基片支撐裝置和膜層沉積設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種基片支撐裝置，該基片支撐裝置包括支撐銷和用于承載所述基片的基板，所述支撐銷能夠穿過所述基板沿與所述基板垂直的方向往復(fù)移動，其中，所述基片支撐裝置還包括夾固機(jī)構(gòu)，所述夾固機(jī)構(gòu)包括夾固桿，所述夾固桿的上端能夠朝向或遠(yuǎn)離所述基板移動。本實用新型還提供一種膜層沉積設(shè)備。在本實用新型中，基片位于所述基片支撐裝置上時，所述夾固機(jī)構(gòu)能夠固定基片的位置，因而在膜層沉積的過程中，提高膜層的均勻性，防止基片因脫離支撐銷而破碎，進(jìn)而提高產(chǎn)品的質(zhì)量。
【專利說明】基片支撐裝置和膜層沉積設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及化學(xué)氣相沉積設(shè)備，具體地，涉及一種基片支撐裝置和一種包括該基片支撐裝置的膜層沉積設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，TFT-LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,薄膜場效應(yīng)晶體管顯示器)以其性能優(yōu)良、自動化程度高等優(yōu)點被廣泛運(yùn)用于電子顯示領(lǐng)域，TFT-LCD陣列基板的制作常米用 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)法，通過等離子體的化學(xué)反應(yīng)，在基片(如，玻璃)上沉積出所期望的薄膜，但是現(xiàn)有PECVD設(shè)備中基板上的支撐銷只有支撐基片的功能沒有校正基片位置的功能，膜層沉積時基片位置發(fā)生偏移，使得膜的均勻性變差，從而導(dǎo)致TFT(Thin Film Transistor，薄膜場效應(yīng)管)特性變差，另外膜層沉積時基片位置發(fā)生偏移容易出現(xiàn)基片不在支撐銷的支撐范圍內(nèi)而破碎，導(dǎo)致后續(xù)沉積的薄膜無法使用，從而影響產(chǎn)品的品質(zhì)。
[0003]因此，如何在膜層沉積過程中對基片的位置進(jìn)行固定成為本領(lǐng)域亟待解決的技術(shù)問題。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型的目的在于提供一種基片支撐裝置和一種包括該基片支撐裝置的膜層沉積設(shè)備，使得在膜層沉積的過程中基片的位置保持不變。
[0005]為了實現(xiàn)上述目的，作為本實用新型的一個方面，提供一種基片支撐裝置，該基片支撐裝置包括支撐銷和用于承載所述基片的基板，所述支撐銷能夠穿過所述基板沿與所述基板垂直的方向往復(fù)移動，其中，所述基片支撐裝置還包括夾固機(jī)構(gòu)，所述夾固機(jī)構(gòu)包括夾固桿，所述夾固桿的上端能夠朝向或遠(yuǎn)離所述基片移動。
[0006]優(yōu)選地，所述夾固機(jī)構(gòu)還包括彈性件，所述基板上設(shè)置有沿所述基板的厚度方向穿過所述基板的第一通孔，所述夾固桿穿過所述第一通孔，且所述夾固桿的上端延伸至所述第一通孔外部，所述彈性件的一端固定在所述第一通孔的側(cè)壁上，另一端與所述夾固桿相連，所述彈性件能夠朝向所述基片推動所述夾固桿，以使所述夾固桿的上端朝向所述基板移動。
