一種真空腔室觀察窗裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】一種真空腔室觀察窗裝置，包括觀察孔（12）、觀察玻璃（13）以及固定蓋（14）；其特征在于：固定蓋（14）具有周向一圈蓋邊沿（15）；固定蓋（14）罩設(shè)于觀察玻璃（13）上，且以螺釘將固定蓋（14）的一周蓋邊沿（15）與真空腔室的側(cè)板（11）固定連接；并且，在觀察玻璃（13）與觀察孔（12）間設(shè)有一密封圈結(jié)構(gòu)，該密封圈結(jié)構(gòu)由一O型密封圈（16）和一卡持圈（17）組成；O型密封圈（16）墊襯于觀察玻璃（13）與真空腔室的側(cè)板（11）之間；卡持圈（17）為繞O型密封圈（16）的內(nèi)周面設(shè)置的環(huán)形支撐體，卡持圈（17）朝觀察孔（12）的一端嵌入觀察孔（12）內(nèi)。本實(shí)用新型裝配時(shí)不需要焊接連接，避免了因焊縫造成的泄漏隱患，同時(shí)制造工藝得到簡(jiǎn)化。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種真空腔室觀察窗裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及真空鍍膜設(shè)備，具體涉及真空鍍膜設(shè)備上的真空腔室觀察窗裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]由于真空鍍膜設(shè)備是組合式的密閉殼體結(jié)構(gòu)，為了能隨時(shí)監(jiān)測(cè)腔室內(nèi)部的運(yùn)行情況，就需要在設(shè)備上安裝觀察窗裝置。對(duì)于觀察窗裝置，密封是關(guān)鍵。
[0003]目前，常見(jiàn)的現(xiàn)有觀察窗裝置多采用分體式結(jié)構(gòu)，參見(jiàn)圖1，由觀察孔1、安裝支座
2、觀察玻璃3、密封圈4以及固定蓋5組成，所述觀察孔I開(kāi)設(shè)于真空腔室的側(cè)板6上；安裝支座2為一環(huán)形體，其內(nèi)端嵌入觀察孔I的外端中，并以焊接方式固定；所述安裝支座2的外端中嵌入觀察玻璃3，且該外端為臺(tái)階狀，使觀察玻璃3擱置于臺(tái)階上；并且，為了密封，在觀察玻璃3和安裝支座2的臺(tái)階間必須設(shè)密封圈4，故安裝支座2的臺(tái)階上還要開(kāi)設(shè)用于嵌置定位密封圈4的密封圈槽；固定蓋5封蓋于安裝支座2的外端，該固定蓋5與安裝支座2間以螺釘連接。
[0004]上述現(xiàn)有技術(shù)，存以以下不足:
[0005]1、由于安裝支座2要以焊接方式固連在設(shè)備上，一方面焊接較麻煩，另一方面焊縫位置也存在泄露隱患；
[0006]2、為了定位密封圈4，安裝支座2上還要開(kāi)設(shè)密封圈槽，這就提高了零件的加工要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本實(shí)用新型目的是提供一種真空腔室觀察窗裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)需要焊接較麻煩，焊縫位置又存在泄露隱患的問(wèn)題。
[0008]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種真空腔室觀察窗裝置，包括一設(shè)于真空腔室的側(cè)板上的觀察孔、對(duì)應(yīng)位于觀察孔外端側(cè)的觀察玻璃以及固定蓋；
[0009]所述觀察玻璃覆蓋于觀察孔的外端上；
[0010]所述固定蓋具有周向一圈的朝固定蓋厚度方向延伸的蓋邊沿，使固定蓋具有一蓋內(nèi)腔；所述固定蓋從外向內(nèi)罩設(shè)于觀察玻璃上，使觀察玻璃位于所述蓋內(nèi)腔中，固定蓋的一周蓋邊沿與觀察孔周向上的真空腔室的側(cè)板板面相對(duì)，且以螺釘將固定蓋的一周蓋邊沿與真空腔室的側(cè)板固定連接；
