專利名稱：蒸鍍用舟皿和使用該蒸鍍用舟皿的成膜方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種加熱薄膜材料以使其蒸發(fā)的蒸鍍用舟皿。
背景技術(shù)：
作為在基板上形成薄膜的代表性方法，有真空蒸鍍法。在上述方法中，通過(guò)使覆蓋室內(nèi)處于真空狀態(tài)，并在內(nèi)部使成膜材料高溫蒸發(fā)，從而在設(shè)于覆蓋室上部的基板上形成薄膜。成膜后的基板表現(xiàn)出該膜的特性，從而可利用在包括半導(dǎo)體在內(nèi)的各種高性能設(shè)備中。在真空蒸鍍裝置的加熱裝置(蒸發(fā)源)中，使用通過(guò)電阻加熱法、電沖擊法、高頻感應(yīng)加熱法進(jìn)行加熱的裝置，但簡(jiǎn)便的電阻加熱法的普遍性高。、此外，電阻加熱用蒸發(fā)源按其形狀可分為螺旋型、舟皿型、箱型、坩鍋型等。其中，舟皿型蒸發(fā)源的蒸鍍用舟皿的形狀具有如下優(yōu)點(diǎn)將收容薄膜材料的有底孔設(shè)置在表面?zhèn)鹊暮癜鍫畹恼翦冇弥勖蠛艹Ｒ?jiàn)，因而不必選擇薄膜材料的形狀就能滿足。此外，蒸鍍用舟皿采用高熔點(diǎn)金屬及其合金或是石墨或陶瓷等，因而，蒸發(fā)源材料表面會(huì)被熱分解氮化硼(PBN)或氮化硼(BN)進(jìn)一步覆蓋。圖12是配置在真空蒸鍍裝置(未圖示)中的蒸鍍用舟皿的設(shè)置例。在覆有PBN的石墨制蒸鍍用舟皿Ia的表面中央形成有池2作為有底孔。在蒸鍍用舟皿的兩端3a、3b連接有用于通電加熱的一對(duì)電極4a、4b。圖13(a)表示蒸鍍用舟皿Ia的俯視圖，圖13(b)表示剖視圖。從材料線材導(dǎo)向件5對(duì)上述蒸鍍用舟皿Ia的池2供給作為薄膜材料的材料線材6。材料線材6被卷繞在卷盤(pán)7上，并在送出輥8的旋轉(zhuǎn)下沿著線材導(dǎo)向件5陸續(xù)伸出，材料線材6的前端到達(dá)卷盤(pán)2。此時(shí)，蒸鍍用舟皿Ia作為以電極4a、4b通電的方式加熱的復(fù)合加熱器，由此來(lái)對(duì)池2內(nèi)的材料進(jìn)行加熱。通過(guò)將陸續(xù)伸出的材料線材6的前端在池2中加熱至規(guī)定蒸汽壓下的熔點(diǎn)以上，從而連續(xù)供給的材料線材6會(huì)以熔融狀態(tài)收容在池2中。接著，此時(shí)繼續(xù)進(jìn)行以蒸鍍用舟皿Ia的上方為蒸發(fā)方向的蒸發(fā)。由于在上述真空蒸鍍工藝中產(chǎn)生的膜與設(shè)備的性能直接相關(guān)，因此，為了提高生產(chǎn)率及成品率，重要的是如何有效地產(chǎn)生均勻的膜，為此，特別要求向蒸鍍用舟皿穩(wěn)定地供給蒸發(fā)粒子。在采用這種蒸鍍用舟皿Ia的情況下，材料供給部9a與材料蒸發(fā)部10之間幾乎沒(méi)有溫差，因而，材料供給部9a的溫度過(guò)度上升。藉此，存在如下問(wèn)題從材料線材導(dǎo)向件5送出的材料線材6在空中熔解，熔解的材料線材6滴在蒸鍍用舟皿Ia上所產(chǎn)生的飛沫會(huì)對(duì)均勻成膜造成影響。作為解決這個(gè)問(wèn)題的方法，在專利文獻(xiàn)I中記載有圖14(a)、圖14(b)的蒸鍍用舟皿lb。在上述蒸鍍用舟皿Ib中，為了降低對(duì)材料線材6的輻射熱來(lái)抑制材料從空中滴下，與池2相鄰地形成有空孔lla、llb。但是，這種結(jié)構(gòu)并沒(méi)有改變作為造成飛沫產(chǎn)生的本質(zhì)問(wèn)題的來(lái)自材料供給部9a的熱量，因而不能得到很大的效果。
