蒸鍍屏蔽的制作方法
【專利摘要】一種蒸鍍屏蔽，供使用于具有蒸鍍?cè)吹恼翦冎瞥讨?，包含第一本體及第二本體。第一本體具有第一疊合區(qū)，第一疊合區(qū)上形成有多個(gè)第一穿孔。第二本體與第一本體不同方向延伸，并具有第二疊合區(qū)。第二疊合區(qū)上形成有多個(gè)第二穿孔。第一疊合區(qū)與第二疊合區(qū)疊合，且第一穿孔在第二疊合區(qū)上的投影范圍均在第二穿孔的范圍外。
【專利說明】蒸鍍屏蔽

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是有關(guān)于一種蒸鍍裝置；具體而言，本發(fā)明是有關(guān)于一種于顯示器制程中使用的蒸鍍屏蔽。

【背景技術(shù)】
[0002]有機(jī)電激發(fā)光二極管(Organic Light Emitting D1de)或稱有機(jī)發(fā)光顯示器,簡(jiǎn)稱0LED，具有超薄、高亮度、高發(fā)光效率、高反應(yīng)速度、廣視角、自發(fā)光而不另需背光源等特色。OLED具有設(shè)置于陰極與陽極間的有機(jī)層。利用有機(jī)材料的特性，OLED將能量以光波的形式釋出。簡(jiǎn)言之，OLED具有有機(jī)發(fā)光層。有機(jī)材料的種類及組合并可加以變化，產(chǎn)生各發(fā)不同光的OLED。
[0003]在OLED的制程中，舉例來說，可以氣或液相沉積、涂布或電鍍等方式成膜，其中有機(jī)膜層可以真空蒸鍍搭配屏蔽界定成膜區(qū)域的方式形成。如圖1A?IC所示，現(xiàn)有屏蔽90由上部片體820及下部片體810搭設(shè)成；上部片體820及下部片體810可再架設(shè)于框架900上。上部片體820及下部片體810并于基材S上圍構(gòu)成成膜區(qū)域M。其中，每完成蒸鍍制程，屏蔽90經(jīng)清潔(以例如浸泡于藥液中、噴灑藥液以及/或以清洗設(shè)備清潔)以除去附著其上的蒸鍍材料，并經(jīng)干燥以備下次蒸鍍之用。然而，相互搭設(shè)的上部片體820及下部片體810畢竟為相互獨(dú)立的部件，兩者間若未加以黏接或焊接，則上部片體820及下部片體810相疊的部分A仍會(huì)發(fā)生微小的間隙g。當(dāng)進(jìn)行屏蔽90的清潔時(shí)，盡管藥液可能流入間隙g，間隙g的狹小及重疊部分的大面積難以確保藥液可充分清潔該重疊的部分A ;再者，流入間隙g內(nèi)的藥液及其可能攜帶的物質(zhì)亦難確?？赏ㄟ^間隙g，而在清洗后自屏蔽90移除(即殘留于間隙g、屏蔽90)。因此，上部片體820及下部片體810相疊的部分A及其間隙g在清潔后仍有成膜材料殘留過多的顧慮；此外，藥液的成分亦可能殘留于屏蔽90。該些殘留一方面可能成為污染物、降低屏蔽90壽命，另一方面則可能在使用于蒸鍍制程時(shí)釋出，影響制程質(zhì)量，產(chǎn)品良率因此受到影響。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種蒸鍍屏蔽，具有容易清潔的優(yōu)點(diǎn)。
[0005]本發(fā)明的另一目的在于提供一種蒸鍍屏蔽，使用率高且協(xié)助提高蒸鍍成品的良率。
[0006]本發(fā)明的蒸鍍屏蔽供使用于具有蒸鍍?cè)吹恼翦冎瞥讨校谝槐倔w及第二本體。第一本體具有第一疊合區(qū)，第一疊合區(qū)上形成有多個(gè)第一穿孔。第二本體與第一本體不同方向延伸，并具有第二疊合區(qū)。第二疊合區(qū)上形成有多個(gè)第二穿孔。第一疊合區(qū)與第二疊合區(qū)疊合，且第一穿孔在第二疊合區(qū)上的投影范圍均在第二穿孔的范圍外。
[0007]本發(fā)明蒸鍍屏蔽的第一本體與第二本體相互疊設(shè)。當(dāng)?shù)谝槐倔w與第二本體相互疊設(shè)時(shí)，重疊的部分因第一穿孔及第二穿孔而形成有孔。
