一種在微生物表面磁控濺射金屬鍍膜的方法
【專利摘要】一種在微生物表面磁控濺射金屬鍍膜的方法，步驟：1）在基片表面鋪鋁箔紙；2）在鋁箔紙上涂紫外正性光刻膠；3）在該膠表面鋪微生物模板顆粒；4）烘烤使膠固化；5）檢查磁控濺射儀是否正常；6）開真空室，將基片裝在樣品臺上；7）-15）關(guān)真空室，開機(jī)械泵、分子泵、流量計(jì)、加熱器、旋轉(zhuǎn)器、濺射電源，濺射鍍膜。鍍膜后，關(guān)濺射電源、流量計(jì)、分子泵、機(jī)械泵，開充氣閥、真空室,取出基片；16）顆粒單面鍍膜結(jié)束；17）在基片表面涂負(fù)性光刻膠；18）剝下鋁箔紙，反轉(zhuǎn)、脫模；19）用紫外光照射基片；20）用正性顯影液去除正性光刻膠；21）重復(fù)6）-15）；22）顆粒雙面鍍膜結(jié)束；23）用負(fù)性顯影液去除負(fù)性光刻膠；24）將顆粒置于無水乙醇分離。
【專利說明】一種在微生物表面磁控濺射金屬鍍膜的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明提供一種在微生物表面磁控濺射金屬鍍膜的方法，它是一種涉及在異形微顆粒表面磁控濺射金屬鍍膜的方法，更特別地說，是指一種以具有標(biāo)準(zhǔn)幾何外形的微生物為模板，利用光刻膠特性在其表面磁控濺射包覆金屬鍍膜的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]自然界的微生物經(jīng)歷幾十億年的進(jìn)化過程，其自身的形體和結(jié)構(gòu)都得到了極大優(yōu)化，為人類提供了豐富的構(gòu)形資源，而且微生物取材方便、成本低廉。直接以具有特殊形體結(jié)構(gòu)的微生物體為模板，采用薄膜沉積技術(shù)在其表面沉積包覆功能材質(zhì)，可以獲得具有特定功能的生物型微粒。
[0003]近年來，國內(nèi)外已經(jīng)通過化學(xué)鍍、溶膠-凝膠、電鍍等薄膜沉積工藝在微生物表面鍍覆了多種功能材質(zhì)?；瘜W(xué)鍍工藝流程復(fù)雜，不易操作，鍍膜附著力弱，且容易污染環(huán)境。溶膠-凝膠所需的部分原料有害，且只能得到金屬氧化薄膜。而電鍍則需要在微顆粒表面預(yù)鍍一層導(dǎo)電薄膜。
[0004]磁控濺射鍍膜方法具有可鍍材質(zhì)種類多、濺射率高、基片溫升低、薄膜均勻致密、附著力強(qiáng)等諸多優(yōu)點(diǎn)，并且其鍍膜材質(zhì)基本與本征特性相當(dāng)。磁控濺射屬于干法薄膜沉積技術(shù)，現(xiàn)有設(shè)備不適合微粒表面薄膜包覆。目前，關(guān)于微顆粒表面磁控濺射金屬鍍膜方面的研究主要集中在對常規(guī)濺射設(shè)備進(jìn)行設(shè)計(jì)、改裝，這種方式一般會增加濺射設(shè)備的復(fù)雜性，并且不適用于異形微顆粒表面濺射包覆。
[0005]如果能在不改變現(xiàn)有磁控濺射裝置內(nèi)部結(jié)構(gòu)的情況下，實(shí)現(xiàn)異形微生物顆粒表面磁控濺射金屬薄膜包覆，可以大大拓展磁控濺射技術(shù)的應(yīng)用范疇。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的是提供一種在微生物表面磁控濺射金屬鍍膜的方法。它根據(jù)微生物的形體特性，提出了一種基于光刻膠特性的微顆粒磁控濺射方法，這種方法能夠在不改變現(xiàn)有磁控濺射設(shè)備結(jié)構(gòu)的情況下，在異形微生物顆粒表面形成一層均勻、連續(xù)的金屬鍍膜，并且可良好的保持微生物的原始形體及復(fù)雜亞結(jié)構(gòu)。
[0007]本發(fā)明一種在微生物表面磁控派射金屬鍍膜的方法，它是一種以微生物為模板，利用光刻膠特性在其表面磁控濺射包覆金屬鍍膜來制備生物型微粒的方法。該方法包括以下步驟:
[0008](1)在樣品基片(簡稱基片，該基片是由純鋁制作的厚5mm直徑180mm的圓板)表
