專利名稱：一種蝕刻機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及印刷電路板生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特指一種蝕刻機(jī)。
背景技術(shù)：
隨著電子技術(shù)的飛速發(fā)展，印刷電路板集成度越來(lái)越高，印刷電路板的導(dǎo)電線路制作得越來(lái)越精細(xì)，這要求生產(chǎn)制作印刷電路板時(shí)要保證控制嚴(yán)格，減少公差，均勻性要好。現(xiàn)有的濕式印刷電路板生產(chǎn)設(shè)備的成本較低、操作簡(jiǎn)單，在印刷電路板的生產(chǎn)中得以廣泛使用。印刷電路板生產(chǎn)的基本工序一般包括顯影過(guò)程、蝕刻過(guò)程和退膜過(guò)程，顯影過(guò)程是指采用顯影液將膜上未經(jīng)紫外線輻射的部分溶解，已經(jīng)紫外線輻射而發(fā)生聚合反 應(yīng)的部分保留；蝕刻過(guò)程是指采用蝕刻液將印刷電路板上未被保護(hù)膜保護(hù)而露出的銅蝕刻掉；退膜過(guò)程是指將印刷電路板上的保護(hù)膜去掉，露出已加工好的線路。然而，在制作印刷電路板的過(guò)程中，往往會(huì)發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有的印刷電路板生產(chǎn)設(shè)備存在以下的不足。I、顯影、蝕刻和退膜等工藝不能同時(shí)集中在同一臺(tái)設(shè)備上，不能達(dá)到一次完成的生產(chǎn)要求，同時(shí)自動(dòng)化程度低，生產(chǎn)設(shè)備上缺乏控制系統(tǒng)，導(dǎo)致設(shè)備上的諸多調(diào)整需要人工操作，使工作效率降低。2、印刷電路板傳送的過(guò)程中，容易發(fā)生打滑、偏移等問(wèn)題，導(dǎo)致傳輸?shù)男Ч档停绊戯@影、蝕刻和退膜效果。3、在蝕刻的過(guò)程中由于設(shè)備的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不合理，使蝕刻液自電路板的邊緣區(qū)流出板外，而電路板的中央?yún)^(qū)域積留，形成水池，產(chǎn)生水池效應(yīng)。4、隨著印刷電路板生產(chǎn)規(guī)模不斷擴(kuò)大，從中自然會(huì)產(chǎn)生諸多廢棄物，由于現(xiàn)有的印刷電路板生產(chǎn)設(shè)備的過(guò)濾回收效果差和設(shè)計(jì)不合理，該廢棄物對(duì)室內(nèi)和室外環(huán)境的污染已經(jīng)嚴(yán)重影響工作和生活環(huán)境，同時(shí)廢棄物中具有諸多可循環(huán)利用的原料，造成了浪費(fèi)和生產(chǎn)成本的升高。因此，有必要設(shè)計(jì)一種集顯影、蝕刻和退膜等工藝為一體、設(shè)計(jì)合理、制板和過(guò)濾回收效果良好的自動(dòng)化蝕刻機(jī)。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足提供一種蝕刻機(jī)，它結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，集顯影、蝕刻和退膜等工藝為一體，制板和過(guò)濾回收效果良好，自動(dòng)化程度高。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的。一種蝕刻機(jī)，其包括控制系統(tǒng)以及與控制系統(tǒng)電連接的并且依次設(shè)置的進(jìn)板機(jī)構(gòu)、顯影機(jī)構(gòu)、蝕刻機(jī)構(gòu)、退膜機(jī)構(gòu)、脫水烘干機(jī)構(gòu)和出板機(jī)構(gòu)，所述進(jìn)板機(jī)構(gòu)、所述顯影機(jī)構(gòu)、所述蝕刻機(jī)構(gòu)、所述退膜機(jī)構(gòu)、所述脫水烘干機(jī)構(gòu)和所述出板機(jī)構(gòu)通過(guò)獨(dú)立設(shè)置的傳動(dòng)裝置連接，所述顯影機(jī)構(gòu)、所述蝕刻機(jī)構(gòu)和所述退膜機(jī)構(gòu)分別連接有分段式排氣裝置、過(guò)濾裝置以及泵裝置。進(jìn)一步的，所述顯影機(jī)構(gòu)包括依次設(shè)置的顯影室和第一清洗室，所述顯影室內(nèi)設(shè)置有儲(chǔ)存顯影液體的顯影槽和搖擺架?chē)娏苎b置；所述第一清洗室內(nèi)設(shè)置有第一清洗槽和復(fù)數(shù)個(gè)位于傳動(dòng)裝置上下方的清洗噴嘴。進(jìn)一步的，所述蝕刻機(jī)構(gòu)包括依次設(shè)置的蝕刻室、補(bǔ)償室和第二清洗室，所述蝕刻室與所述補(bǔ)償室通過(guò)液體管道連接，所述蝕刻室設(shè)置有儲(chǔ)存蝕刻液體的蝕刻槽和搖擺架?chē)娏苎b置；所述補(bǔ)償室設(shè)置有補(bǔ)償裝置，補(bǔ)償裝置由復(fù)數(shù)根上噴管和復(fù)數(shù)根下噴管構(gòu)成，上噴管和下噴管分別通過(guò)氣閥與進(jìn)水管連接，上噴管和下噴管分別設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)補(bǔ)償噴嘴，相鄰的上噴管之間的噴嘴交錯(cuò)排布，復(fù)數(shù)根所述上噴管的噴嘴形成三角型排布，氣閥與進(jìn)水管之間連接有壓力表；所述第二清洗室設(shè)置有第二清洗槽和復(fù)數(shù)個(gè)位于傳動(dòng)裝置上下方的清洗噴嘴。 