[0007]優(yōu)選地，所述夾固機(jī)構(gòu)還包括固定地設(shè)置在所述夾固桿下方的支撐板和用于固定所述夾固桿的轉(zhuǎn)軸，所述夾固桿上設(shè)置有沿徑向穿過所述夾固桿的第二通孔，所述轉(zhuǎn)軸的一端固定在所述第一通孔的側(cè)壁上，所述轉(zhuǎn)軸的另一端穿過所述第二通孔，所述彈性件的另一端與所述夾固桿位于所述第二通孔上方的部分相連，所述夾固桿的下端延伸穿過所述第一通孔，當(dāng)所述支撐銷相對于所述基板向上移動以頂起所述基片時，所述夾固桿的下端與所述支撐板接觸，所述支撐板的支撐力能夠使所述夾固桿繞所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，使所述夾固桿的上端遠(yuǎn)離設(shè)置在所述基板上的所述基片。
[0008]優(yōu)選地，所述夾固桿包括夾固帽、第一夾桿和第二夾桿，所述夾固帽設(shè)置在所述第一夾桿的上端，且所述夾固帽的至少一側(cè)朝向所述基片延伸，所述第一夾桿的下端與所述第二夾桿固定連接，所述第二通孔設(shè)置在所述第一夾桿和所述第二夾桿的連接處，所述彈性件與所述第一夾桿固定連接。
[0009]優(yōu)選地，所述第二夾桿包括水平部和與所述水平部固定連接的豎直部，所述水平部與所述第一夾桿的下端連接，所述第一夾桿的長度與所述第二夾桿的豎直部的長度之和不小于所述支撐銷的長度。
[0010]優(yōu)選地，所述基片支撐裝置還包括傳動件，所述傳動件的一端與動力源連接，所述傳動件的另一端穿過所述支撐板與所述基板固定連接。
[0011]優(yōu)選地，所述基板上設(shè)置有第三通孔，所述支撐銷包括桿部和形成在所述桿部上端面上的板部，所述桿部的下端穿過所述第三通孔，并延伸至所述第三通孔的外部，所述板部的上表面的面積大于所述桿部的上端面的面積。
[0012]優(yōu)選地，所述第三通孔內(nèi)設(shè)置有滑動導(dǎo)向件，該滑動導(dǎo)向件包括設(shè)置在所述第三通孔內(nèi)的滾珠，所述支撐銷的桿部能夠與所述滾珠接觸。
[0013]優(yōu)選地，所述滑動導(dǎo)向件還包括滾珠襯套，所述滾珠襯套與所述第三通孔的側(cè)壁固定連接，所述滾珠設(shè)置在所述滾珠襯套內(nèi)。
[0014]優(yōu)選地，所述基片支撐裝置包括多個所述夾固機(jī)構(gòu)，多個所述夾固機(jī)構(gòu)環(huán)繞所述基板均勻設(shè)置。
[0015]作為本實用新型的另一個方面，提供一種膜層沉積設(shè)備，所述膜層沉積設(shè)備包括基片支撐裝置，所述基片支撐裝置為本實用新型所提供的上述基片支撐裝置。
[0016]在本實用新型中，基片位于支撐裝置上時，夾固機(jī)構(gòu)能夠在基片位于基板上時固定該基片的位置，因而在后續(xù)工藝(例如，膜層沉積工藝)中，基片的位置保持不變，從而保證后續(xù)工藝的正常進(jìn)行，并提高最終產(chǎn)品的質(zhì)量。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]附圖是用來提供對本實用新型的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的【具體實施方式】一起用于解釋本實用新型，但并不構(gòu)成對本實用新型的限制。在附圖中:
[0018]圖1是基片支撐裝置主剖示意圖圖；
[0019]圖2是圖1中所示的基片支撐裝置中的夾固機(jī)構(gòu)主剖示意圖；
[0020]圖3是夾固機(jī)構(gòu)松開基片狀態(tài)主剖示意圖；
[0021]圖4是夾固機(jī)構(gòu)固定基片狀態(tài)主剖示意圖；
[0022]圖5是夾固機(jī)構(gòu)隨基板上升狀態(tài)主剖示意圖；
[0023]圖6是夾固機(jī)構(gòu)對基片進(jìn)行位置校正和固定的流程圖；
