用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】一種用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，化學(xué)沉積設(shè)備具有罩體及基板，夾固裝置包括致動(dòng)機(jī)構(gòu)及多個(gè)夾持機(jī)構(gòu)，致動(dòng)機(jī)構(gòu)配設(shè)在罩體上；各多個(gè)夾持機(jī)構(gòu)分別連接在罩體，每一夾持機(jī)構(gòu)包含安裝在罩體的固定座、樞接固定座的夾臂及固接在夾臂的抵壓件，各夾臂的一端分別連接致動(dòng)機(jī)構(gòu)并受其驅(qū)動(dòng)，從而使各夾臂以旋擺方式令各抵壓件夾掣固定在基板。本發(fā)明可將基板迅速地夾掣在罩體內(nèi)以進(jìn)行化學(xué)沉積，也能自罩體快速卸離而提高生產(chǎn)效能。
【專(zhuān)利說(shuō)明】用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種夾固裝置，特別是一種用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)在工業(yè)制造的中，利用自動(dòng)化的生產(chǎn)設(shè)備有諸多好處，第一能減少人力成本，僅需要支付操作人員的成本即可。第二能利用機(jī)器代替人力去作具有危險(xiǎn)性的工作，以避免公共意外的產(chǎn)生。第三利用機(jī)器生產(chǎn)精度高，可避免人工制造錯(cuò)誤。因具有上述優(yōu)點(diǎn)，自動(dòng)化生產(chǎn)已成為工業(yè)上不可或缺的利器。
[0003]于半導(dǎo)體制造的過(guò)程中，尤其在CIGS光伏面板工藝，常需在一基板上利用物理氣相沉積或化學(xué)氣相沉積方式形成一鍍膜，當(dāng)然半導(dǎo)體的工藝種類(lèi)十分地多，無(wú)法一一細(xì)數(shù)，但是于工藝中常需要通過(guò)滾輪來(lái)傳送基板至下一個(gè)工藝，如何確保傳送時(shí)，利用夾持結(jié)構(gòu)來(lái)將一基板確實(shí)夾固于一罩體(Hood)的底部，而不使基板與罩體所結(jié)合的結(jié)構(gòu)中的化學(xué)液體泄漏，即為本發(fā)明研發(fā)及保護(hù)的標(biāo)的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其通過(guò)致動(dòng)機(jī)構(gòu)與各夾持機(jī)構(gòu)的組配，可將基板迅速地夾掣在罩體內(nèi)以進(jìn)行化學(xué)沉積，也能自罩體快速卸離而下以提高生產(chǎn)效能。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，所述化學(xué)沉積設(shè)備具有一罩體及一基板，其中，該夾固裝置包括:
[0006]一致動(dòng)機(jī)構(gòu)，配設(shè)在所述罩體上；以及
[0007]多個(gè)夾持機(jī)構(gòu)，分別連接在所述罩體，每一該夾持機(jī)構(gòu)包含安裝在所述罩體的一固定座、樞接該固定座的一夾臂及固接在該夾臂的一抵壓件，各該夾臂的一端分別連接該致動(dòng)機(jī)構(gòu)并受其驅(qū)動(dòng)，從而使各該夾臂以旋擺方式令各該抵壓件夾掣固定在所述基板。
[0008]上述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其中，該致動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一平板及多個(gè)連桿組件，該平板是架設(shè)在所述罩體的上方位置，每一該連桿組件包含一固定連桿及樞接在該固定連桿的一活動(dòng)連桿，該固定連桿的一端固定在該平板，該活動(dòng)連桿遠(yuǎn)離該固定連桿的一端樞接在該夾臂。
[0009]上述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其中，該夾臂包含一 L形桿及自該L形桿端部向外傾斜的一延伸桿，該延伸桿遠(yuǎn)離該L形桿的一端與該活動(dòng)連桿樞接，該L形桿遠(yuǎn)離該延伸桿的一端則供該抵壓件固接。
[0010]上述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其中，該致動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一平板及多個(gè)插桿，該平板對(duì)應(yīng)各該插桿位置架設(shè)在所述罩體的上方，而該固定座形成有供該插桿插設(shè)連接的一插槽，該夾臂包含一 L形桿及自該L形桿端部向內(nèi)傾斜的一延伸桿，該延伸桿遠(yuǎn)離該L形桿的一端與該插桿相互抵接，該L形桿遠(yuǎn)離該延伸桿的一端則供該抵壓件固接。
[0011]上述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其中，該致動(dòng)機(jī)構(gòu)包括多對(duì)驅(qū)動(dòng)組件，每一該驅(qū)動(dòng)組件包含多個(gè)支撐座、一扳桿、多個(gè)連桿、一擺動(dòng)軸及多個(gè)擺動(dòng)臂，各該支撐座間隔固定在所述罩體，在每一該支撐座開(kāi)設(shè)有一導(dǎo)槽，該扳桿穿接在各該導(dǎo)槽中并可作往復(fù)移動(dòng)，各該連桿的兩端樞接在該扳桿和該擺動(dòng)軸，各該擺動(dòng)臂的一端樞接在該擺動(dòng)軸，另一端則樞接在該夾臂，每一該夾持機(jī)構(gòu)還包含一搖桿，該搖桿的兩端分別樞接該固定座和該擺動(dòng)臂。
