噴涂用Mo粉末及采用它的Mo噴涂膜以及Mo噴涂膜部件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供操作性良好，成膜性優(yōu)良的噴涂用Mo粉末。本發(fā)明的噴涂用Mo粉末，其是在一次粒子的平均粒徑為1μm以上、10μm以下，二次粒子的平均粒徑為20μm以上、200μm以下的噴涂用Mo粉末中，含有具有長(zhǎng)寬比1.0～1.5的二次粒子的比例在80質(zhì)量%以上、100質(zhì)量%以下。
【專利說(shuō)明】噴涂用Mo粉末及采用它的Mo噴涂膜以及Mo噴涂膜部件
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及噴涂用Mo粉末及采用它的Mo噴涂膜以及Mo噴涂膜部件.【背景技術(shù)】
[0002]所謂噴涂，意指把加熱.熔融的材料，在基材(被施工物)上噴涂，形成被膜的成膜方法。作為加熱的熱源，可以使用燃燒火焰或等離子體等。噴涂方式，有火焰噴涂、爆炸火焰噴涂、電鍍式噴涂、高速火焰噴涂等，近年來(lái)，已開(kāi)發(fā)出不把材料熔融，形成被膜的冷噴霧法。
[0003]噴涂，由于只要是能熔融的材料就可以應(yīng)用，可以使用金屬、陶瓷、水泥或塑料等各種材料。因此，其用途也是各種各樣的，可以舉出耐摩耗性膜、耐腐蝕性膜、耐熱性膜等，在汽車(chē)部件、產(chǎn)業(yè)機(jī)械部件、成膜裝置用部件等各種領(lǐng)域中應(yīng)用。
[0004]因此，噴涂是把噴涂材料加工成粉末或線材(線狀、棒狀)，供給加熱源來(lái)進(jìn)行。以火焰噴涂為例，把使用線狀噴涂材料的方式稱作熔線式火焰噴涂(wire flame spraying),把使用粉末狀熔融材料的方式稱作粉末式火焰噴涂(powder flame spraying)。熔線式火焰噴涂法，由于把線狀噴涂材料連續(xù)供給燃燒焰，故具有供給量易控制成一定，易得到均勻的噴涂膜的優(yōu)點(diǎn)。
[0005]但是，由于噴涂材料必需加工成線材，故碳鋼、鋁或鋅等比較易加工的材料適合，但采用鑰或鎢等硬的高融點(diǎn)金屬時(shí)，成為成本上升的重要原因。
[0006]因此，噴涂高融點(diǎn)金屬時(shí)，多數(shù)采用粉末式火焰噴涂。作為噴涂用粉末，例如，特開(kāi)2004 - 300555號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)I)公開(kāi)的粉末。在專利文獻(xiàn)I中，把平均粒徑IOym以下的Mo粉末，采用造粒燒結(jié)法，制得5~75 μ m或45~250 μ m的噴涂用粉末。
[0007]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)
[0009]專利文獻(xiàn)1:特開(kāi)2004 - 300555號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]發(fā)明要解決的課題
[0011]由于采用造粒燒結(jié)法的粒徑大，增加向噴涂噴嘴(燃燒焰)的供給量，可增加成膜量。但是，僅采用造粒燒結(jié)法得到的粒子，是長(zhǎng)寬比達(dá)2~3左右的大粒子(二次粒子)。長(zhǎng)寬比大的二次粒子，流動(dòng)性差，供給噴涂噴嘴時(shí)，瞬間的噴涂用粉末的供給量發(fā)生不勻，產(chǎn)生難以得到厚度均勻膜的問(wèn)題。
[0012]本發(fā)明是為了解決這樣的問(wèn)題而提出的，目的是提供可以得到均勻的噴涂膜的噴涂用Mo粉末及采用它的Mo膜、以及Mo膜部件。
[0013]用于解決課題的手段