[0008]本發(fā)明蒸鍍屏蔽的第一本體與第二本體分別形成有第一穿孔及第二穿孔，且第一本體與第二本體相互疊設(shè)，其中第一本體與第二本體相互疊設(shè)時(shí)以其形成有第一穿孔及第二穿孔的部分相疊而疊設(shè)。第一穿孔在第二本體上的投影范圍在第二穿孔的范圍外。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1A所示為現(xiàn)有技術(shù)屏蔽的分解圖；
[0010]圖1B與IC所示分別為現(xiàn)有技術(shù)屏蔽的俯視圖與側(cè)視圖；
[0011]圖2A?2B所示為本發(fā)明蒸鍍屏蔽的實(shí)施例的分解圖；
[0012]圖3A與3B所示分別為本發(fā)明蒸鍍屏蔽的實(shí)施例的立體圖與俯視圖；
[0013]圖3C所示為圖3A?3B所示實(shí)施例的剖視圖；
[0014]圖4所示為液體于本發(fā)明蒸鍍屏蔽流動(dòng)的示意圖；
[0015]圖5?7與8A?8B所示為本發(fā)明蒸鍍屏蔽其它實(shí)施例的示意圖；
[0016]圖9A?9B所示為本發(fā)明顯示蒸鍍屏蔽的使用例的示意圖；
[0017]圖10所示為本發(fā)明蒸鍍屏蔽其它實(shí)施例的分解圖；以及
[0018]圖11所示為圖10所示實(shí)施例的使用例的示意圖。
[0019][本發(fā)明]
[0020]1UOn蒸鍍屏蔽
[0021]100、100a、100b、10c 第一本體
[0022]110 第一本體
[0023]120 開孔
[0024]150第一疊合區(qū)
[0025]180 第一穿孔
[0026]200,200a,200b,200c 第二本體
[0027]220 第二本體
[0028]250第二疊合區(qū)
[0029]280 第二穿孔
[0030]500 框體
[0031]510支撐臺(tái)
[0032]520框本體
[0033]G 間隙
[0034]D 孔徑
[0035]d 距離
[0036]S 基板
[0037]C蒸鍍?cè)?br> [0038][習(xí)知]
[0039]810上部片體
[0040]820下部片體
[0041]900 框架
[0042]90 屏蔽
[0043]M成膜區(qū)域
[0044]A相疊的部分
[0045]g 間隙

【具體實(shí)施方式】
[0046]本發(fā)明提供一種蒸鍍屏蔽，供使用于具有一蒸鍍?cè)吹恼翦冎瞥讨?。透過蒸鍍制程，舉例來說，可于基材表面形成膜層。較佳而言，本發(fā)明的蒸鍍屏蔽可在有機(jī)發(fā)光顯示器(Organic Light Emitting Display, OLED，或稱有機(jī)電激發(fā)光二極管(Organic LightEmitting Display))的成膜/蒸鍍制程中，用于在基材的特定區(qū)域上形成有機(jī)發(fā)光層。該特定區(qū)域的選擇例如可以為顯示面板的顯示區(qū)或形成像素的區(qū)域。蒸鍍?cè)闯蚧遽尦稣翦儾牧?，例如汽化的有機(jī)分子，蒸鍍材料穿過蒸鍍屏蔽以在基材上形成圖案化或限定區(qū)域的有機(jī)發(fā)光層。
[0047]每完成蒸鍍制程，蒸鍍屏蔽經(jīng)清潔(以例如清洗設(shè)備清潔)以除去附著其上的蒸鍍材料，并經(jīng)干燥以備下次蒸鍍之用。本發(fā)明的蒸鍍屏蔽藉其本身的結(jié)構(gòu)則獲得更良好的清潔成果。
