一種磁控濺射靶材結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種磁控濺射靶材結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括背板（3）、靶材（1）、靶材（2），所述的靶材（1）是橫截面為上凸形結(jié)構(gòu)的方條形板材，所述的靶材（2）是橫截面為下凸形結(jié)構(gòu)的方條形板材；所述的靶材（1）和靶材（2）通過焊接方式緊密拼接在背板（3）上,所述的靶材（1）上凸形邊緣和靶材（2）下凸形邊緣是相互配合的。本實(shí)用新型的有益效果為：新型的靶材拼接結(jié)構(gòu)能有效提高靶材利用率，降低生產(chǎn)成本。
【專利說明】一種磁控濺射靶材結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種靶材結(jié)構(gòu)，尤其是一種磁控濺射靶材結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)在鍍膜所用的靶材有很多種，常見的鋁靶材、鑰靶材、ITO靶材等，這些靶材一般都是一整塊的，然后把其焊接在一個銅背板上面。靶材在鍍膜過程中會消耗，消耗部分的面積不到靶材面積的1/3，如果有個地方擊穿及必需更換靶材。所以，目前的靶材結(jié)構(gòu)造成靶材的極大浪費(fèi)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供一種磁控濺射的靶材結(jié)構(gòu)，靶材拼接結(jié)構(gòu)能提高靶材的利用率，降低生產(chǎn)成本。
[0004]一種磁控濺射的靶材結(jié)構(gòu)，包括背板(3 )、靶材(I)、靶材(2 )，靶材(I)是橫截面為上凸形結(jié)構(gòu)的方條形板材，靶材(2)是橫截面為下凸形結(jié)構(gòu)的方條形板材；靶材(I)和靶材
(2)通過焊接方式緊密拼接在背板(3)上，靶材(I)上凸形邊緣和靶材(2)下凸形邊緣是相互配合的。
[0005]靶材(I)和靶材(2)表面高度相同。
[0006]靶材(I)與背板(3)的連接焊點(diǎn)(4)分布在靶材的四個端點(diǎn)，靶材(2)與背板(3)的連接焊點(diǎn)(4)分布遠(yuǎn)離靶材(I)的兩個端點(diǎn)。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果為:新型的靶材拼接結(jié)構(gòu)能有效提高靶材利用率，降低生產(chǎn)成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0009]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步說明:
[0010]如圖1所示，一種磁控濺射的靶材結(jié)構(gòu)，包括背板(3)、靶材(I)、靶材(2)，靶材
(I)是橫截面為上凸形結(jié)構(gòu)的方條形板材，靶材(2)是橫截面為下凸形結(jié)構(gòu)的方條形板材；靶材(I)和靶材(2 )通過焊接方式緊密拼接在背板(3 )上，靶材(I)上凸形邊緣和靶材(2 )下凸形邊緣是相互配合的。
[0011]靶材(I)和靶材(2)表面高度相同。
[0012]靶材(I)與背板(3 )的連接焊點(diǎn)(4)分布在靶材的四個端點(diǎn)，靶材(2 )與背板(3 )的連接焊點(diǎn)(4)分布遠(yuǎn)離靶材(I)的兩個端點(diǎn)。
[0013]當(dāng)靶材(I)、靶材(2)消耗完后，可以通過靶材(I)和靶材(2)的位置互換，重新拼接成靶材結(jié)構(gòu)即可再次使用。[0014]上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理和最佳實(shí)施例，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種磁控濺射靶材結(jié)構(gòu)，其特征在于:包括背板(3)、靶材(I)、靶材(2)，所述的靶材(I)是橫截面為上凸形結(jié)構(gòu)的方條形板材，所述的靶材(2)是橫截面為下凸形結(jié)構(gòu)的方條形板材；所述的靶材(I)和靶材(2)通過焊接方式緊密拼接在背板(3)上，所述的靶材(I)上凸形邊緣和靶材(2)下凸形邊緣是相互配合的。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述磁控濺射靶材結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的靶材(I)和靶材(2)表面高度相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述磁控濺射靶材結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的靶材(I)與背板(3)的連接焊點(diǎn)(4)分布在靶材的四個端點(diǎn)，所述的靶材(2)與背板(3)的連接焊點(diǎn)(4)分布遠(yuǎn)離靶材(I)的兩個端點(diǎn)。
【文檔編號】C23C14/35GK203715718SQ201420003674
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年1月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月5日
【發(fā)明者】余松霖, 林俊杰, 覃秦 申請人:東莞匯海光電科技實(shí)業(yè)有限公司