專利名稱：一種oled蒸鍍用掩膜板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
—種OLED蒸鍍用掩膜板
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種OLED蒸鍍用掩膜板。
背景技木請參閱圖I及圖2所示，現(xiàn)有掩膜板2呈平板狀，其上設(shè)有用于蒸鍍有機(jī)膜層3的通孔，有機(jī)材料通過該通孔沉積于基板I上；當(dāng)沉積完ー層有機(jī)膜層3后，有時還需要移動掩膜板2的位置以蒸鍍另ー層有機(jī)膜層；掩膜板2的表面與先沉積形成的有機(jī)膜層3的表面平齊，移動掩膜板2時極有可能會壓傷沉積好的有機(jī)膜層3。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供ー種OLED蒸鍍用掩膜板，以有效防止再一次蒸鍍有機(jī)膜層時壓傷已經(jīng)制備好的有機(jī)膜層。為達(dá)到以上目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案ー種OLED蒸鍍用掩膜板，包括平板狀的本體，本體上設(shè)有若干通孔，本體上設(shè)有若干位于對應(yīng)通孔旁側(cè)的凸起。本實(shí)用新型進(jìn)ー步的改進(jìn)在于若干凸起設(shè)置于對應(yīng)通孔的相同側(cè)。本實(shí)用新型進(jìn)ー步的改進(jìn)在于若干凸起設(shè)置于蒸鍍時本體朝向基板的ー側(cè)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型ー種OLED蒸鍍用掩膜板，通過在本體的通孔旁側(cè)設(shè)置凸起，時掩膜板的本體與已經(jīng)形成的有機(jī)膜層之間具有一定的間距；蒸鍍另一有機(jī)膜層時，移動掩膜板不會壓傷已經(jīng)形成的有機(jī)膜層。

圖I為現(xiàn)有掩膜板蒸鍍有機(jī)膜層的示意圖；圖2為移動掩膜板后壓傷已經(jīng)沉積好的有機(jī)膜層的示意圖；圖3為應(yīng)用本實(shí)用新型掩膜板蒸鍍有機(jī)膜層的示意圖；圖4為移動本實(shí)用新型掩膜板的示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)ー步詳細(xì)描述。請參閱圖3及圖4所示，本實(shí)用新型ー種OLED蒸鍍用掩膜板2，包括平板狀的本體20，本體20上設(shè)有多個用于有機(jī)材料蒸鍍時穿過并沉積在基板I上的通孔21，通孔21旁側(cè)在本體20朝向基板I ー側(cè)設(shè)有凸起22。這樣如圖4所示，蒸鍍完有機(jī)膜層3后，移動掩膜板2時，掩膜板2的本體20沒有與有機(jī)膜層3接觸，進(jìn)而不會壓傷已經(jīng)完成的有機(jī)膜層3。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.ー種OLED蒸鍍用掩膜板，其特征在于，包括平板狀的本體(20)，本體(20)上設(shè)有若干通孔(21)，本體(20)上設(shè)有若干位于對應(yīng)通孔(21)旁側(cè)的凸起(22)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種OLED蒸鍍用掩膜板，其特征在于，若干凸起(22)設(shè)置于對應(yīng)通孔(21)的相同側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的ー種OLED蒸鍍用掩膜板，其特征在于，若干凸起(22)設(shè)置于蒸鍍時本體(20)朝向基板(1)的ー側(cè)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種OLED蒸鍍用掩膜板，包括平板狀的本體，本體上設(shè)有若干通孔，本體上設(shè)有若干位于對應(yīng)通孔旁側(cè)的凸起；若干凸起設(shè)置于對應(yīng)通孔的相同側(cè)；若干凸起設(shè)置于蒸鍍時本體朝向基板的一側(cè)。本實(shí)用新型一種OLED蒸鍍用掩膜板，通過在本體的通孔旁側(cè)設(shè)置凸起，時掩膜板的本體與已經(jīng)形成的有機(jī)膜層之間具有一定的間距；蒸鍍另一有機(jī)膜層時，移動掩膜板不會壓傷已經(jīng)形成的有機(jī)膜層。
文檔編號C23C14/04GK202658217SQ20122016925
公開日2013年1月9日 申請日期2012年4月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月19日
發(fā)明者葉添升 申請人:彩虹(佛山)平板顯示有限公司