專利名稱：用于非晶硅電池沉積的等離子體氣相沉積設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及太陽能領(lǐng)域，尤其涉及用于非晶硅電池沉積的等離子體氣相沉積設(shè)備。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的等離子體氣相沉積設(shè)備均采用外加熱，因此熱量利用不完全，并且傳統(tǒng)的等離子體氣相沉積設(shè)備控制比較困難，且難以達(dá)到需要的效果。

實用新型內(nèi)容實用新型的目的為了提供一種鍍膜效果好，節(jié)省加熱能源的用于非晶硅電池沉積的等離子體氣相沉積設(shè)備與方法。為了達(dá)到如上目的，本實用新型采取如下技術(shù)方案用于非晶硅電池沉積的等離子體氣相沉積設(shè)備，其特征在于，包含沉積室，沉積室內(nèi)壁有傳熱管道，沉積室通過管道和外部連接，沉積室包含可開的一面門，沉積室內(nèi)部有運動導(dǎo)軌以及壓力傳感器和溫度傳感器。本實用新型進(jìn)一步技術(shù)方案在于，所述運動導(dǎo)軌有兩根且平行分布。本實用新型進(jìn)一步技術(shù)方案在于，所述運動導(dǎo)軌上有可以限制夾具運動位置的限位塊。本實用新型進(jìn)一步技術(shù)方案在于，所述傳熱管道均勻布置在沉積室內(nèi)壁三面上。本實用新型進(jìn)一步技術(shù)方案在于，所述沉積室外部有隔熱材料組成的外壁。本實用新型的另外一種技術(shù)方案是用于非晶硅電池沉積的等離子體氣相沉積方法，其特征在于，包含如下步驟沉積準(zhǔn)備過程； 預(yù)熱沉積環(huán)境150_250°C ; 氬氣起輝、清洗玻璃表面，用氬離子除掉玻璃表面的雜質(zhì)；· P層沉積，通入甲烷，甲烷的主要作用是沉積出碳化硅，作為開窗層，打亂光譜，使得更多的光譜被吸收； 在不起輝的情況下通入30000Sccm的氫氣，進(jìn)行沉積完后的表面處理，打掉沉積過程中產(chǎn)生的弱鍵； 氫氣起輝準(zhǔn)備；第一次PIN沉積； 過渡層沉積； 本征層沉積；· N層第一次沉積；第二次PIN 沉積； 底電池P層(沉積)；[0024] 通入 10000sccmH2，并且電離；· P層微晶硅沉積，摻雜550sccm硼烷，12000sccmH2 ； 先通入15000sccmH2不電離，給下一步電離做環(huán)境準(zhǔn)備； 通入12000sccm量H2,并且電離； 預(yù)先通入12000sccm H2，為底電池本征微晶層做準(zhǔn)備； 本征層沉積，形成微晶層； 第二階段本征層沉積； 第三階段本征層沉積； 第四階段本征層沉積；四次沉積過程會形成階段性的均勻電阻；· N層非晶娃摻雜沉積,分兩階段進(jìn)行,第一階段是lOOOOsccm氫氣流量,500sccm硼烷摻雜；第二階段主要是摻雜離子沉積，提供形成電場后所需要的大量電子，為產(chǎn)生電流做好準(zhǔn)備；沉積完成的沉積室環(huán)境處理； 抽空過程通入氬氣，起到凈化沉積室的作用； 充氬氣狀態(tài)下電離； 抽真空。本實用新型進(jìn)一步技術(shù)方案在于，所述步驟沉積準(zhǔn)備過程和第一次PIN沉積之間還有如下步驟，· 15500sccm H2對沉積表面進(jìn)行清洗； 抽空過程通入500sccm氬氣，起到凈化沉積室的作用； 充氬氣狀態(tài)下電離； 抽真空； 充氫氣狀態(tài)下電離。本實用新型進(jìn)一步技術(shù)方案在于，所述步驟沉積完成的沉積室環(huán)境處理中在抽真空完成后還包含如下步驟充氫氣狀態(tài)下電離，沉積室內(nèi)通入氮氣，平衡氣壓，降低室內(nèi)溫度。采用如上技術(shù)方案的本實用新型，具有如下有益效果鍍膜效果好，節(jié)省加熱能源，可以精確實現(xiàn)限位，使得整個裝置運行穩(wěn)定。

