專利名稱：被加工物載置固定用工作臺的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種激光加工裝置等中所使用的用以載置固定被加工物的工作臺，尤其是涉及一種可從正反兩面觀察所固定的被加工物的工作臺。
背景技術(shù)：
對于在藍寶石等的基板形成著器件圖案的被加工物，通過照射脈沖激光而形成用于分割的起點的方法為眾所周知(例如參照專利文獻I)。另外，在想要利用專利文獻I中所揭示的裝置將基板在規(guī)定位置分割的情況下等，在欲對載置固定在工作臺(也稱作載物臺等)上的被加工物進行加工時，存在想從被加工物的背面?zhèn)?與工作臺接觸的一側(cè))觀察該被加工物的情形?？蓮谋趁?zhèn)容^佳地觀察吸附固定在載物臺上的透明性基板的觀察裝置已為眾所周知(例如參照專利文獻2)。[背景技術(shù)文獻][專利文獻]專利文獻I :國際公開第2006/062017號專利文獻2 日本專利特開2009-244549號公報

發(fā)明內(nèi)容
專利文獻2中所揭示的觀察裝置所包含的載物臺是以石英玻璃等透明的構(gòu)件形成，且在該載物臺的內(nèi)部，設(shè)置著成為用以吸引固定被加工物的吸氣通路的吸引用管。所述載物臺是以如下方式制作通過機械加工分別對成為該載物臺的上半部分的透明構(gòu)件與成為下半部分的透明構(gòu)件的管形成對象位置進行鉆孔，然后將兩個構(gòu)件以各自的鉆孔位置一致的方式固定。而且，還進行將黑色等低亮度色的涂料涂布在管部分的處理，以抑制設(shè)置在內(nèi)部的吸引用管中的漫反射。假設(shè)不進行所述處理時，會觀察到管本身的像，而對被加工物的識別性造成影響，因此不佳。因為以所述制程加以制作，所以專利文獻2中所揭示的載物臺存在需要加工時間且耗費制造成本的問題。本發(fā)明是鑒于所述課題而完成的，目的在于提供一種容易進行加工且能穩(wěn)定地保持被加工物的激光加工裝置用的工作臺及用于該工作臺的玻璃夾盤。為了解決所述課題，技術(shù)方案I的發(fā)明是在激光加工裝置中載置固定被加工物的工作臺的制造方法，其特征在于包括如下步驟準(zhǔn)備平板狀的玻璃板；在所述玻璃板的一主面的吸引用槽的形成預(yù)定位置，通過噴砂處理而形成粗糙槽；及蝕刻所述粗糙槽的表面而獲得所述吸引用槽。技術(shù)方案2的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案I所述的被加工物載置固定用工作臺的制造方法，其特征在于在所述玻璃板的所述一主面，以包含俯視時呈蜂窩狀配置的區(qū)域的方式形成所述吸引用槽。技術(shù)方案3的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案2所述的被加工物載置固定用工作臺的制造方法，其特征在于將所述吸引用槽在所述玻璃板的所述一主面的從中央呈十字狀擴展的十字狀區(qū)域以外的區(qū)域形成為所述蜂窩狀。技術(shù)方案4的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案I至3中任一技術(shù)方案所述的被加工物載置固定用工作臺的制造方法，其特征在于所述玻璃板為透明。技術(shù)方案5的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案I至4中任一技術(shù)方案所述的被加工物載置固定用工作臺的制造方法，其特征在于還包括如下步驟通過所述噴砂處理與所述蝕刻處理， 在所述玻璃板的所述被載置面，將與所述吸引用槽連通且到達至所述玻璃板的端部為止的第二吸引用槽與所述吸引用槽同時形成，并且通過保持框保持形成著所述吸引用槽及所述第二吸引用槽的所述玻璃板的外周，其中所述保持框中設(shè)置著在一端部與所述第二吸引用槽連通且另一端部成為與所述工作臺外的吸引用管的連接部的吸氣路徑。