多層噴氣式金剛石膜涂層設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種多層噴氣式金剛石膜涂層設(shè)備，包括涂層室、工件架、抽真空裝置，其特征在于所述涂層室內(nèi)設(shè)置有多層噴氣裝置，所述多層噴氣裝置包括進(jìn)氣管、氣體儲(chǔ)存室、溫度控制器、電磁閥、加壓泵、噴氣管道、噴氣頭以及噴氣細(xì)管。本實(shí)用新型可實(shí)現(xiàn)涂層室內(nèi)各個(gè)位置的均勻噴氣，保證工件涂層質(zhì)量一致，同時(shí)還具有調(diào)節(jié)溫度、可自動(dòng)化操控的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】多層噴氣式金剛石膜涂層設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種金剛石膜制作設(shè)備，特別涉及多層噴氣式金剛石膜涂層設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]人造金剛石薄膜的制作方法，常用的主要有二種。一種是化學(xué)沉積法，這種方法是將天然氣、氫與甲烷的混合物充入一個(gè)涂層室內(nèi)，在加熱和電場(chǎng)的作用下，混合氣體中的甲烷與氫分子就分解而成帶電的等離子體，變成一種霧狀氣體。結(jié)果碳原子就逐漸覆蓋在預(yù)先放在涂層室內(nèi)的工件表面上，形成一層類似金剛石那樣的晶體結(jié)構(gòu)。另一種制造金剛石薄膜的方法，叫做離子沉積法，是在沉積金剛石薄膜的同時(shí)，用離子源轟擊金剛石薄膜，使薄膜連續(xù)沉積，形成一薄層與材料表面結(jié)合良好的金剛石薄膜。
[0003]目前，采用化學(xué)沉積法制作金剛石薄膜的涂層設(shè)備，在氣體的充入過程中，存在以下缺點(diǎn):(I)氣體從一個(gè)進(jìn)氣口充入，對(duì)于多層擺放的工件或較高的工件來說，其形成的金剛石薄膜涂層上下不一致，質(zhì)量不均勻；(2)進(jìn)入的氣體沒有控溫裝置，不利于離子的生成和沉積。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種多層噴氣式金剛石膜涂層設(shè)備。
[0005]本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)的:多層噴氣式金剛石膜涂層設(shè)備，包括涂層室、工件架、抽真空裝置，其特征在于:所述涂層室內(nèi)設(shè)置有多層噴氣裝置，所述多層噴氣裝置包括進(jìn)氣管、氣體儲(chǔ)存室、溫度控制器、電磁閥、加壓泵、噴氣管道、噴氣頭以及噴氣細(xì)管，所述氣體儲(chǔ)存室的下部設(shè)有溫度控制器，所述溫度控制器的輸入端與氣體儲(chǔ)存室相連，輸出端通過安裝在管路上的加壓泵與噴氣管道連接，噴氣管道上設(shè)有多個(gè)帶電磁閥和噴氣頭的噴氣支路，所述噴氣頭連通有多個(gè)噴氣細(xì)管。
[0006]進(jìn)一步的，所述的噴氣支路均勻分布于涂層室的內(nèi)壁，每條噴氣支路的噴氣頭連通有多根噴氣細(xì)管。
[0007]本實(shí)用新型具有以下有益效果:(1)可實(shí)現(xiàn)涂層室內(nèi)各個(gè)位置的均勻噴氣，保證工件的各個(gè)面的離子分布均勻，涂層質(zhì)量一致；(2)本實(shí)用新型設(shè)有溫度控制器，可根據(jù)金剛石膜的涂層工藝需要調(diào)節(jié)溫度，有利于保證金剛石膜的質(zhì)量；(3)本實(shí)用新型設(shè)有電磁閥，便于進(jìn)氣量的調(diào)節(jié)和控制，使混合氣體中各氣體的比例符合工藝要求，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操控。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1是本實(shí)用新型的多層噴氣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]附圖中，I一進(jìn)氣管，2—?dú)怏w儲(chǔ)存室，3—溫度控制器，4一加壓泵，5—噴氣管道，6—電磁閥，7—噴氣頭，8—噴氣細(xì)管。
【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0011]如圖1所示，多層噴氣式金剛石膜涂層設(shè)備，包括涂層室、工件架、抽真空裝置，其特征在于:所述涂層室內(nèi)設(shè)置有多層噴氣裝置，所述多層噴氣裝置包括進(jìn)氣管1、氣體儲(chǔ)存室2、溫度控制器3、電磁閥6、加壓泵4、噴氣管道5、噴氣頭7以及噴氣細(xì)管8，所述氣體儲(chǔ)存室2的下部設(shè)有溫度控制器3，所述溫度控制器3的輸入端與氣體儲(chǔ)存室2相連，輸出端通過安裝在管路上的加壓泵4與噴氣管道5連接，噴氣管道5上設(shè)有多個(gè)帶電磁閥6和噴氣頭7的噴氣支路，所述噴氣頭7連通有多個(gè)噴氣細(xì)管8。
[0012]本實(shí)用新型的多層噴氣裝置設(shè)有溫度控制器，可根據(jù)金剛石膜的涂層工藝需要調(diào)節(jié)溫度，有利于保證金剛石膜的質(zhì)量。溫度控制器為公知技術(shù)，這里不再對(duì)其結(jié)構(gòu)作詳細(xì)介紹。
[0013]本實(shí)用新型的多層噴氣裝置設(shè)有多條噴氣支路，分別均勻分布于涂層室的內(nèi)壁，多條噴氣支路并接在一起，每條噴氣支路的噴氣頭7連通有多個(gè)噴氣細(xì)管8。設(shè)置多條噴氣支路的目的是為了保證涂層室內(nèi)各個(gè)位置的噴氣均勻，保證工件的各個(gè)面的離子分布、涂
層質(zhì)量一致。
【權(quán)利要求】
1.多層噴氣式金剛石膜涂層設(shè)備，包括涂層室、工件架、抽真空裝置，其特征在于:所述涂層室內(nèi)設(shè)置有多層噴氣裝置，所述多層噴氣裝置包括進(jìn)氣管、氣體儲(chǔ)存室、溫度控制器、電磁閥、加壓泵、噴氣管道、噴氣頭以及噴氣細(xì)管，所述氣體儲(chǔ)存室的下部設(shè)有溫度控制器，所述溫度控制器的輸入端與氣體儲(chǔ)存室相連，輸出端通過安裝在管路上的加壓泵與噴氣管道連接，噴氣管道上設(shè)有多個(gè)帶電磁閥和噴氣頭的噴氣支路，所述噴氣頭連通有多個(gè)噴氣細(xì)管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層噴氣式金剛石膜涂層設(shè)備，其特征在于:所述的噴氣支路均勻分布于涂層室的內(nèi)壁，每條噴氣支路的噴氣頭連通有多根噴氣細(xì)管。
【文檔編號(hào)】C23C16/455GK203700517SQ201420081730
【公開日】2014年7月9日 申請(qǐng)日期:2014年2月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月26日
【發(fā)明者】姚成澤, 陳遠(yuǎn)達(dá) 申請(qǐng)人:湖南中航超強(qiáng)金剛石膜高科技有限公司