專利名稱：用于板式pecvd設(shè)備的特氣管道的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及太陽能電池鍍膜中的特氣管道，特別涉及一種用于板式PECVD設(shè)備能夠改善板式PECVD鍍膜均勻性的特氣管道。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，板式PECVD設(shè)備的SiH4特氣管道和NH3特氣管道均包括較長的第一橫管1以及較短的第二橫管2和第三橫管3，第二橫管2的兩端分別通過第一豎管4和第二豎管5與第一橫管1兩端之間的管體連通，第三橫管3的一端通過第三豎管6與第二橫管2兩端之間的管體連通。圖1為SiH4特氣管道氣孔7分布圖在第一橫管1臨近第一豎管4的一端與第一豎管4之間的第一橫管1管體上有三個氣孔7 ；在第一橫管1臨近第二豎管5的一端與第二豎管5之間的第一橫管1管體上有三個氣孔7。圖2為NH3特氣管道氣孔7分布圖在第一橫管1臨近第一豎管4的一端與第一豎管4之間的第一橫管1管體上有四個氣孔7 ；在第一橫管1臨近第二豎管5的一端與第二豎管5之間的第一橫管1管體上有四個氣孔7。由于當前所用的R&R(型號XXL)板式PECVD設(shè)備自身的缺陷，膜厚兩邊低，中間高。目前使用的第八根特氣管道非全通(SH4特氣管道左右各三個氣孔7，NH3特氣管道左右各四個氣孔7，分別如圖1和圖2所示)，通過兩邊的氣孔7起補償作用，但是由于在使用過程中，SiH4特氣管道壁、NH3特氣管道壁和氣孔7容易堵塞，造成膜厚極差大，且無法調(diào)節(jié)。

實用新型內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本實用新型的目的在于提供一種能夠有效降低膜厚極差的用于板式PECVD設(shè)備的特氣管道。本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的用于板式PECVD設(shè)備的特氣管道，包括第一橫管、第二橫管和第三橫管，所述第二橫管的兩端分別通過第一豎管和第二豎管與所述第一橫管兩端之間的管體連通，所述第三橫管的一端通過第三豎管與所述第二橫管兩端之間的管體連通，在所述第一橫管臨近所述第一豎管的一端與所述第一豎管之間的所述第一橫管管體上至少設(shè)置有4個氣孔，在所述第一橫管臨近所述第二豎管的一端與所述第二豎管之間的所述第一橫管管體上也至少設(shè)置有4個所述氣孔，在所述第一豎管與所述第二豎管之間的所述第一橫管管體上設(shè)置有1 9個所述氣孔。上述用于板式PECVD設(shè)備的特氣管道，在所述第一橫管管體上設(shè)置有22個所述氣孔，且相鄰所述氣孔之間的間距相等。本實用新型的有益效果是將板式PECVD設(shè)備中的第八根特氣管道換為本實用新型的特氣管道，可以通過調(diào)節(jié)峰值功率和占空比來改善極差；解決了以前只是通過特氣來補償，過程中不能單獨調(diào)節(jié)；因而，將板式PECVD設(shè)備中的第八根特氣管道換為本實用新型的特氣管道后可以通過功率和占空比來補償，從而實現(xiàn)了可以單獨調(diào)節(jié)；對膜厚極差大的
3問題有很好的改善效果。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中SiH4特氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中NH3特氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型特氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1-第一橫管，2-第二橫管，3-第三橫管，4-第一豎管，5-第二豎管，6-第三豎管，7-氣孔。
具體實施方式
結(jié)合附圖對本實用新型做進一步的說明實施例1(上鍍膜)本實施例用于板式PECVD設(shè)備的特氣管道，包括第一橫管1、第二橫管2和第三橫管3，所述第二橫管2的兩端分別通過第一豎管4和第二豎管5與所述第一橫管1兩端之間的管體連通，所述第三橫管3的一端通過第三豎管6與所述第二橫管2兩端之間的管體連通，在所述第一橫管1管體上設(shè)置有22個所述氣孔7，且相鄰所述氣孔7之間的間距相等。1.將板式PECVD設(shè)備中的第八根特氣管道換為本實施例的特氣管道前各參數(shù)設(shè)置以及鍍膜控制情況表1將板式PECVD設(shè)備中的第八根特氣管道換為本實施例的特氣管道前參數(shù)設(shè)置
第1-7根管I I第1-7根管II第8報管I I第8根管I
占空占空占空
左邊功率右邊功率左邊功率右邊功率占空比
比比比
(W)(W)(W)(W)
33008/1833008/1733008/1733008/18
33008/1833008/1733008/1733008/18
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33008/1833008/1733008/1733008/18[0020]表2將板式PECVD設(shè)備中的第八根特氣管道換為本實施例的特氣管道前鍍膜控制情況
權(quán)利要求1.用于板式PECVD設(shè)備的特氣管道，包括第一橫管(1)、第二橫管( 和第三橫管(3)， 所述第二橫管O)的兩端分別通過第一豎管(4)和第二豎管( 與所述第一橫管(1)兩端之間的管體連通，所述第三橫管(3)的一端通過第三豎管(6)與所述第二橫管( 兩端之間的管體連通，其特征在于，在所述第一橫管(1)臨近所述第一豎管(4)的一端與所述第一豎管(4)之間的所述第一橫管(1)管體上至少設(shè)置有4個氣孔(7)，在所述第一橫管(1)臨近所述第二豎管( 的一端與所述第二豎管( 之間的所述第一橫管(1)管體上也至少設(shè)置有4個所述氣孔(7)，在所述第一豎管(4)與所述第二豎管( 之間的所述第一橫管(1) 管體上設(shè)置有1 9個所述氣孔(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于板式PECVD設(shè)備的特氣管道，其特征在于，在所述第一橫管(1)管體上設(shè)置有22個所述氣孔(7)，且相鄰所述氣孔(7)之間的間距相等。
專利摘要本實用新型公開一種用于板式PECVD設(shè)備的特氣管道，包括第一橫管、第二橫管和第三橫管，所述第二橫管的兩端分別通過第一豎管和第二豎管與所述第一橫管兩端之間的管體連通，所述第三橫管的一端通過第三豎管與所述第二橫管兩端之間的管體連通，在所述第一橫管臨近所述第一豎管的一端與所述第一豎管之間的所述第一橫管管體上至少設(shè)置有4個氣孔，在所述第一橫管臨近所述第二豎管的一端與所述第二豎管之間的所述第一橫管管體上也至少設(shè)置有4個所述氣孔，在所述第一豎管與所述第二豎管之間的所述第一橫管管體上設(shè)置有1～9個所述氣孔。本實用新型的特氣管道用于板式PECVD設(shè)備可以通過功率和占空比來補償，從而實現(xiàn)了可以單獨調(diào)節(jié)，能夠有效降低膜厚極差。
文檔編號C23C16/455GK202226916SQ20112021435
公開日2012年5月23日 申請日期2011年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月23日
發(fā)明者梅金麗 申請人:光為綠色新能源股份有限公司