一種蒸鍍裝置以及蒸鍍方法
【專利摘要】本發(fā)明的實(shí)施例提供一種蒸鍍裝置以及蒸鍍方法，涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，可控制有機(jī)蒸汽的流向，從而提高有機(jī)材料的利用率，同時(shí)還能防止有機(jī)材料四處擴(kuò)散引起的腔室污染，從而減少擋板的清洗次數(shù)，節(jié)約成本。所述蒸鍍裝置包括蒸發(fā)源、加電系統(tǒng)和電磁控制系統(tǒng)；所述蒸發(fā)源用于提供有機(jī)蒸汽；所述加電系統(tǒng)用于使所述有機(jī)蒸汽帶電；所述電磁控制系統(tǒng)用于控制帶電的所述有機(jī)蒸汽的速率和流向，并選擇進(jìn)入預(yù)定區(qū)域并向預(yù)定方向運(yùn)動(dòng)的所述有機(jī)蒸汽沉積至基板表面。用于蒸鍍裝置的制造。
【專利說(shuō)明】一種蒸鍍裝置以及蒸鍍方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種蒸鍍裝置以及蒸鍍方法。

【背景技術(shù)】
[0002]有機(jī)電致發(fā)光器件(Organic Light Emitting D1de,簡(jiǎn)稱0LED)具有響應(yīng)速度快、色彩絢麗、溫度特性好、寬視角、低功耗、適用于撓曲性面板等諸多優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)成為新一代平面顯示裝置的重點(diǎn)發(fā)展方向之一，受到了日益廣泛的關(guān)注。
[0003]所述OLED顯示器件的基本結(jié)構(gòu)主要包括陽(yáng)極和陰極，以及二者之間的有機(jī)材料功能層；其中，所述有機(jī)材料功能層為所述OLED顯示器件的核心部分，其制作方法包括噴墨打印、旋涂和蒸鍍等。受限于現(xiàn)有的設(shè)備和工藝，通過(guò)噴墨打印法或者旋涂法制作所述有機(jī)材料功能層無(wú)法應(yīng)用于量產(chǎn)，目前能夠?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)的方法僅有蒸鍍法。
[0004]現(xiàn)有的蒸鍍裝置的結(jié)構(gòu)如圖1所示，主要包括蒸發(fā)源10和噴射系統(tǒng)20 ;其中，所述蒸發(fā)源10用于提供有機(jī)蒸汽，所述噴射系統(tǒng)20用于將所述有機(jī)蒸汽噴射到基板70表面以形成有機(jī)膜層。但是，采用蒸鍍法制作所述有機(jī)材料功能層時(shí)，所述蒸發(fā)源10產(chǎn)生的有機(jī)蒸汽彌散整個(gè)腔體，這樣便會(huì)導(dǎo)致材料的利用率較低；與此同時(shí)，所述有機(jī)蒸汽的自由擴(kuò)散還會(huì)造成對(duì)腔體的嚴(yán)重污染，需要頻繁的清洗擋板，由此便會(huì)導(dǎo)致成本的增加。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的實(shí)施例提供一種蒸鍍裝置以及蒸鍍方法，可控制有機(jī)蒸汽的流向，從而提高有機(jī)材料的利用率，同時(shí)還能防止有機(jī)材料四處擴(kuò)散引起的腔室污染，從而減少擋板的清洗次數(shù)，節(jié)約成本。
[0006]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案:
[0007]—方面，提供一種蒸鍍裝置，包括蒸發(fā)源、加電系統(tǒng)和電磁控制系統(tǒng)；所述蒸發(fā)源用于提供有機(jī)蒸汽；所述加電系統(tǒng)用于使所述有機(jī)蒸汽帶電；所述電磁控制系統(tǒng)用于控制帶電的所述有機(jī)蒸汽的速率和流向，并選擇進(jìn)入預(yù)定區(qū)域并向預(yù)定方向運(yùn)動(dòng)的所述有機(jī)蒸汽沉積至基板表面。