進(jìn)一步的，所述搖擺架?chē)娏苎b置由搖擺架和壓力控制裝置構(gòu)成，搖擺架通過(guò)上接軟管和下接軟管與壓力控制裝置相連接，所述搖擺架包括上噴架和下噴架，所述上噴架和所述下噴架通過(guò)搖臂連接，上噴架的板面和下噴架的板面上分別設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)出水口，所述出水口是均勻分布的，出水口上設(shè)置有噴嘴，上噴架固定連接有拉臂，拉臂設(shè)置有偏心塊，偏心塊與馬達(dá)連接軸連接，搖臂中部設(shè)置有固定銷(xiāo)；所述壓力控制裝置包括壓力表和球閥。進(jìn)一步的，所述退膜機(jī)構(gòu)包括依次設(shè)置的退膜室和第三清洗室，所述退膜室設(shè)置有儲(chǔ)存退膜液體的退膜槽和噴灑裝置，所述噴灑裝置設(shè)置有噴管和噴嘴，噴嘴由噴嘴座、噴頭和噴嘴蓋組成，噴頭設(shè)置于噴嘴座內(nèi)，噴嘴蓋連接于噴嘴座，噴嘴座通過(guò)前夾扣和后夾扣固定在噴管沿長(zhǎng)度方向設(shè)置的出水孔上，前夾扣和后夾扣通過(guò)螺栓連接；所述第三清洗室內(nèi)設(shè)置有第三清洗槽和復(fù)數(shù)個(gè)位于傳動(dòng)裝置上下方的清洗噴嘴。進(jìn)一步的，所述脫水烘干機(jī)構(gòu)包括依次設(shè)置的冷風(fēng)吹干裝置和熱風(fēng)烘干裝置，所述熱風(fēng)烘干裝置設(shè)置有鼓風(fēng)機(jī)、熱風(fēng)分支器和熱風(fēng)管，鼓風(fēng)機(jī)和熱風(fēng)分支器位于傳送裝置的下方，所述傳送裝置的上下兩側(cè)分別設(shè)置有風(fēng)刀裝置。進(jìn)一步的，所述傳動(dòng)裝置包括安裝架，在安裝架上設(shè)置有復(fù)數(shù)條上傳送軸和復(fù)數(shù)條下傳送軸，上傳送軸位于下傳送軸正上方，上傳送軸上設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)上傳送輪，下傳送軸上設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)與上傳送輪相對(duì)應(yīng)的下傳送輪，上傳送軸和下傳送軸通過(guò)上傳送齒輪和下傳送齒輪嚙合，安裝架一側(cè)的第一傳送主軸上設(shè)置有主傳送齒輪，下傳送齒輪與主傳送齒輪嚙合連接，第一傳送主軸與電機(jī)相鏈接，所述安裝架另一側(cè)還設(shè)置有第二傳送主軸，第二傳送主軸設(shè)置有主傳送齒輪，主傳送齒輪與下傳送軸另一側(cè)的下傳送齒輪嚙合。進(jìn)一步的，所述排氣裝置包括排氣管、排氣管調(diào)節(jié)裝置、支撐架和至少一個(gè)冷凝回收裝置，所述排氣管調(diào)節(jié)裝置設(shè)置有連接管，連接管上設(shè)置有調(diào)節(jié)旋鈕，調(diào)節(jié)旋鈕穿過(guò)連接管中部的通孔并且與設(shè)置于連接管內(nèi)部的調(diào)節(jié)擋板連接，所述調(diào)節(jié)擋板的另一端與導(dǎo)向柱連接；所述冷凝回收裝置包括箱體，箱體的底板設(shè)置有進(jìn)氣管和進(jìn)水口，箱體的頂板設(shè)置有排氣管和排水口，設(shè)置于箱體內(nèi)的中間筒體與進(jìn)氣管連接，箱體設(shè)置有分流腔和冷凝腔，分流腔和冷凝腔通過(guò)進(jìn)氣管上的分流口相連通，排氣管與中間筒體連接并伸入中間筒體內(nèi)，排氣管與進(jìn)氣管不相通，排氣管上設(shè)置有排氣孔，冷凝腔內(nèi)設(shè)置有冷凝管，冷凝管的進(jìn)水管設(shè)置于進(jìn)水口，冷凝管的出水管設(shè)置于排水口，箱體的底板上還設(shè)置有回流管。[0020]進(jìn)一步的，所述過(guò)濾裝置包括棉芯過(guò)濾器、藍(lán)色過(guò)濾器和位于退膜機(jī)構(gòu)的滾筒式過(guò)濾膜渣裝置，所述滾筒式過(guò)濾膜渣裝置設(shè)置有液體缸、匯流入口、滾筒過(guò)濾裝置、噴管、接渣盒、排渣道、二次過(guò)濾槽和收集框，噴管位于滾筒過(guò)濾裝置和接渣盒的上方，接渣盒和匯流入口分別接于滾筒過(guò)濾裝置內(nèi)，接渣盒設(shè)置于匯流入口的上方，并且接渣盒是傾斜設(shè)置的，接渣盒的出口通過(guò)排渣道與二次過(guò)濾槽的入口相連通,收集框安放于二次過(guò)濾槽的出口下方。進(jìn)一步的，所述泵裝置包括立式泵和高壓泵，所述立式泵分別與棉芯過(guò)濾器、藍(lán)色過(guò)濾器連接；所述高壓泵與滾筒式過(guò)濾膜渣裝置連接。本實(shí)用新型由于采用上述技術(shù)方案而具有的有益效果。I、本實(shí)用新型在控制系統(tǒng)的控制下，將顯影、蝕刻、退膜等工序有機(jī)地結(jié)合為一體，在一臺(tái)設(shè)備中自動(dòng)完成整個(gè)生產(chǎn)制造過(guò)程，自動(dòng)化程度高。