專利名稱：蒸發(fā)單元和真空涂布裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本文所述的實(shí)施例涉及用于涂布卷筒紙料(web)的真空涂布裝置。更特定而言，描述具有至少一個(gè)蒸發(fā)源和至少兩個(gè)涂布滾筒的真空涂布裝置的實(shí)施例。進(jìn)一步實(shí)施例涉及具有相對于彼此傾斜的至少兩個(gè)涂布滾筒和至少兩個(gè)蒸發(fā)源的真空涂布裝置。進(jìn)一步實(shí)施例涉及具有相對于彼此傾斜的蒸發(fā)源的蒸發(fā)單元。
背景技術(shù)：
涂布裝置用于通過材料覆蓋來涂布卷筒紙料(諸如，箔片或薄膜)。涂布裝置包括導(dǎo)向涂布滾筒的蒸發(fā)源，該涂布滾筒傳送卷筒紙料穿過形成在蒸發(fā)源和涂布滾筒之間的沉積區(qū)域。從蒸發(fā)源蒸發(fā)的材料形成具有某一開度角的“蒸發(fā)束”，使得蒸發(fā)的材料傳播。為了限制蒸發(fā)的材料沉積 到卷筒紙料上并且避免沉積到涂布裝置的其他區(qū)域上，提供覆蓋待保護(hù)區(qū)域的遮蔽構(gòu)件。需要定期清洗這些遮蔽構(gòu)件。此外，大量的蒸發(fā)材料沉積在這些遮蔽構(gòu)件上，從而浪費(fèi)了這些蒸發(fā)材料，降低了產(chǎn)出率。因此,需要改良真空涂布裝置。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上所述，提供一種如權(quán)利要求1所述的真空涂布裝置。此外，提供一種如權(quán)利要求9所述的真空涂布裝置。此外，提供一種如權(quán)利要求14所述的真空涂布裝置。此外，提供一種如權(quán)利要求17所述的蒸發(fā)單元。此外，提供一種如權(quán)利要求20所述的用于涂布卷筒紙料的方法。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，提供一種用于涂布卷筒紙料的真空涂布裝置。所述裝置包括真空腔室、第一可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒、以及與第一滾筒平行設(shè)置的第二可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒，其中在第一涂布滾筒與第二涂布滾筒之間形成用于傳送至少一個(gè)卷筒紙料的縫隙。第一蒸發(fā)器包括用于產(chǎn)生第一蒸發(fā)束的至少一個(gè)蒸發(fā)源，其中緊靠第一涂布滾筒布置第一蒸發(fā)器。第二蒸發(fā)器包括用于產(chǎn)生第二蒸發(fā)束的至少一個(gè)蒸發(fā)源，其中緊靠第二涂布滾筒布置第二蒸發(fā)器。第一蒸發(fā)器與第二蒸發(fā)器相對于彼此傾斜。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，提供一種蒸發(fā)單元。蒸發(fā)單元包括具有用于產(chǎn)生第一蒸發(fā)束的至少一個(gè)蒸發(fā)源的第一蒸發(fā)器，以及具有用于產(chǎn)生第二蒸發(fā)束的至少一個(gè)蒸發(fā)源的第二蒸發(fā)器。第一蒸發(fā)器與第二蒸發(fā)器相對于彼此傾斜。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，提供一種用于涂布卷筒紙料的方法。所述方法包括:提供第一可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒以及與第一滾筒平行設(shè)置的第二可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒，其中在第一涂布滾筒與第二涂布滾筒之間形成有縫隙；通過從第一蒸發(fā)器自第一蒸發(fā)方向蒸發(fā)材料并且從第二蒸發(fā)器自第二蒸發(fā)方向蒸發(fā)材料，來形成緊靠第一涂布滾筒和第二涂布滾筒的表面的共同蒸發(fā)區(qū)域；由第一涂布滾筒和/或第二涂布滾筒傳送至少一個(gè)卷筒紙料穿過共同蒸發(fā)區(qū)域。