[0008]優(yōu)選的，所述電磁控制系統(tǒng)包括靠近所述加電系統(tǒng)一側(cè)的電場(chǎng)區(qū)域和遠(yuǎn)離所述加電系統(tǒng)一側(cè)的磁場(chǎng)區(qū)域；在所述電場(chǎng)區(qū)域存在電場(chǎng)方向?yàn)榈谝环较虻碾妶?chǎng)，以使所述有機(jī)蒸汽進(jìn)行加速；在所述磁場(chǎng)區(qū)域存在磁場(chǎng)方向?yàn)榈诙较虻拇艌?chǎng)，以使所述有機(jī)蒸汽向第三方向偏轉(zhuǎn)；其中，所述第一方向?yàn)樗稣舭l(fā)源的蒸發(fā)方向或所述蒸發(fā)方向的反方向，所述第二方向與所述第一方向相互垂直，所述第三方向與所述第一方向和所述第二方向均垂直。
[0009]進(jìn)一步優(yōu)選的，所述電磁控制系統(tǒng)還包括對(duì)應(yīng)于所述磁場(chǎng)區(qū)域的篩選孔；其中，進(jìn)入所述磁場(chǎng)區(qū)域的所述有機(jī)蒸汽向所述篩選孔所在的一側(cè)偏轉(zhuǎn)。
[0010]可選的，所述蒸鍍裝置還包括位于所述篩選孔兩側(cè)的回收系統(tǒng)。
[0011]可選的，所述蒸鍍裝置還包括用于驅(qū)動(dòng)和控制所述基板與所述篩選孔之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。
[0012]可選的，所述蒸發(fā)源為線性蒸發(fā)源；其中，所述線性蒸發(fā)源包括蒸發(fā)容器和線性加熱源。
[0013]進(jìn)一步可選的，所述蒸鍍裝置還包括位于所述線性蒸發(fā)源的出口位置處或者位于所述篩選孔的出口位置處的晶振器。
[0014]可選的，所述蒸鍍裝置還包括位于所述蒸發(fā)源和所述加電系統(tǒng)之間的噴射系統(tǒng)；其中，所述噴射系統(tǒng)包括多個(gè)相同的噴嘴。
[0015]另一方面，提供一種基于上述的蒸鍍裝置的蒸鍍方法，所述方法包括:加熱蒸發(fā)源以產(chǎn)生有機(jī)蒸汽；通過(guò)加電系統(tǒng)使所述有機(jī)蒸汽帶電；通過(guò)電磁控制系統(tǒng)控制帶電的所述有機(jī)蒸汽的速率和流向，以使進(jìn)入預(yù)定區(qū)域并向預(yù)定方向運(yùn)動(dòng)的所述有機(jī)蒸汽沉積至基板表面。
[0016]優(yōu)選的，所述通過(guò)電磁控制系統(tǒng)控制帶電的所述有機(jī)蒸汽的速率和流向，以使進(jìn)入預(yù)定區(qū)域并向預(yù)定方向運(yùn)動(dòng)的所述有機(jī)蒸汽沉積至基板表面具體包括:帶電的所述有機(jī)蒸汽經(jīng)過(guò)電場(chǎng)方向?yàn)榈谝环较虻碾妶?chǎng)進(jìn)行加速；加速后的所述有機(jī)蒸汽經(jīng)過(guò)磁場(chǎng)方向?yàn)榈诙较虻拇艌?chǎng)向第三方向發(fā)生偏轉(zhuǎn)；偏轉(zhuǎn)后到達(dá)篩選孔的所述有機(jī)蒸汽從所述篩選孔飛出，并沉積至基板表面；其中，所述第一方向?yàn)樗稣舭l(fā)源的蒸發(fā)方向或所述蒸發(fā)方向的反方向，所述第二方向與所述第一方向相互垂直，所述第三方向與所述第一方向和所述第二方向均垂直。
[0017]本發(fā)明的實(shí)施例提供一種蒸鍍裝置以及蒸鍍方法，所述蒸鍍裝置包括蒸發(fā)源、力口電系統(tǒng)和電磁控制系統(tǒng)；所述蒸發(fā)源用于提供有機(jī)蒸汽；所述加電系統(tǒng)用于使所述有機(jī)蒸汽帶電；所述電磁控制系統(tǒng)用于控制帶電的所述有機(jī)蒸汽的速率和流向，并選擇進(jìn)入預(yù)定區(qū)域并向預(yù)定方向運(yùn)動(dòng)的所述有機(jī)蒸汽沉積至基板表面。