技術(shù)方案6的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案4所述的被加工物載置固定用工作臺的制造方法，其特征在于還包括如下步驟通過所述噴砂處理與所述蝕刻處理，在所述玻璃板的所述被載置面，將與所述吸引用槽連通且到達至所述玻璃板的端部為止的第二吸引用槽與所述吸引用槽同時形成，并且通過保持框保持形成著所述吸引用槽及所述第二吸引用槽的所述玻璃板的外周，其中所述保持框中設(shè)置著在一端部與所述第二吸引用槽連通且另一端部成為與所述工作臺外的吸引用管的連接部的吸氣路徑。[發(fā)明的效果]根據(jù)技術(shù)方案I至技術(shù)方案6的發(fā)明，可實現(xiàn)工作臺的制造時間的縮短與制造成本的降低。尤其根據(jù)技術(shù)方案2的發(fā)明，不僅實現(xiàn)了工作臺的制造時間的縮短與制造成本的降低，而且在工作臺上載置固定被加工物以進行激光加工時的加工精度也得以穩(wěn)定地確保。尤其根據(jù)技術(shù)方案3的發(fā)明，不僅實現(xiàn)了工作臺的制造時間的縮短與制造成本的降低，而且加工時所進行的對準(zhǔn)處理的精度也得以確保。尤其根據(jù)技術(shù)方案4的發(fā)明，不僅實現(xiàn)了工作臺的制造時間的縮短與制造成本的降低，而且在包含對應(yīng)的觀察系統(tǒng)的激光加工裝置中加以使用時，被加工物的正反兩面均可進行觀察。


圖I是概略性地表示包含本發(fā)明的實施方式的工作臺7的激光加工裝置50的構(gòu)成的示意圖。圖2是表示工作臺7的構(gòu)成的示意剖面圖。圖3是玻璃夾盤I的俯視圖。圖4是玻璃夾盤I的局部立體圖。圖5是本實施方式的玻璃夾盤I與激光加工中的加工預(yù)定線Pl的關(guān)系的圖。圖6是關(guān)于以形成為矩形格子的方式配置著吸引用槽1003的玻璃夾盤1001的吸引用槽1003與激光加工中的加工預(yù)定線P2的關(guān)系的圖。圖7是示意性地表示沿著圖6所示的加工預(yù)定線P2進行加工時的與加工方向垂直的剖面的情況的圖。
圖8是表示玻璃夾盤I的制造f|
圖9是例示變形例的玻璃夾盤:
[符號的說明]
1、101、1001 玻璃夾盤
2保持框
2e吸引用槽
2f吸引孔
3、103、1003 (玻璃夾盤的)
3a蜂窩狀槽部
3b直線狀槽部
3c弧狀槽部
4保持片材
7工作臺
7m移動機構(gòu)
10被加工物
IOa加工槽
IOb裂縫
11吸引機構(gòu)
12吸引用管
50激光加工裝置
50A正面觀察部
50B背面觀察部
具體實施例方式〈激光加工裝置〉圖I是概略性地表示包含本發(fā)明的實施方式的工作臺7的激光加工裝置50的構(gòu)成的示意圖。另外，激光加工裝置50的以下所示的各部分的動作(激光光束的照射、工作臺的移動、照明光的照射、用以決定加工位置的運算處理等)均是由未圖示的由計算機等所構(gòu)成的規(guī)定的控制機構(gòu)來控制。激光加工裝置50主要包含正面觀察部50A、背面觀察部50B、及工作臺7，該工作臺7包含例如石英等透明的構(gòu)件，且在該工作臺7上載置貼附著被加工物10的保持片材4。 另外，之后為了易于說明，有時將貼附著被加工物10的保持片材4載置在工作臺7上的內(nèi)容僅表達為載置被加工物10。正面觀察部50A是從照射激光光束的一側(cè)(將這一側(cè)稱為正面)觀察載置在工作臺7上的被加工物10的觀察部，背面觀察部50B是從載置在工作臺7上的一側(cè)(將這一側(cè)稱為背面)隔著所述工作臺7而觀察該被加工物10的觀察部。工作臺7可通過移動機構(gòu) 7m而在正面觀察部50A與背面觀察部50B之間沿水平方向移動。另外，工作臺7主要由玻璃夾盤I與保持框2構(gòu)成(參照圖2)，且可通過例如吸引泵等吸引機構(gòu)11吸引固定被加工物10，所述工作臺7的詳情在之后敘述。