[0014]按照本發(fā)明的噴涂用Mo粉末，其特征在于，其是在一次粒子的平均粒徑為1 μm以上、10 μ m以下，二次粒子的平均粒徑為20 μ m以上、200 μ m以下的噴涂用Mo粉末中，具有長(zhǎng)寬比1.0~1.5的二次粒子所含的比例為80質(zhì)量％以上、100質(zhì)量％以下。
[0015]另外，在本發(fā)明的方案中，單位面積ΙΟΟΟμπιΧΙΟΟΟμπι的SEM照片中，面積比(長(zhǎng)徑5 μ m以下的粒子的合計(jì)面積比/超過(guò)5 μ m的粒子的合計(jì)面積比)也可達(dá)O~10%。
[0016]另外，本發(fā)明的方案中，二次粒子的密度也可為5.0kg/cm3以下。
[0017]另外，本發(fā)明的方案中，Mo純度也可為99.0%以上。
[0018]另外，本發(fā)明的方案中，上述噴涂用Mo粉末，也可以是Mo粉末與第二成分粉末的混合物。
[0019]另外，本發(fā)明的方案中，上述第二成分粉末也可以是碳化物成分或Ni成分。
[0020]另外，本發(fā)明的方案中，上述第二成分粉末也可以含I~35質(zhì)量％。
[0021]另外，本發(fā)明的方案中，上述噴涂用Mo粉末也可以實(shí)施脫脂處理或燒結(jié)處理。
[0022]另外，本發(fā)明的方案中，上述噴涂用Mo粉末的流動(dòng)性也可為50seC/50g以下。
[0023]另外，本發(fā)明的方案中，二次粒子的斷面也可具有Mo粉末及/或第二成分粉末相連結(jié)的結(jié)構(gòu)。
[0024]本發(fā)明的又一方案中，提供采用上述噴涂用Mo粉末進(jìn)行噴涂而形成的Mo噴涂膜。 [0025]另外，本發(fā)明的又一方案中，提供具有上述Mo噴涂膜的Mo噴涂膜部件。
[0026]另外，本發(fā)明的方案中，Mo噴涂膜部件為選自汽車(chē)用部件、航空器用部件、發(fā)電機(jī)用部件、X線管用部件、熱電轉(zhuǎn)換器、及金屬模的至少I(mǎi)種。
[0027]另外，本發(fā)明的方案中，上述Mo噴涂膜的平均膜厚也可為5~500 μ m。
[0028]發(fā)明效果
[0029]按照本發(fā)明的噴涂用Mo粉末，由于長(zhǎng)寬比處于1.0~1.5范圍的二次粒子比例多，故向噴涂噴嘴的噴涂用粉末的供給量易恒定管理，能夠得到均勻的高融點(diǎn)金屬噴涂膜。另外，通過(guò)使用粘結(jié)一次粒子的二次粒子，能夠防止成本上升。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0030]圖1為表示按照本發(fā)明的噴涂用Mo粉末的一實(shí)施方案的圖。
[0031]圖2為按照本發(fā)明的噴涂用Mo粉末的又一實(shí)施方案的圖。
[0032]圖3為本發(fā)明的一實(shí)施方案的噴涂用Mo粉末的二次粒子的斷面圖。
[0033]圖4為表示Mo噴涂膜部件之一例的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0034]按照本發(fā)明的噴涂用Mo粉末，其是在一次粒子的平均粒徑為I μ m以上、10 μ m以下，二次粒子的平均粒徑為20 μπι以上、200 μπι以下的噴涂用Mo粉末中，其特征在于，長(zhǎng)寬比1.0~1.5的二次粒子所含的比例在80質(zhì)量％以上、100質(zhì)量％以下。
[0035]本發(fā)明中所謂一次粒子，表示Mo粉末I個(gè)(一粒)或第二成分粉末I個(gè)(一粒)的粒子；所謂二次粒子，表示多個(gè)一次粒子凝固成的粒子。所謂一次粒子的凝固，表示凝集固化的狀態(tài)，或通過(guò)粘接劑或粘合劑等粘結(jié)的狀態(tài)，或把一次粒子進(jìn)行造粒的狀態(tài)。
[0036]圖1為表示一次粒子與二次粒子混合存在的狀態(tài)之一例的圖。圖中符號(hào)I為噴涂用Mo粉末的一次粒子，符號(hào)2為噴涂用Mo粉末的二次粒子。