為了可以詳細(xì)地理解本發(fā)明的上述特征的方式，可參照實(shí)施例對簡要概述于上的本發(fā)明進(jìn)行更加詳細(xì)的描述，這些實(shí)施例中的一些實(shí)施例圖示于附圖中。然而應(yīng)注意的是，附圖僅圖示本發(fā)明的典型實(shí)施例并因此不被視為限制本發(fā)明的范圍，因?yàn)楸景l(fā)明可包括其他等效實(shí)施例。圖1圖示具有兩個(gè)蒸發(fā)源和兩個(gè)彼此平行布置的涂布滾筒的真空涂布裝置的實(shí)施例。圖2A圖示根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的具有兩個(gè)蒸發(fā)源的真空涂布裝置的放大剖面圖，該放大剖面圖用于圖示蒸發(fā)源相對于涂布滾筒的布置。圖2B圖示根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的具有兩個(gè)蒸發(fā)源的真空涂布裝置的放大剖面圖，該放大剖面圖用于圖示蒸發(fā)源相對于涂布滾筒的布置。圖2C圖示根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的具有兩個(gè)蒸發(fā)源的真空涂布裝置的放大剖面圖，該放大剖面圖用于圖示蒸發(fā)源相對于涂布滾筒的布置。圖3圖示具有一個(gè)蒸發(fā)源和兩個(gè)彼此平行布置的涂布滾筒的真空涂布裝置的實(shí)施例。圖4圖示具有兩個(gè)蒸發(fā)源和一個(gè)涂布滾筒的真空涂布裝置的實(shí)施例。圖5圖示具有一個(gè)蒸發(fā)源和兩個(gè)彼此平行布置的涂布滾筒的真空涂布裝置的實(shí)施例。圖6圖示具有兩個(gè)蒸發(fā)源和兩個(gè)彼此平行布置的涂布滾筒的真空涂布裝置的實(shí)施例。

圖7圖示根據(jù)一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的真空涂布裝置。圖8圖示根據(jù)一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的蒸發(fā)器單元。圖9A和圖9B圖示蒸發(fā)源的蒸發(fā)束。圖10圖示根據(jù)一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的彼此平行布置的兩個(gè)涂布滾筒的平面視圖。為了促進(jìn)理解，在可能的地方使用相同或相近的附圖標(biāo)記來指示諸圖所共有的相同元件。在一個(gè)實(shí)施例中公開的元件被視為可有利地用于其他實(shí)施例而無需特定參照。
具體實(shí)施例方式本文所述的實(shí)施例可用于各種涂布工藝，諸如，卷筒紙料的涂布，所述卷筒紙料由布置在真空腔室內(nèi)的至少一個(gè)涂布滾筒輸送。在以下實(shí)施方式中，參照附圖，附圖形成詳細(xì)描述的一部分，并且在附圖中以圖解方式圖示可實(shí)踐本發(fā)明的特定實(shí)施例。關(guān)于這一點(diǎn)，參照所描述的一個(gè)或多個(gè)附圖的取向使用方向性詞匯(諸如，“頂”、“底”、“前”、“后”、“前沿”、“末尾”等)。因?yàn)閷?shí)施例的部件可位于多個(gè)不同的取向中，所以出于說明而決非限制的目的使用方向性詞匯。應(yīng)了解，可使用其他實(shí)施例，并且可作出結(jié)構(gòu)性或邏輯性改變。因此，以下詳細(xì)描述不應(yīng)被視為具有限制意義。使用特定語言描述實(shí)施例，但不應(yīng)視為是對隨附權(quán)利要求書的范圍的限制。應(yīng)了解，除非另有明確說明，否則本文描述的各個(gè)示范性實(shí)施例的特征可彼此結(jié)合。舉例來說，作為一個(gè)實(shí)施例的一部分圖示或描述的特征可結(jié)合其他實(shí)施例的特征使用，以產(chǎn)生進(jìn)一步的實(shí)施例。意圖是使本描述包括這些修改和變化。對于本說明書的所述目的，術(shù)語“橫向”旨在描述與涂布滾筒的取向垂直并且與連接涂布滾筒的旋轉(zhuǎn)軸的連接線實(shí)質(zhì)上平行的方向。術(shù)語“在涂布滾筒后方”旨在描述相對于蒸發(fā)源布置在涂布滾筒后方的區(qū)域。因此，術(shù)語“在涂布滾筒前方”旨在描述在一個(gè)或多個(gè)涂布滾筒與蒸發(fā)源之間的區(qū)域。