[0012]為了更好地實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供了一種用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，所述化學(xué)沉積設(shè)備具有一罩體及一基板，其中，該夾固裝置包括:
[0013]一致動(dòng)機(jī)構(gòu)，配設(shè)在所述罩體上；以及
[0014]多個(gè)夾持機(jī)構(gòu),分別連接在所述罩體,每一該夾持機(jī)構(gòu)包含一固定座、一夾臂、一抵壓件及一搖桿，該固定座安裝在所述罩體，該夾臂的一端連接該致動(dòng)機(jī)構(gòu)并受其驅(qū)動(dòng)，該抵壓件固接在該夾臂的另一端，該搖桿的兩端分別樞接該固定座和該夾臂，從而使各該夾臂帶動(dòng)各該抵壓件夾掣固定在所述基板。
[0015]上述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其中，該致動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一運(yùn)動(dòng)缸及一彈性體，該運(yùn)動(dòng)缸包含一缸體及一移動(dòng)桿，該缸體固定在所述罩體的頂面，該移動(dòng)桿容置在該缸體內(nèi)并可線性移動(dòng)，該彈性體容置在該缸體內(nèi)且其兩端彈性抵壓該缸體和該移動(dòng)桿之間，該移動(dòng)桿的一端與該夾臂樞接。
[0016]上述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其中，該移動(dòng)桿開(kāi)設(shè)有一長(zhǎng)槽，該缸體連接有穿設(shè)該長(zhǎng)槽的一定向凸柱。
[0017]上述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其中，該致動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括樞接在該移動(dòng)桿的一卡臂，該卡臂的一端開(kāi)設(shè)有一卡槽，該卡槽可選擇性的對(duì)該定向凸柱作卡掣固定。
[0018]上述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其中，該運(yùn)動(dòng)缸還包括一螺旋彈簧，該螺旋彈簧被彈性?shī)A掣在該卡臂和該移動(dòng)桿之間。
[0019]上述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其中，該致動(dòng)機(jī)構(gòu)包括多個(gè)扳柄，每一該扳柄的兩端分別樞接在該固定座和該夾臂。
[0020]為了更好地實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供了一種用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，所述化學(xué)沉積設(shè)備具有一罩體及一基板，其中，該夾固裝置包括:
[0021]一致動(dòng)機(jī)構(gòu),配設(shè)在所述罩體上,該致動(dòng)機(jī)構(gòu)包括:
[0022]一內(nèi)軸，具有至少一卡榫，該內(nèi)軸的一端具有一端面；
[0023]一彈性件，與該內(nèi)軸的一端連接，該彈性件的一端頂持于該內(nèi)軸的該端面，并提供變形回彈的應(yīng)力；
[0024]一內(nèi)套筒，具有一腔體、一斜面、一卡槽及一滑溝，該內(nèi)套筒套置于該內(nèi)軸外部，且該內(nèi)套筒的一端頂持著該彈性件；以及
[0025]一外套筒，具有一腔體，該腔體壁面設(shè)置至少一內(nèi)凸點(diǎn)，該腔體供該內(nèi)軸、該彈性件及該內(nèi)套筒的組合結(jié)構(gòu)容置，該內(nèi)軸的該端面頂持于該外套筒的底面，該內(nèi)凸點(diǎn)卡合于該內(nèi)套筒的該滑溝，以形成該內(nèi)套筒與該外套筒的滑動(dòng)結(jié)構(gòu)，該外套筒頂持接觸于該內(nèi)軸的該卡榫，從而使該內(nèi)軸做一旋轉(zhuǎn)動(dòng)作；以及
[0026]多個(gè)夾持機(jī)構(gòu),分別連接在所述罩體,每一該夾持機(jī)構(gòu)包含一固定座、一夾臂、一抵壓件及一搖桿，該固定座安裝在所述罩體，該夾臂的一端連接該致動(dòng)機(jī)構(gòu)的該內(nèi)軸并受其驅(qū)動(dòng)，該抵壓件固接在該夾臂的另一端，該搖桿的兩端分別樞接該固定座和該夾臂，從而使各該夾臂帶動(dòng)各該抵壓件夾掣固定在所述基板。
[0027]上述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其中，該內(nèi)套筒的該卡槽具有一死點(diǎn)，以供該內(nèi)軸的該卡榫卡合，且該內(nèi)套筒的該斜面具有一卡點(diǎn)，以供該內(nèi)軸的該卡榫卡合。
[0028]上述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其中，所述基板和該夾臂各設(shè)置有一磁性件，各該磁性件彼此能夠相互磁吸，以強(qiáng)化該夾臂固持于所述基板的應(yīng)力。