[0048]如圖2A所示實(shí)施例，蒸鍍屏蔽10包含第一本體100與第二本體200，其中第一本體100具有第一疊合區(qū)150，第二本體200具有第二疊合區(qū)250。第一疊合區(qū)150上形成有多個(gè)第一穿孔180，第二疊合區(qū)250上形成有多個(gè)第二穿孔280。在此較佳實(shí)施例中，第一本體100與第二本體200具體為具有兩個(gè)具不同延伸方向的本體，且較佳為長(zhǎng)條狀金屬片。該些金屬片上形成有多個(gè)第一穿孔180或多個(gè)第二穿孔280。因此，第一疊合區(qū)150或可視為作為第一本體100的金屬片上形成有該些第一穿孔180的區(qū)域，第二疊合區(qū)250則可視為作為第二本體200的金屬片上形成有該些第二穿孔280的區(qū)域。多個(gè)第一穿孔180或多個(gè)第二穿孔280較佳集中分布于第一本體100或第二本體200上；其中可集中分布于第一本體100或第二本體200上一或多個(gè)區(qū)域而形成一或多個(gè)第一疊合區(qū)150或第二疊合區(qū)250。當(dāng)?shù)谝槐倔w100與第二本體200相組合，第一本體100具有至少一第一疊合區(qū)150與第二本體200的至少一第二疊合區(qū)250相互疊合。
[0049]另一方面，第一穿孔180或第二穿孔280的穿孔大小或稱開口面積。多個(gè)第一穿孔180或第二穿孔280的開口面積的總合，或稱為總開口面積。穿孔大小、數(shù)量、甚至形狀可決定總開口面積。
[0050]如圖3A所示，蒸鍍屏蔽10內(nèi)相互組合的第一本體100及第二本體200較佳朝不同方向延伸，并較佳圍構(gòu)成一幾何范圍。舉例來說，三個(gè)各朝不同方向延伸的第一本體100及第二本體200可構(gòu)成三角形框架且圍成三角形范圍；或者，二個(gè)相互間隔且朝相同方向延伸的第一本體100與二個(gè)相互間隔且垂直第一本體100延伸的第二本體200構(gòu)成矩形框架且圍成矩形范圍；或者，二個(gè)相互間隔且朝相同方向延伸的第一本體100與三個(gè)相互間隔且垂直第一本體100延伸的第二本體200構(gòu)成T形框架且圍成兩個(gè)矩形范圍，如圖3A所示。當(dāng)進(jìn)行蒸鍍時(shí)，基材裸露的部分與框架所圍成范圍相當(dāng)；換言之，該框架界定基材的成膜區(qū)域而于此鍍上材料。如圖3A所示，當(dāng)?shù)谝槐倔w100與第二本體200相組合，第一疊合區(qū)150與第二疊合區(qū)250較佳相互疊合。此時(shí)，第一本體100與第二本體200疊設(shè)且第一疊合區(qū)150與第二疊合區(qū)250疊合時(shí)，第一穿孔180投影于第二疊合區(qū)250時(shí)落在第二穿孔280之外的范圍，第二穿孔280投影于第一疊合區(qū)150時(shí)落在第一穿孔180之外的范圍。換句話說，在第一本體100與第二本體200的相疊的部分(即疊合區(qū)150/250)中，第一穿孔180與第二穿孔280的分布會(huì)彼此錯(cuò)開，以致于第一疊合區(qū)150與第二疊合區(qū)250重疊時(shí)第一穿孔180與第二穿孔280不會(huì)直接連通，故第一穿孔180與第二穿孔280因第一本體100或第二本體200的遮擋而不使該相疊的部分因此具有穿孔貫穿疊合區(qū)150/250的相反兩側(cè)表面。
[0051]以圖2B與圖3A?3C所示實(shí)施例為例，在第一本體100的第一疊合區(qū)150內(nèi)可形成相互間隔的多個(gè)第一穿孔180，第二本體200的第二疊合區(qū)250亦形成相互間隔的多個(gè)第二穿孔280，且這些第二穿孔280與這些第一穿孔180錯(cuò)位。錯(cuò)開的程度較佳是大于第一穿孔180或第二穿孔280的孔徑。以圖3C所示說明，相鄰穿孔，如相鄰第一穿孔180與第二穿孔280錯(cuò)開的距離D大于第一穿孔180或第二穿孔280孔徑d ;其中距離D亦相當(dāng)于第一穿孔180 (或第二穿孔280)以及與該第一穿孔180 (或第二穿孔280)最接近的第二穿孔280 (或第一穿孔180)的距離。該距離又相當(dāng)于例如第一穿孔180中心至相鄰第二穿孔280中心的長(zhǎng)度，或相當(dāng)于第一穿孔180右側(cè)邊界至相鄰第二穿孔280右側(cè)邊界的長(zhǎng)度。