此外，在專利文獻(xiàn)2中記載有圖15 (a)、圖15(b)所示的蒸鍍用舟皿lc。在上述蒸鍍用舟皿Ic中，在池2的中央?yún)^(qū)域形成加熱面12，該加熱面12的截面積比與電能源相連的蒸鍍用舟皿Ic的兩端部3a、3b的截面積大，且上述加熱面12突出得比池12的底部高。待熔融的材料線材6在蒸鍍用舟皿Ic的中央?yún)^(qū)域被供給至加熱面12，材料線材6的端部因加熱面12發(fā)熱而被熔融，從而流入至加熱面12兩側(cè)的池2。也就是說(shuō)，加熱面12因具有比較大的橫截面而使電阻比其它區(qū)域的電阻小。其結(jié)果是，蒸鍍用舟皿的線材供給區(qū)域不會(huì)比其它區(qū)域更熱，藉此，能避免材料線材6的前端很早就熔融，進(jìn)而能避免熔解的材料線材6的飛沫。專利文獻(xiàn)I :日本專利特開(kāi)2005-194539號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :日本專利特開(kāi)2003-213403號(hào)公報(bào)然而，在專利文獻(xiàn)2的結(jié)構(gòu)中，雖然能防止飛沫形成，但是由于加熱面12形成在池2的中央?yún)^(qū)域，使得材料蒸發(fā)區(qū)域被加熱面12 —分為二，因而可能出現(xiàn)成膜不均。此外，還出現(xiàn)加熱面12周邊的溫度降低、材料蒸發(fā)區(qū)域縮小這樣的新技術(shù)問(wèn)題?！?br>
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種材料蒸發(fā)區(qū)域不會(huì)縮小、且能避免因材料線材在空中熔解而導(dǎo)致飛沫產(chǎn)生的蒸鍍用舟皿。本發(fā)明的蒸鍍用舟皿在舟皿主體形成有池，其中，上述池具有使供給來(lái)的薄膜材料熔融的材料供給部和供熔融后的薄膜材料從上述材料供給部流入的材料蒸發(fā)部，通過(guò)對(duì)上述舟皿主體的一端與另一端之間通電來(lái)將上述材料蒸發(fā)部的薄膜材料加熱至其蒸發(fā)溫度以上，其特征是，在上述池的上述材料供給部的背面或是側(cè)面形成截面積比上述材料蒸發(fā)部的截面積大的突起部。此外，本發(fā)明的特征是，在上述材料蒸發(fā)部的背面或側(cè)面設(shè)有平坦部和傾斜部，其中，上述平坦部的截面積在將上述一端與上述另一端連接的長(zhǎng)邊方向上相等，上述傾斜部將上述平坦部與上述材料供給部連接，且上述傾斜部的截面積在從上述一端朝向上述另一端的方向上變大。根據(jù)本發(fā)明，由于在舟皿主體形成突起部，因此,利用上述突起部，能使上述池的材料供給部的溫度比材料供給部的溫度低，從而能消除從外部供給來(lái)的薄膜材料在空中熔解而落在材料供給部上的飛沫，并能使從材料蒸發(fā)部蒸發(fā)的薄膜材料穩(wěn)定。而且，由于將突起部設(shè)置在上述池的材料供給部的背面或側(cè)面，因此，不會(huì)出現(xiàn)材料蒸發(fā)區(qū)域縮小。此外，在設(shè)有傾斜部的情況下，能避免因材料供給部的溫度降低而使材料蒸發(fā)部的溫度急劇降低。