[0029]本發(fā)明的技術(shù)效果在于:通過(guò)致動(dòng)機(jī)構(gòu)與各夾持機(jī)構(gòu)的組配，可將基板迅速地夾掣在罩體內(nèi)以進(jìn)行化學(xué)沉積，也能自罩體快速卸離而下以提高生產(chǎn)效能。其適用于連續(xù)性且大量的快速生產(chǎn)。通過(guò)在基板和夾臂或罩體和夾臂設(shè)有磁性件，以提高夾持固定能力。利用各夾臂被致動(dòng)機(jī)構(gòu)的卡臂鎖定，在輸送的過(guò)程中可避免被不慎開(kāi)啟的情況。
[0030]以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0031]圖1為本發(fā)明第一實(shí)施例和沉積設(shè)備的組合外觀圖；
[0032]圖2為本發(fā)明第一實(shí)施例和沉積設(shè)備的相對(duì)運(yùn)動(dòng)圖；
[0033]圖3為本發(fā)明第一實(shí)施例的抵壓件夾固在基板的側(cè)視圖；
[0034]圖4為本發(fā)明第一實(shí)施例的夾臂向上旋起的側(cè)視圖；
[0035]圖5為本發(fā)明第二實(shí)施例和沉積設(shè)備的組合外觀圖；
[0036]圖6為本發(fā)明第二實(shí)施例和沉積設(shè)備的相對(duì)運(yùn)動(dòng)圖；
[0037]圖7為本發(fā)明第二實(shí)施例的抵壓件夾固在基板的側(cè)視圖；
[0038]圖8為本發(fā)明第二實(shí)施例的夾臂向上旋起的側(cè)視圖；
[0039]圖9為本發(fā)明第三實(shí)施例和沉積設(shè)備的組合外觀圖；
[0040]圖10為本發(fā)明第三實(shí)施例和沉積設(shè)備的相對(duì)運(yùn)動(dòng)圖；
[0041]圖11為本發(fā)明第三實(shí)施例的抵壓件夾固在基板的側(cè)視圖；
[0042]圖12為本發(fā)明第三實(shí)施例的夾臂向上旋起的側(cè)視圖；
[0043]圖13A - 13C本發(fā)明第四實(shí)施例和沉積設(shè)備的組合側(cè)視圖及運(yùn)動(dòng)圖；
[0044]圖14A - 14E本發(fā)明第五實(shí)施例和沉積設(shè)備的組合側(cè)視圖及運(yùn)動(dòng)圖；
[0045] 圖15A — 15E本發(fā)明第六實(shí)施例和沉積設(shè)備的組合側(cè)視圖及運(yùn)動(dòng)圖。
[0046]其中，附圖標(biāo)記
[0047]本發(fā)明
[0048]l、la、lb、lc、ld、le 夾固裝置
[0049]10、10a、10b、10c、10d、IOe 致動(dòng)機(jī)構(gòu)
[0050]11、Ila 平板
[0051]Ilb支撐座
[0052]Illb 導(dǎo)槽
[0053]Ilc 扳柄
[0054]Ild運(yùn)動(dòng)缸
[0055]Illd 缸體
[0056]112d 移動(dòng)桿
[0057]113d螺旋彈簧[0058]114d 長(zhǎng)槽
[0059]115d定向凸柱
[0060]He 內(nèi)軸
[0061]1lle 卡榫
[0062]112e 凸緣
[0063]12 柱體
[0064]12a 插桿
[0065]12b 扳桿
[0066]12d 卡臂
[0067]121d 卡槽
[0068]l22d 傾斜面
[0069]12e彈性件
[0070]13連桿組件
[0071]131固定連桿
[0072]132活動(dòng)連桿
[0073]13b 連桿
[0074]13d彈性體
[0075]13e 內(nèi)套筒
[0076]131e 斜面
[0077]132e 卡槽
[0078]133e 滑溝
[0079]134e 死點(diǎn)
[0080]135e 卡點(diǎn)
[0081]14b擺動(dòng)軸
[0082]14d驅(qū)動(dòng)構(gòu)件
[0083]He外套筒
[0084]141e 內(nèi)凸點(diǎn) 141e
[0085]15b擺動(dòng)臂
[0086]20、20a、20b、20c、20d、20e 夾持機(jī)構(gòu)
[0087]21、21a、21b、21c、21d、21e 固定座
[0088]211a 插槽
[0089]22、22a、22b、22c、22d、22e 夾臂
[0090]221、221a、221d、221e L 形桿
[0091]222、222a、222d、222e 延伸桿
[0092]23、23a、23b、23c、23d、23e 抵壓件
[0093]24b、24c、24d、24e 搖桿
[0094]25、25a、25c、25e 磁性件
[0095]9化學(xué)沉積設(shè)備
[0096]91 罩體[0097]911 開(kāi)口
[0098]912 容腔
[0099]92 基板
[0100]93化學(xué)液體
[0101]94緩沖件
[0102]941磁性件
【具體實(shí)施方式】
[0103]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理和工作原理作具體的描述:
[0104]請(qǐng)參閱圖1 一 4，本實(shí)施例提供一種用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，此化學(xué)沉積設(shè)備9是以連續(xù)性且大量生產(chǎn)產(chǎn)品的用途，其主要包括一罩體91、一基板92及一化學(xué)液體93，此罩體91大致呈一矩形狀，其剖斷面為一倒立的U字體，且為平頂?shù)男蛻B(tài)，罩體91具有一開(kāi)口 911及一容腔912，容腔912可供前述化學(xué)液體93注入，開(kāi)口 911則可供前述的基板92封合連接，此基板92可為玻璃材質(zhì)，利用化學(xué)液體93可與基板92產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，于基板92表面形成一鍍膜。