[0011]并且，在觀察玻璃與觀察孔間設(shè)有一密封圈結(jié)構(gòu)，該密封圈結(jié)構(gòu)由一 O型密封圈和一卡持圈組成；所述O型密封圈墊襯于觀察玻璃與真空腔室的側(cè)板之間，且O型密封圈繞觀察孔的端口外周布置；所述卡持圈為繞O型密封圈的內(nèi)周面設(shè)置的環(huán)形支撐體，卡持圈的外周面與O型密封圈接觸，而卡持圈朝觀察孔的一端嵌入觀察孔內(nèi)。
[0012]上述技術(shù)方案中的有關(guān)內(nèi)容解釋如下:
[0013]1、上述方案中，所述“觀察孔外端”及“所述固定蓋從外向內(nèi)罩設(shè)于觀察玻璃上”中的“外” “內(nèi)”方向是按真空腔室的側(cè)板的內(nèi)外定義的，真空腔室的側(cè)板朝真空腔室內(nèi)部的那面為內(nèi)，另一面即為外。
[0014]2、上述方案中，所述“真空腔室的側(cè)板”是指圍繞構(gòu)成真空腔室的壁板，從方位上看可以是真空腔室的頂面壁板、也可以是前后左右側(cè)的壁板。
[0015]3、上述方案中，還包括一加工密封面，該加工密封面是在真空腔室的側(cè)板的外表面上加工出的繞觀察孔周向的環(huán)形密封面；所述O型密封圈和固定蓋的蓋邊沿端面與所述加工密封面相抵接觸。
[0016]再進(jìn)一步，所述加工密封面的外周形成一圈定位臺(tái)階，該定位臺(tái)階與固定蓋的蓋邊沿對(duì)應(yīng)配合，使固定蓋的蓋邊沿嵌置于這一圈定位臺(tái)階中，即在裝配時(shí)先以一圈定位臺(tái)階對(duì)固定蓋的位置進(jìn)行預(yù)定位，方便后續(xù)的擰螺釘連接。
[0017]4、上述方案中，所述卡持圈的外周面上對(duì)應(yīng)O型密封圈設(shè)有定位凹槽，O型密封圈置于該定位凹槽內(nèi)。
[0018]5、上述方案中,所述觀察玻璃的外側(cè)表面與固定蓋間還設(shè)墊有密封墊。
[0019]6、上述方案中，所述卡持圈的外周面上設(shè)一面朝觀察孔側(cè)的臺(tái)階面，使卡持圈的截面呈臺(tái)階狀，其朝觀察孔的一端為小端，而反向的另一端則為大端；當(dāng)卡持圈的小端嵌入觀察孔內(nèi)，臺(tái)階面與觀察孔的外端口相抵配合，以限制卡持圈沿觀察孔軸向的運(yùn)動(dòng)。
[0020]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):
[0021]1、本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)新穎簡(jiǎn)潔，觀察窗裝置與真空腔室的側(cè)板不需要焊接連接，避免了因焊縫造成的泄漏隱患，同時(shí)制造工藝得到簡(jiǎn)化；
[0022]2、本實(shí)用新型采用O型密封圈和卡持圈組成的密封圈結(jié)構(gòu)，相比現(xiàn)有技術(shù)以開(kāi)槽來(lái)安置密封圈的方式，更簡(jiǎn)單，零件的生產(chǎn)要求降低。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0023]圖1為現(xiàn)有技術(shù)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]以上附圖中:1、觀察孔；2、安裝支座；3、觀察玻璃；4、密封圈；5、固定蓋；6、真空腔室的側(cè)板；11、真空腔室的側(cè)板；12、觀察孔；13、觀察玻璃；14、固定蓋；15、蓋邊沿；16、O型密封圈；17、卡持圈；18、加工密封面；19、定位臺(tái)階；20、密封墊；21、通孔結(jié)構(gòu)；。
【具體實(shí)施方式】
[0026]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
[0027]實(shí)施例:參見(jiàn)圖2所示:
[0028]一種真空腔室觀察窗裝置，參見(jiàn)圖2所示，包括一設(shè)于真空腔室的側(cè)板11上的觀察孔12、對(duì)應(yīng)位于觀察孔12外端側(cè)的觀察玻璃13以及固定蓋14。