2、本實(shí)用新型采用雙傳送主軸設(shè)計(jì)的傳動(dòng)裝置，減少蝕刻機(jī)的故障率增加等缺 點(diǎn)，能夠平穩(wěn)可靠地輸送電路板，防止電路板在輸送過(guò)程中的偏移、打滑。3、本實(shí)用新型采用了搖擺架?chē)娏苎b置、壓力控制裝置、補(bǔ)償裝置等結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)不合理，防止了水池效應(yīng)產(chǎn)生，顯影、蝕刻、退膜等工藝的制板效果大大提高。4、本實(shí)用新型采用了設(shè)計(jì)合理的過(guò)濾裝置和排氣裝置，有效避免了對(duì)環(huán)境的污染，同時(shí)能夠徹底的對(duì)可循環(huán)利用的物質(zhì)進(jìn)行過(guò)慮回收，節(jié)省了生產(chǎn)成本，符合節(jié)能生產(chǎn)的目的。

圖I為本實(shí)用新型的布局框圖。圖2為本實(shí)用新型出紙機(jī)構(gòu)和顯影機(jī)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實(shí)用新型出紙機(jī)構(gòu)和顯影機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。圖4為本實(shí)用新型蝕刻機(jī)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本實(shí)用新型蝕刻機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。圖6為本實(shí)用新型退膜機(jī)構(gòu)和出板機(jī)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖7為本實(shí)用新型退膜機(jī)構(gòu)和出板機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。圖8為本實(shí)用新型傳動(dòng)裝置的部分結(jié)構(gòu)示意圖。圖9為本實(shí)用新型補(bǔ)償裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖10為本實(shí)用新型搖擺架?chē)娏苎b置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖11為本實(shí)用新型搖擺架的結(jié)構(gòu)示意圖。圖12為本實(shí)用新型噴灑裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖13為本實(shí)用新型脫水烘干裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖14為本實(shí)用新型風(fēng)刀裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖15為本實(shí)用新型排氣管調(diào)節(jié)裝置的局部剖視圖。圖16為本實(shí)用新型冷凝回收裝置隱去冷凝管的剖視圖。圖17為本實(shí)用新型冷凝回收裝置的半剖視圖。圖18為本實(shí)用新型滾筒式過(guò)濾膜渣裝置的局部剖視圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。如圖I至圖18所示，一種蝕刻機(jī)，其包括控制系統(tǒng)以及與控制系統(tǒng)電連接并依次設(shè)置的進(jìn)板機(jī)構(gòu)I、顯影機(jī)構(gòu)2、蝕刻機(jī)構(gòu)3、退膜機(jī)構(gòu)4、脫水烘干機(jī)構(gòu)5和出板機(jī)構(gòu)6，進(jìn)板機(jī)構(gòu)I、顯影機(jī)構(gòu)2、蝕刻機(jī)構(gòu)3、退膜機(jī)構(gòu)4、脫水烘干機(jī)構(gòu)5和出板機(jī)構(gòu)6通過(guò)獨(dú)立設(shè)置的傳動(dòng)裝置7連接，顯影機(jī)構(gòu)2、蝕刻機(jī)構(gòu)3和退膜機(jī)構(gòu)4分別連接有分段式排氣裝置8、過(guò)濾裝置以及泵裝置，蝕刻機(jī)的機(jī)體外還設(shè)置有控制系統(tǒng)的操作面板，工作時(shí)，在操作面板上打開(kāi)各種裝置的開(kāi)關(guān)并輸入各種參數(shù)，譬如速度參數(shù)、時(shí)間參數(shù)等。本實(shí)施例中，顯影機(jī)構(gòu)2采用顯影液將印刷電路板膜上未經(jīng)紫外線輻射的部分溶