圖I是本發(fā)明實(shí)施方式I的實(shí)施例I的蒸鍍用舟皿的立體圖。圖2是實(shí)施例I的蒸鍍用舟皿的俯視圖和剖視圖。圖3是上述實(shí)施方式的溫度分布模擬結(jié)果圖。圖4是表示比較例的蒸鍍用舟皿的俯視圖和剖視圖。圖5是本發(fā)明實(shí)施方式2的實(shí)施例2的蒸鍍用舟皿的立體圖。
圖6是上述實(shí)施方式的蒸鍍用舟皿的俯視圖、剖視圖及側(cè)視圖。圖7是本發(fā)明實(shí)施方式3的實(shí)施例3的蒸鍍用舟皿的立體圖。圖8是上述實(shí)施方式的蒸鍍用舟皿的俯視圖和剖視圖。圖9是上述實(shí)施方式的溫度分布模擬結(jié)果圖。圖10是本發(fā)明實(shí)施方式4的實(shí)施例4的蒸鍍用舟皿的剖視圖和實(shí)施例5的蒸鍍用舟皿的俯視圖。圖11是本發(fā)明實(shí)施方式5的實(shí)施例6的蒸鍍用舟皿的俯視圖。圖12是常見(jiàn)的真空蒸鍍裝置的示意圖。圖13是現(xiàn)有例的蒸鍍用舟皿的俯視圖和剖視圖。 圖14是另一現(xiàn)有例的蒸鍍用舟皿的俯視圖和剖視圖。圖15是又一現(xiàn)有例的蒸鍍用舟皿的俯視圖和剖視圖。(符號(hào)說(shuō)明)M舟皿主體U上表面ld、lf、lg、lh、li、lj蒸鍍用舟皿(日文蒸著用一卜)2 池3a 一端3b 另一端6材料線材9a材料供給部9b材料供給部(第二材料供給部)10材料蒸發(fā)部13a突起部13b突起部(第二突起部)13aa、13ab 突起部14平坦部15a傾斜部15aa、15ab 傾斜部15b傾斜部(第二傾斜部)16傾斜面16aa、16ab 傾斜面TO熔融材料蒸發(fā)所需最低限度的溫度Tl蒸鍍用舟皿Id表面的溫度分布T2圖13所示的蒸鍍用舟皿的溫度分布T3比較例的蒸鍍用舟皿Ie的溫度分布T4蒸鍍用舟皿Ilg表面的溫度分布
具體實(shí)施例方式以下，基于圖I 圖11對(duì)本發(fā)明各實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
(實(shí)施方式I)圖I和圖2 (a)、圖2 (b)表示本發(fā)明實(shí)施例I的蒸鍍用舟皿。上述蒸鍍用舟皿Id在將主要部為石墨制的舟皿主體M的一端3a與另一端3b連接的在長(zhǎng)邊方向上延伸的上表面U上形成有積存熔融的薄膜材料的池2。如圖2(b)所示，在池2背面的靠上述一端3a附近一體形成有截面積比上述另一端3b的截面積大的突起部13a。如圖2(b)所示，在池2背面的靠上述另一端3b附近形成有截面積比突起部13a的截面積小的平坦部14。如圖2(b)所示，在池2背面的突起部13a與平坦部14之間形成有傾斜部15a，該傾斜部15a的截面積隨著從突起部13a靠近平坦部14而逐漸變大。在此，如圖2(a)所示，材料供給部9a、材料蒸發(fā)部10、傾斜部15a的寬度均相同，在與上述長(zhǎng)邊方向垂直的面上的截面積按材料供給部9a、材料蒸發(fā)部10、傾斜部15a的順序變小。此外，傾斜部15a的截面積在材料供給部9a —側(cè)最小，隨著靠近材料蒸發(fā)部10而 變大，在與材料蒸發(fā)部10連接的部位處與材料蒸發(fā)部10的截面積相同。上述蒸鍍用舟皿Id的舟皿主體M由石墨一體成型，然后表面被熱分解氮化硼(PBN)或氮化硼(BN)進(jìn)一步覆蓋。舟皿主體M的加熱是通過(guò)對(duì)一端3a與另一端3b之間通電而利用電阻加熱法將池2的薄膜材料加熱至其蒸發(fā)溫度以上的。