圖1圖示根據(jù)可結(jié)合本文描述的其他實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例的真空涂布裝置100。真空涂布裝置100包括具有旋轉(zhuǎn)軸I Ia的第一涂布滾筒11，第一涂布滾筒11可繞所述旋轉(zhuǎn)軸Ila旋轉(zhuǎn)。圖1圖示作為第一涂布滾筒11的幾何中心的軸11a。真空涂布裝置100進(jìn)一步包括具有旋轉(zhuǎn)軸12a的第二涂布滾筒12，第二涂布滾筒12可繞所述旋轉(zhuǎn)軸12a旋轉(zhuǎn)。圖1圖示作為第二涂布滾筒12的幾何中心的軸12a。第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12相對于彼此設(shè)置，使得所述第一涂布滾筒11的軸Ila和第二涂布滾筒12的軸12a彼此平行布置?？p隙17形成在第一涂布滾筒11的外圓周表面25與第二涂布滾筒12的外圓周表面26之間。如下文進(jìn)一步描述，第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12的平行布置增加有效表面，卷筒紙料15可在接觸涂布滾筒的同時(shí)被涂布在所述有效表面上。與使用單個(gè)大涂布滾筒的真空涂布裝置相比，這允許例如使用較小的涂布滾筒。在使用較小涂布滾筒時(shí)，可縮小真空涂布裝置的尺寸。此外，可減小旋轉(zhuǎn)涂布滾筒所需的驅(qū)動(dòng)。在可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的實(shí)施例中，在第一旋轉(zhuǎn)涂布滾筒11的外表面25和第二旋轉(zhuǎn)涂布滾筒12的外表面26的部分支撐和接觸卷筒紙料15時(shí)涂布所述卷筒紙料15。如下文進(jìn)一步描述，縫隙17例如可為相對較小的，以維持上腔室與下腔室之間的壓力差?？p隙17可在約Imm至約60mm的范圍內(nèi)。此外，涂布滾筒11和涂布滾筒12的半徑R與縫隙17的寬度D之間的比值R/D可在約500至約I的范圍內(nèi)。例如，比值R/D可大于或等于15。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，比值R/D可大于或等于100。
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在圖1所圖示的實(shí)施例中，第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12具有相同的半徑R0在進(jìn)一步實(shí)施例中，第一涂布滾筒11具有的半徑可大于第二涂布滾筒12的半徑。或者，第一涂布滾筒11具有的半徑可小于第二涂布滾筒12的半徑。真空涂布裝置100進(jìn)一步包括具有至少一個(gè)蒸發(fā)源21a的至少第一蒸發(fā)器21。通常，真空涂布裝置100包括多個(gè)第一蒸發(fā)器21,每一個(gè)第一蒸發(fā)器21具有一個(gè)蒸發(fā)源21a?；蛘?，一個(gè)第一蒸發(fā)器21包括多個(gè)蒸發(fā)源21a。不管是否存在各自的第一蒸發(fā)器21或者是否僅存在具有多個(gè)蒸發(fā)源21a的一個(gè)第一蒸發(fā)器21，蒸發(fā)源21a可沿與第一涂布滾筒11的旋轉(zhuǎn)軸Ila和第二涂布滾筒12的旋轉(zhuǎn)軸12a平行的線布置。隨后將蒸發(fā)源21a布置在與軸Ila平行的第一排中。因?yàn)閳D1圖示沿軸11a、軸12a的投影，所以僅圖示一個(gè)蒸發(fā)源21a。緊靠第一涂布滾筒11布置第一蒸發(fā)器21。以比靠近第二涂布滾筒12更靠近第一涂布滾筒11的方式布置第一蒸發(fā)器21 (尤其是第一蒸發(fā)器21的蒸發(fā)源21a)。可緊靠第二涂布滾筒12布置具有蒸發(fā)源22a的第二蒸發(fā)器22。以比靠近第一涂布滾筒11更靠近第二涂布滾筒12的方式布置第二蒸發(fā)器22 (尤其是第二蒸發(fā)器22的蒸發(fā)源22a)。第二蒸發(fā)器22可具有與第一蒸發(fā)器21相同的布置。例如，第二蒸發(fā)器22可包括布置在與軸12a平行的第二排中的多個(gè)蒸發(fā)源22a。如下所述，第一排蒸發(fā)源21a和第二排蒸發(fā)源22a相對于彼此橫向位移。