[0024]圖7是夾固機(jī)構(gòu)松開基片的流程圖。
[0025]附圖標(biāo)記說明
[0026]1:彈性件；2:夾固桿；21:夾固帽；22:第一夾桿；23:第二夾桿；23a:水平部；23b:豎直部；3:轉(zhuǎn)軸；4:第二通孔；5:支撐板；6:基片；7:支撐銷；8:基板；9:動力源；10:傳動件；11:滾珠襯套；12:滾珠。
【具體實施方式】[0027]以下結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】進(jìn)行詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本實用新型，并不用于限制本實用新型。
[0028]作為本實用新型的一個方面，如圖1所示，提供一種基片支撐裝置，包括支撐銷7和基板8，基板8用于承載基片6，支撐銷7可以穿過基板8，并且支撐銷7可以沿垂直于基板8的方向往復(fù)移動，其中，所述基片支撐裝置還包括夾固機(jī)構(gòu)，該夾固機(jī)構(gòu)能夠在基片6位于基板8上時固定基片6。如圖1和圖2所示，所述夾固機(jī)構(gòu)可以包括夾固桿2，夾固桿2的上端可以朝向或遠(yuǎn)離基板8移動，以使得當(dāng)基片6位于基板8上時，夾固桿2的上端可以朝向基片6移動以將該基片6固定在基板8上，當(dāng)支撐銷7相對于基板8向上移動以將基片6頂起時，夾固桿2的上端可以遠(yuǎn)離基片6以將該基片6松開。
[0029]容易理解的是，當(dāng)需要移除基板8上的基片6時，支撐銷7相對于基板8向上移動，從基板8上凸起，將設(shè)置在基板8上的基片6頂起，利用諸如機(jī)械手等裝置將基片6移除。隨后在凸出于基板8的支撐銷7的頂部繼續(xù)設(shè)置基片6，然后控制支撐銷7下降，直至基片6落在基板8上為止。
[0030]在本實用新型中，當(dāng)基片6位于基板8上時，所述夾固機(jī)構(gòu)可以對基片6進(jìn)行夾持固定，從而可以防止在后續(xù)的工藝中基片6的位置變化，從而保證了后續(xù)工藝的順利進(jìn)行。
[0031]例如，在對基片6進(jìn)行膜沉積工藝時，所述夾固機(jī)構(gòu)可以在進(jìn)行沉積工藝時對基板8所承載的基片6進(jìn)行固定，防止基片6的位置出現(xiàn)偏移，從而提高沉積膜層厚度的均勻性。
[0032]在本實用新型中，對支撐銷7的個數(shù)并不做具體限制，只要可以根據(jù)具體工藝需求將位于基板8上的基片6頂起即可。支撐銷7可以為多個，從而穩(wěn)定地支撐基片6。
[0033]在本實用新型中，對所述夾固機(jī)構(gòu)的具體形式不作限定，只要可以在基片6根據(jù)工藝需求設(shè)置在基板8上時，將基片6固定在基板8上即可。應(yīng)當(dāng)理解的是，夾固機(jī)構(gòu)應(yīng)當(dāng)可以根據(jù)工藝需要(例如當(dāng)需要將基片6從基板8上頂起時)而將基片6松開。
[0034]為了便于所述夾固機(jī)構(gòu)將基片6固定在基板8上，并便于夾固機(jī)構(gòu)的松開，優(yōu)選地，所述夾固機(jī)構(gòu)可以包括彈性件I，并且基板8上可以設(shè)置有沿其厚度方向穿過該基板8的第一通孔，夾固桿2穿過所述第一通孔，且夾固桿2的上端延伸至所述第一通孔外部，彈性件I的一端固定在所述第一通孔的側(cè)壁上，另一端與夾固桿2相連，當(dāng)基片6位于基板8上時，彈性件I朝向基片6推動夾固桿2，以使該夾固桿2的上端朝向基片6移動，并將該基片6固定在基板8上。