[0018]基于此，通過(guò)在所述蒸鍍裝置中設(shè)置所述加電系統(tǒng)和所述電磁控制系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)所述蒸發(fā)源產(chǎn)生的有機(jī)蒸汽的速率和流向的控制，從而使得具有特定能量的所述有機(jī)蒸汽沉積在所述基板表面，形成均勻的膜層。在此基礎(chǔ)上，由于所述有機(jī)蒸汽的速率和流向具有一定的可控性，這樣便可以提高所述有機(jī)材料的利用率，并能有效的防止所述有機(jī)蒸汽中的有機(jī)材料的四處擴(kuò)散引起的腔室污染，從而減少擋板的清洗次數(shù)，節(jié)約成本。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0019]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0020]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的蒸鍍裝置的原理圖；
[0021]圖2為本發(fā)明的實(shí)施例提供的一種蒸鍍裝置的原理圖；
[0022]圖3為本發(fā)明的實(shí)施例提供的一種蒸鍍裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖4為本發(fā)明的實(shí)施例提供的一種蒸鍍方法流程圖。
[0024]附圖標(biāo)記:
[0025]10-蒸發(fā)源；20_噴射系統(tǒng)；30_加電系統(tǒng)；40_電磁控制系統(tǒng)；401_電場(chǎng)區(qū)域；402-磁場(chǎng)區(qū)域；403-篩選孔；50-回收系統(tǒng)；60_晶振器；70_基板。

【具體實(shí)施方式】
[0026]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0027]本發(fā)明的實(shí)施例提供一種蒸鍍裝置，如圖2所示，包括蒸發(fā)源10、加電系統(tǒng)30和電磁控制系統(tǒng)40 ;所述蒸發(fā)源10用于提供有機(jī)蒸汽；所述加電系統(tǒng)30用于使所述有機(jī)蒸汽帶電；所述電磁控制系統(tǒng)40用于控制帶電的所述有機(jī)蒸汽的速率和流向，并選擇進(jìn)入預(yù)定區(qū)域并向預(yù)定方向運(yùn)動(dòng)的所述有機(jī)蒸汽沉積至基板70表面。
[0028]需要說(shuō)明的是，第一，所述蒸發(fā)源10產(chǎn)生的有機(jī)蒸汽具有特定的速率和方向；其中，所述有機(jī)蒸汽的蒸發(fā)方向指向所述加電系統(tǒng)30，所述有機(jī)蒸汽的蒸發(fā)速率可以通過(guò)所述蒸發(fā)源10內(nèi)部的部件進(jìn)行調(diào)節(jié)，以能夠獲得均勻一致的速率為佳。
[0029]第二，所述加電系統(tǒng)30用于使所述有機(jī)蒸汽帶電，以便于通過(guò)所述電磁控制系統(tǒng)40實(shí)現(xiàn)對(duì)所述有機(jī)蒸汽的速率和流向的控制；其中，所述有機(jī)蒸汽可以帶正電或者帶負(fù)電，這里不做具體限定，但需保證所述電磁控制系統(tǒng)40的控制方式與所述有機(jī)蒸汽帶電類型相互適應(yīng)。
[0030]第三，所述電磁控制系統(tǒng)40選擇進(jìn)入預(yù)定區(qū)域并向預(yù)定方向運(yùn)動(dòng)的所述有機(jī)蒸汽沉積至所述基板70的表面主要是為了選擇具有相近特定能量的所述有機(jī)蒸汽沉積在所述基板70的表面，同時(shí)所述基板70需要?jiǎng)蛩俚慕?jīng)過(guò)所述有機(jī)蒸汽噴出的區(qū)域，從而保證成膜的均勻性和結(jié)合強(qiáng)度的穩(wěn)定性。
