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一種新型的有機堿微蝕液的制作方法

文檔序號:3299172閱讀:634來源:國知局
一種新型的有機堿微蝕液的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及印制電路板制造中制作線路的蝕刻液【技術(shù)領(lǐng)域】,特別是涉及到通過半加成法形成線路的一種新型的有機堿微蝕液;它由含量為以下質(zhì)量百分數(shù)的組分組成:二價銅離子化化合物0.1%~15%;有機堿1%~40%;絡(luò)合添加劑0.0001%~10%;鹵素化合物0.0001%~5%;水余量;以上組分的質(zhì)量百分數(shù)之和為100%;所述二價銅離子化化合物按銅離子質(zhì)量計算,所述鹵素化合物按鹵素離子質(zhì)量計算。本發(fā)明能蝕刻干凈種子銅層,并且對鎳層和金層零損傷,同時抑制對線路銅層的過蝕和底層下切。
【專利說明】一種新型的有機堿微蝕液
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及印制電路板制造中制作線路的蝕刻液【技術(shù)領(lǐng)域】,特別是涉及到通過半加成法形成線路的一種新型的有機堿微蝕液。
【背景技術(shù)】
[0002]半加成法是印制電路板制程中制作線路的方法。該方法通過噴濺涂覆或者化學(xué)法在基材表面形成0.5-2微米厚的種子銅層,然后涂覆抗蝕層,并曝光顯影形成抗蝕層圖形,再在該種子銅層上通過電鍍法形成線路層,然后剝離抗蝕層露出不需要的種子銅層。到這步之后,一般是直接采用蝕刻液蝕刻掉不需要的種子銅層,形成線路;但是,該工藝進一步發(fā)展,在剝離掉抗蝕層后,再次涂覆抗蝕層,并曝光顯影,在顯影后露出的電鍍銅層上,通過化學(xué)法或電鍍法依次形成鎳層和金層,然后剝離掉抗蝕刻層露出不需要的種子銅層,再用蝕刻液將不需要的種子銅層蝕刻掉,形成線路。
[0003]以往,作為蝕刻液,可采用硫酸-雙氧水型蝕刻液、過硫酸鈉蝕刻液、氯化銅蝕刻液、氯化鐵蝕刻液等。但是這些藥水均為酸性體系,當(dāng)蝕刻上述帶有鎳金層的線路板時,將不可避免的側(cè)向?qū)︽噷赢a(chǎn)生腐蝕,導(dǎo)致金層懸空斷裂。
[0004]另外,廣泛使用在傳統(tǒng)pcb制造中的氯化銅銨-氨水體系的堿性蝕刻液,用來蝕刻半加成法的銅面,會出現(xiàn)電鍍銅層過蝕,線路變細小甚至斷開,需要被蝕刻的種子銅層卻難以蝕刻干凈等問題。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,而提供一種新型的有機堿微蝕液,目的在于能蝕刻干凈種子銅層,并且對鎳層和金層零損傷,同時抑制對線路銅層的過蝕和底層下切。
[0006]為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案。
[0007]—種新型的有機堿微蝕液,它由含量為以下質(zhì)量百分數(shù)的組分組成:
二價銅離子化化合物0.1°/Tl5% ;
有機堿1%~40%;
絡(luò)合添加劑0.0001%~10% ;
鹵素化合物0.0001%~5% ;
水余量;以上組分的質(zhì)量百分數(shù)之和為100% ;
所述二價銅離子化化合物按銅離子質(zhì)量計算,所述鹵素化合物按鹵素離子質(zhì)量計算。
[0008]優(yōu)選的,它由含量為以下質(zhì)量百分數(shù)的組分組成:
二價銅離子化化合物0.59^8% ;
有機堿3%~30% ;
絡(luò)合添加劑0.001%~5% ;
鹵素化合物0.0001%~1% ;水余量;以上組分的質(zhì)量百分數(shù)之和為100%。
