專利名稱：快速達(dá)到高真空的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種真空系統(tǒng)，具體是一種快速達(dá)到高真空的系統(tǒng)。
技術(shù)背景真空濺鍍技術(shù)是物理氣相沉積制備鍍膜方法中的一種，至今已經(jīng)發(fā)展成為可在任何材質(zhì)基片上覆蓋任何材質(zhì)的鍍膜方法，廣泛應(yīng)用于各種表面鍍膜生產(chǎn)中。在連續(xù)化真空濺鍍自動(dòng)生產(chǎn)線中，實(shí)現(xiàn)高真空(壓力為10_3 I(TTorr)是真空濺鍍的必要條件。按功能分，真空腔體可分為三段，中間為高真空制程段，前后兩段段為大氣與高真空過渡段。在前面一段大氣與高真空過渡段中，又分為一般真空過渡腔體和高真空過渡腔體兩個(gè)腔體。在一般真空腔體中，壓力由大氣壓力向一般真空過渡；在高真空腔體中，壓力由一般真空向高真空過渡。就在由一般真空向高真空過渡這個(gè)腔體，其達(dá)到高真空后耗時(shí)最長，如何突破此環(huán)節(jié)，成為一個(gè)難點(diǎn)。目前，高真空大多采用高真空泵加前二級(jí)機(jī)械泵來實(shí)現(xiàn)，要加快達(dá)到高真空，通常做法是加大真空設(shè)備的功率，并盡量減小真空腔體的容積，功耗大，不經(jīng)濟(jì)。盡管如此，由于高真空環(huán)境中仍然存在一定的殘余氣體，其中大部分是水汽，高真空泵對(duì)這些氣體的抽除能力低，這樣，達(dá)到高真空度的時(shí)間長，生產(chǎn)效率低，耗能高。同時(shí)，這些殘余氣體參與真空濺鍍，使鍍膜摻雜非需要的化合物，對(duì)鍍膜質(zhì)量產(chǎn)生不良影響，鍍膜質(zhì)量低
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種快速達(dá)到高真空的裝置，它可使高真空過渡腔體快速達(dá)到高真空，達(dá)到高真空的時(shí)間較一般真空系統(tǒng)可縮短50 90%，降低了能耗，提高了生產(chǎn)效率和鍍膜質(zhì)量。為了解決背景技術(shù)所存在的問題，本實(shí)用新型是采用以下技術(shù)方案它包含高真空過渡腔體1、腔體排空閥門2、高真空閥門3、冷凍腔體4、冷凍控制器5、制冷盤管6、高真空泵7、粗抽閥門8、粗抽管線9、前級(jí)管線閥門10、前級(jí)管線排空閥門11、前二級(jí)機(jī)械泵12 ； 高真空過渡腔體1通過高真空閥門3與冷凍腔體4的一端連接，冷凍腔體4的另一端與高真空泵7的一端連接，腔體排空閥門2設(shè)置在高真空過渡腔體1的近前處，冷凍腔體4的內(nèi)部設(shè)置有制冷盤管6，制冷盤管6與冷凍控制器5連接，高真空泵7的另一端通過前級(jí)管線閥門10連接至粗抽閥門8與前二級(jí)機(jī)械泵12之間，粗抽管線9的一端與前二級(jí)機(jī)械泵12， 另一端通過粗抽閥門8與高真空閥門3前端的真空管線連接，前級(jí)管線排空閥門11設(shè)置在前二級(jí)機(jī)械泵12的近前處。本實(shí)用新型具有以下有益效果可使高真空過渡腔體快速達(dá)到高真空，達(dá)到高真空的時(shí)間較一般真空系統(tǒng)可縮短50 90%，降低了能耗，提高了生產(chǎn)效率和鍍膜質(zhì)量。

圖1是本實(shí)用新型粗抽時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；[0009]圖2是本實(shí)用新型高真空時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
參看圖1-2，本具體實(shí)施方式
