專利名稱：一種磨削太陽能硅片的組合砂輪主軸結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及太陽能硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種磨削太陽能硅片的組合砂輪主軸結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有太陽能硅片的磨削一般經(jīng)過粗磨和精磨兩道工序完成，不同的工序使用不同粒度的磨削砂輪，即粗磨工序使用磨粒粒度較大的粗磨砂輪，用于提高磨削效率，精磨工序使用磨粒粒度較小的粗磨砂輪，用于提高磨削質(zhì)量。粗磨工位上的主軸和精磨工位上的主軸規(guī)格完全相同，不同的是砂輪主軸上安裝的磨削砂輪分別為粗磨砂輪和精磨砂輪，其成本高。且由于太陽能硅片的粗磨工序和精磨工序分別在粗磨工位和精磨工位上完成，在工位切換過程中，太陽能硅片的裝卡定位基準(zhǔn)發(fā)生變化，導(dǎo)致太陽能硅片磨削后的厚度尺寸難以保證一致；同時由于粗磨砂輪軸線和精磨砂輪的軸線也不一致，導(dǎo)致磨削后的太陽能硅片的面型不一致，精磨需要進(jìn)行修正，磨削效率較低。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，型提供了一種磨削太陽能硅片的組合砂輪主軸結(jié)構(gòu)，可在同一工位上完成對太陽能硅片的粗磨和精磨，可將雙主軸結(jié)構(gòu)的太陽能硅片磨床簡化為單主軸結(jié)構(gòu)的磨床，可大大節(jié)約成本，且組合砂輪主軸使用相同的太陽能硅片裝卡基準(zhǔn)，磨削后的厚度可控；在砂輪主軸軸線也未改變，太陽能硅片的面型也保證了一致性，而且磨削質(zhì)量高。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案是提供了一種磨削太陽能硅片的組合砂輪主軸結(jié)構(gòu)，所述組合砂輪主軸包括中心軸、砂輪座、粗磨砂輪、精磨砂輪，在所述中心軸中心開有階梯狀的中心通孔，在所述中心軸底端安裝有所述砂輪座，其特征在于，所述砂輪座的底部分為中心支承端、內(nèi)圓安裝端和外圓安裝端，在所述外圓安裝端裝有所述粗磨砂輪， 在所述內(nèi)圓安裝端的空腔內(nèi)安裝有活塞，所述精磨砂輪安裝在活塞的下端面，所述活塞端面與所述砂輪座圍成流體腔，所述流體腔通過流體通道連通所述中心通孔內(nèi)的流體管，所述流體管連接外部流體控制系統(tǒng)。作為優(yōu)選的技術(shù)方案，使所述活塞的上端面與所述砂輪座圍成流體腔，所述流體腔通過流體通道連通所述中心通孔內(nèi)的流體管。作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述活塞的上端面和下端面分別與所述砂輪座圍成兩個不相連通的流體腔，所述的兩個不相連通的流體腔分別通過與各自連接的不同的流體通道連通所述中心通孔內(nèi)的流體管。作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述砂輪座底部的內(nèi)圓安裝端、外圓安裝端被圓周凸起隔
1 O進(jìn)一步作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述砂輪座、所述活塞和輔助壓蓋依次與圓柱銷連接，所述輔助壓蓋上端面遠(yuǎn)離中心軸一側(cè)與所述活塞下端面靠近所述中心軸的一側(cè)配合安裝，所述輔助壓蓋靠近中心軸一側(cè)通過螺栓緊固連接在所述中心支承端，所述活塞下端面遠(yuǎn)離中心軸一側(cè)緊固連接有細(xì)磨砂輪。進(jìn)一步作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述圓柱銷兩端分別緊固在所述砂輪座、所述輔助壓蓋，所述圓柱銷貫穿所述活塞。