[0029]參見(jiàn)圖2所示,所述觀察玻璃13覆蓋于觀察孔12的外端上；所述固定蓋14具有周向一圈的朝固定蓋14厚度方向延伸的蓋邊沿15，使固定蓋14具有一蓋內(nèi)腔；所述固定蓋14從外向內(nèi)罩設(shè)于觀察玻璃13上，使觀察玻璃13位于所述蓋內(nèi)腔中，固定蓋14的一周蓋邊沿15與觀察孔12周向上的真空腔室的側(cè)板11板面相對(duì)，且以螺釘將固定蓋14的一周蓋邊沿15與真空腔室的側(cè)板11固定連接。[0030]當(dāng)然，參見(jiàn)圖2所示，固定蓋14與現(xiàn)有技術(shù)一樣，其蓋面上對(duì)應(yīng)觀察孔12的中心位置是設(shè)有通孔結(jié)構(gòu)21的，即固定蓋14僅是壓蓋住了觀察玻璃13的周向邊沿，而觀察玻璃13中心部分是外露的。
[0031]并且，本實(shí)施例在觀察玻璃13與觀察孔12間設(shè)有一密封圈結(jié)構(gòu)，該密封圈結(jié)構(gòu)由一 O型密封圈16和一卡持圈17組成，所述卡持圈17為繞O型密封圈16的內(nèi)周面設(shè)置的環(huán)形支撐體，卡持圈17的外周面與O型密封圈16接觸?？ǔ秩?7可采用金屬或塑料等硬質(zhì)體制作。
[0032]將密封圈結(jié)構(gòu)裝配入本實(shí)施例觀察窗裝置上后，如圖2所示，所述O型密封圈16墊襯于觀察玻璃13與真空腔室的側(cè)板11之間，且O型密封圈16繞觀察孔12的端口外周布置；卡持圈17朝觀察孔12的一端正好嵌入觀察孔12內(nèi)，即將卡持圈在觀察孔12徑向上定位住。具體卡持圈17的朝觀察孔12的一端的外徑比觀察孔12的孔徑稍小，構(gòu)成間隙配
八
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[0033]具體，如圖2所示，較佳是卡持圈17的外周面上設(shè)一面朝觀察孔12側(cè)的臺(tái)階面，使卡持圈17的截面呈臺(tái)階狀，其朝觀察孔12的一端為小端，而反向的另一端則為大端。當(dāng)然，O型密封圈16在自由狀態(tài)下的截面寬度須大于卡持圈17的大端的寬度。當(dāng)卡持圈17的小端嵌入觀察孔12內(nèi)，臺(tái)階面與觀察孔12的外端口相抵配合，以限制卡持圈17沿觀察孔12軸向的運(yùn)動(dòng)。上述臺(tái)階狀的設(shè)計(jì)在實(shí)際中可以省卻不用，如將O型密封圈16與卡持圈17以膠粘的方式粘合成一體，也可限制卡持圈17沿觀察孔12軸向的運(yùn)動(dòng)。
[0034]并且，具體如圖2所示，卡持圈17的大端的外周面上還對(duì)應(yīng)O型密封圈16設(shè)有弧形的定位凹槽，O型密封圈16置于該定位凹槽內(nèi)。
[0035]參見(jiàn)圖2所示，本實(shí)施例觀察窗裝置還包括一加工密封面18，該加工密封面18是在真空腔室的側(cè)板11的外表面上加工出的繞觀察孔12周向的環(huán)形密封面；所述O型密封圈16和固定蓋14的蓋邊沿15端面與所述加工密封面18相抵接觸，以提高密封效果。再進(jìn)一步，在加工密封面18的外周形成一圈定位臺(tái)階19，該定位臺(tái)階19與固定蓋14的蓋邊沿15對(duì)應(yīng)配合，使固定蓋14的蓋邊沿15嵌置于這一圈定位臺(tái)階19中，以實(shí)現(xiàn)裝配時(shí)對(duì)固定蓋14有預(yù)定位的作用。
[0036]另外，在所述觀察玻璃13的外側(cè)表面與固定蓋14間還設(shè)墊有密封墊20。
[0037]本實(shí)施例實(shí)際安裝時(shí)，建議先將O型密封圈16裝在卡持圈17的定位凹槽內(nèi)，然后將卡持圈17的小端裝入真空腔室的側(cè)板11的觀察孔12 ;再由卡持圈17向外依次裝入觀察玻璃13、密封墊20和固定蓋14，最后用螺釘將固定蓋14固定連接在真空腔室的側(cè)板11上。
[0038]本實(shí)施例結(jié)構(gòu)新穎簡(jiǎn)潔，觀察窗裝置與真空腔室的側(cè)板不需要焊接連接，避免了因焊縫造成的泄漏隱患，同時(shí)制造工藝得到簡(jiǎn)化；并且，由于采用O型密封圈和卡持圈組成的密封圈結(jié)構(gòu)，相比現(xiàn)有技術(shù)以開(kāi)槽來(lái)安置密封圈的方式，更簡(jiǎn)單，零件的生產(chǎn)要求降低。