解，已經(jīng)紫外線輻射而發(fā)生聚合反應(yīng)的部分保留。具體而言，顯影機(jī)構(gòu)2包括依次設(shè)置的顯影室20和第一清洗室21，顯影室20內(nèi)設(shè)置有儲(chǔ)存顯影液的顯影槽200和搖擺架?chē)娏苎b置201 ;第一清洗室21內(nèi)設(shè)置有第一清洗槽210和復(fù)數(shù)個(gè)位于傳動(dòng)裝置7上下方的清洗噴嘴。本實(shí)施例中，蝕刻機(jī)構(gòu)3采用蝕刻液將印刷電路板上未被保護(hù)膜保護(hù)而露出的銅蝕刻掉。具體而言，蝕刻機(jī)構(gòu)3包括依次設(shè)置的蝕刻室30、補(bǔ)償室31和第二清洗室32，蝕刻室30與補(bǔ)償室31通過(guò)液體管道連接，蝕刻室30設(shè)置有儲(chǔ)存蝕刻液的蝕刻槽300和搖擺架?chē)娏苎b置201 ;第二清洗室32設(shè)置有第二清洗槽320和復(fù)數(shù)個(gè)位于傳動(dòng)裝置7上下方的清洗噴嘴。補(bǔ)償室31設(shè)置有補(bǔ)償裝置310，能起到輔助蝕刻的作用。補(bǔ)償裝置310由復(fù)數(shù)根上噴管3100和復(fù)數(shù)根下噴管3101構(gòu)成，上噴管3100和下噴管3101分別通過(guò)氣閥3102與進(jìn)水管3103連接，上噴管3100和下噴管3101均等間距設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)補(bǔ)償噴嘴，相鄰的上噴管3100之間的噴嘴交錯(cuò)排布，復(fù)數(shù)根上噴管3100的噴嘴共同形成三角型排布，氣閥3102與進(jìn)水管3103之間連接有壓力表3104，工作時(shí)，傳動(dòng)裝置7將印刷電路板送到上噴管3100和下噴管3101的中間，依次經(jīng)過(guò)第一根上噴管的噴嘴至第五根上噴管的噴嘴，同時(shí)使用者根據(jù)印刷電路板的板面情況適當(dāng)調(diào)節(jié)壓力表3104和氣閥3102控制噴淋，有效解決印刷電路板板面因?yàn)殂~厚不均和水池效應(yīng)導(dǎo)致蝕刻不干凈導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢的問(wèn)題，對(duì)印刷電路板的蝕刻效果好，提高了產(chǎn)品的質(zhì)量及降低生產(chǎn)成本。在顯影機(jī)構(gòu)2和蝕刻機(jī)構(gòu)3中的搖擺架?chē)娏苎b置201由搖擺架202和壓力控制裝置203構(gòu)成，搖擺架202通過(guò)上接軟管204和下接軟管205與壓力控制裝置203相連接，搖擺架202包括上噴架2020和下噴架2021，上噴架2020和下噴架2021通過(guò)搖臂2022連接，上噴架2020的板面和下噴架2021的板面上均勻分布有復(fù)數(shù)個(gè)出水口 2023，出水口 2023上設(shè)置有噴嘴，上噴架2020的板面和下噴架2021的板面分別為傾斜設(shè)置,上噴架2020的板面和下噴架2021的板面互相平行，上噴架2020固定連接有拉臂2024，拉臂2024設(shè)置有偏心塊2025，偏心塊2025與馬達(dá)連接軸2026連接，搖臂2022中間位置設(shè)置有固定銷(xiāo)2027，工作時(shí)，上噴架2020和下噴架2021能平行擺動(dòng)，噴淋水形覆蓋面更廣更均勻，避免產(chǎn)生“水池效應(yīng)”。壓力控制裝置203包括壓力表2030和球閥2031，通過(guò)調(diào)節(jié)壓力控制裝置203，控制噴嘴出水量，使壓力平均，可根據(jù)生產(chǎn)速度和工藝要求來(lái)控制蝕刻速度，提高產(chǎn)品質(zhì)量。本實(shí)施例中，退膜機(jī)構(gòu)4采用退膜液將印刷電路板上的保護(hù)膜去掉，露出已加工好的線路。具體而言，退膜機(jī)構(gòu)4包括依次設(shè)置的退膜室40和第三清洗室41，退膜室40設(shè)置有儲(chǔ)存退膜液的退膜槽400和噴灑裝置401，噴灑裝置401設(shè)置有噴管4010和噴嘴4011，噴嘴4011由噴嘴座4012、噴頭4013和噴嘴蓋4014組成，噴頭4013設(shè)置于噴嘴座4012內(nèi)，噴嘴蓋4014連接于噴嘴座4012，噴嘴座4012通過(guò)前夾扣4015和后夾扣4016固定在噴管4010沿長(zhǎng)度方向設(shè)置的出水孔4017上，前夾扣4015和后夾扣4016通過(guò)螺栓相連接，噴嘴4011拆卸安裝方便，可在一定范圍內(nèi)調(diào)節(jié)角度，使噴嘴4011始終處在最佳工作狀態(tài)。第三清洗室42內(nèi)設(shè)置有第三清洗槽420和復(fù)數(shù)個(gè)位于傳動(dòng)裝置7上下方的清洗噴嘴。本實(shí)施例中，脫水烘干機(jī)構(gòu)5用于印刷電路板出板前對(duì)其進(jìn)行脫水烘干，防止氧化。具體而言，脫水烘干機(jī)構(gòu)5包括依次設(shè)置的冷風(fēng)吹干裝置50和熱風(fēng)烘干裝置51，熱風(fēng)烘干裝置51設(shè)置有鼓風(fēng)機(jī)510、熱風(fēng)分支器511和熱風(fēng)管512,鼓風(fēng)機(jī)510和熱風(fēng)分支器511位于傳送裝置7的下方，傳送裝置7的上下兩側(cè)分別設(shè)置有風(fēng)刀裝置513，風(fēng)刀裝置513的數(shù)量為三個(gè)。