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移動機構(gòu)7m是在未圖示的驅(qū)動機構(gòu)的作用下使工作臺7在水平面內(nèi)沿規(guī)定的XY 兩軸方向移動。由此，可實現(xiàn)所述正面觀察部50A與背面觀察部50B之間的工作臺7的移動、及在各觀察部內(nèi)的觀察位置的移動或激光光束照射位置的移動。即，在激光加工裝置50 中，通過移動機構(gòu)7m使工作臺7移動，由此可在利用正面觀察部50A的正面?zhèn)鹊挠^察、與利用背面觀察部50B的背面?zhèn)鹊挠^察之間進行切換。由此，可靈活且迅速地進行與被加工物 10的材質(zhì)或狀態(tài)對應(yīng)的最佳的觀察。另外，關(guān)于移動機構(gòu)7m，就進行對準(zhǔn)等的方面而言， 更優(yōu)選的是還可以與水平驅(qū)動獨立地進行以規(guī)定的旋轉(zhuǎn)軸為中心的在水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)(Θ 旋轉(zhuǎn))動作。在正面觀察部50A中，從落射照明光源S5發(fā)出的落射照明光L5由設(shè)置在未圖不的鏡筒內(nèi)的半鏡面52反射，(在工作臺7位于正面觀察部50A的狀態(tài)下)照射至被加工物
10。另外，正面觀察部50A包含正面觀察機構(gòu)16，該正面觀察機構(gòu)16包含設(shè)置在半鏡面52 的上方(鏡筒的上方)的CCD (Charge Coupled Device,電荷耦合器件)相機16a及與該 CXD相機16a連接的監(jiān)視器16b，在照射落射照明光L5的狀態(tài)下可實時地進行被加工物10 的明場像的觀察。本實施方式中，所述正面觀察部50A與工作臺7相當(dāng)于本發(fā)明的觀察裝置的主要構(gòu)成要素。另外，正面觀察部50A構(gòu)成為還可以對載置在工作臺7上的被加工物10進行激光光束的照射。即，正面觀察部50A也是激光加工裝置50中的激光光束的照射部。所述情況例如可通過將激光的照射系統(tǒng)與觀察光學(xué)系統(tǒng)構(gòu)成為同軸而實現(xiàn)。更具體而言，正面觀察部50A可通過具有與專利文獻I中所揭示的激光加工裝置的基本構(gòu)成相同的構(gòu)成而實現(xiàn)。更詳細而言，在正面觀察部50A中，自激光光源SL發(fā)出激光光束LB，由省略圖示的鏡筒內(nèi)所包含的半鏡面51反射后，將該激光光束LB在工作臺7位于正面觀察部50A的狀態(tài)下以在工作臺7上所載置的被加工物10的被加工部位聚焦的方式通過聚光透鏡18聚光，然后照射至被加工物10，由此可實現(xiàn)被加工物10的加工，例如成為分割起點的熔融變質(zhì)區(qū)域的形成或燒蝕(ablation)等。在根據(jù)正面觀察部50A中所獲得的觀察像決定了加工位置的情形時，接下來，可根據(jù)所述決定內(nèi)容進行基于激光光束LB的照射的加工。另外，加工位置的決定優(yōu)選利用通過未圖示的控制機構(gòu)而實現(xiàn)的⑶I (Graphical User Interface,圖形用戶界面)，由激光加工裝置50的操作員一邊視覺確認顯示在監(jiān)視器16b的由C⑶相機16a所拍攝的圖像一邊進行決定。即，優(yōu)選由操作員通過⑶I施予用以決定加工位置的規(guī)定的指示輸入，控制機構(gòu)進行基于所述輸入內(nèi)容的規(guī)定的運算處理， 由此決定加工位置。