[0037]按照本發(fā)明的噴涂用Mo粉末，既可由Mo金屬單體構(gòu)成，另外，也可由Mo粉末與第二成分粉末混合而成。當(dāng)噴涂用Mo粉末中含有第二成分粉末時(shí)，作為第二成分粉末，只要是金屬M(fèi)o以外的成分即可而未作特別限定，可以舉出碳化物粉末、Ni成分粉末、Co成分粉末、稀土元素成分粉末等。另外，作為碳化物，可以舉出碳化鑰、碳化鎢、碳化硅等。另外，作為Ni成分粉末、Co成分粉末、稀土元素成分粉末，可以含有金屬單體、合金、化合物等各種成分。這些之中，作為第二成分粉末，碳化鑰或Ni成分是優(yōu)選的。碳化鑰在噴涂工序中具有吸附雜質(zhì)氧(在大氣中噴涂時(shí)含的氧)的效果。另外，由于碳化鑰具有作為潤(rùn)滑劑的效果，可以提高噴涂膜的耐摩耗性。另外，Ni成分由于耐腐蝕性良好，可提高噴涂膜的耐腐蝕性。另外，第二成分粉末不限于僅I種，也可2種以上。另外，第二成分粉末的混合量，當(dāng)Mo粉末與第二成分粉末的合計(jì)值為100質(zhì)量％時(shí)，I~35質(zhì)量％的范圍是優(yōu)選的。如處于該范圍內(nèi)，噴涂膜中Mo的益處得到活用，可賦予第二成分的特性。以下僅用“Mo粉末”表示時(shí)，意味著除由Mo粉末單體構(gòu)成的粉末外，還包含Mo粉末與第二成分粉末進(jìn)行混合的粉末。
[0038]Mo純度為99.0%以上(質(zhì)量％)是優(yōu)選的。當(dāng)Mo純度低于99.0%時(shí)，因雜質(zhì)的存在，Mo粉末的熔點(diǎn)有發(fā)生偏差的擔(dān)心。
[0039]在本發(fā)明中，由于一次粒子的平均粒徑低于I μ m，粉末過(guò)細(xì)，操作性惡化，當(dāng)超過(guò)
10μπι時(shí)，二次粒子的尺寸有大到必要以上的擔(dān)心。另外，由于二次粒子的平均粒徑低于20 μ m時(shí)，作為二次粒子的效果小，當(dāng)超過(guò)200 μ m時(shí)，尺寸過(guò)大，招致噴涂工序中的材料供給量發(fā)生偏差。另外，噴涂火焰，在火焰表面與中心，溫度有差異，即使向相同的火焰供給Mo粉末，大的粉末與小的粉末，熔化發(fā)生差異。Mo粉末(及第二成分粉末)的熔化不均勻，得到的噴涂膜中存在未熔融組織，膜質(zhì)產(chǎn)生偏差。因此，無(wú)過(guò)大粒子者是優(yōu)選的。
[0040]另外，在本發(fā)明中，具有長(zhǎng)寬比1.0~1.5的二次粒子是以80質(zhì)量％以上、100質(zhì)量％以下含有。長(zhǎng)寬比的測(cè)定，采用放大照片，如圖1所示，在放大照片(SEM照片)上描繪的二次粒子的縱向與橫向的最大長(zhǎng)度分別用A、B表示?？v向最大長(zhǎng)度A與橫向最大長(zhǎng)度B的小者為分母，大者為分子(A/B或B/A)，求出長(zhǎng)寬比。因縱向最大長(zhǎng)度A與橫向最大長(zhǎng)度B的小者為分母，故最小值達(dá)到1.0。所謂長(zhǎng)寬比在1.5以下，表示二次粒子近似球體。當(dāng)長(zhǎng)寬比超過(guò)1.5時(shí)，各個(gè)二次粒子的尺寸偏差變大。當(dāng)尺寸偏差大時(shí)，向噴涂火焰的材料供給量產(chǎn)生偏差，噴涂膜的膜厚產(chǎn)生偏差，難以形成均勻的膜。另外，如上所述，由于噴涂火焰的表面與中心的溫度不同，當(dāng)為長(zhǎng)寬比過(guò)大的二次粒子時(shí)，二次粒子熔化產(chǎn)生偏差，噴涂膜中存在未熔融組織，膜質(zhì)產(chǎn)生不均勻的部分。因此，本發(fā)明中，具有長(zhǎng)寬比1.0~1.5的二次粒子比例為80質(zhì)量％以上。全部的二次粒子長(zhǎng)寬比處于1.0~1.5范圍是優(yōu)選的。