風(fēng)刀裝置513包括對(duì)稱相同的上風(fēng)刀5130和下風(fēng)刀5131,上風(fēng)刀5130和下風(fēng)刀5131內(nèi)部趨近為一密閉空間，上風(fēng)刀5130 —端和下風(fēng)刀5131 —端分別設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口5132，進(jìn)風(fēng)口 5132通過(guò)熱風(fēng)管512與鼓風(fēng)機(jī)510以及熱風(fēng)分支器511連接，上風(fēng)刀5130另 一端和下風(fēng)刀5131另一端分別設(shè)有出風(fēng)導(dǎo)流板5133,出風(fēng)導(dǎo)流板5133的表面排列分布有出風(fēng)微孔，出風(fēng)微孔設(shè)置有傾斜角度并傾向于同一方向，這樣的設(shè)計(jì)使風(fēng)刀的出風(fēng)微孔與傳送裝置7的電路板形成夾角，夾角以45度為最佳，同時(shí)通過(guò)出風(fēng)導(dǎo)流板5133配合風(fēng)刀的內(nèi)部空間和出風(fēng)微孔，可使出風(fēng)微孔壓縮吹出氣體，同時(shí)使吹出來(lái)的氣體均勻吹向電路板，避免因?yàn)闅怏w不均勻和熱力不均勻而導(dǎo)致電路板不平整的影響。本實(shí)施例中，傳動(dòng)裝置7用于將印刷電路板進(jìn)行輸送。具體而言，傳動(dòng)裝置7包括安裝架70，在安裝架70上設(shè)置有復(fù)數(shù)條上傳送軸71和復(fù)數(shù)條下傳送軸72，上傳送軸71位于下傳送軸72正上方，上傳送軸71上設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)上傳送輪73，下傳送軸72上設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)與上傳送輪73相對(duì)應(yīng)的下傳送輪74，上傳送軸71和下傳送軸72通過(guò)上傳送齒輪75和下傳送齒輪76嚙合連接，安裝架70 —側(cè)的第一傳送主軸77上設(shè)置有主傳送齒輪78，下傳送齒輪76與主傳送齒輪78嚙合連接，第一傳送主軸77與電機(jī)相鏈接，安裝架70另一側(cè)還設(shè)置有第二傳送主軸79，第二傳送主軸79設(shè)置有主傳送齒輪78，主傳送齒輪78與下傳送軸72另一側(cè)的下傳送齒輪76嚙合連接。采用雙傳送主軸設(shè)計(jì)，同步帶動(dòng)下傳送軸72轉(zhuǎn)動(dòng)，減少因單傳送主軸傳動(dòng)而造成下傳送軸72的軸頭受力過(guò)大導(dǎo)致蝕刻機(jī)的故障率增加等缺點(diǎn)，上、下傳送軸受力均勻，能夠平穩(wěn)可靠地輸送電路板，防止電路板在輸送過(guò)程中的偏移，上傳送輪73和下傳送輪74可局部拆卸更換，方便維修。本實(shí)施例中，排氣裝置8用于排放顯影機(jī)構(gòu)2、蝕刻機(jī)構(gòu)3、退膜機(jī)構(gòu)4和脫水烘干機(jī)構(gòu)5工作時(shí)產(chǎn)生的揮發(fā)物或蒸汽。具體而言，排氣裝置8包括排氣管80、排氣管調(diào)節(jié)裝置81、支撐架82和至少一個(gè)冷凝回收裝置83。排氣管調(diào)節(jié)裝置81設(shè)置有連接管810，連接管810上設(shè)置有調(diào)節(jié)旋鈕811，調(diào)節(jié)旋鈕811穿過(guò)連接管810中部的通孔并且與設(shè)置在連接管810內(nèi)部的調(diào)節(jié)擋板812連接，調(diào)節(jié)擋板812的另一端與導(dǎo)向柱813連接，排氣管調(diào)節(jié)裝置81 —般根據(jù)需要進(jìn)行調(diào)整，以達(dá)到調(diào)節(jié)排氣量的效果，方便實(shí)用，防止當(dāng)風(fēng)速較大時(shí)，會(huì)使藥水的蒸發(fā)加快，同時(shí)也防止藥水的熱量過(guò)快流失。冷凝回收裝置83與排氣管80連接，藥水的揮發(fā)物或蒸汽經(jīng)過(guò)排氣管80后再流入冷凝回收裝置83。冷凝回收裝置83包括箱體830，箱體830的底板設(shè)置有進(jìn)氣管831和進(jìn)水口 832，箱體830的頂板設(shè)置有排氣管833和排水口 834，設(shè)置于箱體830內(nèi)的中間筒體835與進(jìn)氣管831連接，箱體830設(shè)置有分流腔836和冷凝腔837，分流腔836和冷凝腔837通過(guò)進(jìn)氣管831上的分流口 838相連通，排氣管833與中間筒體835連接并伸入中間筒體835內(nèi)，排氣管833與進(jìn)氣管831不相通，排氣管833上設(shè)置有排氣孔839，冷凝腔837內(nèi)設(shè)置有冷凝管840，冷凝管840包括三條盤(pán)旋設(shè)置的冷凝管840，冷凝管840互呈同心圓狀分布，冷凝管840之間互有間隔，揮發(fā)物或者蒸汽從三條冷凝管840之間的間隔通過(guò)，增大了接觸面積，同時(shí)起到阻礙作用，使蒸汽的運(yùn)動(dòng)減慢，冷凝效果好，冷凝管840的進(jìn)水管841設(shè)置于進(jìn)水口 832，冷凝管840的出水管842設(shè)置于排水口 834，箱體830的底板上還設(shè)置有 回流管843，冷凝后的液體從回流管843回流到藥水槽中，繼續(xù)循環(huán)利用，降低化學(xué)藥水的使用成本，節(jié)約資源，也防止環(huán)境污染。本實(shí)施例中，過(guò)濾裝置用于對(duì)顯影機(jī)構(gòu)2、蝕刻機(jī)構(gòu)3和退膜機(jī)構(gòu)4內(nèi)的藥水和廢棄液進(jìn)行過(guò)濾，保持藥水的酸堿濃度、去除廢棄液內(nèi)的有害物質(zhì)和對(duì)可循環(huán)利用的物質(zhì)進(jìn)行回收，保護(hù)環(huán)境，節(jié)約成本。