背面觀察部50B構(gòu)成為在工作臺7位于背面觀察部50B的狀態(tài)下，可一邊對于載置在工作臺7上的被加工物10從工作臺7的上方重疊地進行來自同軸照明光源SI的同軸透射照明光LI的照射與來自斜側(cè)照明光源S2的斜側(cè)透射照明光L2的照射，一邊從工作臺 7的下方側(cè)通過背面觀察機構(gòu)6觀察該被加工物10。另外，在背面觀察部50B中，在工作臺7的下方，更優(yōu)選包含背面觀察機構(gòu)6，該背面觀察機構(gòu)6包含設(shè)置在后述的半鏡面9的下方(鏡筒的下方)的CCD相機6a及與該CCD 相機6a連接的監(jiān)視器6b。另外，監(jiān)視器6b與正面觀察機構(gòu)16所包含的監(jiān)視器16b可通用。
優(yōu)選的是正面觀察部50A也可包含斜側(cè)照明光源S6，可將斜側(cè)照明光L6對工作臺 7上的被加工物10照射。在照射斜側(cè)照明光L6的情形時，在正面觀察機構(gòu)16中可獲得觀察對象的暗場像。根據(jù)被加工物10的材質(zhì)或表面狀態(tài)而在落射照明光L5與斜側(cè)照明光L6 之間進行適當(dāng)切換，或者同時照射落射照明光L5與斜側(cè)照明光L6，由此不論材質(zhì)等如何均可獲得較佳的觀察像。另外，也可以在工作臺7的下方，使從同軸照明光源S3發(fā)出的同軸照明光L3由設(shè)置在未圖示的鏡筒內(nèi)的半鏡面9反射，并通過聚光透鏡8聚光后，經(jīng)由工作臺7照射至被加工物10。更優(yōu)選的是也可在工作臺7的下方包含斜側(cè)照明光源S4，可將斜側(cè)照明光L4經(jīng)由工作臺7對被加工物10照射。例如在被加工物10的正面?zhèn)扔胁煌该鞯慕饘賹拥龋谜嬗^察部50A從正面?zhèn)鹊挠^察由于發(fā)生由該金屬層反射而難以進行的情形時等，這些同軸照明光源S3或斜側(cè)照明光源S4可較佳地用在通過背面觀察部50B觀察被加工物10的背面?zhèn)鹊臅r候?！垂ぷ髋_的詳細構(gòu)造〉其次，對本實施方式中具特征性的工作臺7的構(gòu)造進行詳細說明。圖2是表示工作臺7的構(gòu)成的示意剖面圖。如圖2所示，工作臺7主要包含玻璃夾盤I及保持框2。圖3 是玻璃夾盤I的俯視圖。圖4是玻璃夾盤I的局部立體圖。玻璃夾盤I是由石英玻璃等所構(gòu)成的具有5_ 20_左右的厚度的構(gòu)件。如圖 3所示，玻璃夾盤I大致在俯視時呈圓板狀，在該玻璃夾盤I的外周端部設(shè)置著凸部la，由此，如圖2所示，玻璃夾盤I的外周部分具有剖面視時為L字型的形狀。玻璃夾盤I的直徑可根據(jù)作為加工對象的被加工物10的尺寸而適當(dāng)決定。例如，如果要加工具有4英寸 5 英寸左右的直徑的圓板狀的被加工物10，那么玻璃夾盤I的直徑為180mm 200mm左右即可。在工作臺7中，玻璃夾盤I的表面Is成為實質(zhì)上的被加工物10的被載置面。也就是，表面Is構(gòu)成工作臺7中的被載置面的大部分。在所述玻璃夾盤I的表面ls，如圖3 及圖4所示，在除從中央向十字方向延伸的十字狀區(qū)域Ib以外的四個扇型區(qū)域lc、ld、le、 If內(nèi)，遍布被加工物10的吸引固定時所使用的一定寬度的吸引用槽3。另外，在玻璃夾盤I中，十字狀區(qū)域Ib是考慮到下述情形而設(shè)置例如在以透明的被加工物10為對象進行對準(zhǔn)的情形時、或在被加工物10的背面?zhèn)冗M行對準(zhǔn)的情形時，配置被加工物10的形成著對準(zhǔn)標(biāo)記的部位。在假設(shè)對準(zhǔn)標(biāo)記位于吸引用槽3的正上方的情形時，在進行對準(zhǔn)時，因為在吸引用槽3處進行漫反射，所以有無法準(zhǔn)確地指定對準(zhǔn)標(biāo)記的位置的擔(dān)憂。