一種雙面拋光的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種雙面拋光機(jī)，包括機(jī)座，所述機(jī)座與橫梁通過支柱與立柱連接，機(jī)座上部安裝有游星輪與太陽輪，機(jī)座內(nèi)部安裝有電機(jī)傳動(dòng)系統(tǒng)，橫梁上部設(shè)有氣缸，橫梁下部安裝有上磨盤支撐機(jī)構(gòu)，此上磨盤支撐機(jī)構(gòu)與氣缸連接，所述立柱與橫桿之間安裝有支撐裝置，所述橫梁與立柱相對應(yīng)的一側(cè)下部安裝有軸承座，此軸承座與立柱上端的軸承相連接。本實(shí)用新型的有益效果為：將立柱做成旋轉(zhuǎn)可調(diào)式立柱，橫梁與可調(diào)式立柱連接，當(dāng)上盤需要貼拋光布或更換磨盤時(shí)，可以將橫梁轉(zhuǎn)動(dòng)一定的角度，這樣上盤就轉(zhuǎn)到機(jī)座以外的地方，如此貼拋光布或更換磨盤時(shí)比較方便快捷，使操作員對上盤下盤進(jìn)行貼拋光布或更換磨盤的工序時(shí)簡單方便，降低操作難度，減少操作時(shí)間，提高生產(chǎn)率。
【專利說明】一種雙面拋光機(jī)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種雙面拋光機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石(AL203)為六方對稱結(jié)構(gòu)，它作為最硬的氧化物晶體，具備優(yōu)良的光化學(xué)和物理性能。機(jī)械強(qiáng)度高，耐化學(xué)腐蝕，有較好的導(dǎo)熱性、熱穩(wěn)定性，透光波段寬，是理想的窗口襯底基本材料，另外，它具有電絕緣性，化學(xué)性能穩(wěn)定，漏電容和寄生電容小，是極好的半導(dǎo)體、超導(dǎo)襯底材料。
[0003]作為襯底用的藍(lán)寶石晶體基片一般為2英寸，4英寸等。用作半導(dǎo)體襯底的光學(xué)藍(lán)寶石晶體基片對其表面有很高的要求，包括平面度，平行度達(dá)到0.005mm，光潔度達(dá)到
0.5nm。
[0004]現(xiàn)有的雙面拋光機(jī)，主要包括機(jī)座，立柱，橫梁，工作面板，電機(jī)傳動(dòng)系統(tǒng),上磨盤，上磨盤支撐機(jī)構(gòu)，氣缸，下磨盤，內(nèi)齒圈，太陽齒，和多塊游星輪組成。其中橫梁通過兩根立柱安裝在機(jī)座上，氣缸安裝在橫梁上，上磨盤與上磨盤支撐機(jī)構(gòu)固定，上磨盤支撐機(jī)構(gòu)與氣缸相連，這樣通過氣缸推動(dòng)上盤上下運(yùn)動(dòng)，并控制氣缸的進(jìn)氣氣壓來控制上盤的壓力。這種固定式橫梁機(jī)構(gòu)存在一些不足:當(dāng)在上盤上貼拋光墊的時(shí)候，由于上下盤距離有限，因此粘貼的時(shí)候操作起來相當(dāng)困難，況且也不方便拋光，操作不夠便捷，影響工作效率等諸多缺點(diǎn)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]針對上述問題中存在的不足之處，本實(shí)用新型提供一種雙面拋光機(jī)。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種雙面拋光機(jī)，包括機(jī)座，所述機(jī)座與橫梁通過支柱與立柱連接，機(jī)座上部安裝有游星輪與太陽輪，機(jī)座內(nèi)部安裝有電機(jī)傳動(dòng)系統(tǒng)，橫梁上部設(shè)有氣缸，橫梁下部安裝有上磨盤支撐機(jī)構(gòu)，此上磨盤支撐機(jī)構(gòu)與氣缸連接，所述立柱與橫桿之間安裝有支撐裝置，所述橫梁與立柱相對應(yīng)的一側(cè)下部安裝有軸承座，此軸承座與立柱上端的軸承相連接。
[0007]進(jìn)一步的，所述支撐裝置包括支撐塊與鎖緊螺母，支撐塊套在橫梁下部并與支柱上端的鎖緊螺母相卡接，鎖緊螺母兩側(cè)均設(shè)有把手二。
[0008]進(jìn)一步的，所述橫梁側(cè)部安裝有把手一。
[0009]本實(shí)用新型的有益效果為:將立柱做成旋轉(zhuǎn)可調(diào)式立柱，橫梁與可調(diào)式立柱連接，當(dāng)上盤需要貼拋光布或更換磨盤時(shí)，可以將橫梁轉(zhuǎn)動(dòng)一定的角度，這樣上盤就轉(zhuǎn)到機(jī)座以外的地方，如此貼拋光布或更換磨盤時(shí)比較方便快捷，使操作員對上盤下盤進(jìn)行貼拋光布或更換磨盤的工序時(shí)簡單方便，降低操作難度，減少操作時(shí)間，提高生產(chǎn)率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型一種雙面拋光機(jī)的主視圖；[0011]圖2為本實(shí)用新型一種雙面拋光機(jī)的使用狀態(tài)圖。