具體而言，過(guò)濾裝置包括棉芯過(guò)濾器91、藍(lán)色過(guò)濾器92和滾筒式過(guò)濾膜渣裝置93。滾筒式過(guò)濾膜渣裝置93與退膜機(jī)構(gòu)4連接。滾筒式過(guò)濾膜渣裝置93設(shè)置有液體缸930、匯流入口 931、滾筒過(guò)濾裝置932、噴管933、接渣盒934、排渣道935、二次過(guò)濾槽936和收集框937，噴管933位于滾筒過(guò)濾裝置932和接渣盒934的上方，接渣盒934和匯流入口 931分別接于滾筒過(guò)濾裝置932內(nèi)，接渣盒934設(shè)置于匯流入口 931的上方，并且接渣盒934是傾斜設(shè)置的，接渣盒934的出口通過(guò)排渣道935與二次過(guò)濾槽936的入口相連通，收集框937安放于二次過(guò)濾槽936的出口下方。采用滾筒過(guò)濾裝置932和二次過(guò)濾槽936 二者結(jié)合的雙重過(guò)濾設(shè)計(jì)，過(guò)濾膜渣徹底，回收膜渣極其方便，足以滿足印刷電路板退膜工序過(guò)濾膜渣的工藝要求。本實(shí)施例中，泵裝置用于將顯影機(jī)構(gòu)2、蝕刻機(jī)構(gòu)3和退膜機(jī)構(gòu)4內(nèi)的液體送進(jìn)過(guò)濾裝置。具體而言，泵裝置包括立式泵100和高壓泵101，立式泵100分別與棉芯過(guò)濾器91、藍(lán)色過(guò)濾器92連接；高壓泵101與滾筒式過(guò)濾膜渣裝置93連接。蝕刻機(jī)的流程工作時(shí)，將印刷電路板放置在進(jìn)板機(jī)構(gòu)1，蝕刻機(jī)的控制系統(tǒng)內(nèi)的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行進(jìn)板計(jì)數(shù)，傳動(dòng)裝置7將印刷電路板輸送到顯影機(jī)構(gòu)2，依次經(jīng)過(guò)顯影室20和第一清洗室21，由搖擺架?chē)娏苎b置201和清洗噴嘴進(jìn)行噴淋，吹干后輸送到蝕刻機(jī)構(gòu)3，依次經(jīng)過(guò)蝕刻室30、補(bǔ)償室31和第二清洗室32，接著輸送到退膜機(jī)構(gòu)4，依次經(jīng)過(guò)退膜室40和第三清洗室41，最后經(jīng)過(guò)脫水烘干機(jī)構(gòu)5和出板機(jī)構(gòu)6，出板時(shí)控制系統(tǒng)內(nèi)的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)再進(jìn)行出板計(jì)數(shù)。綜上所述，本實(shí)用新型的進(jìn)板機(jī)構(gòu)I、顯影機(jī)構(gòu)2、蝕刻機(jī)構(gòu)3、退膜機(jī)構(gòu)4、脫水烘干機(jī)構(gòu)5和出板機(jī)構(gòu)6在控制系統(tǒng)的控制下，將顯影、蝕刻、退膜等工序有機(jī)地結(jié)合為一體，在一臺(tái)設(shè)備中自動(dòng)完成整個(gè)生產(chǎn)制造過(guò)程，自動(dòng)化程度高，同時(shí)設(shè)計(jì)合理，制板和過(guò)濾回收效果好，給相關(guān)行業(yè)帶來(lái)比巨大的益處。以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式而已，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為本實(shí)用新型范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形或改進(jìn)，這些均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種蝕刻機(jī)，其特征在于其包括控制系統(tǒng)以及與控制系統(tǒng)電連接的并且依次設(shè)置的進(jìn)板機(jī)構(gòu)(I)、顯影機(jī)構(gòu)(2 )、蝕刻機(jī)構(gòu)(3 )、退膜機(jī)構(gòu)(4)、脫水烘干機(jī)構(gòu)(5 )和出板機(jī)構(gòu)(6)，所述進(jìn)板機(jī)構(gòu)(I)、所述顯影機(jī)構(gòu)(2)、所述蝕刻機(jī)構(gòu)(3)、所述退膜機(jī)構(gòu)(4)、所述脫水烘干機(jī)構(gòu)(5)和所述出板機(jī)構(gòu)(6)分別通過(guò)獨(dú)立設(shè)置的傳動(dòng)裝置(7)連接，所述顯影機(jī)構(gòu)(2 )、所述蝕刻機(jī)構(gòu)(3 )和所述退膜機(jī)構(gòu)(4 )分別連接有分段式排氣裝置(8 )、過(guò)濾裝置以及泵裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種蝕刻機(jī)，其特征在于所述顯影機(jī)構(gòu)(2)包括依次設(shè)置的顯影室(20 )和第一清洗室(21)，所述顯影室(20 )內(nèi)設(shè)置有儲(chǔ)存顯影液體的顯影槽(200 )和搖擺架?chē)娏苎b置(201);所述第一清洗室(21)內(nèi)設(shè)置有第一清洗槽(210)和復(fù)數(shù)個(gè)位于傳動(dòng)裝置(7)上下方的清洗噴嘴。