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真空加熱器的端頭連接結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:3273292閱讀:251來源:國知局
專利名稱:真空加熱器的端頭連接結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
真空加熱器的端頭連接結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種平面磁控濺射鍍膜設(shè)備,尤其涉及一種真空加熱器的端頭連接結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中的真空鍍膜設(shè)備通常使用的加熱器分為兩種,一種是用多層“ O ”圈加墊片的方法,以螺母壓緊的方式固定加熱器,通過擠壓“ O ”圈來實(shí)現(xiàn)密封效果,但是這種加熱器安裝操作繁瑣,且“O”圈在擠壓過程中易變形,此外,若漏裝“O”圈還會(huì)導(dǎo)致漏氣。另一種常用的加熱器,其端頭是法蘭結(jié)構(gòu),通過法蘭連接固定加熱器這種加熱器主要是加熱絲套管一端與加熱絲進(jìn)行焊接,另一端與法蘭進(jìn)行焊接,采用焊接方式進(jìn)行熔焊以達(dá)到密封目的,但加熱絲套管與法蘭壁厚相差大,焊接易出現(xiàn)二次補(bǔ)焊而造成有害空間,出現(xiàn)微裂紋或疏松孔而導(dǎo)致漏氣。實(shí)用新型內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供一種真空加熱器的端頭連接結(jié)構(gòu),目的在于使加熱器的安裝操作簡單,降低漏氣率。[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型用的技術(shù)方案為[0005]一種真空加熱器的端頭連接結(jié)構(gòu),包括法蘭、加熱絲套管和加熱絲,所述加熱絲位于加熱絲套管內(nèi),所述加熱絲套管位于法蘭內(nèi),所述加熱絲套管一端與加熱絲焊接,另一端與法蘭焊接。所述加熱絲套管分為薄壁焊接端和厚壁焊接端,薄壁焊接端與加熱絲焊接,厚壁焊接端與法蘭焊接。所述法蘭為帶頸法蘭,法蘭頸部與法蘭盤垂直。[0006]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于加熱器端頭焊接部分有針對性,厚壁焊接區(qū)與薄壁焊接區(qū)分開,解決了加熱絲套管與法蘭之間因壁厚相差大而不易焊接,以及焊接易出現(xiàn)二次補(bǔ)焊而造成有害空間、出現(xiàn)微裂紋或疏松孔而導(dǎo)致漏氣的問題,降低了漏氣率;焊接工藝簡單,焊接部位質(zhì)量好,生產(chǎn)加熱器的成品一次焊接合格率提高,提高生了產(chǎn)效率,降低了生產(chǎn)成本。


[0007]下面對本實(shí)用新型說明書各幅附圖表達(dá)的內(nèi)容及圖中的標(biāo)記作簡要說明[0008]圖I為背景技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖;[0009]圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;[0010]圖3為本實(shí)用新型加熱絲套管的放大后的結(jié)構(gòu)示意圖;[0011]上述圖中的標(biāo)記均為[0012]I、法蘭,2、加熱絲套管,3、加熱絲,201、加熱絲套管薄壁端,202、加熱絲套管厚壁端具體實(shí)施方式
[0013]下面對照附圖,通過對最優(yōu)實(shí)施例的描述,對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。[0014]如圖2所示,真空加熱器的端頭連接結(jié)構(gòu),法蘭I、加熱絲套管2和加熱絲3,加熱絲3位于加熱絲套管2內(nèi),加熱絲套管2位于法蘭I內(nèi),加熱絲套管2 —端與加熱絲3焊接, 另一端與法蘭I焊接。[0015]如圖3所所示,加熱絲套管2分為薄壁焊接端201和厚壁焊接[0016]端202,薄壁焊接端201與加熱絲3焊接,厚壁焊接端202與法蘭I焊接。[0017]上面對本實(shí)用新型進(jìn)行了示例性描述,顯然本實(shí)用新型具體實(shí)現(xiàn)并不受上述方式的限制,不論是在其形狀或者結(jié)構(gòu)上做任何變化,只要采用了本實(shí)用新型的方法構(gòu)思和技術(shù)方案進(jìn)行的各種非實(shí)質(zhì)性的改進(jìn),或未經(jīng)改進(jìn)將本實(shí)用新型的構(gòu)思和技術(shù)方案直接應(yīng)用于其它場合的,均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種真空加熱器端頭連接結(jié)構(gòu),包括法蘭(I)、加熱絲套管(2)和加熱絲(3),所述加熱絲(3 )位于加熱絲套管(2 )內(nèi),所述加熱絲套管(2 )位于法蘭(I)內(nèi),所述加熱絲套管(2 )一端與加熱絲(3)焊接,另一端與法蘭(I)焊接,其特征在于,所述加熱絲套管(2)分為薄壁焊接端(201)和厚壁焊接端(202 ),薄壁焊接端(201)與加熱絲(3 )焊接,厚壁焊接端(202 )與法蘭(I)焊接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空加熱器的端頭連接結(jié)構(gòu),其特性在于,所述法蘭(I)為帶頸法蘭,法蘭頸部與法蘭盤垂直。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種真空加熱器的端頭連接結(jié)構(gòu),包括法蘭、加熱絲套管和加熱絲,所述加熱絲位于加熱絲套管內(nèi),所述加熱絲套管位于法蘭內(nèi),所述加熱絲套管分為薄壁焊接端和厚壁焊接端,薄壁焊接端與加熱絲焊接,厚壁焊接端與法蘭焊接。加熱器端頭焊接部分有針對性,厚壁焊接區(qū)與薄壁焊接區(qū)分開,焊接工藝簡單,焊接部位質(zhì)量好,降低了漏氣率,提高生了產(chǎn)效率,降低了生產(chǎn)成本。
文檔編號C23C14/35GK202808932SQ20122044573
公開日2013年3月20日 申請日期2012年9月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月4日
發(fā)明者張兵, 鄭建軍, 王偉, 邵家滿 申請人:蕪湖長信科技股份有限公司
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