[0035]具體地，根據(jù)具體工藝要求需要將夾固桿2松開時，可以壓縮彈性件1，根據(jù)具體工藝要求需要利用夾固桿2將基片6固定在基板8上時，可以使彈性件I自行恢復(fù)，從而朝向基片6推動夾固桿2，直至夾固桿2與第一通孔的側(cè)壁接觸時，該夾固桿2的上端與基片6接觸，從而將基片6固定在基板8上。
[0036]利用彈性件I的自行恢復(fù)力控制夾固桿2朝向基片6移動，從而簡化了夾固機(jī)構(gòu)的整體結(jié)構(gòu)以及控制方法。
[0037]應(yīng)當(dāng)理解的是，夾固桿2的上端的形狀應(yīng)當(dāng)設(shè)置為可以與基片6接觸，并將基片6固定在基板8上，下文中將具體描述夾固桿2的具體結(jié)構(gòu)，這里先不贅述。
[0038]彈性件I可以為彈簧，也可以為其他具有彈性的元件，例如，由彈性橡膠制成的彈性塊等。[0039]夾固桿2可以固定在所述第一通孔中，也可以不固定在所述第一通孔中。
[0040]如上文中所述，根據(jù)具體工藝要求需要將夾固桿2松開時，可以壓縮彈性件1，根據(jù)具體工藝要求需要利用夾固桿2將基片6固定在基板8上時，可以使彈性件I自行恢復(fù)。在本實用新型中，可以通過多種方式時彈性件I發(fā)生壓縮。例如，可以設(shè)置與彈性件I的與夾固桿2相連的一端相連的拉桿，當(dāng)根據(jù)具體工藝要求需要壓縮彈性件I時，可以拉動拉桿，從而使彈性件I收縮，當(dāng)根據(jù)具體工藝要求需要使彈性件I回復(fù)時，可以松開所述拉桿。
[0041]為了通過簡單的結(jié)構(gòu)以及控制方法實現(xiàn)對彈性件I的壓縮，優(yōu)選地，如圖1和圖2所示，所述夾固機(jī)構(gòu)還包括固定地設(shè)置在夾固桿2下方的支撐板5和用于固定夾固桿2的轉(zhuǎn)軸3，夾固桿2上設(shè)置有沿該夾固桿2的徑向穿過該夾固桿2的第二通孔4，轉(zhuǎn)軸3的一端固定在所述第一通孔的側(cè)壁上，3轉(zhuǎn)軸的另一端穿過所述第二通孔4。彈性件I的另一端與夾固桿2位于所述第二通孔4上方的部分相連，夾固桿2的下端延伸穿過所述第一通孔，當(dāng)支撐銷7根據(jù)具體工藝需要相對于基板8向上移動以頂起基片6時，夾固桿6的下端與支撐板5接觸(基板8與支撐板5之間的距離縮小)，支撐板5向夾固桿2施加支撐力，該支撐力可以使夾固桿2繞轉(zhuǎn)軸3轉(zhuǎn)動，使夾固桿2的上端遠(yuǎn)離設(shè)置在基板8上的基片6。
[0042]應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所述的“固定地設(shè)置在夾固桿2下方的支撐板5”是指，支撐板5本身不會發(fā)生移動。例如，可以將支撐板5固定設(shè)置在所述基片支撐裝置的安裝基礎(chǔ)上。
[0043]需要指出的是，基板8、支撐銷7、夾固桿2以及支撐板5之間應(yīng)當(dāng)滿足以下關(guān)系:當(dāng)基板8上升至預(yù)設(shè)高度時，夾固桿2的下端面與支撐板5相接觸(但支撐板5與夾固桿2之間沒有相互作用的力)，支撐銷7的上端面位于基板8的上表面下方，且支撐銷7的下端面與支撐板5之間沒有相互作用的力；當(dāng)基板8下降至預(yù)設(shè)高度以下時，支撐板5與夾固桿2之間產(chǎn)生相互作用的力。當(dāng)夾固桿2將基片6松開時，支撐銷7的下端面開始與支撐板5相接觸，隨著基板8的繼續(xù)下降，支撐銷7被支撐板5頂起。
[0044]將所述夾固機(jī)構(gòu)設(shè)置為上述結(jié)構(gòu)之后，隨著對基板8升降的控制即可實現(xiàn)彈性件I的壓縮或回復(fù)，無需額外的控制裝置控制彈性件I的壓縮和回復(fù)，從而簡化了所述基片升降裝置的整體結(jié)構(gòu)。