進(jìn)一步而言，該些第一穿孔180與第二穿孔280在由第一疊合區(qū)150及第二疊合區(qū)250重疊形成的區(qū)域150/250中錯(cuò)位，且第一穿孔180在第二疊合區(qū)250的投影范圍落在相鄰二第二穿孔280之間，第二穿孔280在第一疊合區(qū)150的投影范圍則落在相鄰二第一穿孔180之間。再者，藉由使錯(cuò)開的距離D大于孔徑d，第一穿孔180在第二疊合區(qū)250的投影范圍與第二穿孔280的范圍較佳不重疊。如圖3B及其依據(jù)A-A剖線的剖視圖3C所示，當(dāng)俯視蒸鍍屏蔽10，例如俯視第二本體200相對(duì)位于第一本體100上方的蒸鍍屏蔽10時(shí)，可見到第二疊合區(qū)250中的第二穿孔280，并透過第二穿孔280見到下方部分的第一本體100。第一本體100部分自第二穿孔280露出的部分的兩旁有第一穿孔180 ;第一穿孔180為第二本體200所遮蓋(在圖3B放大圖中以虛線表示)。反之，當(dāng)仰視遮蒸鍍屏蔽10時(shí)，可見到第一疊合區(qū)150中的第一穿孔180，并透過第一穿孔180見到上方部分的第二本體200。
[0052]以圖2B與圖3A?3C所示實(shí)施例為例。在設(shè)計(jì)蒸鍍屏蔽10的階段，可知第一疊合區(qū)150、第二疊合區(qū)250或第一疊合區(qū)與第二疊合區(qū)重疊的區(qū)域150/250大致為方形。此時(shí)，設(shè)計(jì)時(shí)并可于該重疊區(qū)域內(nèi)劃分25個(gè)方形區(qū)域，如圖2B所示，并依該些方形區(qū)域于第一疊合區(qū)150及第二疊合區(qū)250交錯(cuò)形成第一穿孔180及第二穿孔280。例如在奇數(shù)的方形區(qū)域(如第二疊合區(qū)250第一列或第一行的第1、第3、第5格)形成第二穿孔280，并在偶數(shù)的方形區(qū)域(如第一疊合區(qū)150內(nèi)第一列或第一行的第2與第4格)形成第一穿孔180，藉以使第一穿孔180及第二穿孔280于第一疊合區(qū)與第二疊合區(qū)重疊的區(qū)域150/250交錯(cuò)分布；其中所述第一疊合區(qū)150內(nèi)的第一列或第一行與第二疊合區(qū)250的第一列或第一行對(duì)應(yīng)，當(dāng)?shù)谝槐倔w100與第二本體200相組合，且該第一疊合區(qū)150與該第二疊合區(qū)250相互疊合時(shí)，第一疊合區(qū)150內(nèi)的第一列(或第一行)相對(duì)位于第二疊合區(qū)250的第一列(或第一行)的上方或下方。換言之，除了設(shè)置在邊緣位置的之外，其它每一第一穿孔180 (或說第一穿孔180在第二疊合區(qū)的投影范圍)均由多個(gè)第二穿孔280所圍繞；反之亦然。
[0053]更進(jìn)一步來說，疊設(shè)的第一本體與第二本體于第一疊合區(qū)150及第二疊合區(qū)250之間形成有間隙G。以圖2B與3A?3B所示實(shí)施例為例。間隙G可為第一本體100與第二本體200之間堆棧時(shí)，沒有加以如黏接或焊接而自然產(chǎn)生，且較佳為微小的縫隙。間隙G并連通第一穿孔180及第二穿孔280。如此，當(dāng)?shù)谝槐倔w100或第二本體200的表面有液體存在，液體可能滲入第一穿孔180或第二穿孔280、并由于毛細(xì)現(xiàn)象而通過間隙G抵達(dá)另一側(cè)，亦即由第一本體100流到第二本體200及第二穿孔280，或由第二本體200流到第一本體100及第一穿孔180。換句話說，本實(shí)施例的蒸鍍屏蔽藉其本身的結(jié)構(gòu)如第一本體100及第二本體200，促使液體于第一本體100及第二本體200重疊部分的流通及分配。如圖4所示，當(dāng)液體為洗劑，本實(shí)施例的蒸鍍屏蔽藉此結(jié)構(gòu)讓洗劑能流通至第一本體100及第二本體200重疊部分而達(dá)到更良好的清潔成果，并藉由第一穿孔180及第二穿孔280的配置讓洗劑自第一穿孔180/第二穿孔280排出，以避免洗劑殘留于間隙G中。在清潔之后，本發(fā)明的蒸鍍屏蔽亦可因重疊區(qū)域的通透性而具有較短的干燥時(shí)間，蒸鍍屏蔽的使用率因此提聞。