[0039]上述實(shí)施例只為說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種真空腔室觀察窗裝置，包括一設(shè)于真空腔室的側(cè)板(11)上的觀察孔(12)、對(duì)應(yīng)位于觀察孔(12)外端側(cè)的觀察玻璃(13)以及固定蓋(14);其特征在于:所述觀察玻璃(13)覆蓋于觀察孔(12)的外端上；所述固定蓋(14)具有周向一圈的朝固定蓋(14)厚度方向延伸的蓋邊沿(15)，使固定蓋(14)具有一蓋內(nèi)腔；所述固定蓋(14)從外向內(nèi)罩設(shè)于觀察玻璃(13)上，使觀察玻璃(13)位于所述蓋內(nèi)腔中，固定蓋(14)的一周蓋邊沿(15)與觀察孔(12)周向上的真空腔室的側(cè)板(11)板面相對(duì)，且以螺釘將固定蓋(14)的一周蓋邊沿(15)與真空腔室的側(cè)板(11)固定連接；并且，在觀察玻璃(13)與觀察孔(12)間設(shè)有一密封圈結(jié)構(gòu)，該密封圈結(jié)構(gòu)由一 O型密封圈(16)和一卡持圈(17)組成；所述O型密封圈(16)墊襯于觀察玻璃(13)與真空腔室的側(cè)板(11)之間，且O型密封圈(16)繞觀察孔(12)的端口外周布置；所述卡持圈(17)為繞O型密封圈(16)的內(nèi)周面設(shè)置的環(huán)形支撐體，卡持圈(17)的外周面與O型密封圈(16)接觸，而卡持圈(17)朝觀察孔(12)的一端嵌入觀察孔(12)內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述真空腔室觀察窗裝置，其特征在于:還包括一加工密封面(18)，該加工密封面(18)是在真空腔室的側(cè)板(11)的外表面上加工出的繞觀察孔(12)周向的環(huán)形密封面；所述O型密封圈(16)和固定蓋(14)的蓋邊沿(15)端面與所述加工密封面(18)相抵接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述真空腔室觀察窗裝置，其特征在于:所述加工密封面(18)的外周形成一圈定位臺(tái)階(19),該定位臺(tái)階(19)與固定蓋(14)的蓋邊沿(15)對(duì)應(yīng)配合,使固定蓋(14)的蓋邊沿(15)嵌置于這一圈定位臺(tái)階(19)中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述真空腔室觀察窗裝置，其特征在于:所述卡持圈(17)的外周面上對(duì)應(yīng)O型密封圈(16)設(shè)有定位凹槽，O型密封圈(16)置于該定位凹槽內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述真空腔室觀察窗裝置，其特征在于:所述卡持圈(17)的外周面上設(shè)一面朝觀察孔(12)側(cè)的臺(tái)階面，使卡持圈(17)的截面呈臺(tái)階狀，其朝觀察孔(12)的一端為小端，而反向的另一端則為大端；當(dāng)卡持圈(17)的小端嵌入觀察孔(12)內(nèi)，臺(tái)階面與觀察孔(12)的外端口相抵配合，以限制卡持圈(17)沿觀察孔(12)軸向的運(yùn)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述真空腔室觀察窗裝置，其特征在于:所述觀察玻璃(13)的外側(cè)表面與固定蓋(14)間還設(shè)墊有密封墊(20)。
【文檔編號(hào)】C23C14/52GK203411605SQ201320486806
【公開(kāi)日】2014年1月29日 申請(qǐng)日期:2013年8月9日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月9日
【發(fā)明者】葛治亮, 李險(xiǎn)峰, 屠友明, 羅松松, 錢(qián)寶鐸, 高文娟 申請(qǐng)人:中建材光電裝備（太倉(cāng)）有限公司, 中國(guó)建材國(guó)際工程集團(tuán)有限公司