[0045]作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，如圖2所示，夾固桿2可以包括夾固帽21、第一夾桿22和第二夾桿23，具體地，夾固帽21設(shè)置在第一夾桿22的上端，且夾固帽21的至少一側(cè)朝向基片6延伸，從而可以與基片6接觸以夾固基片6。第一夾桿22的下端與第二夾桿23固定連接，第二通孔4設(shè)置在第一夾桿22和第二夾桿23的連接處，彈性件I與第一夾桿22固定連接。從而使得彈性件I的壓縮或回復(fù)可以推動夾固桿2繞轉(zhuǎn)軸3轉(zhuǎn)動?？梢园凑杖缦路绞皆O(shè)置第一夾桿22和第二夾桿23:使得第一夾桿22的長度與第二夾桿23的豎直部的長度之和不小于支撐銷7的長度，從而使得至少在支撐銷7的下端接觸支撐板5的同時，第二夾桿23的豎直部的下端也接觸支撐板5。從而可以確保支撐銷7相對于基板向上移動時，夾固桿可以將基片松開，并且可以確保支撐銷7相對于基板向下移動，經(jīng)基片放置在基板上之后，夾固桿方將基片夾持固定在基板上。
[0046]作為本實用新型的一種實施方式，夾固帽21可以為環(huán)繞第一夾桿22設(shè)置的圓形板或方形板，使得夾固帽21的剖面形成為“T”形。
[0047]應(yīng)當(dāng)注意的是，夾固桿2的形狀應(yīng)當(dāng)設(shè)置為，當(dāng)夾固桿2的下端承受向上的力時，該夾固桿2應(yīng)當(dāng)可以轉(zhuǎn)動，使夾固桿2的上端遠(yuǎn)離設(shè)置在基板8上的基片6。換言之，第二夾桿23的下端、第二通孔4以及第一夾桿22的上端不在一條直線上，因而當(dāng)基板8帶動所述夾固機(jī)構(gòu)下降至與支撐板5接觸時，第二夾桿23受到支撐板5向上的作用力，從而可以繞轉(zhuǎn)軸3轉(zhuǎn)動。
[0048]作為本實用新型的一種【具體實施方式】，第二夾桿23可以包括水平部23a和與水平部23a固定連接的豎直部23b，水平部23a與第一夾桿22的下端連接，使得第二夾桿23的下端、第二通孔4以及第一夾桿22的上端不在一條直線上。
[0049]更進(jìn)一步地，如圖1所示，所述基片支撐裝置還可以包括傳動件10，傳動件10的一端與動力源9連接，另一端穿過支撐板5與基板8固定連接。在動力源9的帶動下，傳動件10可以向上或向下移動，從而帶動基板8沿豎直方向往復(fù)移動。由于傳動件10穿過支撐板5，因此傳動件10的移動不會影響支撐板5。當(dāng)傳動件10帶動基板8向上移動時，支撐板5和基板8之間的距離增加，而當(dāng)傳動件10帶動基板8向下移動時，支撐板5和基板8之間的距離縮小，當(dāng)支撐板5和基板8之間的距離縮小到一定程度時，第二夾桿23的豎直部23b可以與支撐板5相接觸，基板8繼續(xù)下降，并進(jìn)一步縮小支撐板5和基板8之間的距離時，支撐板5可以向夾固桿2施加向上的支撐力，從而使夾固桿2繞轉(zhuǎn)軸3轉(zhuǎn)動，以松開固定基片6。
[0050]更進(jìn)一步地，基板8上可以設(shè)置有第三通孔，支撐銷7包括桿部和形成在該桿部上端面上的板部，所述桿部的下端穿過所述第三通孔，并延伸至所述第三通孔的外部，所述板部的上表面的面積大于所述桿部的上端面的面積。
[0051]將支撐銷7設(shè)置為上述結(jié)構(gòu)有利于將基片6穩(wěn)定地頂起，并有利于在支撐銷7將基片6頂起時，穩(wěn)定地支撐基片6，直至將基片6移開為止。