[0105]本實(shí)施例的夾固裝置I主要包括一致動(dòng)機(jī)構(gòu)10及多個(gè)夾持機(jī)構(gòu)20。本實(shí)施例的致動(dòng)機(jī)構(gòu)10是配設(shè)在所述罩體91上，其主要包括一平板11、一柱體12及多個(gè)連桿組件13，此平板11架設(shè)在罩體91的正上方位置，柱體12連接在平板11的中間位置，每一連桿組件13包含一固定連桿131及透過(guò)樞軸樞接在固定連桿131的一端的活動(dòng)連桿132，各固定連桿131以間隔方式焊接結(jié)合在平板11的邊緣上。
[0106]各夾持機(jī)構(gòu)20是對(duì)應(yīng)各連桿組件13配設(shè)罩體91上，每一夾持機(jī)構(gòu)20包含一固定座21、一夾臂22及一抵壓件23，固定座21是安裝在罩體91的側(cè)邊上，夾臂22由一 L形桿221及自L形桿221端部向外傾斜的一延伸桿222所構(gòu)成，在L形桿221和延伸桿222的接合位置透過(guò)樞軸樞接固定座21，延伸桿222遠(yuǎn)離L形桿221的一端透過(guò)樞軸樞接在活動(dòng)連桿132，L形桿221遠(yuǎn)離延伸桿222的一端則供抵壓件23固接，各夾臂22是以旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)方式而令各抵壓件23夾掣固定在基板92。
[0107]此外，可將緩沖件94設(shè)置于基板92及抵壓件23之間，而緩沖件94內(nèi)部設(shè)有一磁性件941，另在夾臂22的L形桿221鄰近抵壓件23的位置、或抵壓件23內(nèi)部也設(shè)有與前述磁性件941相互磁性吸附的一磁性件25，在夾臂22以抵壓件23固持基板92時(shí)，通過(guò)各磁性件941、25的磁性吸力以提高夾持固定能力。
[0108]使用時(shí)利用器具(圖未示出)將柱體12向上拉起，平板11將跟隨柱體12而向上移動(dòng)，并使活動(dòng)連桿132拉動(dòng)夾臂22，各夾臂22將以其與固定座21的樞接處為旋轉(zhuǎn)中心，產(chǎn)生順時(shí)針?lè)较虻男D(zhuǎn)，以令各抵壓件23脫離對(duì)基板92的夾持，而讓基板92和化學(xué)液體93從罩體91被快速卸離下來(lái)(如圖4所示)。反之，將柱體12向下壓掣，平板11將跟隨柱體12而向下移動(dòng)，此時(shí)各夾臂22受到活動(dòng)連桿132的驅(qū)動(dòng)，將以?shī)A臂22與固定座21的樞接處為旋轉(zhuǎn)中心，而使各夾臂22產(chǎn)生逆時(shí)針?lè)较虻男D(zhuǎn)，以令各抵壓件23對(duì)基板92進(jìn)行迅速夾持(如圖3所示)，再將化學(xué)液體93注入罩體91內(nèi)以對(duì)基板92施以鍍膜處理。若抵壓件23受到非預(yù)期的外力向罩體外側(cè)旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，則由于此一旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)將隨上述機(jī)構(gòu)的動(dòng)作而受到平板11阻擋，故使得罩體91及基板92不會(huì)于輸送時(shí)受到非預(yù)期的分離。[0109]請(qǐng)參閱圖5 — 8，為本發(fā)明第二實(shí)施例的夾固裝置，此夾固裝置Ia與第一實(shí)施例的夾固裝置I的主要區(qū)別在于:其致動(dòng)機(jī)構(gòu)IOa包括一平板Ila及多數(shù)插桿12a，此平板Ila是對(duì)應(yīng)各插桿12a位置架設(shè)在罩體91的正上方。
[0110]每一夾持機(jī)構(gòu)20a包含一固定座21a、一夾臂22a及一抵壓件23a,固定座21a是固接在罩體91的側(cè)邊上且于其中間位置形成有一插槽211a，此插槽211a供前述的插桿12a插設(shè)連接，夾臂22a由一 L形桿221a及自L形桿221a端部向內(nèi)傾斜的一延伸桿222a所構(gòu)成，在L形桿221a和延伸桿222a的接合位置透過(guò)樞軸樞接固定座21a，延伸桿222a遠(yuǎn)離L形桿221a的一端與插桿12a相互抵接，L形桿221a遠(yuǎn)離延伸桿222a的一端則供抵壓件23a固接。
[0111]此外，可將緩沖件94設(shè)置于基板92及抵壓件23a之間，而緩沖件94內(nèi)部設(shè)有一磁性件941，另在夾臂22a的L形桿221a鄰近抵壓件23a的位置、或抵壓件23a內(nèi)部也設(shè)有與前述磁性件921相互磁性吸附的一磁性件25a，在夾臂22a以抵壓件23a固持基板92時(shí)，通過(guò)各磁性件941、25a的磁性吸力以提高夾持固定能力。
[0112]使用時(shí)對(duì)平板I Ia施以向下壓掣，各插桿12a將跟隨平板I Ia而向下移動(dòng)，此時(shí)各夾臂22a的延伸桿222a受到插桿12a的抵推，將以?shī)A臂22a與固定座21a的樞接處為旋轉(zhuǎn)中心，而使各夾臂22a產(chǎn)生逆時(shí)針?lè)较虻男D(zhuǎn)，以令各抵壓件23a脫離對(duì)基板92的夾持，讓基板92和化學(xué)液體93從罩體91被快速卸離下來(lái)(如圖8所示)。反之，也可迅速夾持。若抵壓件23a受到非預(yù)期的外力向罩體91外側(cè)旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，則由于此一旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)將隨上述機(jī)構(gòu)的動(dòng)作而受到平板Ila阻擋，故使得罩體91及基板92不會(huì)于輸送時(shí)受到非預(yù)期的分離。