面平鋪一層鋁箔紙；
[0009](2)在鋁箔紙上旋涂一層紫外正性光刻膠，該層紫外正性光刻膠的厚度為0.5~20 μ m ；
[0010](3)在紫外正性光刻膠表面鋪設(shè)一層微生物模板顆粒；
[0011](4)將基片放置在烘烤臺上使紫外正性光刻膠固化，烘烤溫度為100~120°C，烘烤時(shí)間為0.5~5min ；
[0012](5)使用常規(guī)磁控濺射儀，并檢查整個(gè)裝置是否運(yùn)行正常，以下(6) - (15)步驟均是用磁控濺射儀進(jìn)行操作；
[0013](6)打開真空室，將鋪有微生物模板顆粒的基片安裝在樣品臺上；
[0014](7)關(guān)閉真空室，開啟機(jī)械泵，抽真空至4~IOPa;
[0015](8 )開啟分子泵，抽真空至3 X KT4Pa~5 X KT3Pa ；
[0016](9)開啟流量計(jì)，向真空室內(nèi)沖入惰性氣體(使用但不僅限于氬氣)至0.5~IOPa ；
[0017](10)開啟樣品臺加熱器，設(shè)置加熱溫度為20~300°C ；
[0018](11)開啟樣品臺旋轉(zhuǎn)器，設(shè)置旋轉(zhuǎn)速度為5~25r/min ；
[0019](12)開啟磁控濺射電源，調(diào)節(jié)功率至50~500W，開始濺射鍍膜；
[0020](13)鍍膜時(shí)間范圍為5~120min，時(shí)間結(jié)束后關(guān)閉磁控濺射電源；
[0021](14)按順序依次關(guān)閉流量計(jì)、分子泵、機(jī)械泵；
[0022](15)開啟充氣閥，待真空室內(nèi)壓力與大氣壓力平衡后，打開真空室，取出基片；
[0023]( 16)基片 上微生物模板顆粒單面鍍膜結(jié)束；
[0024]( 17)在基片表面旋涂一層紫外負(fù)性光刻膠，該層紫外負(fù)性光刻膠的厚度為0.5~20 μ m ；
[0025]( 18)將鋁箔紙從基板上剝離下，并反轉(zhuǎn)、脫模，使紫外正性光刻膠處于表面；
[0026](19)將基片放置于紫外光下照射5~30min ；
[0027](20)使用正性顯影液溶解去除紫外正性光刻膠，使微生物模板顆粒未鍍膜部分裸露出來；
[0028](21)重復(fù)步驟(6)~(15);
[0029](22)基片上微生物模板顆粒雙面鍍膜結(jié)束；
[0030](23)使用負(fù)性顯影液溶解去除紫外負(fù)性光刻膠；
[0031](24)將鍍膜后的微生物模板顆粒放置于無水乙醇中進(jìn)行攪拌分離，得到生物型鍍膜微粒。
[0032]其中，在步驟(3)中所述的“微生物模板顆?！睕]有特別限定，它可以是有機(jī)生物模板，如螺旋藻、小球藻、小環(huán)藻等微生物活性細(xì)胞體，也可以是無機(jī)生物模板，如圓篩藻、直鏈藻等微生物遺骸變質(zhì)體；微生物模板顆粒的尺寸在0.5~500 μ m。
[0033]其中，在步驟(5)中所述的“磁控濺射儀”，其所用靶材的直徑為80mm，厚度為3~6mm，純度為99.99%，材質(zhì)沒有特別限定，可以是銀、銅、鋁等導(dǎo)電金屬，也可以是鎳、鈷等磁性金屬。
[0034]本發(fā)明的工作原理:本發(fā)明利用光刻膠的特性實(shí)現(xiàn)微生物模板顆粒表面磁控濺射金屬薄膜包覆。正性光刻膠經(jīng)紫外光照射后可以用正性顯影液溶解去除；而負(fù)性光刻膠經(jīng)紫外光照射后固化且不能被正性顯影液溶液去除，但可使用負(fù)性顯影液溶解去除。SEM、EDS和XRD等測試表明:通過基于光刻膠特性的磁控濺射方法，調(diào)節(jié)各種濺射工藝參數(shù)，可在微生物模板顆粒表面形成一層均勻、連續(xù)、致密的金屬薄膜，且表面粗糙度低、顆粒粘附物少。
[0035]本發(fā)明是以微生物顆粒為模板，利用光刻膠特性在其表面磁控濺射包覆金屬薄膜來制備生物型功能微粒，其優(yōu)點(diǎn)在于:
[0036]1、本發(fā)明以微生物為模板，取材方便，形狀多樣，亞結(jié)構(gòu)復(fù)雜，如球形、桿形、片形、螺旋形、多孔等。