[0054]在其它實(shí)施例中，第一穿孔180或第二穿孔280可為其它形狀如矩形、圓形。穿孔形狀的選擇可以其成形的效率決定，例如形成圓形穿孔較方便，則選擇圓形為第一穿孔180及/或第二穿孔280的形狀。再者，第一穿孔180或第二穿孔280的(總)開口面積可改變。如圖5所示，第一本體10a及第二本體200a錯(cuò)位形成矩形的第一穿孔180a及第二穿孔280a，第一穿孔180a或第二穿孔280a的開口面積并因其形狀與分布方式而與前述實(shí)施例有差別。如圖6所示，第一本體10b及第二本體200b交錯(cuò)形成圓形第一穿孔180b及第二穿孔280b，第一穿孔180b或第二穿孔280b的開口面積并因其形狀與分布方式而與前述實(shí)施例有差別。相較于圖5?7所示實(shí)施例，在圖3B?3C所示實(shí)施例中，第一穿孔180/第二穿孔280具有較大的開口面積，且疊合區(qū)150/250的孔(由第一穿孔及第二穿孔而形成)亦形成較大的總開口面積。在本發(fā)明實(shí)施例中，圖3B?3C的開口的長(zhǎng)*寬可例如為5單位*5單位。反過來說,相較于圖3B?3C所示實(shí)施例,在圖5?7所示實(shí)施例中(圖5與6的剖視圖可同時(shí)參照?qǐng)D7)，第一穿孔180a/第二穿孔280a以及第一穿孔180b/第二穿孔280b于第一疊合區(qū)150/第二疊合區(qū)250相較于圖3B?3C的第一穿孔180/第二穿孔280具有較小的開口面積；不但如此，重疊的部分150/250的孔(由第一穿孔及第二穿孔而形成)形成較小的總開口面積，其中圖5?7的開口的長(zhǎng)*寬可例如為6單位*4單位。一般而言，重疊的部分150/250的總開口面積越大，則重疊的部分150/250中實(shí)質(zhì)有第一本體部分及第二本體部分相疊的面積越?。淮送?，大的總開口面積及小的相疊的面積原則上反映較好的通透性(如液體于重疊的部分150/250較好的通透性)。較佳而言，第一穿孔180的總開口面積及第二穿孔280的總開口面積之和小于第一疊合區(qū)180面積或第二疊合區(qū)250面積的90%。
[0055]在其它實(shí)施例中，第一穿孔與第二穿孔的各別或總開口面積可不同。如圖8A?8B所示，第一穿孔180c的開口面積小于第二穿孔280c的開口面積。其中第一穿孔及/或第二穿孔的大小或(總)開口面積可依據(jù)蒸鍍屏蔽10與蒸鍍?cè)撮g的位置關(guān)系如第一本體及第二本體與蒸鍍?cè)吹倪h(yuǎn)近來設(shè)計(jì)，以及/或者蒸鍍屏蔽的清洗方式及/或清洗設(shè)備的清洗模式來設(shè)計(jì)。舉例來說，使面朝蒸鍍?cè)碈的第一本體100具有較小的第一穿孔180的大小或(總)開口面積，較佳為第一穿孔180c的大小或(總)開口面積小于第二穿孔280c的大小或(總)開口面積，以減少蒸鍍材料在蒸鍍的過程中附著于第二本體更甚至附著于欲蒸鍍的基板上。圖8A?SB雖將第一本體100繪于下方，然此不限制第一本體100實(shí)際上的位置。
[0056]本發(fā)明的第一本體及第二本體較佳與一支撐件連接。如圖9A?9B所示，第一本體100與第二本體200可設(shè)置于支撐件，藉此固定其延伸方向及其圍構(gòu)成的幾何范圍，其中支撐件較佳為框體500?？蝮w500并可供欲蒸鍍的基材如玻璃基板S設(shè)置。