在本實施方式中，在配置對準(zhǔn)標(biāo)記的可能性較高的所述十字狀區(qū)域Ib不形成吸引用槽3，以便可避免這種狀況。然而，本實施方式中，玻璃夾盤I具有十字狀區(qū)域Ib并非必需的形態(tài)。另外，即便形成了十字狀區(qū)域lb，工作臺7的吸附固定被加工物10的穩(wěn)定性也得以充分地確保。在四個扇型區(qū)域lc、ld、le、lf內(nèi)，均設(shè)置著以多個吸引用槽3形成為蜂窩狀的方式配置的蜂窩狀槽部3a、吸引用槽3沿著十字狀區(qū)域Ib而配置成直線狀的直線狀槽部3b、 及吸引用槽3沿著玻璃夾盤I的外周而配置成弧狀的弧狀槽部3c。其中，構(gòu)成各個槽部的吸引用槽3彼此連通。另外，只有形成為直線狀槽部3b的吸引用槽3到達至玻璃夾盤I的外周端部為止。更具體而言，在由相互正交的兩個直線狀槽部3b與一個弧狀槽部3c所包
7圍的扇形區(qū)域Ie內(nèi)，設(shè)置著蜂窩狀槽部3a。吸引用槽3是深度及在表面Is的寬度為O. 5mm Imm左右且表面平坦且透明的槽。吸引用槽3具有半圓狀、橢圓形、矩形、三角形等剖面形狀。另外，蜂窩狀槽部3a中的相互平行的吸引用槽3的間距(相當(dāng)于六角形的對邊的距離)為3mm 10mm，例如為5mm。保持框2是包含例如鋁等金屬的構(gòu)件，且在俯視時呈圓環(huán)狀。保持框2是用以保持玻璃夾盤I的外周部分的構(gòu)件。保持框2包含上部框2a與下部框2b。在由上部框2a與下部框2b夾著設(shè)置在玻璃夾盤I的外周部分的凸部Ia的狀態(tài)下，利用固定螺釘2c將上部框2a與下部框2b螺合而成為一體，由此實現(xiàn)利用保持框2的玻璃夾盤I的保持。然而，使上部框2a與下部框2b 成為一體的形態(tài)并不限于此。更具體而言，玻璃夾盤I的凸部Ia夾在由上部框2a與下部框2b所形成的凹部2d中。如上所述，利用保持框2保持著玻璃夾盤I的工作臺7由未圖示的設(shè)置機構(gòu)設(shè)置成可通過移動機構(gòu)7m進行移動。在保持框2的表面2s,對應(yīng)于設(shè)置在玻璃夾盤I的表面Is的直線狀槽部3b,而設(shè)置著吸引用槽2e。吸引用槽2e在利用保持框2保持玻璃夾盤I時設(shè)置在與形成為直線狀槽部3b的吸引用槽3連通的位置上。因此，更詳細而言，所述利用保持框2的玻璃夾盤I 的保持是在實現(xiàn)所述連通狀態(tài)的形態(tài)下進行。吸引用槽2e在保持框2的表面2s的中途成為終端，從該終端位置起，與吸引用槽 2e連通的吸引孔2f設(shè)置成朝向保持框2的內(nèi)部開孔。吸引孔2f的另一端部成為與從吸引機構(gòu)11配設(shè)的吸引用管12的連接部。另外，圖2中，吸引孔2f到達至下部框2b為止，但這并非必需的型態(tài)。在利用激光加工裝置50進行加工時，在具有這種構(gòu)成的工作臺7上載置被加工物 10。更詳細而言，被加工物10是以被加工物10本身或者貼附著被加工物10的保持片材4 覆蓋所有吸引用槽3、2e的方式載置。如果在所述狀態(tài)下，使吸引機構(gòu)11運作，那么經(jīng)由吸引用管12及吸引孔2f，對吸引用槽2e及所有吸引用槽3賦予負壓。所述負壓作用于所載置的被加工物10或保持片材4，由此被加工物10或保持片材4被固定在工作臺7上。如上所述，本實施方式中特征在于如下方面用以吸引固定被加工物10的吸氣路徑的大部分為設(shè)置在玻璃夾盤I的表面Is的吸引用槽3及與該吸引用槽3連通的保持框 2的表面2s的吸引用槽2e，且只有與吸引用槽2e連通的保持框2的吸引孔2f設(shè)置在工作臺7的內(nèi)部。