[0031]本發(fā)明的實(shí)施例提供一種蒸鍍裝置，包括蒸發(fā)源10、加電系統(tǒng)30和電磁控制系統(tǒng)40 ;所述蒸發(fā)源10用于提供有機(jī)蒸汽；所述加電系統(tǒng)30用于使所述有機(jī)蒸汽帶電；所述電磁控制系統(tǒng)40用于控制帶電的所述有機(jī)蒸汽的速率和流向，并選擇進(jìn)入預(yù)定區(qū)域并向預(yù)定方向運(yùn)動(dòng)的所述有機(jī)蒸汽沉積至基板70表面。
[0032]基于此，通過(guò)在所述蒸鍍裝置中設(shè)置所述加電系統(tǒng)30和所述電磁控制系統(tǒng)40，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)所述蒸發(fā)源10產(chǎn)生的有機(jī)蒸汽的速率和流向的控制，從而使得具有特定能量的所述有機(jī)蒸汽沉積在所述基板70表面，形成均勻的膜層。在此基礎(chǔ)上，由于所述有機(jī)蒸汽的速率和流向具有一定的可控性，這樣便可以提高所述有機(jī)材料的利用率，并能有效的防止所述有機(jī)蒸汽中的有機(jī)材料的四處擴(kuò)散引起的腔室污染，從而減少擋板的清洗次數(shù)，節(jié)約成本。
[0033]基于上述，優(yōu)選的，參考圖2所示，所述電磁控制系統(tǒng)40可以包括靠近所述加電系統(tǒng)30 —側(cè)的電場(chǎng)區(qū)域401和遠(yuǎn)離所述加電系統(tǒng)30 —側(cè)的磁場(chǎng)區(qū)域402 ;在所述電場(chǎng)區(qū)域401存在電場(chǎng)方向?yàn)榈谝环较虻碾妶?chǎng)，以使所述有機(jī)蒸汽進(jìn)行加速；在所述磁場(chǎng)區(qū)域402存在磁場(chǎng)方向?yàn)榈诙较虻拇艌?chǎng)，以使所述有機(jī)蒸汽向第三方向偏轉(zhuǎn)。
[0034]其中，所述第一方向可以為所述蒸發(fā)源10的蒸發(fā)方向或者所述蒸發(fā)方向的反方向，所述第二方向與所述第一方向相互垂直，所述第三方向與所述第一方向和所述第二方向均垂直。
[0035]具體的，一方面，所述電場(chǎng)區(qū)域401可以由兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的電極產(chǎn)生，通過(guò)向所述兩個(gè)電極分別施加不同的電壓，便可以產(chǎn)生由一個(gè)電極指向另一個(gè)電極的電場(chǎng)；其中，所形成的電場(chǎng)方向可以根據(jù)所述有機(jī)蒸汽的帶電類型而定，例如當(dāng)所述有機(jī)蒸汽帶正電時(shí)，所述電場(chǎng)方向可以為所述蒸發(fā)源10的蒸發(fā)方向，當(dāng)所述有機(jī)蒸汽帶負(fù)電時(shí)，所述電場(chǎng)方向可以為所述蒸發(fā)源10的蒸發(fā)方向的反方向。另一方面，所述磁場(chǎng)區(qū)域402可以通過(guò)線圈產(chǎn)生；在此基礎(chǔ)上，所述有機(jī)蒸汽便可以根據(jù)所述磁場(chǎng)的方向和所述有機(jī)蒸汽的帶電類型而發(fā)生相應(yīng)的偏轉(zhuǎn)，其偏轉(zhuǎn)方向即為所述第三方向。
[0036]這里，所述有機(jī)蒸汽的偏轉(zhuǎn)方向可以根據(jù)左手定則進(jìn)行判斷；S卩，磁感線垂直穿過(guò)掌心，四指指向正電荷的運(yùn)動(dòng)方向或者負(fù)電荷的運(yùn)動(dòng)方向的反方向，大拇指的方向即為電荷在所述磁場(chǎng)作用下的偏轉(zhuǎn)方向。由此可知，當(dāng)所述第一方向和所述第二方向確定以后，所述第三方向也隨之確定。