[0113]請(qǐng)參閱圖9 一 12，為本發(fā)明第三實(shí)施例的夾固裝置，此夾固裝置Ib與前述各實(shí)施例的主要區(qū)別在于:其致動(dòng)機(jī)構(gòu)IOb包括多個(gè)對(duì)驅(qū)動(dòng)組件，每一驅(qū)動(dòng)組件包含多個(gè)支撐座lib、一扳桿12b、多個(gè)連桿13b、一擺動(dòng)軸14b及多個(gè)擺動(dòng)臂15b，其中各支撐座Ilb間隔固定在前述的罩體91頂面，并在每一支撐座Ilb上開(kāi)設(shè)有一導(dǎo)槽111b，扳桿12b穿接在各導(dǎo)槽Illb中并可在導(dǎo)槽Illb內(nèi)作往復(fù)移動(dòng)，各連桿13b的兩端分別透過(guò)樞軸樞接在扳桿12b和擺動(dòng)軸14b，各擺動(dòng)臂15b的一端透過(guò)樞軸樞接在擺動(dòng)軸14b。
[0114]每一夾持機(jī)構(gòu)20b包含一固定座21b、一夾臂22b、一抵壓件23b及一搖桿24b，固定座21b是固接在罩體91的側(cè)邊上，各擺動(dòng)臂15b的另一端透過(guò)樞軸樞接在搖桿24b和夾臂22b上。夾臂22b大致呈一 L字形，其一端透過(guò)樞軸樞接在固定座21b和擺動(dòng)臂15b，夾臂22b的另一端則供抵壓件23b固接。而搖桿24b兩端分別樞軸樞接在固定座21b和擺動(dòng)臂15b上。
[0115]使用時(shí)將扳桿12b朝外側(cè)推出，連桿13b將驅(qū)動(dòng)擺動(dòng)臂15b擺動(dòng)，同時(shí)帶動(dòng)搖桿24b和夾臂22b運(yùn)動(dòng)，此時(shí)的各夾臂22b將以其與固定座21b的樞接處為旋轉(zhuǎn)中心，而使各夾臂22b產(chǎn)生逆時(shí)針?lè)较虻男D(zhuǎn)，以令各抵壓件23b脫離對(duì)基板92的夾持，讓基板92和化學(xué)液體93從罩體91被快速卸離下來(lái)(如圖12所示)。反之，將扳桿12b朝內(nèi)側(cè)推入，連桿13b將驅(qū)動(dòng)擺動(dòng)臂15b擺動(dòng)，同時(shí)帶動(dòng)搖桿24b和夾臂22b運(yùn)動(dòng)，此時(shí)的各夾臂22b將以其與固定座21b的樞接處為旋轉(zhuǎn)中心，而使各夾臂22b產(chǎn)生順時(shí)針?lè)较虻男D(zhuǎn)，以令各抵壓件23b對(duì)基板92進(jìn)行迅速夾持(如圖11所示)。若抵壓件23b受到非預(yù)期的外力向罩體外側(cè)旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，則由于此一旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)將隨上述機(jī)構(gòu)的動(dòng)作而受到固定座21b及擺動(dòng)臂15b之間的阻擋，故使得罩體91及基板92不會(huì)于輸送時(shí)受到非預(yù)期的分離。[0116]請(qǐng)參閱圖13A — 13C，為本發(fā)明第四實(shí)施例的夾固裝置，此夾固裝置Ic與前述各實(shí)施例的主要區(qū)別在于:其致動(dòng)機(jī)構(gòu)IOc包括多個(gè)扳柄11c。每一夾持機(jī)構(gòu)20c包含一固定座21c、一夾臂22c、一抵壓件23c及一搖桿24c，固定座21c是固接在罩體91的側(cè)邊上，各扳柄Ilc的兩端分別透過(guò)樞軸樞接在固定座21c和夾臂22c，搖桿24c的兩端分別透過(guò)樞軸樞接在固定座21c和夾臂22c，夾臂22c的另一端則供抵壓件23c固接。
[0117]使用時(shí)將扳柄Ilc以順時(shí)針?lè)较蛐穑瑠A臂22c受到搖桿24c的牽制作用而向上旋動(dòng)，以令各抵壓件23c對(duì)基板92進(jìn)行迅速夾持(如圖13C所示)。反之，將扳柄Ilc以逆時(shí)針?lè)较蛐霑r(shí)，夾臂22c受到搖桿24c的牽制作用而向下旋動(dòng)，并令各抵壓件23c脫離對(duì)基板92的夾持(如圖13A所示)。此外，可將緩沖件94設(shè)置于基板92及抵壓件23c之間，而緩沖件94內(nèi)部設(shè)有一磁性件941，另抵壓件23c內(nèi)部也設(shè)有與前述磁性件941相互磁性吸附的一磁性 件25c，在夾臂22c以抵壓件23c固持基板92時(shí)，通過(guò)各磁性件941、25c的磁性吸力以提高夾持固定能力。
[0118]請(qǐng)參閱圖14A-14E，為本發(fā)明第五實(shí)施例的夾固裝置，此夾固裝置Id與前述各實(shí)施例的主要區(qū)別在于:其致動(dòng)機(jī)構(gòu)IOd包括一運(yùn)動(dòng)缸lid、一^^臂12d及一彈性體13d,運(yùn)動(dòng)缸Ild包含一缸體llld、一移動(dòng)桿112d及一螺旋彈簧113d,缸體Illd固定在罩體91的頂面上，移動(dòng)桿112d則部分容置在缸體Illd內(nèi)并可延伸通過(guò)缸體Illd及彈性體13d以便線性移動(dòng)，彈性體13d容置在缸體Illd內(nèi)且其兩端彈性抵壓缸體11 Id和移動(dòng)桿112d ;移動(dòng)桿112d開(kāi)設(shè)有一長(zhǎng)槽114d，缸體Illd連接有穿設(shè)長(zhǎng)槽114d的一定向凸柱115d。卡臂12d透過(guò)樞軸樞接在移動(dòng)桿112d上，并在卡臂12d的兩端開(kāi)設(shè)有一卡槽121d及成型有一傾斜面122d，螺旋彈簧113d被彈性?shī)A掣在卡臂12d緊鄰傾斜面122d的一側(cè)和移動(dòng)桿112d之間。此外，本實(shí)施例的致動(dòng)機(jī)構(gòu)IOd還包括一驅(qū)動(dòng)構(gòu)件14d,配設(shè)在罩體91的上方用以推動(dòng)移動(dòng)桿 112d。