尤其是因為玻璃夾盤I是在一塊玻璃板的表面設(shè)置著吸引用槽3，所以與在內(nèi)部設(shè)置著吸氣路徑的以往的玻璃制工作臺相比，縮短了制作時間，且降低了制作成本。具體的玻璃夾盤的制法在之后敘述。另外，本實施方式中，設(shè)置在玻璃夾盤I的吸引用槽3的大部分構(gòu)成蜂窩狀槽部3a 的原因在于，確保照射激光光束后的被加工物10的固定的穩(wěn)定性。圖5是用以說明所述內(nèi)容的表示本實施方式的玻璃夾盤I與激光加工中的加工預(yù)定線Pl的關(guān)系的圖。圖6是表示關(guān)于為了進行對比而表示的以形成為矩形格子的方式配置著吸引用槽1003的玻璃夾盤 1001的吸引用槽1003與激光加工中的加工預(yù)定線P2的關(guān)系的圖。另外，圖7是示意性地表示沿著圖6所示的加工預(yù)定線P2進行加工時的與加工方向垂直的剖面的情況的圖。激光加工的加工中成為主流的是如以加工預(yù)定線P1、P2所示的直線狀的加工。如圖6所示，在欲使用以形成為矩形的方式設(shè)置著吸引用槽1003的玻璃夾盤1001對被加工物10進行直線狀的加工時，根據(jù)加工內(nèi)容與被加工物10的固定形態(tài)的不同，而如圖6所示，會發(fā)生加工預(yù)定線P2的位置與吸引用槽1003的配置位置在水平面內(nèi)重疊的情形。所述重疊容易在如下情形時發(fā)生例如以吸引用槽1003與xy兩軸方向一致的方式配置工作臺7，且對被加工物10的激光加工沿著X軸方向或I軸方向進行。另一方面，在吸引固定被加工物10的期間，負壓作用于吸引用槽1003。因此，在保持片材4中位于吸引用槽1003上的部分4a(也是未與玻璃夾盤1001接觸的部分)，如圖7 所示的垂直向下的吸引力Fl沿著吸引用槽1003發(fā)生作用。結(jié)果如圖7所示，所述部分4a 容易從被加工物10上剝離。在這種狀況下，如果沿著如圖6所示的與吸引用槽1003 —致的加工預(yù)定線P2進行激光加工，那么因為保持片材4受到向下的吸引力F1，所以對于被加工物10，會如圖7所示般在加工槽IOa的下方作用拉伸應(yīng)力F2，而視情況產(chǎn)生如下不良情形裂縫IOb從加工槽IOa的下端部擴展，導(dǎo)致被加工物10斷裂?；蛘?，在如利用激光加工完全切斷被加工物10的情形時，為了不產(chǎn)生加工位置的偏移，必須將切斷后的單片繼續(xù)由保持片材4保持在與切斷前相同的位置上，但由于保持片材4受到如圖7所示的吸引力F1，而引起如下不良情形該單片產(chǎn)生位置偏移，結(jié)果導(dǎo)致加工位置偏移。另外，在如加工間距比吸引用槽1003的寬度小的情形時，還會引起在吸引用槽 1003上切出的單片從保持片材4上剝離而飛散等不良情形。S卩，在使用圖6所示的以形成為矩形格子的方式配置著吸引用1003的玻璃夾盤 1001的情形時，根據(jù)加工預(yù)定線與吸引用槽的配置關(guān)系的不同，有時無法實現(xiàn)穩(wěn)定的加工。與此相對，在圖5所示的本實施方式的情形時，構(gòu)成蜂窩狀槽部3a的吸引用槽3 并非在一方向上連續(xù)。由此，即便該吸引用槽3的一部分與加工預(yù)定線Pl重疊，在該加工預(yù)定線Pl所經(jīng)過的位置也必然存在未形成吸引用槽3的部位。因此，在本實施方式的情形時，保持片材4中受到如圖7所示的吸引力Fl的部分僅是分散地存在，從而吸引用槽3處的保持片材4的剝離不會成為問題。在本實施方式的情形時，在使用工作臺7時，原本就比圖5所示的情形更難發(fā)生加工預(yù)定線與吸引用槽3 —致的情形，大多數(shù)的加工均是在加工預(yù)定線不沿著吸引用槽3的狀態(tài)下進行的。當(dāng)然，在這種情形時是在穩(wěn)定的吸附固定狀態(tài)下進行加工。因此，使用本實施方式的工作臺7的激光加工裝置50的加工精度得以穩(wěn)定地確保。