圖3的溫度分布Tl表示通過(guò)電/導(dǎo)熱模擬而得到的蒸鍍用舟皿Id表面的溫度分布。橫軸表不距池2 —端3a的距離,縱軸表不表面溫度。詳細(xì)來(lái)說(shuō),在一端3a形成有對(duì)從外部被供給來(lái)的材料進(jìn)行熔融的溫度分布處于1200°C 1300°C的材料供給部9a。材料供給部9a與另一端3b之間形成有使從材料供給部9流入的薄膜材料蒸發(fā)的處于1300°C 1500°C的材料蒸發(fā)部10。此外，傾斜部15a的截面積在材料供給部9a —側(cè)最小，隨著靠近材料蒸發(fā)部10變大，在與材料蒸發(fā)部10連接的部位處與材料蒸發(fā)部10的截面積相同。在此，假定采用鋁作為薄膜材料的情況，圖3的1400°C的表示溫度TO表示為使熔融的薄膜材料蒸發(fā)所需的最低限度的溫度，在蒸鍍用舟皿的表面溫度處于該溫度以上時(shí)進(jìn)行成膜。由石墨一體成型的突起部13a具有使材料供給部9a的溫度為比材料蒸發(fā)部10的1300°C 1500°C的溫度分布低的溫度分布的趨勢(shì)，與突起部13a相鄰設(shè)置的傾斜部15a使從材料供給部9a到材料蒸發(fā)部10的溫度斜率變大，從而能將材料蒸發(fā)部10的溫度降低抑制到最小限度，進(jìn)而能防止材料蒸發(fā)區(qū)域的縮小。在平坦部14上具有使因突起部13a引起的材料蒸發(fā)區(qū)域的縮小效果降低的趨勢(shì)。圖3的溫度分布T2是圖13所示的現(xiàn)有的蒸鍍用舟皿的溫度分布，溫度分布T3是圖4 (a)、圖4 (b)所示的比較例的蒸鍍用舟皿Ie的溫度分布，在該比較例中，在圖13所示的現(xiàn)有的蒸鍍用舟皿Ia上僅設(shè)置突起部13a。在溫度分布Tl、T2、T3中的任一情況下，均規(guī)定為材料供給部9a處于距池端部0 IOmm的范圍，材料蒸發(fā)部處于距池端部10 80mm的范圍。此外，實(shí)施例I的蒸鍍用舟皿的突起部13a的截面積與傾斜部15a的最小截面積之比為8. 6，傾斜部15a的最小截面積與平坦部14的截面積之比為0. 48，傾斜部15a與平坦部14的長(zhǎng)度比為0. 23。從圖3可知，與圖13所示的現(xiàn)有的蒸鍍用舟皿Ia的溫度分布T2在材料供給部9a處于1300°C而較高的情況相比，在本實(shí)施方式的蒸鍍用舟皿Id的溫度分布Tl中，材料供給部9a的溫度處于1200°C附近，從而充分表現(xiàn)出在底面部設(shè)置突起部13a的效果。因上述溫度降低效果而能降低材料供給時(shí)飛沫產(chǎn)生的風(fēng)險(xiǎn)。這是在圖4所示的比較例的蒸鍍用舟皿Ie中也能看得到的效果，但從比較例的溫度分布T3來(lái)看，也會(huì)因溫度降低效果而使材料蒸發(fā)區(qū)域即材料蒸發(fā)部10的溫度降低。這樣雖然能實(shí)現(xiàn)降低飛沫產(chǎn)生的風(fēng)險(xiǎn)，但由于材料蒸發(fā)部10的材料蒸發(fā)區(qū)域縮小，因此，與圖13所示的蒸鍍用舟皿Ia相比，生產(chǎn)率變差是明顯的。與此相對(duì)，在本實(shí)施例I的蒸鍍用舟皿Ia的溫度分布Tl中，從材料供給部9a至材料蒸發(fā)部10的溫度斜率急劇變大，不會(huì)因突起部13a而使材料蒸發(fā)區(qū)域變窄，因此，能獲得與圖13所示的公知的蒸鍍用舟皿同等的生產(chǎn)率。