[0041]如以上所述，由Mo粉末單體構(gòu)成的Mo噴涂膜、或邊保持Mo噴涂膜的特性邊賦予第二成分粉末特性的Mo噴涂膜，其膜質(zhì)必需是均勻的噴涂膜。為了形成均勻的噴涂膜，采用二次粒子，該二次粒子的長(zhǎng)寬比必須進(jìn)行控制。為了得到更均勻的噴涂膜，小粒子的存在必須盡量少。噴涂膜，是采用Mo粉末用火焰熔化，以高速噴射而成膜的技術(shù)。本發(fā)明中，由于用噴涂火焰熔化噴涂用Mo粉末，Mo粉末的尺寸發(fā)生偏差，由于在Mo粉末熔化時(shí)產(chǎn)生偏差，故過(guò)小的Mo粉少者也 可采用。所謂小的Mo粉末，意指未形成二次粒子的一次粒子、或盡管是二次粒子，但是小的二次粒子。
[0042]因此，單位面積1000 μ mX 1000 μ m的SEM照片中，面積比(長(zhǎng)徑5 μ m以下的粒子的合計(jì)面積比/超過(guò)5 μ m的粒子的合計(jì)面積比)為O~10%是優(yōu)選的。面積比，首先，拍攝單位面積1000 μ mX 1000 μ m的SEM照片(放大的照片)，以各個(gè)粉末的最長(zhǎng)對(duì)角線作為長(zhǎng)徑L進(jìn)行測(cè)定。圖2示出測(cè)定長(zhǎng)徑之一例。通過(guò)使用放大的照片，可以用二維捕捉粉末。測(cè)定這里所描繪的一次粒子或二次粒子的長(zhǎng)徑L。分成長(zhǎng)徑L為5 μ m以下與超過(guò)5 μ m的粒子，求出各自的面積進(jìn)行合計(jì)。對(duì)合計(jì)200個(gè)以上的粒子，求出長(zhǎng)徑L、面積，求出面積比(長(zhǎng)徑5 μ m以下的粒子的合計(jì)面積比/超過(guò)5 μ m的粒子的合計(jì)面積比)。
[0043]通過(guò)把長(zhǎng)徑L在5 μ m以下的小粒子(無(wú)二次粒子的一次粒子或小的二次粒子)，使其面積比少到10%以下，可以降低投入噴涂火焰時(shí)的熔融偏差。為了降低熔融偏差，使面積比在10%以下、尤其優(yōu)選在5%以下、最優(yōu)選在0%。即，全部粒子為長(zhǎng)徑L超過(guò)5 μ m的二次粒子。
[0044]另外，二次粒子的密度在5.0kg/cm3以下是優(yōu)選的。此前對(duì)通過(guò)一次粒子及二次粒子的粒徑及長(zhǎng)寬比等控制外觀形狀進(jìn)行說(shuō)明。但是，二次粒子是一次粒子通過(guò)立體結(jié)合而形成的。因此，對(duì)二次粒子的密度進(jìn)行控制也是重要的。
[0045]噴涂用Mo粉末的二次粒子，投入噴涂火焰時(shí)，拆散成一次粒子。拆散的一次粒子發(fā)生熔融，被以高速噴射，堆積在基材上形成噴涂膜。因此，當(dāng)二次粒子的密度太高，向噴涂火焰中投入時(shí)，難以拆散成一次粒子進(jìn)行分散。當(dāng)二次粒子直接作為噴涂膜進(jìn)行堆積時(shí)，生成未熔融組織，產(chǎn)生膜質(zhì)差異。因此，二次粒子的密度在5.0kg/cm3以下、尤其3.0kg/cm3以下是優(yōu)選的。對(duì)密度的下限值未作特別限定，當(dāng)密度太低時(shí)，二次粒子的形狀保持性變差，在供給噴涂火焰之前，拆散成一次粒子。另外，當(dāng)密度太低時(shí)，形成內(nèi)部有空洞的二次粒子。當(dāng)空洞太多時(shí)，材料供給量產(chǎn)生偏差。即，即使粒徑或長(zhǎng)寬比相同的二次粒子，如密度有差異，則形成二次粒子的一次粒子的量發(fā)生差異，結(jié)果是，產(chǎn)生材料供給量的偏差。因此，二次粒子的密度優(yōu)選1.0g/cm3以上。二次粒子的密度更優(yōu)選1.0~3.0g/cm3。還有,二次粒子的密度采用阿基米德法進(jìn)行測(cè)定。