[0052]還應(yīng)當(dāng)注意的是，支撐銷7的板部的上表面應(yīng)當(dāng)可以下降至與基板8的上表面平齊，或者低于基板8的上表面(B卩，位于所述第三通孔內(nèi))。
[0053]更進(jìn)一步地，所述第三通孔內(nèi)可以設(shè)置有滑動導(dǎo)向件，所述滑動導(dǎo)向件能夠使得支撐銷7和基板8上的第三側(cè)壁之間產(chǎn)生較小的摩擦，具體地，所述滑動導(dǎo)向件可以包括設(shè)置在第三通孔內(nèi)的滾珠12，支撐銷7可以與滾珠12接觸，支撐銷7與基板8之間相對移動時，滾珠12可以滾動，從而在支撐銷與滾珠12的表面之間產(chǎn)生滾動摩擦，從而有利于支撐銷7相對于基板8向上或向下移動。
[0054]滾珠12可以與基板8直接接觸，也可以間接接觸。為了便于設(shè)置，可以使得滾珠
12與基板8間接接觸。具體地，如圖1所示，所述滑動導(dǎo)向件還可以包括滾珠襯套11，滾珠襯套11與所述第三通孔的側(cè)壁固定連接，滾珠12設(shè)置在滾珠襯套11內(nèi)。例如，滾珠襯套11可以通過過盈連接的方式設(shè)置在所述第三通孔內(nèi)。滾珠12設(shè)置在滾珠襯套11內(nèi)，但滾珠襯套11不應(yīng)妨礙滾珠12繞自身球心的滾動。
[0055]更進(jìn)一步地，為了更穩(wěn)定地固定基片6，所述基片支撐裝置包括多個所述夾固機(jī)構(gòu)，具體地，多個所述夾固機(jī)構(gòu)環(huán)繞基板8均勻設(shè)置，多個夾固桿2對應(yīng)同一個支撐板5。多個所述夾固機(jī)構(gòu)由各方向推動基片6，為基片6提供均勻的壓力，防止基片6向任何方向發(fā)生偏移，從而固定放置在正確位置。
[0056]下面結(jié)合圖3至圖7描述本實用新型的一種優(yōu)選實施方式的工作過程。
[0057]下面介紹如何利用所述夾固機(jī)構(gòu)將基片6固定在基板8上，以及如何利用所述夾固機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)基片6的位置并固定基片6的位置。[0058]如圖3和圖6中所示，在初始狀態(tài)中，支撐銷7的板部凸出于基板8的上表面，且支撐銷7的桿部的下端并未支撐在支撐板5上，夾固桿2的下端支撐在支撐板5上，且在支撐板5所提供的支撐力的作用下夾固桿2的第一夾桿22繞轉(zhuǎn)軸3轉(zhuǎn)動，使夾固帽21遠(yuǎn)離基片6，并壓縮彈性件I。首先將基片6放置在支撐銷7上，支撐銷7在基片6的重力作用下降，直至基片6落在基板8上。同時動力源9提供動力，該動力通過傳動件10傳遞至基板8，使基板8向上移動，所述第三通孔內(nèi)的滾珠12因支撐銷7的摩擦力而滾動。
[0059]由于轉(zhuǎn)軸3固定在所述第一通孔的側(cè)壁上，因此夾固桿2與基板8同步向上移動至預(yù)設(shè)高度。在此過程中，支撐板5與基板8之間的距離逐漸增大，第二夾桿23的下端離開支撐板5，彈性件I由壓縮狀態(tài)恢復(fù)，推動夾固桿2轉(zhuǎn)動使得第一夾桿22以及夾固帽21靠近基板8，當(dāng)基板8達(dá)到預(yù)設(shè)高度，且支撐銷7相對于基板8下降使得基片6設(shè)置在基板8上時，夾固桿2的夾固帽21與基片6相接觸(如圖4所示)。由于基板8的周圍設(shè)置有多個夾固機(jī)構(gòu)，因此，多個夾固機(jī)構(gòu)之間相互協(xié)調(diào)，從而可以對基片6的位置進(jìn)行校正，并最終將基片6固定在理想的位置(如圖5所示)?；?由所述預(yù)設(shè)高度繼續(xù)上升超過所述預(yù)設(shè)高度以進(jìn)行膜層沉積工藝中，夾固桿2始終固定基片6。
