)用新型所述砂輪使用時(shí)的狀態(tài)參考俯視圖；
[0018]圖中I為砂輪中心軸，2為砂輪，3為粗倒角砂輪槽組，4為精倒角砂輪槽組，5為工作臺(tái)，6為晶片。
【具體實(shí)施方式】
[0019]一種大直徑碳化硅晶片的邊緣倒角的專用砂輪，該砂輪2包括砂輪中心軸I，砂輪2側(cè)面設(shè)置有兩組砂輪槽組，其中一組為粗倒角砂輪槽組3，另一組為精倒角砂輪槽組4，每組砂輪槽組中均設(shè)置有至少一條砂輪槽；
[0020]所述的粗倒角砂輪槽組中的砂輪采用100-1500目的金剛石砂輪；
[0021]所述的精倒角砂輪槽組中的砂輪采用500-3000目的金剛石砂輪；
[0022]精倒角所采用的金剛石砂輪目數(shù)大于粗倒角采用的金剛石砂輪目數(shù)；
[0023]所述的砂輪2可以以砂輪中心軸I為圓心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
【權(quán)利要求】
1.一種大直徑碳化硅晶片的邊緣倒角用砂輪，其特征在于:該砂輪(2)包括砂輪中心軸(1)，砂輪(2)側(cè)面設(shè)置有兩組砂輪槽組，其中一組為粗倒角砂輪槽組(3)，另一組為精倒角砂輪槽組(4 )，每組砂輪槽組中均設(shè)置有至少一條砂輪槽； 所述的粗倒角砂輪槽組(3)中的砂輪采用100-1500目的金剛石砂輪； 所述的精倒角砂輪槽組(4)中的砂輪采用500-3000目的金剛石砂輪。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的砂輪，其特征在于:所述的精倒角所采用的金剛石砂輪目數(shù)大于粗倒角采用的金剛石砂輪目數(shù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的砂輪，其特征在于:所述的砂輪(2)以砂輪中心軸(I)為圓心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
【文檔編號(hào)】B24D5/14GK203726355SQ201420140316
【公開(kāi)日】2014年7月23日 申請(qǐng)日期:2014年3月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月26日
【發(fā)明者】梁慶瑞, 李兆亮, 郭立濤, 孫詩(shī)甫, 高玉強(qiáng) 申請(qǐng)人:山東天岳晶體材料有限公司