[0037]2、本發(fā)明可在不改變現(xiàn)有磁控濺射儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)的情況下，實(shí)現(xiàn)微生物模板顆粒表
面金屬包覆。
[0038]3、本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)微生物模板顆粒表面多種金屬材質(zhì)包覆，且材質(zhì)的厚度可調(diào)節(jié)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)生物型功能顆粒的特性可控。
[0039]4、本發(fā)明制得的生物型功能微粒表面鍍膜均勻、連續(xù)、致密，比重小，表面粗糙度低,并且微生物形體保持良好。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0040]圖1是以圓篩藻為模板示例的磁控濺射金屬鍍膜的操作流程圖。
[0041]圖2是以螺旋藻為模板的磁控濺射包覆銀膜的生物型功能微粒的EDS圖譜。
[0042]圖3是以直鏈藻為模板的磁控濺射包覆鋁膜的生物型功能微粒的EDS圖譜。
[0043]圖4是以圓篩藻為模板的磁控濺射包覆鋁膜的生物型功能微粒的EDS圖譜。
【具體實(shí)施方式】
[0044]本發(fā)明所述方法見圖1所示
[0045]實(shí)施例1:以螺旋藻為模板的磁控濺射包覆銀膜的生物型功能微粒
[0046]本實(shí)例采用螺旋藻為模板。該微生物呈藍(lán)綠色，具有規(guī)則的螺旋結(jié)構(gòu)，一般螺旋寬26~36 μ m,螺距43~57 μ m,螺數(shù)4~7，最多可達(dá)20左右。
[0047]以螺旋藻為模板，利用光刻膠特性在其表面磁控濺射包覆金屬銀膜來制備生物型功能微粒。具體步驟如下:
[0048](1)在樣品基片(簡稱基片，該基片是純鋁制作的厚5_直徑180_的圓板)表面
平鋪一層鋁箔紙；
[0049](2)在鋁箔紙上旋涂一層紫外正性光刻膠，厚度為2 μ m ;
[0050](3)在正性光刻膠表面鋪設(shè)一層微生物模板顆粒；
[0051](4)將基片放置在烘烤臺上使正性光刻膠固化，烘烤溫度為120°C，烘烤時(shí)間為Imin0
[0052](5)使用常規(guī)磁控濺射儀，并檢查整個(gè)裝置是否運(yùn)行正常，以下(6) - (15)步驟均是對磁控濺射儀的操作；
[0053](6)打開真空室，將鋪有微生物模板顆粒的基片安裝在樣品臺上；
[0054](7)關(guān)閉真空室，開啟機(jī)械泵，抽真空至SPa ；
[0055](8)開啟分子泵，抽真空至3X10_3Pa ;
[0056](9)開啟流量計(jì)，向真空室內(nèi)沖入氬氣至SPa ；
[0057](10)開啟樣品臺加熱器，設(shè)置加熱溫度為20°C ；
[0058](11)開啟樣品臺旋轉(zhuǎn)器，設(shè)置旋轉(zhuǎn)速度為15r/min ；
[0059](12)開啟磁控濺射電源，調(diào)節(jié)功率至60W，開始濺射鍍膜；
[0060](13)鍍膜時(shí)間范圍為30min，時(shí)間結(jié)束后關(guān)閉磁控濺射電源；
[0061](14)按順序依次關(guān)閉流量計(jì)、分子泵、機(jī)械泵；
[0062](15)開啟充氣閥，待真空室內(nèi)壓力與大氣壓力平衡后，打開真空室，取出基片；[0063]( 16)基片上微生物模板顆粒單面鍍膜結(jié)束；
[0064](17)在基片表面旋涂一層紫外負(fù)性光刻膠，厚度為2 μ m ;
[0065]( 18)將鋁箔紙從基板上剝離下，并反轉(zhuǎn)、脫模，使紫外正性光刻膠處于表面；
[0066](19)將基片放置于紫外光下照射5min ；
[0067](20)使用正性顯影液溶解去除正性光刻膠，使微生物模板顆粒未鍍膜部分裸露出來；