<玻璃夾盤的制法>其次，對玻璃夾盤I的制法、尤其是吸引用槽3的形成進行說明。圖8是表示玻璃夾盤I的制造制程的圖。首先，作為玻璃夾盤I的形成素材，準(zhǔn)備由石英玻璃等所形成的圓板狀的玻璃板 (步驟STl)。如上所述，玻璃夾盤I具有5mm 20mm左右的厚度，且只要具有對應(yīng)于被加工物10的尺寸的直徑即可，因此玻璃板也只要準(zhǔn)備與此對應(yīng)的尺寸的玻璃板即可。另外， 預(yù)先在玻璃板的外周部分形成凸部la。其次，在準(zhǔn)備的玻璃板的表面(吸引用槽3的形成對象面)形成抗蝕膜(步驟 ST2)?？刮g膜的形成可采用公知的方法。接著，對于施有所述抗蝕膜的玻璃板，設(shè)置對應(yīng)于吸引用槽3的配置圖案的掩模而進行噴砂處理，在玻璃板表面的吸引用槽3的形成位置形成深度為O. 5mm 1_左右的槽(步驟ST3)。另外，這時所形成的槽是在表面存在凹凸(起伏)且透明性低的粗糙槽。 噴砂處理可采用公知的方法。在形成所述粗糙槽之后，進行蝕刻處理，使該粗糙槽的表面腐蝕，由此去除起伏而使該粗糙槽變得平滑(步驟ST4)。由此，形成表面平坦且透明的(經(jīng)鏡面精加工的)吸引用槽3。蝕刻處理可采用公知的方法。如果玻璃板包含石英玻璃，那么優(yōu)選使用以例如硝酸鈰銨等為主成分的蝕刻溶液，且將處理時間設(shè)為I小時 2小時左右。最后，通過去除抗蝕膜(步驟ST5)，而獲得包含吸引用槽3的玻璃夾盤I。通過將所獲得的玻璃夾盤I由預(yù)先制作的保持框2以所述方式保持，而完成工作臺7。如上所述，本實施方式中特征在于如下方面在玻璃夾盤I形成吸引用槽3時，并用噴砂處理與蝕刻處理。假設(shè)僅利用蝕刻處理形成深度為O. 5mm左右的槽時，必需6小時左右的蝕刻時間。而且，因為會產(chǎn)生不僅進行深度方向的蝕刻，而且進行朝向抗蝕膜的下方的水平方向的蝕刻的過度蝕刻等，所以也存在難以進行槽形狀的控制的問題。因此，欲僅以蝕刻處理形成吸引用槽3，就形成時間及槽形狀的精度的觀點而言不佳。與此相對，在本實施方式的情形時，只要以噴砂處理在短時間內(nèi)形成某種程度的深度的粗糙槽之后，進行短時間的蝕刻處理，便可形成規(guī)定形狀的吸引用槽3。與僅進行蝕刻處理的情形相比，縮短了一個玻璃板中的槽的形成時間，且精度也得以確保。另外，在噴砂處理之后進行的蝕刻處理雖耗費最初成本，但關(guān)于重復(fù)處理的成本較低，因此在重復(fù)制作玻璃夾盤的情形時，有助于制作成本的降低。另外，在專利文獻2中所揭示的構(gòu)成的載物臺的情形時，在制作多個時，每一個均需要切削的時間，而在本實施方式中進行的噴砂處理可同時對多個玻璃板進行，因此本實施方式的玻璃夾盤的制法在這一點上也可以說是提升了制造效率。以上，如所說明般，根據(jù)本實施方式，作為激光加工裝置中用以載置固定被加工物的工作臺，使用在表面呈蜂窩狀配置著吸引用槽的工作臺，由此可穩(wěn)定地確保激光加工時的加工精度。而且，因為在構(gòu)成工作臺的玻璃夾盤上所設(shè)置的吸引用槽的形成中，并用噴砂處理與蝕刻處理，所以可實現(xiàn)槽的形成時間的縮短與形狀精度的確保。也就是，可實現(xiàn)制造玻璃夾盤及工作臺時的制造時間的縮短與制造成本的降低。<變形例>即便在吸引用槽形成為格子的情形時，也存在可避免所述不良情形的情況。圖9 是例示所述變形例的玻璃夾盤101的圖。所述玻璃夾盤101具有鋸齒配置著吸引用槽103 的格子的構(gòu)成。這時，也與圖5所示的玻璃夾盤I同樣地，吸引用槽103并不在一方向上連續(xù)，因此即便該吸引用槽103的一部分與加工預(yù)定線P3重疊，在該加工預(yù)定線P3所經(jīng)過的位置上也必然存在未形成吸引用槽103的部位。然而，在如所述實施方式般玻璃夾盤I包含蜂窩狀槽部3a的情形時，沿著加工預(yù)定線P2而存在的吸引用槽3與除此以外的部分的比率大致為I : 2，與此相對，在如圖9所示的情形時，沿著加工預(yù)定線P3而存在的吸引用槽103與除此以外的部分的比率大致為I : I。因此，因為后者的存在吸引用槽的比率相對較大，所以就穩(wěn)定地確保加工精度的方面而言，如上所述般設(shè)置蜂窩狀槽部3a的一方較優(yōu)