但是，由于根據(jù)突起部13a、傾斜部15a、平坦部14的尺寸不同，也可能無(wú)法獲得以上效果，因此需要注意。例如，突起部13a的截面積與傾斜部15a的最小截面積之比是決定圖3所示的材料供給部9a的溫度的要素。通過(guò)使上述比例處于8. 0以上，將材料供給部9a的溫度與圖13所示的公知的蒸鍍用舟皿比較，能預(yù)期到大約100°C以上的溫度降低效果。 需使材料供給部9a的溫度處于使用材料的熔點(diǎn)以上，但與材料蒸發(fā)部10的溫度相比，越低越好。此外，傾斜部15a的最小截面積與平坦部14的截面積之比及傾斜部15a與平坦部14的長(zhǎng)度之比是決定材料蒸發(fā)部10相對(duì)于傾斜部15a的相對(duì)溫度的要素。若前者的比例小于0. 45、或后者的比例大于0. 3，則平坦部14的電阻值變低，與傾斜部15a相比，發(fā)熱量減少。相反，若前者的比例大于0.55、或后者的比例小于0.2，則平坦部14的電阻值變大，與傾斜部15a相比，發(fā)熱量增加。無(wú)論哪種情況，均會(huì)使蒸鍍用舟皿Id整體上的溫度斜率變大，從而存在發(fā)熱量的均勻性變差、或材料蒸發(fā)區(qū)域縮小的可能性。雖然需要注意上述這種趨勢(shì)來(lái)確定各尺寸，但只要按上述模擬條件，使突起部13a的截面積與傾斜部15a的最小截面積之比為8. 0以上、傾斜部15a的最小截面積與平坦部14的截面積之比為0. 45以上0. 55以下、傾斜部15a與平坦部14的長(zhǎng)度比為0. 2以上0. 3以下，就能獲得上述效果。從結(jié)果上說(shuō)，例如在為降低材料供給部的溫度而設(shè)置突起部13a的圖4所示的比較例的蒸鍍用舟皿Ie中，由于沒(méi)有設(shè)置實(shí)施例I中看到的傾斜部15a，因此，沒(méi)有因上述傾斜部而產(chǎn)生防止材料蒸發(fā)區(qū)域縮小的效果，使得材料蒸發(fā)區(qū)域預(yù)期縮小大約20%，這樣的結(jié)構(gòu)是不甚理想的。另外，即便像圖4所示的比較例那樣除了突起部13a之外沒(méi)有設(shè)置傾斜部15a，通過(guò)將突起部13a的形狀特殊地形成，也能使溫度分布接近實(shí)施例1，這點(diǎn)將在后述的實(shí)施方式4中詳細(xì)說(shuō)明。(實(shí)施方式2)
圖5和圖6 (a)、圖6 (b)、圖6 (C)表示本發(fā)明實(shí)施例2的蒸鍍用舟皿。在實(shí)施例I中，突起部13a突出形成在池2的背面，但在本實(shí)施例2中，突起部13aa、13ab突出形成在池2的側(cè)面，這點(diǎn)與實(shí)施例I不同。蒸鍍用舟皿If由池2、突起部13aa、13ab、傾斜部15aa、15ab和平坦部14構(gòu)成，其中，上述突起部13aa、13ab設(shè)于蒸鍍用舟皿If的兩側(cè)面，上述傾斜部15aa、15ab與突起部13aa、13ab相鄰設(shè)置,上述平坦部14與傾斜部15aa、15ab相鄰設(shè)置。為了維持蒸發(fā)面積，較為理想的是，使突起部13aa、13ab的截面積與傾斜部15aa、15ab的最小截面積之比為8. O以上、傾斜部15aa、15ab的最小截面積與平坦部14的截面積之比為0. 45 0. 55、傾斜部15aa、15ab與平坦部14的長(zhǎng)度比為0. 2 0. 3。