[0119]每一夾持機(jī)構(gòu)20d包含一固定座21d、一夾臂22d、一抵壓件23d及一搖桿24d，固定座21d是固接在罩體91的側(cè)邊上，夾臂22d由一 L形桿221d及自L形桿221d端部向外傾斜的一延伸桿222d所構(gòu)成，在L形桿221d和延伸桿222d的接合位置透過(guò)樞軸樞接搖桿24d的一端,搖桿24d的另一端則透過(guò)樞軸樞接在固定座21d,延伸桿222d遠(yuǎn)離L形桿221d的一端與移動(dòng)桿112d樞接，L形桿221d遠(yuǎn)離延伸桿222d的一端則供抵壓件23d固接。
[0120]使用時(shí)驅(qū)動(dòng)構(gòu)件14d逐步伸出的過(guò)程中，將推動(dòng)運(yùn)動(dòng)缸Ild的移動(dòng)桿112d朝左側(cè)移動(dòng)，并令卡臂12d的前端部被定向凸柱115d向上提升，而螺旋彈簧113d則是被卡臂12d所壓掣(如圖14C所示)，同時(shí)移動(dòng)桿112d將推動(dòng)夾臂22d以其與搖桿24d和固定座21d的樞接處為旋轉(zhuǎn)中心，而使各夾臂22d產(chǎn)生逆時(shí)針?lè)较虻男D(zhuǎn)，以使各抵壓件23d對(duì)基板92進(jìn)行迅速夾持，此時(shí)卡臂12d受到螺旋彈簧113d的彈性回復(fù)力作用下，將以其卡槽121d卡掣固定在定向凸柱115d(如圖14D所示)，由于各夾臂22d已被致動(dòng)機(jī)構(gòu)IOd的卡臂12d鎖定，因此在輸送的過(guò)程中可避免被不慎開(kāi)啟的情況。反之，在驅(qū)動(dòng)構(gòu)件14d縮回的過(guò)程中，將碰觸傾斜面122d而使定向凸柱115d脫離卡臂12d的卡掣，并利用彈性體13d的彈性回復(fù)力來(lái)使移動(dòng)桿112d朝右側(cè)移動(dòng)，此時(shí)夾臂22d以其與搖桿24d和固定座21d的樞接處為旋轉(zhuǎn)中心，而使各夾臂22d產(chǎn)生順時(shí)針?lè)较虻男D(zhuǎn)，以令各抵壓件23d脫離對(duì)基板92的夾持，讓基板92和化學(xué)液體93從罩體91被快速卸離下來(lái)(如圖14A所示)。
[0121]請(qǐng)參閱圖15A-15E，為本發(fā)明第六實(shí)施例的夾固裝置，此夾固裝置Ie與前述各實(shí)施例的主要區(qū)別在于:其致動(dòng)機(jī)構(gòu)IOe包括一內(nèi)軸lie、一彈性件12e、一內(nèi)套筒13e及一外套筒14e，內(nèi)軸Ile上設(shè)置有至少一^^榫llle，內(nèi)軸Ile的端部具有一凸緣112e。彈性件12e與內(nèi)軸11e具有凸緣112e的一端連接，且彈性件12e —端頂持于內(nèi)軸11e的凸緣112e，并提供變形回彈的應(yīng)力，彈性件12e可為一彈簧或彈性橡膠等可提供回彈應(yīng)力的元件。
[0122]內(nèi)套筒13e具有一腔體(圖中未示)、一斜面131e、一^^槽132e及一滑溝133e，內(nèi)套筒13e套置于內(nèi)軸Ile外部，且其一端頂持著彈性件12e，內(nèi)套筒13e的滑溝133e具有一死點(diǎn)134e，以供內(nèi)軸Ile的卡榫Ille卡合，且內(nèi)套筒13e的斜面131e具有一卡點(diǎn)135e，以供內(nèi)軸lie的卡榫Ille卡合。
[0123]外套筒14e具有一腔體(圖中未示)，腔體壁面設(shè)置至少一內(nèi)凸點(diǎn)141e，腔體可容置內(nèi)軸lie、彈性件12e及內(nèi)套筒13e的組合結(jié)構(gòu)，且內(nèi)軸Ile的凸緣112e頂持于外套筒14e的底面，且內(nèi)凸點(diǎn)141e卡合于內(nèi)套筒13e的卡槽132e，形成內(nèi)套筒13e與外套筒14e的滑動(dòng)結(jié)構(gòu)，外套筒He頂持接觸于內(nèi)軸lie的卡榫Ille時(shí)，可使內(nèi)軸Ile作旋轉(zhuǎn)動(dòng)作。
[0124]每一夾持機(jī)構(gòu)20e包含一固定座21e、一夾臂22e、一抵壓件23e及一搖桿24e，固定座21e是固接在罩體91的側(cè)邊上，夾臂22e由一 L形桿221e及自L形桿221e端部向外傾斜的一延伸桿222e所構(gòu)成，在L形桿221e和延伸桿222e的接合位置透過(guò)樞軸樞接搖桿24e的一端,搖桿24e的另一端則透過(guò)樞軸樞接在固定座21e,延伸桿222e遠(yuǎn)離L形桿221e的一端與內(nèi)軸Ile樞接，L形桿221e遠(yuǎn)離延伸桿222e的一端則供抵壓件23e固接。
[0125]此外，可將緩沖件94設(shè)置于基板92及抵壓件23e之間，而緩沖件94內(nèi)部設(shè)有一磁性件941，另在夾臂22e的L形桿221e鄰近抵壓件23e的位置、或抵壓件23e內(nèi)部也設(shè)有與前述磁性件941相互磁性吸附的一磁性件25e，在夾臂22e以抵壓件23e固持基板92時(shí)，通過(guò)各磁性件941、25e的磁性吸力以提高夾持固定能力。