[0068](21)重復(fù)步驟(6)~(15);
[0069](22)基片上微生物模板顆粒雙面鍍膜結(jié)束；
[0070](23)使用負(fù)性顯影液溶解去除負(fù)性光刻膠；
[0071](24)將鍍膜后的微生物模板顆粒放置于無水乙醇中進(jìn)行攪拌分離，得到生物型鍍銀膜微粒。
[0072]圖2是以螺旋藻為模板的磁控濺射包覆銀膜的生物型功能微粒的EDS圖譜。[0073]實(shí)施例2:以直鏈藻為模板的磁控濺射包覆鋁膜的生物型功能微粒
[0074]本實(shí)例采用直鏈藻為成形模板。直鏈藻呈圓筒形，直徑為10~20 μ m,筒長為30~50 μ m，壁厚為2~5μπι。
[0075]以直鏈藻為模板，利用光刻膠特性在其表面磁控濺射包覆金屬鋁膜來制備生物型功能微粒。具體步驟如下:
[0076](I)在樣品基片(簡稱基片，該基片是純鋁制作的厚5_直徑180_的圓板)表面
平鋪一層鋁箔紙；
[0077](2)在鋁箔紙上旋涂一層紫外正性光刻膠，厚度為5 μ m ;
[0078](3)在正性光刻膠表面鋪設(shè)一層微生物模板顆粒；
[0079](4)將基片放置在烘烤臺上使正性光刻膠固化，烘烤溫度為110°C，烘烤時(shí)間為2min。
[0080](5)使用常規(guī)磁控濺射儀，并檢查整個(gè)裝置是否運(yùn)行正常，以下(6) - (15)步驟均是對磁控濺射儀的操作；
[0081](6)打開真空室，將鋪有微生物模板顆粒的基片安裝在樣品臺上；
[0082](7)關(guān)閉真空室，開啟機(jī)械泵，抽真空至SPa ；
[0083](8)開啟分子泵，抽真空至3X10_3Pa ;
[0084](9)開啟流量計(jì)，向真空室內(nèi)沖入氬氣至SPa ；
[0085](10)開啟樣品臺加熱器，設(shè)置加熱溫度為20°C ；
[0086](11)開啟樣品臺旋轉(zhuǎn)器，設(shè)置旋轉(zhuǎn)速度為15r/min ；
[0087](12)開啟磁控濺射電源，調(diào)節(jié)功率至120W，開始濺射鍍膜；
[0088](13)鍍膜時(shí)間范圍為30min，時(shí)間結(jié)束后關(guān)閉磁控濺射電源；
[0089](14)按順序依次關(guān)閉流量計(jì)、分子泵、機(jī)械泵；
[0090](15)開啟充氣閥，待真空室內(nèi)壓力與大氣壓力平衡后，打開真空室，取出基片；
[0091](16)基片上微生物模板顆粒單面鍍膜結(jié)束；
[0092](17)在基片表面旋涂一層紫外負(fù)性光刻膠，厚度為5 μ m ;
[0093]( 18)將鋁箔紙從基板上剝離下，并反轉(zhuǎn)、脫模，使紫外正性光刻膠處于表面；
[0094](19)將基片放置于紫外光下照射IOmin ；[0095](20)使用正性顯影液溶解去除正性光刻膠，使微生物模板顆粒未鍍膜部分裸露出來；
[0096](21)重復(fù)步驟(6)~(15);
[0097](22)基片上微生物模板顆粒雙面鍍膜結(jié)束；
[0098](23)使用負(fù)性顯影液溶解去除負(fù)性光刻膠；
[0099](24)將鍍膜后的微生物模板顆粒放置于無水乙醇中進(jìn)行攪拌分離，得到生物型鍍鋁膜微粒。
[0100]圖3是以直鏈藻為模板的磁控濺射包覆鋁膜的生物型功能微粒的EDS圖譜。
[0101]實(shí)施例3:以硅藻為模板的磁控濺射包覆鋁膜的生物型功能微粒
[0102]本實(shí)例采用圓篩藻為成形模板。圓篩藻呈圓片形，直徑30~50 μ m,厚度2~5 μ m0
[0103]以圓篩藻為模板，利用光刻膠特性在其表面磁控濺射包覆金屬鋁膜來制備生物型功能微粒。具體步驟如下:
[0104](I)在樣品 基片(簡稱基片，該基片是純鋁制作的厚5_直徑180_的圓板)表面
平鋪一層鋁箔紙；
[0105](2)在鋁箔紙上旋涂一層紫外正性光刻膠，厚度為5μπι ;
[0106](3)在正性光刻膠表面鋪設(shè)一層微生物模板顆粒；
[0107](4)將基片放置在烘烤臺上使正性光刻膠固化，烘烤溫度為100°C，烘烤時(shí)間為2min。