從所獲得的效果來(lái)看，與實(shí)施例I相同，但與實(shí)施例I相比，由于蒸鍍用舟皿的寬度方向長(zhǎng)度變大，因此，在具有足夠的寬度方向長(zhǎng)度的覆蓋室內(nèi)單獨(dú)使用或是使用多個(gè)較為理想。(實(shí)施方式3)圖7和圖8 (a)、圖8 (b)表示本發(fā)明實(shí)施例3的蒸鍍用舟皿。在圖I和圖2(a)、圖2(b)所示的實(shí)施例I中，僅在池2的上述一端3a—側(cè)形成了材料供給部9a,但在本實(shí)施例3的蒸鍍用舟皿Ig中，也在池2的上述另一端3b —側(cè)形成材料供給部％。也就是說(shuō)，在池2設(shè)置夾著材料蒸發(fā)部10且在上述另一端3b附近與材料蒸發(fā)部10連接的作為第二材料供給部的材料供給部％，并在池2背面的靠上述另一端3b附近一體形成截面積比平坦部14的截面積大的作為第二突起部的突起部13b，在池2中沿上述長(zhǎng)邊方向形成溫度分布，設(shè)置將平坦部14與材料供給部9b連接的作為第二傾斜部的傾斜部15b，并將傾斜部15b形成為截面積朝靠近上述一端3a的方向變大。較為理想的是，使突起部13a、13a的截面積與傾斜部15a、15b的最小截面積之比為8. 0以上、傾斜部15a、15b的最小截面積與平坦部14的截面積之比為0. 45 0. 55、傾斜部15a、15b與平坦部14的長(zhǎng)度比為0. 2 0. 3。在上述蒸鍍用舟皿11中，能將材料線材6分別送入材料供給部9a、9b而將薄膜材料連續(xù)供給至池2，從而提高生產(chǎn)率。圖9表示蒸鍍用舟皿Ilg表面的溫度分布T4的一例。圖9與圖3 —樣，橫軸表示距池端部的距離，縱軸表示蒸鍍用舟皿的表面溫度，圖9是通過(guò)電/導(dǎo)熱模擬計(jì)算出的蒸鍍用舟皿的表面溫度的分布圖。使突起部13a、13b的截面積與傾斜部15a、15b的最小截面積之比為8. 6,傾斜部15a、15b的最小截面積與平坦部14的截面積之比為0. 48，傾斜部15a、15b與平坦部14的長(zhǎng)度比為0. 23。此外，作為模擬的材料條件，假定蒸鍍用舟皿的材質(zhì)為石墨，作為薄膜材料的鋁熔化后的狀態(tài)。T2是圖13所示的現(xiàn)有的蒸鍍用舟皿Ia的溫度分布。現(xiàn)在，規(guī)定為材料供給部9a處于距池端部0 IOmm的范圍、材料供給部9b處于距池端部80 90mm的范圍、材料蒸發(fā)部10處于距池端部10 80mm的范圍。此外,材料蒸發(fā)下限溫度TO設(shè)為1400°C，在蒸鍍用舟皿表面溫度為材料蒸發(fā)下限溫度TO以上時(shí)進(jìn)行成膜。從圖9可知，與實(shí)施例I 一樣，可實(shí)現(xiàn)在材料供給部9a、9b處的溫度降低，且不會(huì)出現(xiàn)材料蒸發(fā)區(qū)域的縮小。(實(shí)施方式4)圖10(a)、圖10(b)表示本發(fā)明實(shí)施例4、實(shí)施例5的蒸鍍用舟皿。在圖I和圖2(a)、圖2(b)所示的實(shí)施例I中，通過(guò)將突起部13a、傾斜部15a、平坦部14設(shè)置在池2的背面，就能獲得比作為目標(biāo)的溫度分布寬的材料蒸發(fā)區(qū)域，但在圖10(a)所示的實(shí)施例4的蒸鍍用舟皿Ih中，除了突起部13a之外，沒(méi)有設(shè)置傾斜部15a (用假想線表不)。、