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種蝕刻機(jī)，其特征在于所述蝕刻機(jī)構(gòu)(3)包括依次設(shè)置的蝕刻室(30)、補(bǔ)償室(31)和第二清洗室(32)，所述蝕刻室(30)與所述補(bǔ)償室(31)通過(guò)液體管道連接，所述蝕刻室(30)設(shè)置有儲(chǔ)存蝕刻液體的蝕刻槽(300)和搖擺架?chē)娏苎b置(201);所述補(bǔ)償室(31)設(shè)置有補(bǔ)償裝置(310)，補(bǔ)償裝置(310)由復(fù)數(shù)根上噴管(3100)和復(fù)數(shù)根下噴管(3101)構(gòu)成，上噴管(3100)和下噴管(3101)分別通過(guò)氣閥(3102)與進(jìn)水管(3103)連接，上噴管(3100)和下噴管(3101)分別設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)補(bǔ)償噴嘴，相鄰的上噴管(3100)之間的噴嘴交錯(cuò)排布，復(fù)數(shù)根所述上噴管(3100)的噴嘴形成三角型排布，氣閥(3102)與進(jìn)水管(3103)之間連接有壓力表(3104);所述第二清洗室(32)設(shè)置有第二清洗槽(320)和復(fù)數(shù)個(gè)位于傳動(dòng)裝置(7)上下方的清洗噴嘴。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種蝕刻機(jī)，其特征在于所述搖擺架?chē)娏苎b置(201)由搖擺架(202)和壓力控制裝置(203)構(gòu)成，搖擺架(202)通過(guò)上接軟管(204)和下接軟管(205)與壓力控制裝置(203)相連接，所述搖擺架(202)包括上噴架(2020)和下噴架(2021),所述上噴架(2020)和所述下噴架(2021)通過(guò)搖臂(2022)連接，上噴架(2020)的板面和下噴架(2021)的板面上分別設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)出水口(2023)，所述出水口(2023)是均勻分布的，出水口(2023)上設(shè)置有噴嘴，上噴架(2020)固定連接有拉臂(2024)，拉臂(2024)設(shè)置有偏心塊(2025)，偏心塊(2025)與馬達(dá)連接軸(2026)連接，搖臂(2022)中間設(shè)置有固定銷(xiāo)(2027 );所述壓力控制裝置(203 )包括壓力表(2030 )和球閥(2031)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種蝕刻機(jī)，其特征在于所述退膜機(jī)構(gòu)(4)包括依次設(shè)置的退膜室(40)和第三清洗室(41)，所述退膜室(40)設(shè)置有儲(chǔ)存退膜液體的退膜槽(400)和噴灑裝置(401)，所述噴灑裝置(401)設(shè)置有噴管(4010)和噴嘴(4011)，噴嘴(4011)由噴嘴座(4012)、噴頭(4013)和噴嘴蓋(4014)組成，噴頭(4013)設(shè)置于噴嘴座(4012)內(nèi)，噴嘴蓋(4014)連接于噴嘴座(4012)，噴嘴座(4012)通過(guò)前夾扣(4015)和后夾扣(4016)固定在噴管(4010)沿長(zhǎng)度方向設(shè)置的出水孔(4017)上，前夾扣(4015)和后夾扣(4016)通過(guò)螺栓連接；所述第三清洗室(41)內(nèi)設(shè)置有第三清洗槽(410)和復(fù)數(shù)個(gè)位于傳動(dòng)裝置(7)上下方的清洗噴嘴。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種蝕刻機(jī)，其特征在于所述脫水烘干機(jī)構(gòu)(5)包括依次設(shè)置的冷風(fēng)吹干裝置(50)和熱風(fēng)烘干裝置(51)，所述熱風(fēng)烘干裝置(51)設(shè)置有鼓風(fēng)機(jī)(510)、熱風(fēng)分支器(511)和熱風(fēng)管(512),鼓風(fēng)機(jī)(510)和熱風(fēng)分支器(511)位于傳送裝置(7)的下方，所述傳送裝置(7)的上下兩側(cè)分別設(shè)置有風(fēng)刀裝置(513)。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種蝕刻機(jī)，其特征在于所述傳動(dòng)裝置(7)包括安裝架(70)，在安裝架(70)上設(shè)置有復(fù)數(shù)條上傳送軸(71)和復(fù)數(shù)條下傳送軸(72)，上傳送軸(71)位于下傳送軸(72 )正上方，上傳送軸(71)上設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)上傳送輪(73 )，下傳送軸(72 )上設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)與上傳送輪(73)相對(duì)應(yīng)的下傳送輪(74)，上傳送軸(71)和下傳送軸(72)通過(guò)上傳送齒輪(75 )和下傳送齒輪(76 )嚙合連接，安裝架(70 ) 一側(cè)的第一傳送主軸(77 )上設(shè)置有主傳送齒輪(78),下傳送齒輪(76)與主傳送齒輪(78)哨合,第一傳送主軸(77)與電機(jī)相鏈接，所述安裝架(70 )另一側(cè)還設(shè)置有第二傳送主軸(79 )，第二傳送主軸(79 )設(shè)置有主傳送齒輪(78)，主傳送齒輪(78)與下傳送軸(72)另一側(cè)的下傳送齒輪(76)嚙合。