采用以下技術(shù)方案它包含高真空過渡腔體1、腔體排空閥門2、高真空閥門3、冷凍腔體4、冷凍控制器5、制冷盤管6、高真空泵7、粗抽閥門8、 粗抽管線9、前級(jí)管線閥門10、前級(jí)管線排空閥門11、前二級(jí)機(jī)械泵12 ；高真空過渡腔體1 通過高真空閥門3與冷凍腔體4的一端連接，冷凍腔體4的另一端與高真空泵7的一端連接，腔體排空閥門2設(shè)置在高真空過渡腔體1的近前處，冷凍腔體4的內(nèi)部設(shè)置有制冷盤管 6，制冷盤管6與冷凍控制器5連接，高真空泵7的另一端通過前級(jí)管線閥門10連接至粗抽閥門8與前二級(jí)機(jī)械泵12之間，粗抽管線9的一端與前二級(jí)機(jī)械泵12，另一端通過粗抽閥門8與高真空閥門3前端的真空管線連接，前級(jí)管線排空閥門11設(shè)置在前二級(jí)機(jī)械泵12 的近前處。工作流程粗抽時(shí)，關(guān)閉腔體閥門，打開粗抽閥門，啟動(dòng)前二級(jí)機(jī)械泵，(如圖1)前二級(jí)機(jī)械泵可通過粗抽管線單獨(dú)對(duì)高真空過渡腔體進(jìn)行抽真空，此時(shí)高真空閥門和高真空泵處于關(guān)閉狀態(tài)，高真空過渡腔體內(nèi)含水汽的氣體在粗抽時(shí)不經(jīng)過高真空泵和冷凍腔體， 從而可以減少冷凍腔體的回溫頻次。當(dāng)粗抽達(dá)到高真空泵進(jìn)口壓力時(shí)，打開前級(jí)管線閥門和高真空閥門，關(guān)閉粗抽閥門，啟動(dòng)已預(yù)熱好的高真空泵并開啟高真空閥門，同時(shí)啟動(dòng)已預(yù)冷好的冷凍系統(tǒng)的冷凍控制器，由冷凍系統(tǒng)快速捕集水汽，前二級(jí)機(jī)械泵保持工作狀態(tài)，整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)入高真空抽氣狀態(tài)，(如圖2所示)高真空過渡腔體將快速達(dá)到高真空，較通常真空系統(tǒng)時(shí)間可縮短50 % 90 %。本具體實(shí)施方式
采用用液氮或混合制冷劑作為冷媒，使制冷盤管表面溫度低于_120°C，最低可達(dá)_150°C，此時(shí)，超低溫制冷盤管表面對(duì)水汽有很強(qiáng)的捕集能力，可使高真空過渡腔體快速達(dá)到高真空，達(dá)到高真空的時(shí)間較一般真空系統(tǒng)可縮短50 90%，降低了能耗，提高了生產(chǎn)效率和鍍膜質(zhì)量。
權(quán)利要求1.快速達(dá)到高真空的裝置，其特征在于它包含高真空過渡腔體(1)、腔體排空閥門 ⑵、高真空閥門(3)、冷凍腔體⑷、冷凍控制器(5)、制冷盤管(6)、高真空泵(7)、粗抽閥門 (8)、粗抽管線(9)、前級(jí)管線閥門(10)、前級(jí)管線排空閥門(11)、前二級(jí)機(jī)械泵(12)；高真空過渡腔體(1)通過高真空閥門( 與冷凍腔體的一端連接，冷凍腔體的另一端與高真空泵(7)的一端連接，腔體排空閥門( 設(shè)置在高真空過渡腔體(1)的近前處，冷凍腔體的內(nèi)部設(shè)置有制冷盤管(6)，制冷盤管(6)與冷凍控制器( 連接，高真空泵(7) 的另一端通過前級(jí)管線閥門(10)連接至粗抽閥門(8)與前二級(jí)機(jī)械泵(1 之間，粗抽管線(9)的一端與前二級(jí)機(jī)械泵(12)，另一端通過粗抽閥門(8)與高真空閥門(3)前端的真空管線連接，前級(jí)管線排空閥門(11)設(shè)置在前二級(jí)機(jī)械泵(12)的近前處。
專利摘要快速達(dá)到高真空的裝置，它涉及一種真空系統(tǒng)。高真空過渡腔體通過高真空閥門與冷凍腔體的一端連接，冷凍腔體的另一端與高真空泵的一端連接，冷凍腔體的內(nèi)部設(shè)置有制冷盤管，制冷盤管與冷凍控制器連接，高真空泵的另一端通過前級(jí)管線閥門連接至粗抽閥門與前二級(jí)機(jī)械泵之間，粗抽管線的一端與前二級(jí)機(jī)械泵，另一端通過粗抽閥門與高真空閥門前端的真空管線連接；本實(shí)用新型可使高真空過渡腔體快速達(dá)到高真空，達(dá)到高真空的時(shí)間較一般真空系統(tǒng)可縮短50～90％，降低了能耗，提高了生產(chǎn)效率和鍍膜質(zhì)量。
文檔編號(hào)C23C14/34GK202039121SQ20112009205
公開日2011年11月16日 申請(qǐng)日期2011年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月31日
發(fā)明者劉辛 申請(qǐng)人:蘇州凡特真空濺鍍科技有限公司