[0046]另外，二次粒子的斷面，形成Mo粉末及/或第二成分粉末連結(jié)的結(jié)構(gòu)是優(yōu)選的。如上所述，二次粒子供給噴涂火焰時(shí)拆散成一次粒子，拆散成的一次粒子發(fā)生熔融，于基材上堆積，形成噴涂膜。二次粒子的斷面通過(guò)形成一次粒子連結(jié)的結(jié)構(gòu)，拆散成的一次粒子噴射至基材上的工序中，一次粒子的存在比例可`達(dá)到均勻。在向基材噴射的工序中，一次粒子的存在比例是均勻的，這樣生成的噴涂膜的膜質(zhì)達(dá)到均勻。圖3示出Mo粉末(及第二成分粉末)連結(jié)的結(jié)構(gòu)之一例。在觀察二次粒子的斷面時(shí)發(fā)現(xiàn)，從一端向另一端，Mo粉末、或Mo粉末及第二成分粉末(一次粒子)具有連結(jié)的結(jié)構(gòu)。
[0047]另外，按照本發(fā)明的噴涂用Mo粉末，實(shí)施脫脂處理或燒結(jié)處理是優(yōu)選的。只要是本發(fā)明的噴涂用Mo粉末，流動(dòng)性可為50seC/50g以下。通過(guò)實(shí)施脫脂處理或燒結(jié)處理，流動(dòng)性可提高到30seC/50g以下。還有，在本發(fā)明中，流動(dòng)性的測(cè)定，采用按照J(rèn)IS — K 一 6760的擠出型塑性儀，測(cè)定擠出噴涂用Mo粉末50g時(shí)究竟需要幾秒鐘。
[0048]脫脂處理，在600~低于1000°C進(jìn)行熱處理，是二次粒子中的樹(shù)脂粘合劑被燒毀的處理。另外，燒結(jié)處理，是在加熱至1000~1400°C，樹(shù)脂粘合劑被燒毀，同時(shí)一次粒子彼此的結(jié)合力被強(qiáng)化的處理方法。脫脂處理溫度在低于600°C時(shí)，如脫脂處理的時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，則制造性降低。另一方面，如燒結(jié)處理溫度高到超過(guò)1400°C時(shí)，一次粒子的結(jié)合力過(guò)強(qiáng)，在投入噴涂火焰時(shí)，二次粒子難以拆散成一次粒子。
[0049]如上所述，如果是按照本發(fā)明的噴涂用Mo粉末，通過(guò)把細(xì)的一次粒子加工成二次粒子，該二次粒子的長(zhǎng)寬比達(dá)到所定的尺寸，故操作性良好。因此，向噴涂火焰的供給量達(dá)到穩(wěn)定。另外，供給噴涂火焰后，二次粒子拆散成一次粒子，于基材上成膜時(shí)，向基材的一次粒子供給量可達(dá)到穩(wěn)定。因此，可以得到均勻的Mo噴涂膜。另外，如上所述，與Mo線材或Mo棒材相比，由于Mo粉末易熔融，如是同樣的噴涂火焰，也可提高成膜速度。
[0050]另外，如采用本發(fā)明的噴涂用Mo粉末，與采用線材相比，可大幅降低成本，謀求成膜量的均勻化。另外，通過(guò)控制密度或流動(dòng)性，不僅成膜量達(dá)到均勻化，而且也可提高成膜工序的自動(dòng)化等操作性。
[0051]噴涂這樣的噴涂用Mo粉末，于基材上成膜，可得到各種Mo噴涂膜。另外，在具有這樣的噴涂膜的各種噴涂部件上能適用。圖4示出噴涂部件之一例。圖中符號(hào)4表示噴涂膜、符號(hào)5表示基材。噴涂部件，只要是具有噴涂膜的部件即可而未作特別限定，但可以舉出耐摩耗性膜、耐腐蝕性膜、耐熱性膜等，在汽車(chē)部件、產(chǎn)業(yè)機(jī)械部件、成膜裝置用部件等各種領(lǐng)域均可適用。另外，噴涂膜的膜厚未作特別限定，例示10~500μπι。
[0052]其次，對(duì)本發(fā)明的噴涂用Mo粉末的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。本發(fā)明的噴涂用Mo粉末，只要具有上述構(gòu)成即可，對(duì)其制造方法未作特別限定，為了得到良好的產(chǎn)率，作為制法可以舉出以下的方法。