[0108](5)使用常規(guī)磁控濺射儀，并檢查整個(gè)裝置是否運(yùn)行正常，以下(6) - (15)步驟均是對磁控濺射儀的操作；
[0109](6)打開真空室，將鋪有微生物模板顆粒的基片安裝在樣品臺上；
[0110](7 )關(guān)閉真空室，開啟機(jī)械泵，抽真空至SPa ;
[0111](8)開啟分子泵，抽真空至3X10_3Pa ;
[0112](9)開啟流量計(jì)，向真空室內(nèi)沖入氬氣至SPa ；
[0113](10)開啟樣品臺加熱器，設(shè)置加熱溫度為20°C ；
[0114](11)開啟樣品臺旋轉(zhuǎn)器，設(shè)置旋轉(zhuǎn)速度為20r/min ；
[0115](12)開啟磁控濺射電源，調(diào)節(jié)功率至100W，開始濺射鍍膜；
[0116](13)鍍膜時(shí)間范圍為45min，時(shí)間結(jié)束后關(guān)閉磁控濺射電源；
[0117](14)按順序依次關(guān)閉流量計(jì)、分子泵、機(jī)械泵；
[0118](15)開啟充氣閥，待真空室內(nèi)壓力與大氣壓力平衡后，打開真空室，取出基片；
[0119](16)基片上微生物模板顆粒單面鍍膜結(jié)束；
[0120](17)在基片表面旋涂一層紫外負(fù)性光刻膠，厚度為5μπι ;
[0121](18)將鋁箔紙從基板上剝離下，并反轉(zhuǎn)、脫模，使紫外正性光刻膠處于表面；
[0122](19)將基片放置于紫外光下照射IOmin ；
[0123](20)使用正性顯影液溶解去除正性光刻膠，使微生物模板顆粒未鍍膜部分裸露出來；
[0124](21)重復(fù)步驟(6)~(15);
[0125](22)基片上微生物模板顆粒雙面鍍膜結(jié)束；[0126](23)使用負(fù)性顯影液溶解去除負(fù)性光刻膠；
[0127](24)將鍍膜后的微生物模板顆粒放置于無水乙醇中進(jìn)行攪拌分離，得到生物型鍍鋁膜微粒。
[0128]圖4是以圓篩藻為模板的磁控濺射包覆鋁膜的生物型功能微粒的EDS圖譜。
[0129]經(jīng)本發(fā)明制備方法制成的生物型微粒表面鍍膜均勻、連續(xù)、致密，比重小，表面粗糙度低，能良好的保持微生物原始形體?？勺鳛楣δ芪⒔Y(jié)構(gòu)制備電磁防護(hù)材料，廣泛應(yīng)用于國防、航空、航天、電子等領(lǐng)域。[0130]綜上所述，本發(fā)明所述的方法，能夠在不改變現(xiàn)有磁控濺射裝置內(nèi)部結(jié)構(gòu)的情況下，在異形微生物顆粒表面包覆金屬鍍膜。它是利用光刻膠的特性實(shí)現(xiàn)微生物表面磁控濺射金屬薄膜包覆。正性光刻膠經(jīng)紫外光照射后可以用正性顯影液溶解去除；而負(fù)性光刻膠經(jīng)紫外光照射后固化且不能被正性顯影液溶液去除，但可使用負(fù)性顯影液溶解去除。本發(fā)明工藝穩(wěn)定，適用范圍廣，所制得的生物型功能微粒表面鍍層均勻、連續(xù)、致密，表面粗糙度低，比重小，并且可良好的保持微生物的原始形體及復(fù)雜亞結(jié)構(gòu)。
【權(quán)利要求】
1.一種在微生物表面磁控濺射金屬鍍膜的方法，其特征在于:該方法包括以下步驟: (1)在樣品基片表面平鋪一層鋁箔紙； (2)在鋁箔紙上旋涂一層紫外正性光刻膠，該層紫外正性光刻膠的厚度為0.5~20 μ m ； (3)在紫外正性光刻膠表面鋪設(shè)一層微生物模板顆粒； (4)將基片放置在烘烤臺上使紫外正性光刻膠固化，烘烤溫度為100~120°C，烘烤時(shí)間為0.5~5min ； (5)使用常規(guī)磁控濺射儀，并檢查整個(gè)裝置是否運(yùn)行正常，以下(6)- (15)步驟均是用磁控濺射儀進(jìn)行操作； (6)打開真空室，將鋪有微生物模板顆粒的基片安裝在樣品臺上； (7)關(guān)閉真空室，開啟機(jī)械泵，抽真空至4~IOPa；