本實(shí)施例4的突起部13a的形狀與實(shí)施例I的突起部13a的形狀不同，其是以越靠近材料蒸發(fā)部10截面積越是減小的方式形成傾斜面16的。藉此，能實(shí)現(xiàn)比圖4所示的比較例的情況更接近于實(shí)施例I的溫度分布。在圖5和圖6(a) 圖6(b)所示的實(shí)施例2中，通過(guò)將突起部13aa、13ab、傾斜部15aa、15ab、平坦部14設(shè)置在池2的側(cè)面，就能獲得比作為目標(biāo)的溫度分布寬的材料蒸發(fā)區(qū)域，但在圖10(b)所示的實(shí)施例5的蒸鍍用舟皿Ii中，除了突起部13aa、13ab之外，沒(méi)有設(shè)置傾斜部15aa、15ab (用假想線表示)。本實(shí)施例5的突起部13aa、13ab的形狀與實(shí)施例2的突起部13aa、13ab的形狀不同，其是以越靠近材料蒸發(fā)部10截面積越是減小的方式形成傾斜面16aa、16ab的。藉此，能實(shí)現(xiàn)比圖4所示的比較例的情況更接近于實(shí)施例I的溫度分布。(實(shí)施方式5)圖11表示本發(fā)明實(shí)施例6的蒸鍍用舟皿。 在圖5和圖6(a) 圖6(c)所示的實(shí)施例2中，僅在舟皿主體M的上述一端3a設(shè)置有材料供給部9a，但在圖11所示的實(shí)施例6的蒸鍍用舟皿Ij中，也在舟皿主體M的上述另一端3b具有材料供給部％，這點(diǎn)是不同的。在實(shí)施例6中，通過(guò)在靠一端3a附近的池2的側(cè)面形成突起部13aa、13ab、傾斜部15aa、15ab,也在靠另一端3b附近的池2的側(cè)面形成突起部13ba、13bb、傾斜部15ba、15bb,從而能實(shí)現(xiàn)與實(shí)施例3相同的溫度分布。在上述實(shí)施例6中，除了突起部13aa、13ab之外還形成了傾斜部15aa、15ab,除了突起部13ba、13bb之外還形成了傾斜部15ba、15bb,但與圖10(b)所示的實(shí)施例5的情況一樣，通過(guò)在突起部13aa、13ab、13ba、13bb上以越靠近材料蒸發(fā)部10截面積越是減小的方式形成傾斜面，也能獲得比作為目標(biāo)的溫度分布寬的材料蒸發(fā)區(qū)域。對(duì)上述各實(shí)施方式的平坦部14的截面積在上述長(zhǎng)邊方向上相等的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但即便在平坦部14的表面形成數(shù)毫米以內(nèi)的凹凸而使截面積在上述長(zhǎng)邊方向上大致相等，也能期待相同的效果。本發(fā)明不局限于真空蒸鍍，其還有助于在各種設(shè)備制造工序中的成膜工序的成品率提聞及生廣率提聞。
權(quán)利要求
1.一種蒸鍍用舟皿，在舟皿主體形成有池，其中，所述池具有使供給來(lái)的薄膜材料熔融的材料供給部和供熔融后的薄膜材料從所述材料供給部流入的材料蒸發(fā)部，通過(guò)對(duì)所述舟皿主體的一端與另一端之間通電來(lái)將所述材料蒸發(fā)部的薄膜材料加熱至其蒸發(fā)溫度以上，其特征在于， 在所述池的所述材料供給部的背面或是側(cè)面形成截面積比所述材料蒸發(fā)部的截面積大的突起部。
2.如權(quán)利要求I所述的蒸鍍用舟皿，其特征在于，將所述突起部的形狀成型成越靠近所述材料蒸發(fā)部截面積越是變小。