[0012]圖中:1、橫梁；2、把手一 ；3、支撐塊；4、鎖緊螺母；5、把手二 ；6、支柱；7、軸承；8、
軸承座；9、立柱。
【具體實(shí)施方式】
[0013]如圖1-2所示，本實(shí)用新型實(shí)施例所述的一種雙面拋光機(jī)，包括機(jī)座，所述機(jī)座與橫梁I通過支柱6與立柱9連接，機(jī)座上部安裝有游星輪與太陽輪，機(jī)座內(nèi)部安裝有電機(jī)傳動(dòng)系統(tǒng)，橫梁I上部設(shè)有氣缸，橫梁I下部安裝有上磨盤支撐機(jī)構(gòu)，此上磨盤支撐機(jī)構(gòu)與氣缸連接，所述立柱9與橫桿之間安裝有支撐裝置，所述橫梁I與立柱9相對應(yīng)的一側(cè)下部安裝有軸承座8，此軸承座8與立柱9上端的軸承7相連接。將立柱做成旋轉(zhuǎn)可調(diào)式立柱，橫梁與可調(diào)式立柱連接，當(dāng)上盤需要貼拋光布或更換磨盤時(shí)，可以將橫梁轉(zhuǎn)動(dòng)一定的角度，這樣上盤就轉(zhuǎn)到機(jī)座以外的地方，如此貼拋光布或更換磨盤時(shí)比較方便快捷，使操作員對上盤下盤進(jìn)行貼拋光布或更換磨盤的工序時(shí)簡單方便，降低操作難度，減少操作時(shí)間，提高生產(chǎn)率。
[0014]所述支撐裝置包括支撐塊3與鎖緊螺母4，支撐塊3套在橫梁I下部并與支柱6上端的鎖緊螺母4相卡接，鎖緊螺母4兩側(cè)均設(shè)有把手二 5。采用上述結(jié)構(gòu)便于橫梁與支柱彈開。
[0015]所述橫梁I側(cè)部安裝有把手一 2，便于操作。
[0016]具體使用時(shí):橫梁I右端與軸承座8連接，軸承座8同構(gòu)軸承7與立柱9連接，如此橫梁I就可繞著立柱9旋轉(zhuǎn)。橫梁I左端與支撐塊3連接，支撐塊3與鎖緊螺母4配合，當(dāng)利用鎖緊螺母4上的把手5旋轉(zhuǎn)鎖緊螺母4時(shí)，支撐塊3便隨著鎖緊螺母4往上或往下運(yùn)動(dòng)，當(dāng)橫梁I需要轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，支撐塊3調(diào)低并脫離橫梁1，這樣橫梁I就可以輕松的轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)橫梁I需要與立柱6固定時(shí)，就將支撐塊3調(diào)高，頂住橫梁I時(shí)便可鎖緊。此套機(jī)構(gòu)使得橫梁的固定與續(xù)傳變的輕松快捷，安全可靠。
[0017]惟以上所述者，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，舉凡熟悉此項(xiàng)技藝的專業(yè)人士。在了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段之后，自然能依據(jù)實(shí)際的需要，在本實(shí)用新型的教導(dǎo)下加以變化。因此凡依本實(shí)用新型申請專利范圍所作的同等變化與修飾，曾應(yīng)仍屬本實(shí)用新型專利涵蓋的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種雙面拋光機(jī)，包括機(jī)座，所述機(jī)座與橫梁(I)通過支柱(6)與立柱(9)連接,機(jī)座上部安裝有游星輪與太陽輪，機(jī)座內(nèi)部安裝有電機(jī)傳動(dòng)系統(tǒng)，橫梁(I)上部設(shè)有氣缸，橫梁(I)下部安裝有上磨盤支撐機(jī)構(gòu)，此上磨盤支撐機(jī)構(gòu)與氣缸連接，其特征在于:所述立柱(9)與橫桿之間安裝有支撐裝置，所述橫梁(I)與立柱(9)相對應(yīng)的一側(cè)下部安裝有軸承座(8),此軸承座(8)與立柱(9)上端的軸承(7)相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面拋光機(jī)，其特征在于:所述支撐裝置包括支撐塊(3)與鎖緊螺母(4)，支撐塊(3)套在橫梁(I)下部并與支柱(6)上端的鎖緊螺母(4)相卡接，鎖緊螺母(4 )兩側(cè)均設(shè)有把手二( 5 )。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面拋光機(jī)，其特征在于:所述橫梁(I)側(cè)部安裝有把手一(2)。
【文檔編號】B24B39/06GK203665310SQ201420004463
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2014年1月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月3日
【發(fā)明者】岳偉, 陳志嵩, 殷華林, 戴安娜, 伊蓮娟, 毛可勇, 李海寧 申請人:常州貝斯塔德機(jī)械科技有限公司