[0126]由于夾臂22e的施力端所連動(dòng)的內(nèi)軸lie凸出相距于外套筒14e為最短的距離，而彈性件12e未受任何應(yīng)力為最長(zhǎng)的狀態(tài)(如圖15B、15D所示)，內(nèi)軸lie的各卡榫Ille為卡合于對(duì)應(yīng)內(nèi)套筒13e的卡槽133e的死點(diǎn)134e。在外套筒14e自后端接受一應(yīng)力(應(yīng)力可為一般機(jī)械應(yīng)力)后而向前端移動(dòng)，而頂持于內(nèi)軸Ile的凸緣112e的彈性件12e受外套筒He的應(yīng)力而壓縮，同時(shí)內(nèi)軸Ile受應(yīng)力向前端伸出，而卡榫Ille也自?xún)?nèi)套筒13e的卡槽133e的死點(diǎn)134e滑出，但由于此時(shí)內(nèi)軸lie伸出長(zhǎng)度并非是最長(zhǎng)的狀態(tài)，故可視為是機(jī)械臂伸出的暫態(tài)。在外套筒He受應(yīng)力被推壓至底，而彈性件12e也被壓縮至最短，內(nèi)軸Ile伸出的長(zhǎng)度也達(dá)到最長(zhǎng)(如圖15C、15E所示)，而內(nèi)軸lie的卡榫Ille完全脫離卡槽133e。在內(nèi)軸Ile上的卡榫Ille與外套筒14e接觸時(shí)，可使內(nèi)軸Ile作一逆時(shí)針?lè)较虻男D(zhuǎn)動(dòng)作，此時(shí)該卡榫Ille便沿著內(nèi)套筒13e的斜面131e產(chǎn)生滑動(dòng)。在將外套筒14e后端的應(yīng)力移除，彈性件12e產(chǎn)生回復(fù)的應(yīng)力將內(nèi)軸lie的卡榫Ille繼續(xù)順著內(nèi)套筒13e的斜面131e滑動(dòng)，至斜面131e的卡點(diǎn)135e后形成卡合狀態(tài)，同時(shí)將內(nèi)軸Ile伸出狀態(tài)加以固定。此外，若抵壓件23e受到非預(yù)期的外力向罩體91外側(cè)旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，則由于此一旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)將隨上述機(jī)構(gòu)的動(dòng)作而受到致動(dòng)機(jī)構(gòu)IOe的阻擋，故使得罩體91及基板92不會(huì)于輸送時(shí)受到非預(yù)期的分離。
[0127]當(dāng)然，本發(fā)明還可有其它多種實(shí)施例，在不背離本發(fā)明精神及其實(shí)質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，所述化學(xué)沉積設(shè)備具有一罩體及一基板，其特征在于，該夾固裝置包括: 一致動(dòng)機(jī)構(gòu)，配設(shè)在所述罩體上；以及 多個(gè)夾持機(jī)構(gòu)，分別連接在所述罩體，每一該夾持機(jī)構(gòu)包含安裝在所述罩體的一固定座、樞接該固定座的一夾臂及固接在該夾臂的一抵壓件，各該夾臂的一端分別連接該致動(dòng)機(jī)構(gòu)并受其驅(qū)動(dòng)，從而使各該夾臂以旋擺方式令各該抵壓件夾掣固定在所述基板。
2.如權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其特征在于，該致動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一平板及多個(gè)連桿組件，該平板是架設(shè)在所述罩體的上方位置，每一該連桿組件包含一固定連桿及樞接在該固定連桿的一活動(dòng)連桿，該固定連桿的一端固定在該平板，該活動(dòng)連桿遠(yuǎn)離該固定連桿的一端樞接在該夾臂。
3.如權(quán)利要求2所述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其特征在于，該夾臂包含一L形桿及自該L形桿端部向外傾斜的一延伸桿，該延伸桿遠(yuǎn)離該L形桿的一端與該活動(dòng)連桿樞接，該L形桿遠(yuǎn)離該延伸桿的一端則供該抵壓件固接。
4.如權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其特征在于，該致動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一平板及多個(gè)插桿，該平板對(duì)應(yīng)各該插桿位置架設(shè)在所述罩體的上方，而該固定座形成有供該插桿插設(shè)連接的一插槽，該夾臂包含一 L形桿及自該L形桿端部向內(nèi)傾斜的一延伸桿，該延伸桿遠(yuǎn)離該L形桿的一端與該插桿相互抵接，該L形桿遠(yuǎn)離該延伸桿的一端則供該抵壓件固接。
5.如權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其特征在于，該致動(dòng)機(jī)構(gòu)包括多對(duì)驅(qū)動(dòng)組件，每一該驅(qū)動(dòng)組件包含多個(gè)支撐座、一扳桿、多個(gè)連桿、一擺動(dòng)軸及多個(gè)擺動(dòng)臂，各該支撐座間隔固定在所述罩體，在每一該支撐座開(kāi)設(shè)有一導(dǎo)槽，該扳桿穿接在各該導(dǎo)槽中并可作往復(fù)移動(dòng)，各該連桿的兩端樞接在該扳桿和該擺動(dòng)軸，各該擺動(dòng)臂的一端樞接在該擺動(dòng)軸，另一端則樞接在該夾臂，每一該夾持機(jī)構(gòu)還包含一搖桿，該搖桿的兩端分別樞接該固定座和該擺動(dòng)臂。