進(jìn)一步作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述圓柱銷兩端的密封槽內(nèi)鑲嵌有密封圈，所述活塞與所述砂輪座的側(cè)壁安裝有密封圈。進(jìn)一步作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述粗磨砂輪通過螺釘緊固在所述外圓安裝端。進(jìn)一步作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述中心通孔內(nèi)裝有帶有通孔的長管，所述長管的直徑小于所述中心通孔的直徑，所述通孔連通底端出水口，所述流體管位于所述長管外壁與所述中心通孔內(nèi)壁所圍成的間隙內(nèi)部。進(jìn)一步作為優(yōu)選的技術(shù)方案，在所述中心通孔底端裝有密封端蓋，所述密封端蓋外端面緊固連接在所述中心軸底端，所述長管底部與所述密封端蓋上端面嵌套安裝，所述密封端蓋開有所述出水口。本實用新型的優(yōu)點和有益效果在于采用上述結(jié)構(gòu)后，通過所述外部流體控制系統(tǒng)控制所述流體腔的流體，從而帶動所述活塞上下滑動，當(dāng)所述活塞滑動至最下端時，此時所述細(xì)磨砂輪能夠與半導(dǎo)體太陽能硅片接觸，從而對半導(dǎo)體太陽能硅片進(jìn)行細(xì)磨，當(dāng)所述活塞滑動至最上端時，此時細(xì)磨砂輪同時縮回，粗磨砂輪能夠與半導(dǎo)體太陽能硅片接觸，從而對半導(dǎo)體太陽能硅片進(jìn)行粗磨。其將雙主軸結(jié)構(gòu)的太陽能硅片磨床簡化為單主軸結(jié)構(gòu)的磨床，可大大節(jié)約成本；且組合砂輪主軸使用相同的太陽能硅片裝卡基準(zhǔn)，磨削后的厚度可控；砂輪主軸軸線也未改變，太陽能硅片的面型也保證了一致性，磨削質(zhì)量高。

圖1是本實用新型實施例一的結(jié)構(gòu)示意圖(左側(cè)為細(xì)磨狀態(tài)、右側(cè)為粗磨狀態(tài))；圖2是本實用新型實施例二的結(jié)構(gòu)示意圖(左側(cè)為細(xì)磨狀態(tài)、右側(cè)為粗磨狀態(tài))。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式
作進(jìn)一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術(shù)方案，而不能以此來限制本實用新型的保護(hù)范圍。如圖1所示，本實用新型包括中心軸1、砂輪座2，中心軸1中心開有階梯狀中心通孔，中心軸1底端安裝有砂輪座2，砂輪座2底部分為中心支承端3、內(nèi)因安裝端4和外因安裝端5，外圓安裝端5裝有粗磨砂輪6，活塞7安裝于內(nèi)圓安裝端4的空腔內(nèi)，細(xì)磨砂輪8安裝在活塞7的下端面，活塞7上端面與砂輪座2所圍成流體腔9，流體腔9通過上流體通道 10連通中心通孔內(nèi)的通流體管11，流體管11連接外部流體控制系統(tǒng)(圖中未畫出，為現(xiàn)有成熟技術(shù))，此為流體通道的實施例一；砂輪座2底部的內(nèi)圓安裝端4、外圓安裝端5被圓周凸起12隔離；圓柱銷13依次連接砂輪座2、活塞7、輔助壓蓋14，輔助壓蓋14上端面遠(yuǎn)離中心軸1 一側(cè)與活塞7下端面靠近中心軸1 一側(cè)的配合安裝，輔助壓蓋14靠近中心軸1 一側(cè)通過螺栓15緊固連接在中心支承端3，活塞7下端面遠(yuǎn)離中心軸1 一側(cè)緊固連接有細(xì)磨砂輪8 ；圓柱銷13兩端分別緊固在砂輪座2、輔助壓蓋14，圓柱銷13貫穿活塞7 ；圓柱銷13兩端的密封槽內(nèi)鑲嵌有密封圈16，活塞7與砂輪座2的側(cè)壁安裝有密封圈17 ；粗磨砂輪6 通過螺釘18緊固于外圓安裝端5 ；中心通孔內(nèi)裝有帶有通孔19的長管20，長管20的直徑小在中心通孔的直徑，通孔19連通底端出水口 21，長管20外壁與中心通孔內(nèi)壁所圍成的問隙即為流體管11 ；密封端蓋22蓋裝在中心通孔底端，密封端蓋22外端面緊固連接在中心軸1底端，長管20底部與密封端蓋22上端面嵌套安裝，密封端蓋22開有出水口 21。