巳
10
權(quán)利要求
1.一種被加工物載置固定用工作臺的制造方法，該工作臺是在激光加工裝置中載置固定被加工物，該被加工物載置固定用工作臺的制造方法的特征在于包括如下步驟準(zhǔn)備平板狀的玻璃板；在所述玻璃板的一主面的吸引用槽的形成預(yù)定位置，通過噴砂處理而形成粗糙槽；及蝕刻所述粗糙槽的表面而獲得所述吸引用槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的被加工物載置固定用工作臺的制造方法，其特征在于 在所述玻璃板的所述一主面，以包含俯視時呈蜂窩狀配置的區(qū)域的方式形成所述吸引用槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的被加工物載置固定用工作臺的制造方法，其特征在于 將所述吸引用槽是在所述玻璃板的所述一主面的從中央呈十字狀擴展的十字狀區(qū)域以外的區(qū)域形成為所述蜂窩狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任一權(quán)利要求所述的被加工物載置固定用工作臺的制造方法，其特征在于所述玻璃板為透明。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任一權(quán)利要求所述的被加工物載置固定用工作臺的制造方法，其特征在于還包括如下步驟通過所述噴砂處理與所述蝕刻處理，在所述玻璃板的所述被載置面，將與所述吸引用槽連通且到達至所述玻璃板的端部為止的第二吸引用槽與所述吸引用槽同時形成，并且通過保持框保持形成著所述吸引用槽及所述第二吸引用槽的所述玻璃板的外周，其中所述保持框中設(shè)置著在一端部與所述第二吸引用槽連通且另一端部成為與所述工作臺外的吸引用管的連接部的吸氣路徑。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的被加工物載置固定用工作臺的制造方法，其特征在于還包括如下步驟通過所述噴砂處理與所述蝕刻處理，在所述玻璃板的所述被載置面，將與所述吸引用槽連通且到達至所述玻璃板的端部為止的第二吸引用槽與所述吸引用槽同時形成，并且通過保持框保持形成著所述吸引用槽及所述第二吸引用槽的所述玻璃板的外周，其中所述保持框中設(shè)置著在一端部與所述第二吸引用槽連通且另一端部成為與所述工作臺外的吸引用管的連接部的吸氣路徑。
全文摘要
本申請的發(fā)明為被加工物載置固定用工作臺的制造方法。本發(fā)明提供一種容易進行加工且能穩(wěn)定地保持被加工物的激光加工裝置用的工作臺。在激光加工裝置中載置固定被加工物的工作臺的制造方法包括如下步驟準(zhǔn)備平板狀的玻璃板；在玻璃板的一主面的吸引用槽的形成預(yù)定位置，通過噴砂處理而形成粗糙槽；及蝕刻粗糙槽的表面而獲得吸引用槽。吸引用槽的形成預(yù)定位置包含俯視時呈蜂窩狀配置的區(qū)域。
文檔編號B24C1/06GK102601740SQ201110370058
公開日2012年7月25日 申請日期2011年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月25日
發(fā)明者岡島康智 申請人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司