(8)開啟分子泵，抽真空至3XKT4Pa~5X KT3Pa ； (9)開啟流量計(jì)，向真空室內(nèi)沖入惰性氣體至0.5~IOPa ； (10)開啟樣品臺加熱器，設(shè)置加熱溫度為20~300°C； (11)開啟樣品臺旋轉(zhuǎn)器，設(shè)置旋轉(zhuǎn)速度為5~25r/min； (12)開啟磁控濺射電源，調(diào)節(jié)功率至50~500W，開始濺射鍍膜； (13)鍍膜時(shí)間范圍為5~120min，時(shí)間結(jié)束后關(guān)閉磁控濺射電源； (14)按順序依次關(guān)閉流量計(jì)、分子泵、機(jī)械泵； (15)開啟充氣閥，待真空室內(nèi)壓力與大氣壓力平衡后，打開真空室，取出基片； (16)基片上微生物模板顆粒單面鍍膜結(jié)束； (17)在基片表面旋涂一層紫外負(fù)性光刻膠，該層紫外負(fù)性光刻膠的厚度為0.5~20 μ m ； (18)將鋁箔紙從基板上剝離下，并反轉(zhuǎn)、脫模，使紫外正性光刻膠處于表面； (19)將基片放置于紫外光下照射5~30min； (20)使用正性顯影液溶解去除紫外正性光刻膠，使微生物模板顆粒未鍍膜部分裸露出來； (21)重復(fù)步驟(6)~(15)； (22)基片上微生物模板顆粒雙面鍍膜結(jié)束； (23)使用負(fù)性顯影液溶解去除紫外負(fù)性光刻膠； (24)將鍍膜后的微生物模板顆粒放置于無水乙醇中進(jìn)行攪拌分離，得到生物型鍍膜微粒。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在微生物表面磁控派射金屬鍍膜的方法，其特征在于:在步驟(1)中所述的“樣品基片”，該基片是由純鋁制作的厚5mm、直徑180mm的圓板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在微生物表面磁控派射金屬鍍膜的方法，其特征在于:在步驟(2)中所述的“在鋁箔紙上旋涂一層紫外正性光刻膠”，該層紫外正性光刻膠的厚度為 0.5 ~20 μ m。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在微生物表面磁控派射金屬鍍膜的方法，其特征在于:在步驟(3)中所述的“微生物模板顆?！保鼪]有特別限定，可以是有機(jī)生物模板，如螺旋藻、小球藻、小環(huán)藻微生物活性細(xì)胞體，也可以是無機(jī)生物模板，如圓篩藻、直鏈藻等微生物遺骸變質(zhì)體；該微生物模板顆粒的尺寸在0.5~500 μ m。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在微生物表面磁控派射金屬鍍膜的方法，其特征在于:在步驟(4)中所述的“將基片放置在烘烤臺上使紫外正性光刻膠固化”，其烘烤溫度為100~120°C，烘烤時(shí)間為0.5~5min。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在微生物表面磁控派射金屬鍍膜的方法，其特征在于:在步驟(5)中所述的“磁控濺射儀”，其所用靶材的直徑為80mm，厚度為3~6mm，純度為99.99%，材質(zhì)沒有特別限定，可以是銀、銅、鋁等導(dǎo)電金屬，也可以是鎳、鈷等磁性金屬。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在微生物表面磁控派射金屬鍍膜的方法，其特征在于:在步驟(17)中所述的“在基片表面旋涂一層紫外負(fù)性光刻膠”，該層紫外負(fù)性光刻膠的厚度為 0.5 ~20 μ m。
【文檔編號】C23C14/20GK103741107SQ201310731360
【公開日】2014年4月23日 申請日期:2013年12月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月26日
【發(fā)明者】蔡軍, 胡琰琰, 張德遠(yuǎn), 王圓圓 申請人:北京航空航天大學(xué)