[0057]如圖9A?9B所示實(shí)施例，二個(gè)第一本體100平行延伸于y軸方向上，三個(gè)第二本體200平行延伸于X軸方向上。二個(gè)第一本體100與三個(gè)第二本體200于z軸上的位置不同。舉例來說，第二本體200位于第一本體100上，且各第二本體200與下方二個(gè)第一本體100疊設(shè)。每一第一本體100并具有三個(gè)第一疊合區(qū)150分別疊合于三個(gè)第二本體200各自的第二疊合區(qū)250。另一第一本體100亦如此。因此，該些第一本體100及第二本體200構(gòu)成類T形框架，并圍構(gòu)成二矩形范圍。
[0058]再者，第一本體100、第二本體200與框體500更于z軸向上依序組合，但不以此為限，例如第一本體100及第二本體200的順序可調(diào)換。第一本體100、第二本體200與框體500于圖示中的上下關(guān)系不限制實(shí)際操作時(shí)三者在空間中的相對(duì)位置。在此實(shí)施例中，框體500行經(jīng)第一本體100及第二本體200的端緣，且第一本體100或第二本體200以相對(duì)兩端連接于框體500的相對(duì)兩側(cè)。再者，第一本體100及第二本體200可以焊接如雷射點(diǎn)焊的方式固設(shè)于框體500。另外，框體500可以具有支撐臺(tái)(圖未示)?；錝設(shè)置于支撐臺(tái)上。較佳而言，基板S欲蒸鍍的一面較佳背向支撐臺(tái)，其中第一本體100及第二本體200面向基板500欲蒸鍍的一面而組合于框體500上，并且遮蔽基板S ;換句話說，基板500夾設(shè)于第一本體100與第二本體200 (或謂蒸鍍屏蔽)及框體500間。此時(shí)，第一本體與第二本體中遠(yuǎn)離支撐臺(tái)510的本體定義為較接近蒸鍍?cè)吹谋倔w，例如第一本體100為接近蒸鍍?cè)吹谋倔w；在進(jìn)行蒸鍍時(shí)，第一本體100的朝向蒸鍍?cè)吹囊幻婕暗诙倔w200朝向蒸鍍?cè)辞覜]有與第一本體100相疊的部分，即沒有受到遮蔽的部分直接收受蒸鍍材料。
[0059]舉例來說，基板S可為玻璃基板。玻璃基板設(shè)置于框體500與第一本體100及第二本體200 (或謂蒸鍍屏蔽)間，并有類T形框架圍構(gòu)成的二矩形范圍界定其成膜區(qū)域。每一矩形范圍，即成膜區(qū)域的尺寸可為例如65吋面板的1850mm*1500mm的大小。當(dāng)蒸鍍完成，G6大小的成品上將有兩個(gè)矩形膜層如有機(jī)膜層。
[0060]在其它實(shí)施例中，基板S可藉由例如吸盤裝置，在蒸鍍室中，透過基板S的非蒸鍍面將其固定于蒸鍍屏蔽上方。蒸鍍?cè)赐ǔＮ挥谡翦兤帘蜗路?，并朝向蒸鍍屏蔽及基板S的方向進(jìn)行蒸鍍。蒸鍍屏蔽并非一定緊貼于基板S ;換言之，蒸鍍屏蔽可與基板S間隔設(shè)置。本發(fā)明的蒸鍍屏蔽藉其本身的結(jié)構(gòu)可在短時(shí)間內(nèi)獲得良好的清潔成果，因此可迅速再投入蒸鍍制程并協(xié)助提高成品良率。
[0061]圖10所示為本發(fā)明蒸鍍屏蔽的另一實(shí)施例。蒸鍍屏蔽1n亦包含第一本體110與第二本體220，其中第一本體110具有第一疊合區(qū)150，第二本體220具有第二疊合區(qū)250。第一疊合區(qū)150上形成有多個(gè)第一穿孔180，第二疊合區(qū)250上形成有多個(gè)第二穿孔280。此外，第一本體110于第一疊合區(qū)150之外的部分進(jìn)一步形成有開孔120，提供界定成膜區(qū)域。在圖10所示實(shí)施例中，第一本體110形成有多個(gè)開孔120，其中該些開孔120可例如以一定規(guī)則排列而占有第一本體110 —區(qū)域。再者，該些開孔120的尺寸可相當(dāng)于像素大小，并以矩陣式排列。如圖10所示，第一本體110上形成多個(gè)開孔120的區(qū)域形成一網(wǎng)格狀結(jié)構(gòu)。因此，第一本體110的使用因其界定成膜區(qū)域的結(jié)構(gòu)，第一本體110提供一種蒸鍍的方式，在基材上形成與像素對(duì)應(yīng)的有機(jī)層。
