真空氣管防止積膜保護罩的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明給出了一種真空氣管防止積膜保護罩，包括后端開口的罩體，罩體表面開有若干個輸氣孔。在鍍膜生產(chǎn)中，將本真空氣管防止積膜保護罩套在真空氣管外側(cè)，工件受到濺射時，逃逸的金屬離子會濺射至伏到本真空氣管防止積膜保護罩上，逃逸的金屬離子不會直接與真空氣管接觸，長時間使用后，金屬離子會造成輸氣孔堵塞，只需清除本輸氣孔內(nèi)的積膜，便可以繼續(xù)使用，不用拆除拆下真空氣管清理，達到清理方便的目的。
【專利說明】真空氣管防止積膜保護罩
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種真空氣管防止積膜保護罩。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，真空鍍膜生產(chǎn)普遍采用磁控濺射方式沉積膜層在工件上，其原理為:通過一個鋁制長方體里的很多細小氣路濺射所用的工藝氣體，鋁制長方體均勻分布在濺射靶的兩邊，工件架受到濺射時，有很多濺射出的離子不能被工件架全吸收，有一部分逃逸出的金屬離子就會伏到真空氣管上，時間久了會造成真空氣管的氣孔堵塞，通常的做法是定期拆下真空氣管清理。這種方法的缺點是:1、拆卸真空氣管很煩瑣，拆、裝真空氣管上時接頭及相關(guān)配件很容易損壞，接頭處容易漏氣；2、因卸固定螺絲時維修空間太小，不易操作且時間長；3、在清除積膜時鋁制真空氣管易損壞；4、真空氣管多采用進口件，購買時間長維修成本聞。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種清理方便、安裝簡單、成本低廉的真空氣管防止積膜保護罩，該真空氣管防止積膜保護罩能有效保護進口真空氣管的氣孔永遠不會堵塞，原裝真空氣管不需要拆除清理，不會出現(xiàn)因安裝拆卸清理所造成的器件損壞。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種真空氣管防止積膜保護罩，包括后端開口的罩體，罩體表面開有若干個輸氣孔。
[0005]采用這樣的結(jié)構(gòu)后，鍍膜生產(chǎn)中，將本真空氣管防止積膜保護罩套在真空氣管外偵牝工件受到濺射時，逃逸的金屬離子會濺射至伏到本真空氣管防止積膜保護罩上，逃逸的金屬離子不會直接與真空氣管接觸，長時間使用后，金屬離子會造成輸氣孔堵塞，只需清除本輸氣孔內(nèi)的積膜，便可以繼續(xù)使用，不用拆除拆下真空氣管清理，達到清理方便的目的。
[0006]為了更好的理解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，以下將本真空氣管防止積膜保護罩簡稱為本保護罩。
[0007]本保護罩的罩體左、右端面分別開有螺紋孔，頂絲螺栓穿過螺紋孔伸入罩體內(nèi)；采用這樣的結(jié)構(gòu)后，方便本保護罩與真空氣管之間的定位。
[0008]本保護罩的若干個輸氣孔分別設(shè)置在前端面兩側(cè)端部；采用這樣的結(jié)構(gòu)后，使得本保護罩的輸氣孔與真空氣管的氣孔位置對應(yīng)。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1是本保護罩實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0010]如圖1所示:
本保護罩包括罩體1，罩體I大體呈長方體狀，罩體I后端面開口，罩體I內(nèi)部位配合真空氣管的空腔，罩體I左、右端面分別開有螺紋孔，頂絲螺栓3穿過螺紋孔伸入罩體I內(nèi)，罩體I的前端面開有三十六個輸氣孔2，三十六個輸氣孔2分別設(shè)置在前端面兩端，輸氣孔2與真空氣管的氣孔位置對應(yīng)。
[0011]使用時，鍍膜生產(chǎn)中，將本保護罩套在真空氣管外側(cè)，旋緊頂絲螺栓3，使得本保護罩固定在真空氣管外側(cè)，工件受到濺射時，逃逸的金屬離子會濺射至伏到本保護罩上，逃逸的金屬離子不會直接與真空氣管接觸，長時間使用后，金屬離子會造成輸氣孔2堵塞，只需清除本保護罩輸氣孔2內(nèi)的積膜，便可以繼續(xù)使用，不用拆除真空氣管清理。
[0012]以上所述的僅是本發(fā)明的一種實施方式，應(yīng)當指出，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以作出若干變型和改進，這些也應(yīng)視為屬于本發(fā)明的保護范圍，比如輸氣 孔的個數(shù)等等。
【權(quán)利要求】
1.一種真空氣管防止積膜保護罩，其特征為:它包括后端開口的罩體，罩體表面開有若干個輸氣孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空氣管防止積膜保護罩，其特征為:所述的罩體左、右端面分別開有螺紋孔，頂絲螺栓穿過螺紋孔伸入罩體內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空氣管防止積膜保護罩，其特征為:所述的若干個輸氣孔分別分布在前端面兩側(cè)端部。
【文檔編號】C23C14/35GK103643214SQ201310708714
【公開日】2014年3月19日 申請日期:2013年12月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月20日
【發(fā)明者】陳偉, 陳誠, 王曉東, 邵帥 申請人:安徽省蚌埠華益導(dǎo)電膜玻璃有限公司