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種蝕刻機(jī)，其特征在于所述排氣裝置(8)包括排氣管(80)、排氣管調(diào)節(jié)裝置(81)、支撐架(82)和至少一個(gè)冷凝回收裝置(83)，所述排氣管調(diào)節(jié)裝置(81)設(shè)置有連接管(810)，連接管(810)上設(shè)置有調(diào)節(jié)旋鈕(811)，調(diào)節(jié)旋鈕(811)穿過(guò)連接管(810)中部的通孔并且與設(shè)置在連接管(810)內(nèi)部的調(diào)節(jié)擋板(812)連接，所述調(diào)節(jié)擋板(812)的另一端與設(shè)導(dǎo)向柱(813)連接；所述冷凝回收裝置(83)包括箱體(830)，箱體(830 )的底板設(shè)置有進(jìn)氣管(831)和進(jìn)水口( 832 )，箱體(830 )的頂板設(shè)置有排氣管(833 ) 和排水口(834)，設(shè)置于箱體(830)內(nèi)的中間筒體(835)與進(jìn)氣管(831)連接，箱體(830)設(shè)置有分流腔(836)和冷凝腔(837)，分流腔(836)和冷凝腔(837)通過(guò)進(jìn)氣管(831)上的分流口(838)相連通，排氣管(833)與中間筒體(835)連接并伸入中間筒體(835)內(nèi)，排氣管(833)與進(jìn)氣管(831)不相通，排氣管(833)上設(shè)置有排氣孔(839)，冷凝腔(837)內(nèi)設(shè)置有冷凝管(840 )，冷凝管(840 )的進(jìn)水管(841)設(shè)置于進(jìn)水口( 832 )，冷凝管(840 )的出水管(842 )設(shè)置于排水口( 834 )，箱體(830 )的底板上還設(shè)置有回流管(843 )。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種蝕刻機(jī)，其特征在于所述過(guò)濾裝置包括棉芯過(guò)濾器(91)、藍(lán)色過(guò)濾器(92)和位于退膜機(jī)構(gòu)(4)的滾筒式過(guò)濾膜渣裝置(93)，所述滾筒式過(guò)濾膜渣裝置(93)設(shè)置有液體缸(930)、匯流入口(931)、滾筒過(guò)濾裝置(932)、噴管(933)、接渣盒(934)、排渣道(935)、二次過(guò)濾槽(936)和收集框(937)，噴管(933)位于滾筒過(guò)濾裝置(932)和接渣盒(934)的上方，接渣盒(934)和匯流入口(931)分別接于滾筒過(guò)濾裝置(932)內(nèi)，接渣盒(934)設(shè)置于匯流入口(931)的上方，并且接渣盒(934)是傾斜設(shè)置的，接渣盒(934)的出口通過(guò)排渣道(935)與二次過(guò)濾槽(936)的入口相連通，收集框(937)安放于二次過(guò)濾槽(936)的出口下方。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種蝕刻機(jī)，其特征在于所述泵裝置包括立式泵(100)和高壓泵(101)，所述立式泵(100)分別與棉芯過(guò)濾器(91)、藍(lán)色過(guò)濾器(92)連接；所述高壓泵(101)與滾筒式過(guò)濾膜渣裝置(93 )連接。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種蝕刻機(jī)，其包括控制系統(tǒng)以及與控制系統(tǒng)電連接的并且依次設(shè)置的進(jìn)板機(jī)構(gòu)、顯影機(jī)構(gòu)、蝕刻機(jī)構(gòu)、退膜機(jī)構(gòu)、脫水烘干機(jī)構(gòu)和出板機(jī)構(gòu)，所述進(jìn)板機(jī)構(gòu)、所述顯影機(jī)構(gòu)、所述蝕刻機(jī)構(gòu)、所述退膜機(jī)構(gòu)、所述脫水烘干機(jī)構(gòu)和所述出板機(jī)構(gòu)通過(guò)獨(dú)立設(shè)置的傳動(dòng)裝置連接，所述顯影機(jī)構(gòu)、所述蝕刻機(jī)構(gòu)和所述退膜機(jī)構(gòu)分別連接有分段式排氣裝置、過(guò)濾裝置以及泵裝置。本實(shí)用新型能將顯影、蝕刻、退膜等工序有機(jī)地結(jié)合為一體，在一臺(tái)設(shè)備中自動(dòng)完成整個(gè)生產(chǎn)制造過(guò)程，自動(dòng)化程度高，同時(shí)設(shè)計(jì)合理，制板和過(guò)濾回收效果好，給相關(guān)行業(yè)帶來(lái)比巨大的益處。
文檔編號(hào)C23F1/08GK202430289SQ20112056397
公開(kāi)日2012年9月12日 申請(qǐng)日期2011年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月30日
發(fā)明者梁?jiǎn)⒐? 歐陽(yáng)建英 申請(qǐng)人:特新電路材料(東莞)有限公司