6.一種用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，所述化學(xué)沉積設(shè)備具有一罩體及一基板，其特征在于，該夾固裝置包括: 一致動(dòng)機(jī)構(gòu)，配設(shè)在所述罩體上；以及 多個(gè)夾持機(jī)構(gòu)，分別連接在所述罩體，每一該夾持機(jī)構(gòu)包含一固定座、一夾臂、一抵壓件及一搖桿，該固定座安裝在所述罩體，該夾臂的一端連接該致動(dòng)機(jī)構(gòu)并受其驅(qū)動(dòng)，該抵壓件固接在該夾臂的另一端，該搖桿的兩端分別樞接該固定座和該夾臂，從而使各該夾臂帶動(dòng)各該抵壓件夾掣固定在所述基板。
7.如權(quán)利要求6所述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其特征在于，該致動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一運(yùn)動(dòng)缸及一彈性體，該運(yùn)動(dòng)缸包含一缸體及一移動(dòng)桿，該缸體固定在所述罩體的頂面，該移動(dòng)桿容置在該缸體內(nèi)并可線性移動(dòng)，該彈性體容置在該缸體內(nèi)且其兩端彈性抵壓該缸體和該移動(dòng)桿之間，該移動(dòng)桿的一端與該夾臂樞接。
8.如權(quán)利要求7所述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其特征在于，該移動(dòng)桿開(kāi)設(shè)有一長(zhǎng)槽，該缸體連接有穿設(shè)該長(zhǎng)槽的一定向凸柱。
9.如權(quán)利要求8所述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其特征在于，該致動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括樞接在該移動(dòng)桿的一卡臂，該卡臂的一端開(kāi)設(shè)有一卡槽，該卡槽可選擇性的對(duì)該定向凸柱作卡掣固定。
10.如權(quán)利要求9所述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其特征在于，該運(yùn)動(dòng)缸還包括一螺旋彈簧，該螺旋彈簧被彈性?shī)A掣在該卡臂和該移動(dòng)桿之間。
11.如權(quán)利要求6所述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其特征在于，該致動(dòng)機(jī)構(gòu)包括多個(gè)扳柄，每一該扳柄的兩端分別樞接在該固定座和該夾臂。
12.一種用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，所述化學(xué)沉積設(shè)備具有一罩體及一基板，其特征在于，該夾固裝置包括: 一致動(dòng)機(jī)構(gòu)，配設(shè)在所述罩體上，該致動(dòng)機(jī)構(gòu)包括: 一內(nèi)軸，具有至少—^榫，該內(nèi) 軸的一端具有一端面； 一彈性件，與該內(nèi)軸的一端連接，該彈性件的一端頂持于該內(nèi)軸的該端面，并提供變形回彈的應(yīng)力； 一內(nèi)套筒，具有一腔體、一斜面、一卡槽及一滑溝，該內(nèi)套筒套置于該內(nèi)軸外部，且該內(nèi)套筒的一端頂持著該彈性件；以及 一外套筒，具有一腔體，該腔體壁面設(shè)置至少一內(nèi)凸點(diǎn)，該腔體供該內(nèi)軸、該彈性件及該內(nèi)套筒的組合結(jié)構(gòu)容置，該內(nèi)軸的該端面頂持于該外套筒的底面，該內(nèi)凸點(diǎn)卡合于該內(nèi)套筒的該滑溝，以形成該內(nèi)套筒與該外套筒的滑動(dòng)結(jié)構(gòu)，該外套筒頂持接觸于該內(nèi)軸的該卡榫，從而使該內(nèi)軸做一旋轉(zhuǎn)動(dòng)作；以及 多個(gè)夾持機(jī)構(gòu)，分別連接在所述罩體，每一該夾持機(jī)構(gòu)包含一固定座、一夾臂、一抵壓件及一搖桿，該固定座安裝在所述罩體，該夾臂的一端連接該致動(dòng)機(jī)構(gòu)的該內(nèi)軸并受其驅(qū)動(dòng)，該抵壓件固接在該夾臂的另一端，該搖桿的兩端分別樞接該固定座和該夾臂，從而使各該夾臂帶動(dòng)各該抵壓件夾掣固定在所述基板。
13.如權(quán)利要求12所述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其特征在于，該內(nèi)套筒的該卡槽具有一死點(diǎn)，以供該內(nèi)軸的該卡榫卡合，且該內(nèi)套筒的該斜面具有一卡點(diǎn)，以供該內(nèi)軸的該卡榫卡合。
14.如權(quán)利要求12所述的用于化學(xué)沉積設(shè)備的夾固裝置，其特征在于，所述基板和該夾臂各設(shè)置有一磁性件，各該磁性件彼此能夠相互磁吸，以強(qiáng)化該夾臂固持于所述基板的應(yīng)力。
【文檔編號(hào)】C23C16/458GK103668102SQ201210372104
【公開(kāi)日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2012年9月28日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月9日
【發(fā)明者】陳傳宜, 游柏清, 藍(lán)受龍, 陳智偉 申請(qǐng)人:亞智科技股份有限公司