[0037]需要說(shuō)明的是，在上述實(shí)施例中，所述電場(chǎng)區(qū)域401靠近所述加電系統(tǒng)30，所述磁場(chǎng)區(qū)域402遠(yuǎn)離所述加電系統(tǒng)30，在此情況下，所述有機(jī)蒸汽可以先進(jìn)行加速后實(shí)現(xiàn)偏轉(zhuǎn)；但本發(fā)明的實(shí)施例并不限于此，其也可以是所述磁場(chǎng)區(qū)域402靠近所述加電系統(tǒng)30，所述電場(chǎng)區(qū)域401遠(yuǎn)離所述加電系統(tǒng)30，在此情況下，所述有機(jī)蒸汽可以先實(shí)現(xiàn)偏轉(zhuǎn)后進(jìn)行加速。
[0038]在此基礎(chǔ)上，參考圖2所示，所述電磁控制系統(tǒng)40還可以包括對(duì)應(yīng)于所述磁場(chǎng)區(qū)域的篩選孔403 ;其中，進(jìn)入所述磁場(chǎng)區(qū)域402的所述有機(jī)蒸汽向所述篩選孔403所在的一側(cè)偏轉(zhuǎn)。
[0039]下面提供一個(gè)具體的實(shí)施例對(duì)所述有機(jī)蒸汽的運(yùn)動(dòng)路線進(jìn)行說(shuō)明；如圖3所示，在所述有機(jī)蒸汽經(jīng)過(guò)所述加電系統(tǒng)30之后帶正電的情況下，所述電場(chǎng)區(qū)域401的電場(chǎng)方向(即所述第一方向)由腔體的下側(cè)指向上側(cè)，所述磁場(chǎng)區(qū)域402的磁場(chǎng)方向(即所述第二方向)例如由腔體的后側(cè)指向前側(cè)，所述篩選孔403位于所述磁場(chǎng)區(qū)域402右側(cè)的相應(yīng)位置處；此時(shí)，所述有機(jī)蒸汽進(jìn)入所述電場(chǎng)區(qū)域401之后，在電場(chǎng)的作用下便會(huì)進(jìn)行加速，然后進(jìn)入所述磁場(chǎng)區(qū)域402，在磁場(chǎng)的作用下向腔體的右側(cè)偏轉(zhuǎn)，最終從所述篩選孔403中飛出，從而沉積在所述基板70的表面。在所述有機(jī)蒸汽經(jīng)過(guò)所述加電系統(tǒng)30之后帶負(fù)電的情況下，可以改變所述電場(chǎng)區(qū)域的電場(chǎng)方向(即所述第一方向)使其由腔體的上側(cè)指向下偵牝同時(shí)將所述篩選孔403設(shè)置在所述磁場(chǎng)區(qū)域左側(cè)的相應(yīng)位置處即可，這里不再贅述。
[0040]進(jìn)一步的，所述蒸鍍裝置還可以包括位于所述篩選孔403兩側(cè)的回收系統(tǒng)50。
[0041]由于所述蒸發(fā)源10產(chǎn)生的所述有機(jī)蒸汽的速率不完全相同，因此通過(guò)所述加電系統(tǒng)30進(jìn)行加電的所述有機(jī)蒸汽在經(jīng)過(guò)電場(chǎng)加速之后的速率也不相同，具有不同速率的所述有機(jī)蒸汽經(jīng)過(guò)磁場(chǎng)之后發(fā)生偏轉(zhuǎn)的角度必然隨之不同。在此基礎(chǔ)上，僅有與所述篩選孔403的位置對(duì)應(yīng)并且具有特定能量的所述有機(jī)蒸汽可以噴出至所述基板70的表面，而其它所述有機(jī)蒸汽則會(huì)發(fā)生不同程度的偏轉(zhuǎn)，其中偏轉(zhuǎn)角度不足的所述有機(jī)蒸汽可能附著在腔體內(nèi)部的擋板上，偏轉(zhuǎn)角度過(guò)大的所述有機(jī)蒸汽可能重新進(jìn)入電場(chǎng)區(qū)域?；诖耍捎谒鲇袡C(jī)蒸汽大多集中在能夠從所述篩選孔403噴出的區(qū)域附近，其存在一個(gè)相近的能量，因此未能噴出的所述有機(jī)蒸汽便會(huì)集中落入所述篩選孔403兩側(cè)的區(qū)域；通過(guò)將所述回收系統(tǒng)50設(shè)置在此區(qū)域，便可以最大程度的回收所述有機(jī)蒸汽中的有機(jī)材料，并可以進(jìn)一步提純而再次利用，從而提高所述有機(jī)材料的利用率，節(jié)約成本。