[0009]優(yōu)選的,所述的二價銅離子化合物是作為二價銅離子的來源,用作蝕刻銅的氧化劑,可以是有機酸的銅鹽無機酸的銅鹽,如三水合硝酸銅,或一水合乙酸銅,或硫酸銅、硝酸銅、氯化銅、溴化銅、甲酸銅、乙酸銅、草酸銅、檸檬酸銅、酒石酸銅、氫氧化銅、氧化銅、硫化銅其中的一種或兩種以上的混合。
[0010]優(yōu)選的,所述的有機堿一方面提供藥水體系的堿性環(huán)境,保護鎳金層不受腐蝕;另一方面可穩(wěn)定蝕刻中溶解到藥水中的銅離子,合適的有機堿是乙二胺類、烷基胺類、烷基醇胺類等,比如有乙二胺、二乙烯三胺、三乙烯四胺、多乙烯多胺、乙胺、二乙胺、三乙胺、乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺,異丙醇胺,甲醇二乙醇胺、丙醇乙醇胺、丙醇二乙醇胺的一種或兩種以上混合。
[0011]優(yōu)選的,所述的絡(luò)合添加劑是唑類化合物,可以是二唑、三唑、四唑或者唑類的衍生物,合適的唑類化合物可有效抑制藥水對電鍍銅層的側(cè)蝕和種子銅層的底切滲蝕,合適的唑類是咪唑、2-甲基咪唑、4-甲基咪唑、苯并咪唑、6-硝基苯并咪唑、1,2,4_三唑、苯并三氮唑、IH-四唑的一種或兩種以上混合。
[0012]優(yōu)選的,所述的鹵素化合物可以是氟、氯、溴、碘的離子化合物,其作用是加快藥水對種子銅層的蝕刻速率,合適的鹵素化合物是氯化鈉、氯化鉀、氯化銨、溴化鉀、碘化鉀、氯化銅、氯化鐵、氯化鈣的一種或兩種以上混合。
[0013]本發(fā)明有益效果為:本發(fā)明所述一種新型的有機堿微蝕液,可精密蝕刻凈種子銅層,并且不會損傷鎳層和金層,同時抑制對線路銅層的側(cè)蝕,線路不會變細、斷開。
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合實施方式對本發(fā)明作進一步的說明。
`[0015]為了進一步說明和驗證本發(fā)明提出的技術(shù)方案的效果,提供以下幾種【具體實施方式】與以往的處理方式(對照實施方式)做對比。
[0016]【具體實施方式】一:
三水合硝酸銅5%;
乙二胺6% ;
咪唑 1.5% ;
氯化鈉0.1% ;
水余量;以上組分的質(zhì)量百分數(shù)之和為100%。
[0017]在對線路板種子銅蝕刻前,首先使用清潔除油劑清洗線路板,去除銅面的氧化和手指印等污潰,再用水清洗干凈。然后將該線路板在35°C下,采用浸泡或噴淋的方式(以下均采用噴淋方式)經(jīng)過具體實施方案一的藥水進行微蝕,蝕刻時間和蝕刻量根據(jù)該線路板種子銅層厚度而定,待種子銅層蝕刻干凈后,再用水清洗干凈,烘干。將微蝕后的線路板切片取樣,使用金像顯微鏡(OLYMPUS GX71)觀察種子銅層是否蝕刻干凈,鎳層是否受到腐蝕,以及線路是否出現(xiàn)底層下切。
[0018]【具體實施方式】二:
一水合乙酸銅4% ;
二乙胺6% ;4-甲基咪唑0.2% ;
氯化鉀0.05%
水余量;以上組分的質(zhì)量百分數(shù)之和為100%。
[0019]【具體實施方式】二的使用方法與【具體實施方式】一的相同。
[0020]【具體實施方式】三:
氫氧化銅2% ;
三乙醇胺4% ;
1,2,4_ 三唑 0.2% ;
碘化鉀0.2%;
水余量。以上組分的質(zhì)量百分數(shù)之和為100%。
[0021]【具體實施方式】三的使用方法與【具體實施方式】一的相同。
[0022]對照實施方式一:
硫酸5% ;
雙氧水2% ;
苯并三氮唑0.2%
雙氧水穩(wěn)定劑0.5%
水余量。
[0023]對照實施方式一是一種硫酸雙氧水體系微蝕液,使用方式與【具體實施方式】一相同。
[0024]對照實施方式二:
二價銅離子15% ;