3.如權(quán)利要求I所述的蒸鍍用舟皿，其特征在于，在所述材料蒸發(fā)部的背面或側(cè)面設(shè)有平坦部和傾斜部，其中，所述平坦部的截面積在將所述一端與所述另一端連接的長(zhǎng)邊方向上相等，所述傾斜部將所述平坦部與所述材料供給部連接，所述傾斜部的截面積在從所述一端朝向所述另一端的方向上變大。
4.如權(quán)利要求3所述的蒸鍍用舟皿，其特征在于，在與將所述一端與所述另一端連接的長(zhǎng)邊方向垂直的面上的截面積按所述材料供給部、所述材料蒸發(fā)部、所述傾斜部的順序變小。
5.如權(quán)利要求4所述的蒸鍍用舟皿，其特征在于，所述傾斜部的截面積在材料供給部一側(cè)最小，隨著靠近材料蒸發(fā)部變大，在與材料蒸發(fā)部連接的部位處與材料蒸發(fā)部的截面積相同。
6.如權(quán)利要求4所述的蒸鍍用舟皿，其特征在于，所述材料供給部的截面積與所述傾斜部的最小截面積之比為8. O以上。
7.如權(quán)利要求4所述的蒸鍍用舟皿，其特征在于，在所述傾斜部的最小部分處，所述傾斜部的截面積與所述材料蒸發(fā)部的截面積之比為O. 45以上O. 55以下。
8.如權(quán)利要求4所述的蒸鍍用舟皿，其特征在于，所述傾斜部的所述長(zhǎng)邊方向上的長(zhǎng)度與所述材料蒸發(fā)部的所述長(zhǎng)邊方向上的長(zhǎng)度之比為O. 20以上O. 30以下。
9.如權(quán)利要求3至8中任一項(xiàng)所述的蒸鍍用舟皿，其特征在于， 在形成有所述材料蒸發(fā)部的上表面上，設(shè)有夾著所述材料蒸發(fā)部且在所述另一端與所述材料蒸發(fā)部連接的第二材料供給部， 不是在形成有所述材料蒸發(fā)部的上表面，而是在背面或是側(cè)面的靠所述另一端附近形成截面積比所述平坦部的截面積大的突起部， 設(shè)置將所述平坦部與所述第二材料供給部連接的第二傾斜部，并將所述第二傾斜部形成為截面積在朝所述另一端的方向上變大。
10.一種成膜方法，將薄膜材料供給至權(quán)利要求I至9中任一項(xiàng)所述的蒸鍍用舟皿的材料供給部以使所述薄膜材料熔融，將熔融后的所述薄膜材料引導(dǎo)至材料蒸發(fā)部，并使所述薄膜材料在所述材料蒸發(fā)部處蒸發(fā)，從而將所述薄膜材料的薄膜蒸鍍到被對(duì)象物。
全文摘要
一種蒸鍍用舟皿和使用該蒸鍍用舟皿的成膜方法。一種蒸鍍用舟皿，其能消除材料線材在空中熔解而產(chǎn)生的飛沫，并且材料蒸發(fā)區(qū)域不會(huì)縮小。以使池(2)一端(3a)的材料供給部(9a)的溫度比與該材料供給部(9a)另一端(3b)一側(cè)連接的材料蒸發(fā)部(10)的溫度低的方式，在池(2)的材料蒸發(fā)部(10)背面設(shè)有截面積相等的平坦部(14)和將平坦部(14)與材料供給部(9a)連接的傾斜部(15a)，并將傾斜部(15a)形成為截面積在從一端(3a)到另一端(3b)的方向上變大，由此形成溫度分布。
文檔編號(hào)C23C14/24GK102677000SQ201210073590
公開(kāi)日2012年9月19日 申請(qǐng)日期2012年3月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月10日
發(fā)明者上口洋輝, 大島章義, 山本昌裕, 竹澤昌宏 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社