附圖為實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；其中1.沉積室；2.運行導(dǎo)軌；3.屏蔽罩；4.壓力傳感器；5.溫度傳感器；6.電控部分；7.外壁支架。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型的實施例進(jìn)行說明，實施例不構(gòu)成對本實用新型的限制用于非晶硅電池沉積的等離子體氣相沉積設(shè)備，其特征在于，包含沉積室1，沉積室I內(nèi)壁有傳熱管道， 沉積室I通過管道和外部連接，沉積室I包含可開的一面門，沉積室I內(nèi)部有運動導(dǎo)軌2以及壓力傳感器4和溫度傳感器5。壓力和溫度可以方便傳感，以采集內(nèi)部數(shù)據(jù)，進(jìn)行鍍膜工藝的實際控制。通過管道可以調(diào)節(jié)內(nèi)部氣體成分和壓力。本實用新型進(jìn)一步技術(shù)方案在于，所述運動導(dǎo)軌2有兩根且平行分布。所述運動導(dǎo)軌2上有可以限制夾具運動位置的限位塊。用該限位塊可以使得夾具的位置穩(wěn)定固定，而使得整個裝飾運行穩(wěn)定。本設(shè)備還有充氣口，外面配合智能化的充氣裝備。所述傳熱管道均勻布置在沉積室I內(nèi)壁三面上。內(nèi)部通的是加熱油。本實用新型進(jìn)一步技術(shù)方案在于，所述沉積室I外部有隔熱材料組成的外壁。
以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該了解本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.用于非晶硅電池沉積的等離子體氣相沉積設(shè)備，其特征在于，包含沉積室(1)，沉積室(I)內(nèi)壁有傳熱管道，沉積室(I)通過管道和外部連接，沉積室(I)包含可開的一面門，沉積室(I)內(nèi)部有運動導(dǎo)軌(2)以及壓力傳感器(4)和溫度傳感器(5)。
2.如權(quán)利要求1所述的用于非晶硅電池沉積的等離子體氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述運動導(dǎo)軌(2)有兩根且平行分布。
3.如權(quán)利要求1所述的用于非晶硅電池沉積的等離子體氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述運動導(dǎo)軌(2)上有可以限制夾具運動位置的限位塊。
4.如權(quán)利要求1所述的用于非晶硅電池沉積的等離子體氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述傳熱管道均勻布置在沉積室(I)內(nèi)壁三面上。
5.如權(quán)利要求1所述的用于非晶硅電池沉積的等離子體氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述沉積室(I)外部有隔熱材料組成的外壁。
專利摘要本實用新型涉及太陽能領(lǐng)域，尤其涉及用于非晶硅電池沉積的等離子體氣相沉積設(shè)備。本實用新型采取如下技術(shù)方案用于非晶硅電池沉積的等離子體氣相沉積設(shè)備，其特征在于，包含沉積室，沉積室內(nèi)壁有傳熱管道，沉積室通過管道和外部連接，沉積室包含可開的一面門，沉積室內(nèi)部有運動導(dǎo)軌以及壓力傳感器和溫度傳感器。采用如上技術(shù)方案的本實用新型，具有如下有益效果鍍膜效果好，節(jié)省加熱能源，可以精確實現(xiàn)限位，使得整個裝置運行穩(wěn)定。
文檔編號C23C16/50GK202898537SQ20122053615
公開日2013年4月24日 申請日期2012年10月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月19日
發(fā)明者陳五奎, 雷曉全, 王斌 申請人:陜西拓日新能源科技有限公司