[0060]膜層沉積完畢后，基板8與基片6會下降。下面介紹結(jié)合圖7如何使所述夾固機(jī)構(gòu)松開基片6。當(dāng)基板8在傳動件10的帶動下下降至所述預(yù)設(shè)高度時(如圖4所示)，夾固桿2的第二夾桿23的豎直部23b與支撐板5接觸，基板8繼續(xù)下降，支撐板5與基板8之間的距離進(jìn)一步縮小，并向夾固桿2提供向上的支撐力，在該支撐力的作用下，夾固桿2繞轉(zhuǎn)軸3轉(zhuǎn)動以使夾固帽21遠(yuǎn)離基片6，從而將基片6松開?；?繼續(xù)下降，使得支撐銷7的桿部下端與支撐板5相接觸，隨著基板8的進(jìn)一步下降，支撐板5為支撐銷7提供向上的支撐力，使支撐銷7的板部的上表面高于基板8的上表面，以頂起基片6。至此，整個膜層沉積工藝結(jié)束。
[0061]上述實施方式中，膜層沉積開始時，如果基片6的位置發(fā)生偏移，彈性件I的彈力通過夾固帽21推動第一夾桿22，使得夾固帽21推動基片6至正確位置并加以固定，膜層沉積結(jié)束后，夾固帽21松開基片6。所述夾固機(jī)構(gòu)的設(shè)置保證了在膜層沉積過程中基片6處于固定的位置，使得膜層具有較好均勻性，防止基片6脫離支撐而發(fā)生破碎，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量。
[0062]本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解的是，雖然以膜層沉積設(shè)備為例介紹了本實用新型所提供的基片支撐裝置，但是本實用新型并不限于此，而是還可以應(yīng)用于其他工藝中。
[0063]作為本實用新型的另一方面，提供一種膜層沉積設(shè)備，該膜層沉積設(shè)備包括基片支撐裝置，其中，所述基片支撐裝置為本實用新型所提供的基片支撐裝置。
[0064]在所述膜層沉積設(shè)備中，基片支撐裝置不但能夠支撐基片，而且能夠?qū)奈恢眠M(jìn)行校正和固定，因此形成的膜層具有較好的均勻性。
[0065]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本實用新型的原理而采用的示例性實施方式，然而本實用新型并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實用新型的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本實用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種基片支撐裝置，該基片支撐裝置包括支撐銷和用于承載所述基片的基板，所述支撐銷能夠穿過所述基板沿與所述基板垂直的方向往復(fù)移動，其特征在于，所述基片支撐裝置還包括夾固機(jī)構(gòu)，所述夾固機(jī)構(gòu)包括夾固桿，所述夾固桿的上端能夠朝向或遠(yuǎn)離所述基板移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基片支撐裝置，其特征在于，所述夾固機(jī)構(gòu)還包括彈性件，所述基板上設(shè)置有沿所述基板的厚度方向穿過所述基板的第一通孔，所述夾固桿穿過所述第一通孔，且所述夾固桿的上端延伸至所述第一通孔外部，所述彈性件的一端固定在所述第一通孔的側(cè)壁上，另一端與所述夾固桿相連，所述彈性件能夠朝向所述基片推動所述夾固桿，以使所述夾固桿的上端朝向所述基板移動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基片支撐裝置，其特征在于，所述夾固機(jī)構(gòu)還包括固定地設(shè)置在所述夾固桿下方的支撐板和用于固定所述夾固桿的轉(zhuǎn)軸，所述夾固桿上設(shè)置有沿徑向穿過所述夾固桿的第二通孔，所述轉(zhuǎn)軸的一端固定在所述第一通孔的側(cè)壁上，所述轉(zhuǎn)軸的另一端穿過所述第二通孔，所述彈性件的另一端與所述夾固桿位于所述第二通孔上方的部分相連，所述夾固桿的下端延伸穿過所述第一通孔，當(dāng)所述支撐銷相對于所述基板向上移動以頂起所述基片時，所述夾固桿的下端與所述支撐板接觸，所述支撐板的支撐力能夠使所述夾固桿繞所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，使所述夾固桿的上端遠(yuǎn)離設(shè)置在所述基板上的所述基片。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基片支撐裝置，其特征在于，所述夾固桿包括夾固帽、第一夾桿和第二夾桿，所述夾固帽設(shè)置在所述第一夾桿的上端，且所述夾固帽的至少一側(cè)朝向所述基片延伸，所述第一夾桿的下端與所述第二夾桿固定連接，所述第二通孔設(shè)置在所述第一夾桿和所述第二夾桿的連接處，所述彈性件與所述第一夾桿固定連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基片支撐裝置，其特征在于，所述第二夾桿包括水平部和與所述水平部固定連接的豎直部，所述水平部與所述第一夾桿的下端連接，所述第一夾桿的長度與所述第二夾桿的豎直部的長度之和不小于所述支撐銷的長度。
6.根據(jù)權(quán)利要求3至5中任意一項所述的基片支撐裝置，其特征在于，所述基片支撐裝置還包括傳動件，所述傳動件的一端與動力源連接，所述傳動件的另一端穿過所述支撐板與所述基板固定連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項所述的基片支撐裝置，其特征在于，所述基板上設(shè)置有第三通孔，所述支撐銷包括桿部和形成在所述桿部上端面上的板部，所述桿部的下端穿過所述第三通孔，并延伸至所述第三通孔的外部，所述板部的上表面的面積大于所述桿部的上端面的面積。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基片支撐裝置，其特征在于，所述第三通孔內(nèi)設(shè)置有滑動導(dǎo)向件，該滑動導(dǎo)向件包括設(shè)置在所述第三通孔內(nèi)的滾珠，所述支撐銷的桿部能夠與所述滾珠接觸，所述滑動導(dǎo)向件還包括滾珠襯套，所述滾珠襯套與所述第三通孔的側(cè)壁固定連接，所述滾珠設(shè)置在所述滾珠襯套內(nèi)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項所述的基片支撐裝置，其特征在于，所述基片支撐裝置包括多個所述夾固機(jī)構(gòu)，多個所述夾固機(jī)構(gòu)環(huán)繞所述基板均勻設(shè)置。
10.一種膜層沉積設(shè)備，所述膜層沉積設(shè)備包括基片支撐裝置，其特征在于，所述基片支撐裝置為權(quán)利要求1至9中任意一項所述的基片支撐裝置。
【文檔編號】C23C16/458GK203639549SQ201420004559
【公開日】2014年6月11日 申請日期:2014年1月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月3日
【發(fā)明者】高會朝, 潘夢霄 申請人:北京京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司