[0062]另一方面，第二本體220可具有多個(gè)第二疊合區(qū)250。如圖10所示，該些第二疊合區(qū)250沿第二本體220的延伸方向排列；或者，可謂第二本體220具有一沿其延伸方向延伸的疊合區(qū)250’。
[0063]有關(guān)第一本體110與第二本體220的使用，如圖10?11所示使用例，多個(gè)第一本體110平行延伸于y軸向上，且沿X軸向并排。第一本體110上近兩端以及中間的第一疊合區(qū)150因此大致對(duì)齊，且構(gòu)成于該并排方向，即X軸向上延伸的疊合區(qū)150’。另一方面，第二本體220具有在X軸向上延伸的疊合區(qū)250’。并排的多個(gè)第一本體110可疊設(shè)于第二本體220，且疊合區(qū)150’與疊合區(qū)250’相互疊合，藉此疊合區(qū)150’ /250’具有孔。如上所述，此為促使液體于第一本體110及第二本體220本身的重疊部分的流通及分配。當(dāng)液體為洗劑，本發(fā)明的蒸鍍屏蔽藉此結(jié)構(gòu)獲得更良好的清潔成果。在清潔之后，本發(fā)明的蒸鍍屏蔽可因重疊區(qū)域的通透性而具有較短的干燥時(shí)間，蒸鍍屏蔽的使用性因此提高。
[0064]本發(fā)明已由上述相關(guān)實(shí)施例加以描述，然而上述實(shí)施例僅為實(shí)施本發(fā)明的范例。必需指出的是，已揭露的實(shí)施例并未限制本發(fā)明的范圍。相反地，包含于權(quán)利要求范圍的精神及范圍的修改及均等設(shè)置均包含于本發(fā)明的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種蒸鍍屏蔽，供使用于具有一蒸鍍?cè)吹恼翦冎瞥讨?，其特征在于，包? 一第一本體，具有一第一疊合區(qū)；其中，該第一疊合區(qū)上形成有多個(gè)第一穿孔；以及 一第二本體，與該第一本體不同方向延伸，并具有一第二疊合區(qū)；其中，該第二疊合區(qū)上形成有多個(gè)第二穿孔； 其中，該第一疊合區(qū)與該第二疊合區(qū)疊合，且該第一穿孔在該第二疊合區(qū)上的投影范圍均在該第二穿孔的范圍外。
2.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍屏蔽，其特征在于，該第一穿孔在該第二疊合區(qū)上的投影范圍夾于相鄰二該第二穿孔之間。
3.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍屏蔽，其特征在于，該第一疊合區(qū)及該第二疊合區(qū)間夾有一間隙，該間隙分別連通該第一穿孔及該第二穿孔。
4.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍屏蔽，其特征在于，該第一穿孔及該第二穿孔中至少其一為圓形。
5.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍屏蔽，其特征在于，該第一本體較該第二本體接近該蒸鍍?cè)?，該第一穿孔的開口面積小于該第二穿孔的開口面積。
6.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍屏蔽，其特征在于，該些第一穿孔的總開口面積及該些第二穿孔的總開口面積的加總小于該第一疊合區(qū)面積的90%。
【文檔編號(hào)】C23C14/24GK104278233SQ201410598749
【公開日】2015年1月14日 申請(qǐng)日期:2014年10月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月13日
【發(fā)明者】陳冠吉, 林子傑, 郭雅佩, 陳之磊 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司