其工作原理如下進(jìn)行細(xì)磨時，外部流體控制系統(tǒng)將壓縮流體通過流體管11、流體通道10注入流體腔9內(nèi)，壓縮流體將活塞7推向底端，從而使細(xì)磨砂輪8上的砂輪齒23 外露，對單晶硅工件進(jìn)行細(xì)磨；進(jìn)行粗磨時，外部流體控制系統(tǒng)通過流體管11、流體通道10 將流體腔9抽成真空，流體腔9形成真空，將活塞7吸至頂端，從而使粗磨砂輪8縮回，粗磨砂輪6的砂輪齒M外露，從而對單晶硅工件進(jìn)行粗磨。如圖2所示，中心通孔內(nèi)裝有帶有通孔19的長管20，長管20的直徑小于中心通孔的直徑，通孔19連通底端出水口 21，長管20外壁與中心通孔內(nèi)壁所圍成的間隙內(nèi)安裝有流體管11、流體管27 ；密封端蓋22蓋裝于中心通孔底端，密封端蓋22外端面緊固連接于中心軸1底端，長管20底部與密封端蓋22上端面嵌套安裝，密封端蓋22開有出水口 21 ；活塞7 上端面與砂輪座2圍成上流體腔9，上流體腔9通過上流體通道10連通中心通孔內(nèi)的流體管11，活塞7的下端面和砂輪座2、輔助壓蓋14、粗磨砂輪8四者圍成下流體腔沈，下流體腔沈通過下流體通道25連通中心孔內(nèi)的流體管27，流體管11、流體管27連接外部流體壓控制系統(tǒng)(圖中未畫出，為現(xiàn)有成熟技術(shù)，此為流體通道的實施例二。其工作原理如下進(jìn)行細(xì)磨時，外部流體控制系統(tǒng)將壓縮流體通過流體管11、上流體通道10注入上流體腔9內(nèi)，壓縮流體將活塞7推向底端，從而使粗磨砂輪8上的在扣輪齒23外露，從而對單晶硅工件進(jìn)行粗磨；進(jìn)行精磨時，外部流體控制系統(tǒng)將壓縮流體通過流體管27、流體通道25注入下流體腔沈內(nèi)，壓縮流體將活塞7推向頂端，從而使細(xì)磨砂輪8縮回，粗磨砂輪6的砂輪齒M外露，從而對太陽能硅片工件進(jìn)行粗磨。當(dāng)然，如果為了增加推動粗磨砂輪的剛性，亦可采取壓縮流體和抽真空兩種相結(jié)合的方式。即進(jìn)行細(xì)磨時，外部流體控制系統(tǒng)將壓縮流體通過流體管11、上流體通道10注入上流體腔9內(nèi)，壓縮流體將活塞7推向底端；同時，外部流體控制系統(tǒng)通過流體管27、流體通道25將流體腔沈抽成真空，流體腔9形成真空，將活塞7吸至底端，從而使細(xì)磨砂輪 8上的在扣輪齒23外露，對太陽能硅片工件進(jìn)行細(xì)磨；進(jìn)行粗磨時，外部流體控制系統(tǒng)將壓縮流體通過流體管27、流體通道25注入下流體腔沈內(nèi)，壓縮流體將活塞7推向頂端，從而使細(xì)磨砂輪8縮回，粗磨砂輪6的在砂輪齒M外露，從而對太陽能硅片工件進(jìn)行粗磨。以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種磨削太陽能硅片的組合砂輪主軸結(jié)構(gòu)，所述組合砂輪主軸包括中心軸、砂輪座、 粗磨砂輪、精磨砂輪，在所述中心軸中心開有階梯狀的中心通孔，在所述中心軸底端安裝有所述砂輪座，其特征在于，所述砂輪座的底部分為中心支承端、內(nèi)圓安裝端和外圓安裝端， 在所述外圓安裝端裝有所述粗磨砂輪，在所述內(nèi)圓安裝端的空腔內(nèi)安裝有活塞，所述精磨砂輪安裝在活塞的下端面，所述活塞端面與所述砂輪座圍成流體腔，所述流體腔通過流體通道連通所述中心通孔內(nèi)的流體管，所述流體管連接外部流體控制系統(tǒng)。
2.如權(quán)利要求1所述的磨削太陽能硅片的組合砂輪主軸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述活塞的上端面與所述砂輪座圍成流體腔，所述流體腔通過流體通道連通所述中心通孔內(nèi)的流體管。