[0042]進(jìn)一步的，所述蒸鍍裝置還可以包括用于驅(qū)動(dòng)和控制所述基板70與所述篩選孔403之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。
[0043]這里，通過(guò)所述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)可以控制所述基板70的運(yùn)動(dòng)速度和方向，以使所述基板70勻速的經(jīng)過(guò)所述篩選孔403對(duì)應(yīng)的區(qū)域，從而在所述基板70的表面形成均勻的膜層。
[0044]在此基礎(chǔ)上，由于整個(gè)蒸鍍過(guò)程中僅需移動(dòng)所述基板70以控制所述基板70與所述篩選孔403之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，即可實(shí)現(xiàn)所述有機(jī)材料的蒸鍍，因此在所述蒸發(fā)源10的體積一定的情況下，無(wú)需設(shè)置與所述基板70面積相同的空間來(lái)容納所述基板70，從而可以顯著的降低所述蒸鍍裝置的占用空間。此外，由于所述基板70位于所述篩選孔403對(duì)應(yīng)的出口位置處，而非直接設(shè)置在所述蒸發(fā)源10的上方，因此還可以有效的降低熱輻射。
[0045]為了提高蒸鍍效率以及對(duì)所述有機(jī)材料的利用率，本發(fā)明的實(shí)施例中，所述蒸發(fā)源10優(yōu)選采用線性蒸發(fā)源；其中，所述線性蒸發(fā)源可以包括蒸發(fā)容器和線性加熱源。
[0046]這里，所謂線性即所述蒸發(fā)容器在所述線性加熱源提供熱能的情況下產(chǎn)生線性的有機(jī)蒸汽，從而實(shí)現(xiàn)所述有機(jī)材料的線性蒸發(fā)。
[0047]具體的，所述蒸發(fā)容器可以采用不銹鋼材料制作的坩堝，在其內(nèi)部可以容納所需的有機(jī)材料；所述線性加熱源可以由若干線圈組成，利用設(shè)置在所述蒸發(fā)容器外部的交流電源對(duì)所述線圈施加預(yù)定頻率的交流電壓，從而準(zhǔn)確地控制加熱溫度，保證所述有機(jī)材料均勻受熱。
[0048]在此基礎(chǔ)上，所述蒸鍍裝置還可以包括位于所述蒸發(fā)源10的出口位置處或者位于所述篩選孔403的出口位置處的晶振器60。
[0049]其中，所述晶振器60用于穩(wěn)定所述有機(jī)蒸汽的蒸發(fā)速率。
[0050]可選的，所述蒸鍍裝置還可以包括位于所述蒸發(fā)源10和所述加電系統(tǒng)30之間的噴射系統(tǒng)20 ;其中，所述噴射系統(tǒng)20可以包括多個(gè)相同的噴嘴。
[0051 ] 這樣，通過(guò)在所述蒸發(fā)源10和所述加電系統(tǒng)30之間設(shè)置所述噴射系統(tǒng)20，可以使所形成的有機(jī)蒸汽相對(duì)穩(wěn)定集中的進(jìn)入所述加電裝置30，并且還可以通過(guò)調(diào)節(jié)每個(gè)所述噴嘴的壓力以使所述有機(jī)蒸汽勻速的進(jìn)入所述加電系統(tǒng)30。
[0052]本發(fā)明的實(shí)施例還提供一種基于上述蒸鍍裝置的蒸鍍方法，如圖4所示，所述方法可以包括:
[0053]S1、加熱所述蒸發(fā)源10以使其產(chǎn)生有機(jī)蒸汽。
[0054]這里可以通過(guò)晶振片60來(lái)穩(wěn)定所述有機(jī)蒸汽的速率。