[0053]首先，準(zhǔn)備一次粒徑為平均粒徑I~10 μ m的Mo粉末。另外，作為噴涂用Mo粉末，采用Mo粉末與第二成分粉末進(jìn)行混合得到的粉末時(shí)，準(zhǔn)備一次粒徑為平均粒徑I~10 μ m的Mo粉末及第二成分粉末。一次粒徑為FSSS粒徑。另外，Mo粉末的純度在99.0wt%以上，進(jìn)一步99.9wt%以上是優(yōu)選的。把準(zhǔn)備的Mo粉末(及第二成分粉末)放入旋轉(zhuǎn)式噴霧粉碎機(jī)等攪拌裝置，進(jìn)行充分?jǐn)嚢?。還有，下面僅稱作“Mo粉末”時(shí)，意味著除由Mo粉末單體構(gòu)成的粉末外，還包含Mo粉末與第二成分粉末進(jìn)行混合的粉末。
[0054]其次，添加樹(shù)脂粘合劑進(jìn)行的造粒工序。樹(shù)脂粘合劑優(yōu)選聚乙烯醇粉末、聚乙二醇粉末或羧甲基纖維素粉末的至少I(mǎi)種以上。由于把這些樹(shù)脂粘合劑加熱至600°C以上時(shí)則燒毀，故容易控制二次粒子的密度。另外，通過(guò)以粉末狀與Mo粉末進(jìn)行混合，可達(dá)到均勻地混合。造粒工序適用噴霧干燥方式或轉(zhuǎn)動(dòng)造粒方式等是優(yōu)選的。通過(guò)進(jìn)行造粒工序，可把一次粒子加工成二次粒子。
[0055]另外，根據(jù)需要，進(jìn)行脫脂處理或燒結(jié)處理。脫脂處理是在600~低于1000°C下進(jìn)行的熱處理，是燒毀二次粒子中的樹(shù)脂粘合劑的處理。另外，燒結(jié)處理是加熱至1000~1400°C，使樹(shù)脂粘合劑燒毀，同時(shí)使一次粒子彼此的結(jié)合力增強(qiáng)的方法。當(dāng)進(jìn)行這樣的處理時(shí)，通過(guò)調(diào)節(jié)二次粒子的密度，其斷面形成Mo粉末(一次粒子)連結(jié)的結(jié)構(gòu)。另外，二次粒子的長(zhǎng)寬比，通過(guò)造粒工序的條件最佳化，可提高長(zhǎng)寬比1.0~1.5的比例。另外，根據(jù)需要，通過(guò)篩分等進(jìn)行形狀分級(jí)也有效果。特別是，長(zhǎng)寬比在1.5以下與1.6以上，由于傾斜面的轉(zhuǎn)動(dòng)速度不同，利用該現(xiàn)象進(jìn)行形狀分級(jí)的方法是有效果的。采用這樣的制造方法得到的噴涂用Mo粉末，因流動(dòng)性優(yōu)良，故操作性良好。
[0056]實(shí)施例
[0057]通過(guò)實(shí)施例更詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明，但本發(fā)明不受這些實(shí)施例內(nèi)容的限定。
[0058]<實(shí)施例Al~A5、比較例Al >
[0059]作為原料粉末，準(zhǔn)備純度99.9質(zhì)量％以上的鑰粉末(一次粒徑示于表1)。鑰粉末采用旋轉(zhuǎn)式噴霧粉碎機(jī)進(jìn)行粉碎工序。然后，與樹(shù)脂粘合劑(聚乙烯醇樹(shù)脂粘合劑)進(jìn)行混合，配制成Mo粉末糊膏。[0060]其次，把Mo粉末糊膏，使用噴霧干燥進(jìn)行造粒，得到Mo粉末的二次粒子。另外，如表所示，進(jìn)行脫脂處理或燒結(jié)處理。改變噴霧干燥的條件(旋轉(zhuǎn)速度、供給量等)，準(zhǔn)備長(zhǎng)寬比1.0~1.5的二次粒子的比例發(fā)生改變的二次粒子。
[0061]對(duì)各實(shí)施例及比較例的噴涂用Mo粉末，調(diào)查面積比(長(zhǎng)徑5 μ m以下的粒子的合計(jì)面積比/超過(guò)5 μ m的粒子的合計(jì)面積比)、二次粒子的密度、二次粒子的斷面、Mo粉末是否連結(jié)、流動(dòng)性。其結(jié)果示于表1、2。
[0062]還有，面積比(長(zhǎng)徑5μπι以下的粒子的合計(jì)面積比/超過(guò)5μπι的粒子的合計(jì)面積比)，按以下方法求出。首先，把噴涂用Mo粉末擴(kuò)散在玻璃板上，拍攝單位面積1000 μ mX 1000 μ m的放大照片。測(cè)定該放大照片上照相的各個(gè)噴涂用Mo粉末的最大直徑，求出該最大直徑分成5 μ以下與超過(guò)5μπ?的粒子面積比。
[0063]另外，二次粒子的密度，采用阿基米德法進(jìn)行分析。另外，二次粒子的斷面中Mo粉末是否連結(jié)，切斷二次粒子，拍攝斷面照片，在任意的對(duì)角線上，測(cè)定Mo粉末(一次粒子)是否連結(jié)。另外，流動(dòng)性采用按照J(rèn)IS — K 一 6760的擠出成型塑性儀，測(cè)定擠出噴涂用Mo粉末50g時(shí)的究竟所需秒數(shù)。
[0064][表 I]
[0065]
【權(quán)利要求】
1.噴涂用Mo粉末，其特征在于，其為在一次粒子的平均粒徑為Ιμ--以上、ΙΟμ--以下，二次粒子的平均粒徑為20 μ m以上、200 μ m以下的噴涂用Mo粉末中，含有具有長(zhǎng)寬比1.0~1.5的二次粒子的比例為80質(zhì)量％以上、100質(zhì)量％以下。
2.按照權(quán)利要求1所述的噴涂用Mo粉末，其特征在于，在單位面積1000μ mX 1000 μ m的SEM照片中，面積比(長(zhǎng)徑5 μ m以下的粒子的合計(jì)面積比/超過(guò)5 μ m的粒子的合計(jì)面積比)為?~10%ο
3.按照權(quán)利要求1或2所述的噴涂用Mo粉末，其特征在于，二次粒子的密度為5.0kg/cm3以下。
4.按照權(quán)利要求1~3的任何一項(xiàng)所述的噴涂用Mo粉末，其特征在于，Mo純度為99.0%以上。
5.按照權(quán)利要求1~3的任何一項(xiàng)所述的噴涂用Mo粉末，其特征在于，上述噴涂用Mo粉末為Mo粉末與第二成分粉末進(jìn)行混合的粉末。
6.按照權(quán)利要求5所述的噴涂用Mo粉末，其特征在于，上述第二成分粉末為碳化物成分或Ni成分。
7.按照權(quán)利要求5或6所述的噴涂用Mo粉末，其特征在于，含上述第二成分粉末I~35質(zhì)量％而成。
8.按照權(quán)利要求1~7的任何一項(xiàng)所述的噴涂用Mo粉末，其特征在于，實(shí)施脫脂處理或燒結(jié)處 理。
9.按照權(quán)利要求1~8的任何一項(xiàng)所述的噴涂用Mo粉末，其特征在于，流動(dòng)性為50sec/50g 以下。
10.按照權(quán)利要求1~9的任何一項(xiàng)所述的噴涂用Mo粉末，其特征在于，二次粒子的斷面具有Mo粉末及/或第二成分粉末連結(jié)的結(jié)構(gòu)。
11.Mo噴涂膜，其特征在于，采用權(quán)利要求1~10的任何一項(xiàng)所述的噴涂用Mo粉末進(jìn)行噴涂而形成的。
12.Mo噴涂膜部件，其特征在于，具有權(quán)利要求11中所述的Mo噴涂膜。
13.按照權(quán)利要求12所述的Mo噴涂膜部件，其特征在于，Mo噴鍍膜部件是選自汽車(chē)用部件、航空器用部件、發(fā)電機(jī)用部件、X線管用部件、熱電轉(zhuǎn)換器、及金屬模構(gòu)成的組中的至少I(mǎi)種。
14.按照權(quán)利要求12或13所述的Mo噴涂膜部件，其特征在于，上述Mo噴涂膜的平均膜厚為5~500 μ m。
【文檔編號(hào)】B22F1/00GK103781934SQ201280042145
【公開(kāi)日】2014年5月7日 申請(qǐng)日期:2012年10月19日 優(yōu)先權(quán)日:2011年10月20日
【發(fā)明者】青山齊, 森岡勉, 友清憲治, 奧畑孝浩, 山口悟, 中野佳代, 佐藤英樹(shù) 申請(qǐng)人:株式會(huì)社東芝, 東芝高新材料公司