3.如權(quán)利要求1所述的磨削太陽能硅片的組合砂輪主軸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述活塞的上端面和下端面分別與所述砂輪座圍成兩個不相連通的流體腔，所述的兩個不相連通的流體腔分別通過與各自連接的不同的流體通道連通所述中心通孔內(nèi)的流體管。
4.如權(quán)利要求1所述的磨削太陽能硅片的組合砂輪主軸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述砂輪座底部的內(nèi)圓安裝端、外圓安裝端被圓周凸起隔離。
5.如權(quán)利要求4所述的磨削太陽能硅片的組合砂輪主軸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述砂輪座、所述活塞和輔助壓蓋依次與圓柱銷連接，所述輔助壓蓋上端面遠(yuǎn)離中心軸一側(cè)與所述活塞下端面靠近所述中心軸的一側(cè)配合安裝，所述輔助壓蓋靠近中心軸一側(cè)通過螺栓緊固連接在所述中心支承端，所述活塞下端面遠(yuǎn)離中心軸一側(cè)緊固連接有細(xì)磨砂輪。
6.如權(quán)利要求5所述的磨削太陽能硅片的組合砂輪主軸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述圓柱銷兩端分別緊固在所述砂輪座、所述輔助壓蓋，所述圓柱銷貫穿所述活塞。
7.如權(quán)利要求6所述的磨削太陽能硅片的組合砂輪主軸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述圓柱銷兩端的密封槽內(nèi)鑲嵌有密封圈，所述活塞與所述砂輪座的側(cè)壁安裝有密封圈。
8.如權(quán)利要求7所述的磨削太陽能硅片的組合砂輪主軸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述粗磨砂輪通過螺釘緊固在所述外圓安裝端。
9.如權(quán)利要求8所述的磨削太陽能硅片的組合砂輪主軸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述中心通孔內(nèi)裝有帶有通孔的長管，所述長管的直徑小于所述中心通孔的直徑，所述通孔連通底端出水口，所述流體管位于所述長管外壁與所述中心通孔內(nèi)壁所圍成的間隙內(nèi)部。
10.如權(quán)利要求9所述的磨削太陽能硅片的組合砂輪主軸結(jié)構(gòu)，其特征在于，在所述中心通孔底端裝有密封端蓋，所述密封端蓋外端面緊固連接在所述中心軸底端，所述長管底部與所述密封端蓋上端面嵌套安裝，所述密封端蓋開有所述出水口。
專利摘要本實用新型公開了一種磨削太陽能硅片的組合砂輪主軸結(jié)構(gòu)，該組合砂輪主軸包括中心軸、砂輪座、粗磨砂輪、精磨砂輪，在中心軸中心開有階梯狀的中心通孔，在中心軸底端安裝有砂輪座，砂輪座的底部分為中心支承端、內(nèi)圓安裝端和外圓安裝端，在外圓安裝端裝有粗磨砂輪，在內(nèi)圓安裝端的空腔內(nèi)安裝有活塞，精磨砂輪安裝在活塞的下端面，活塞端面與砂輪座圍成流體腔，流體腔通過流體通道連通中心通孔內(nèi)的流體管，流體管連接外部流體控制系統(tǒng)。采用上述結(jié)構(gòu)后，通過外部流體控制系統(tǒng)控制流體腔的流體，從而帶動活塞上下滑動，將雙主軸結(jié)構(gòu)的太陽能硅片磨床簡化為單主軸結(jié)構(gòu)的磨床，可大大節(jié)約成本；硅片的面型保證了一致性，磨削質(zhì)量得到提高。
文檔編號B24B41/04GK202185827SQ201120263178
公開日2012年4月11日 申請日期2011年7月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月22日
發(fā)明者李向清, 沈彪, 胡德良 申請人:江陰市愛多光伏科技有限公司