氨水30% ;
氯化銨26% ;
水余量。
[0025]對照實施方式二是一種應(yīng)用 在普通線路板制造中的堿性蝕刻液,使用方式與【具體實施方式】一相同。
[0026]【具體實施方式】一、二、三和對照實施方式一、二的結(jié)果詳見下表。
[0027]
【權(quán)利要求】
1.一種新型的有機堿微蝕液,其特征在于,它由含量為以下質(zhì)量百分數(shù)的組分組成: 二價銅離子化化合物0.1%"15% ; 有機堿1%~40%; 絡(luò)合添加劑0.0001%~10% ; 鹵素化合物0.0001%~5% ; 水余量; 所述二價銅離子化化合物按銅離子質(zhì)量計算,所述鹵素化合物按鹵素離子質(zhì)量計算。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型的有機堿微蝕液,其特征在于,它由含量為以下質(zhì)量百分數(shù)的組分組成: 二價銅離子化化合物0.59^8% ; 有機堿3%~30%; 絡(luò)合添加劑0.001%~5% ; 鹵素化合物0.0001%~1% ; 水余量。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型的有機堿微蝕液,其特征在于:所述的二價銅離子化合物是作為二價銅離子的來 源,用作蝕刻銅的氧化劑,可以是有機酸的銅鹽無機酸的銅鹽,如三水合硝酸銅,或一水合乙酸銅,或硫酸銅、硝酸銅、氯化銅、溴化銅、甲酸銅、乙酸銅、草酸銅、檸檬酸銅、酒石酸銅、氫氧化銅、氧化銅、硫化銅其中的一種或兩種以上的混合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型的有機堿微蝕液,其特征在于:所述的有機堿一方面提供藥水體系的堿性環(huán)境,保護鎳金層不受腐蝕;另一方面可穩(wěn)定蝕刻中溶解到藥水中的銅離子,合適的有機堿是乙二胺類、烷基胺類、烷基醇胺類等,比如有乙二胺、二乙烯三胺、三乙烯四胺、多乙烯多胺、乙胺、二乙胺、三乙胺、乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺,異丙醇胺,甲醇二乙醇胺、丙醇乙醇胺、丙醇二乙醇胺的一種或兩種以上混合。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型的有機堿微蝕液,其特征在于:所述的絡(luò)合添加劑是唑類化合物,可以是二唑、三唑、四唑或者唑類的衍生物,合適的唑類化合物可有效抑制藥水對電鍍銅層的側(cè)蝕和種子銅層的底切滲蝕,合適的唑類是咪唑、2-甲基咪唑、4-甲基咪唑、苯并咪唑、6-硝基苯并咪唑、1,2,4-三唑、苯并三氮唑、IH-四唑的一種或兩種以上混八口 o
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型的有機堿微蝕液,其特征在于:所述的鹵素化合物可以是氟、氯、溴、碘的離子化合物,其作用是加快藥水對種子銅層的蝕刻速率,合適的鹵素化合物是氯化鈉、氯化鉀、氯化銨、溴化鉀、碘化鉀、氯化銅、氯化鐵、氯化鈣的一種或兩種以上混合。
【文檔編號】C23F1/44GK103695908SQ201310734942
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年12月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月27日
【發(fā)明者】肖紅星, 孫寶林, 程一鳴, 李再強, 鄒毅芳, 張銳 申請人:東莞市廣華化工有限公司
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