[0055]S2、通過(guò)所述加電系統(tǒng)30使所述有機(jī)蒸汽帶電。
[0056]其中，所述有機(jī)蒸汽可以帶正電或者帶負(fù)電。
[0057]S3、通過(guò)所述電磁控制系統(tǒng)40控制帶電的所述有機(jī)蒸汽的速率和流向，以使進(jìn)入預(yù)定區(qū)域并向預(yù)定方向運(yùn)動(dòng)的所述有機(jī)蒸汽沉積至所述基板70的表面。
[0058]具體的，帶電的所述有機(jī)蒸汽可以經(jīng)過(guò)電場(chǎng)方向?yàn)榈谝环较虻碾妶?chǎng)進(jìn)行加速；力口速后的所述有機(jī)蒸汽可以經(jīng)過(guò)磁場(chǎng)方向?yàn)榈诙较虻拇艌?chǎng)向第三方向發(fā)生偏轉(zhuǎn)；偏轉(zhuǎn)后到達(dá)所述篩選孔403的所述有機(jī)蒸汽從所述篩選孔403飛出，并沉積至所述基板70表面。
[0059]其中，所述第一方向?yàn)樗稣舭l(fā)源10的蒸發(fā)方向或所述蒸發(fā)方向的反方向，所述第二方向與所述第一方向相互垂直，所述第三方向與所述第一方向和所述第二方向均垂直。
[0060]需要說(shuō)明的是，所述有機(jī)蒸汽經(jīng)過(guò)加電之后可以先通過(guò)電場(chǎng)進(jìn)行加速，后通過(guò)磁場(chǎng)實(shí)現(xiàn)偏轉(zhuǎn)；也可以先通過(guò)磁場(chǎng)實(shí)現(xiàn)偏轉(zhuǎn)，后通過(guò)電場(chǎng)進(jìn)行加速，這里不做具體限定。
[0061]通過(guò)上述步驟S1-S3，即可實(shí)現(xiàn)基于本發(fā)明的實(shí)施例提供的所述蒸鍍裝置的蒸鍍方法；由于所述有機(jī)蒸汽的速率和流向具有一定的可控性，這樣便可以有效的防止所述有機(jī)蒸汽中的有機(jī)材料的四處擴(kuò)散，從而提高所述有機(jī)材料的利用率，同時(shí)降低所述有機(jī)蒸汽對(duì)蒸鍍腔室的污染，減少擋板的清洗次數(shù)，節(jié)約成本；進(jìn)一步的，在整個(gè)蒸鍍過(guò)程中僅需移動(dòng)所述基板70以控制所述基板70與所述篩選孔403之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，即可實(shí)現(xiàn)所述有機(jī)材料的蒸鍍，這樣可以顯著的降低所述蒸鍍裝置的占用空間；在此基礎(chǔ)上，所述蒸發(fā)源10并未直接面對(duì)所述基板70，這樣還可以有效的降低輻射。
[0062]以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種蒸鍍裝置，其特征在于，包括蒸發(fā)源、加電系統(tǒng)和電磁控制系統(tǒng)； 所述蒸發(fā)源用于提供有機(jī)蒸汽； 所述加電系統(tǒng)用于使所述有機(jī)蒸汽帶電； 所述電磁控制系統(tǒng)用于控制帶電的所述有機(jī)蒸汽的速率和流向，并選擇進(jìn)入預(yù)定區(qū)域并向預(yù)定方向運(yùn)動(dòng)的所述有機(jī)蒸汽沉積至基板表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述電磁控制系統(tǒng)包括靠近所述加電系統(tǒng)一側(cè)的電場(chǎng)區(qū)域和遠(yuǎn)離所述加電系統(tǒng)一側(cè)的磁場(chǎng)區(qū)域； 在所述電場(chǎng)區(qū)域存在電場(chǎng)方向?yàn)榈谝环较虻碾妶?chǎng)，以使所述有機(jī)蒸汽進(jìn)行加速； 在所述磁場(chǎng)區(qū)域存在磁場(chǎng)方向?yàn)榈诙较虻拇艌?chǎng)，以使所述有機(jī)蒸汽向第三方向偏轉(zhuǎn); 其中，所述第一方向?yàn)樗稣舭l(fā)源的蒸發(fā)方向或所述蒸發(fā)方向的反方向，所述第二方向與所述第一方向相互垂直，所述第三方向與所述第一方向和所述第二方向均垂直。