可全拆式真空室內(nèi)隔板的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及可全拆式真空室內(nèi)隔板,包括直片內(nèi)隔板、彎折內(nèi)隔板、U型內(nèi)隔板，所述U型內(nèi)隔板兩端分別依次連接彎折內(nèi)隔板、直片內(nèi)隔板，所述U型內(nèi)隔板的外邊緣設(shè)有托環(huán)，所述托環(huán)緊貼內(nèi)隔板的外邊緣。本實(shí)用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)及效果：本實(shí)用新型在真空室內(nèi)安裝、維護(hù)方便，便于真空室內(nèi)靶材的清潔，從而提升產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。
【專利說(shuō)明】可全拆式真空室內(nèi)隔板
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型具體涉及可全拆式真空室內(nèi)隔板，用于真空鍍膜設(shè)備的真空室，屬機(jī)械制造領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]真空鍍膜是在高真空度條件下進(jìn)行的鍍膜，鍍膜工藝在與真空室內(nèi)進(jìn)行，鍍膜過(guò)程中部分靶材濺射在真空室內(nèi)，實(shí)際操作中，當(dāng)需要更換靶材材料時(shí)需要對(duì)真空室進(jìn)行清潔，避免兩種不同的靶材摻雜在一起，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量，通常的真空室內(nèi)隔板設(shè)計(jì)不能全部拆卸，從而導(dǎo)致清潔繁瑣，還清洗不到位。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，而提供一種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，拆裝方便迅速的可全拆式真空室內(nèi)隔板。
[0004]本實(shí)用新型解決上述問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:該可全拆式真空室內(nèi)隔板，包括直片內(nèi)隔板、彎折內(nèi)隔板、U型內(nèi)隔板，所述U型內(nèi)隔板兩端分別依次連接彎折內(nèi)隔板、直片內(nèi)隔板，所述U型內(nèi)隔板的外邊緣設(shè)有托環(huán)，所述托環(huán)緊貼內(nèi)隔板的外邊緣。
[0005]本實(shí)用新型所述托環(huán)呈半圓形。
[0006]本實(shí)用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)及效果:本實(shí)用新型在真空室內(nèi)安裝、維護(hù)方便，便于真空室內(nèi)靶材的清潔，從而提升產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0007]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例安裝后的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0009]下面結(jié)合附圖并通過(guò)實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0010]實(shí)施例:
[0011]參見(jiàn)圖1至圖2，本實(shí)用新型解決上述問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:該可全拆式真空室內(nèi)隔板，包括直片內(nèi)隔板1、彎折內(nèi)隔板2、U型內(nèi)隔板3，所述U型內(nèi)隔板3兩端分別依次連接彎折內(nèi)隔板2、直片內(nèi)隔板1，所述U型內(nèi)隔板3的外邊緣設(shè)有托環(huán)4，所述托環(huán)4緊貼內(nèi)隔板3的外邊緣。
[0012]本實(shí)用新型所述托環(huán)4呈半圓形。
[0013]此外，需要說(shuō)明的是，本說(shuō)明書中所描述的具體實(shí)施例，其各部分名稱等可以不同，凡依本實(shí)用新型專利構(gòu)思所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效或簡(jiǎn)單變化，均包括于本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍內(nèi)。本實(shí)用新型所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員可以對(duì)所描述的具體實(shí)施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類似的方式替代，只要不偏離本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)或者超越本權(quán)利要求書所定義的范圍，均應(yīng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.可全拆式真空室內(nèi)隔板，其特征在于:包括直片內(nèi)隔板、彎折內(nèi)隔板、U型內(nèi)隔板，所述U型內(nèi)隔板兩端分別依次連接彎折內(nèi)隔板、直片內(nèi)隔板，所述U型內(nèi)隔板的外邊緣設(shè)有托環(huán)，所述托環(huán)緊貼內(nèi)隔板的外邊緣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可全拆式真空室內(nèi)隔板，其特征在于:所述托環(huán)呈半圓形。
【文檔編號(hào)】C23C14/56GK203668508SQ201320778460
【公開(kāi)日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2013年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月29日
【發(fā)明者】朱家駿 申請(qǐng)人:嘉興中科奧度新材料有限公司