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述電磁控制系統(tǒng)還包括對(duì)應(yīng)于所述磁場(chǎng)區(qū)域的篩選孔； 其中，進(jìn)入所述磁場(chǎng)區(qū)域的所述有機(jī)蒸汽向所述篩選孔所在的一側(cè)偏轉(zhuǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置還包括位于所述篩選孔兩側(cè)的回收系統(tǒng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置還包括用于驅(qū)動(dòng)和控制所述基板與所述篩選孔之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸發(fā)源為線性蒸發(fā)源； 其中，所述線性蒸發(fā)源包括蒸發(fā)容器和線性加熱源。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置還包括位于所述蒸發(fā)源的出口位置處或者位于所述篩選孔的出口位置處的晶振器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置還包括位于所述蒸發(fā)源和所述加電系統(tǒng)之間的噴射系統(tǒng)； 其中，所述噴射系統(tǒng)包括多個(gè)相同的噴嘴。
9.一種基于權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的蒸鍍裝置的蒸鍍方法，其特征在于，所述方法包括: 加熱蒸發(fā)源以產(chǎn)生有機(jī)蒸汽； 通過(guò)加電系統(tǒng)使所述有機(jī)蒸汽帶電； 通過(guò)電磁控制系統(tǒng)控制帶電的所述有機(jī)蒸汽的速率和流向，以使進(jìn)入預(yù)定區(qū)域并向預(yù)定方向運(yùn)動(dòng)的所述有機(jī)蒸汽沉積至基板表面。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述通過(guò)電磁控制系統(tǒng)控制帶電的所述有機(jī)蒸汽的速率和流向，以使進(jìn)入預(yù)定區(qū)域并向預(yù)定方向運(yùn)動(dòng)的所述有機(jī)蒸汽沉積至基板表面具體包括: 帶電的所述有機(jī)蒸汽經(jīng)過(guò)電場(chǎng)方向?yàn)榈谝环较虻碾妶?chǎng)進(jìn)行加速； 加速后的所述有機(jī)蒸汽經(jīng)過(guò)磁場(chǎng)方向?yàn)榈诙较虻拇艌?chǎng)向第三方向發(fā)生偏轉(zhuǎn)； 偏轉(zhuǎn)后到達(dá)篩選孔的所述有機(jī)蒸汽從所述篩選孔飛出，并沉積至基板表面； 其中，所述第一方向?yàn)樗稣舭l(fā)源的蒸發(fā)方向或所述蒸發(fā)方向的反方向，所述第二方向與所述第一方向相互垂直，所述第三方向與所述第一方向和所述第二方向均垂直。
【文檔編號(hào)】C23C14/24GK104294220SQ201410472730
【公開(kāi)日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2014年9月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月16日
【發(fā)明者】趙德江, 藤野誠(chéng)治, 殷杰 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司