第一蒸發(fā)器21和第二蒸發(fā)器22被配置為產(chǎn)生各自的蒸發(fā)束31b和蒸發(fā)束32b，所述蒸發(fā)束31b和蒸發(fā)束32b也可稱為蒸發(fā)材料的蒸發(fā)瓣(evaporation lobe)或發(fā)射瓣(emission lobe)。蒸發(fā)束31b和蒸發(fā)束32b的每一個(gè)具有通常垂直于各自的蒸發(fā)源21a和蒸發(fā)源22a的表面的主要蒸發(fā)方向31a和主要蒸發(fā)方向32a，材料自所述蒸發(fā)源21a和蒸發(fā)源22a蒸發(fā)。技術(shù)人員將明白，每個(gè)蒸發(fā)源21a、蒸發(fā)源22a具有給定的空間擴(kuò)展。因此蒸發(fā)源被定義為一個(gè)區(qū)域，材料自該區(qū)域蒸發(fā)。如上所述，第一蒸發(fā)器21和第二蒸發(fā)器22的每一個(gè)可包括至少一個(gè)蒸發(fā)源21a和蒸發(fā)源22a。蒸發(fā)源彼此分離并且彼此間隔。例如，蒸發(fā)器可包括經(jīng)調(diào)適以熔化金屬的陶瓷坩堝或舟皿(boat)。坩堝可由導(dǎo)電陶瓷制成，并且通過使電流直接通過坩堝來加熱所述坩堝。感應(yīng)加熱為另一選擇。電子束加熱為又一選擇。因此蒸發(fā)源為熱源，在所述蒸發(fā)源中材料由于受熱而蒸發(fā)。熔融金屬的區(qū)域形成實(shí)際上的蒸發(fā)源。圖1用虛線指示蒸發(fā)束31b、蒸發(fā)束32b。熔融金屬通常覆蓋或潤濕坩堝的給定區(qū)域。熔融金屬潤濕的坩堝表面的取向決定與所述取向垂直的主要蒸發(fā)方向。因此，通過以給定取向布置坩堝，可改變蒸發(fā)的主要方向。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，當(dāng)在垂直于第一軸Ila和第二軸12a的投影中觀察時(shí)，可以交錯(cuò)的方式布置第一蒸發(fā)器21和第二蒸發(fā)器22。圖8和圖10通過圖示分別具有一個(gè)蒸發(fā)源21a的多個(gè)第一蒸發(fā)器21和分別具有多個(gè)蒸發(fā)源的多個(gè)第二蒸發(fā)器22來圖示此布置。在可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的進(jìn)一步實(shí)施例中，第一蒸發(fā)器21和第二蒸發(fā)器22可組合成具有兩排蒸發(fā)源的單個(gè)蒸發(fā)器單元，所述兩排彼此間隔開。技術(shù)人員將明白，蒸發(fā)材料在蒸發(fā)束31b和蒸發(fā)束32b內(nèi)的分布為不均勻的，并且從蒸發(fā)束的中心朝由虛線31b和虛線32b圖示的所述蒸發(fā)束的邊界減少。此外，蒸發(fā)束31b和蒸發(fā)束32b 將具有給定的開度角(opening angle)。由于蒸發(fā)材料的空間分布,蒸發(fā)束通常不具有明確的邊界。出于僅說明而非旨在以任何方式限制的目的，Al蒸發(fā)源視為與表面間隔約180_。蒸發(fā)源具有約30_的橫向尺寸。蒸發(fā)源在給定溫度下產(chǎn)生蒸發(fā)束，所述蒸發(fā)束產(chǎn)生表面上具有約SO-1OOmm的橫向擴(kuò)展的沉積Al層區(qū)域，其中沉積層邊緣的層厚度僅為沉積層區(qū)域的中心層厚度的約10%。如圖1所示，第一蒸發(fā)器21的蒸發(fā)束31b相對于第一滾筒11的表面為傾斜的。當(dāng)在沿軸Ila的投影中觀察時(shí)，蒸發(fā)束31b的主要蒸發(fā)方向31a相對于第一蒸發(fā)器21的蒸發(fā)源21a與所述第一涂布滾筒11的軸Ila之間的假想線(imaginary line)為傾斜的。此夕卜，第二蒸發(fā)器22的蒸發(fā)束32b相對于第二滾筒12的表面為傾斜的。當(dāng)在沿軸12a的投影中觀察時(shí)，蒸發(fā)束32b的主要蒸發(fā)方向32a相對于第二蒸發(fā)器22的蒸發(fā)源22a與所述第二涂布滾筒12的軸12a之間的假想線為傾斜的。蒸發(fā)束31b的主要蒸發(fā)方向31a和蒸發(fā)束32b的主要蒸發(fā)方向32a因此不到達(dá)各自的最近涂布滾筒11的外表面25和最近涂布滾筒12的外表面26，所述主要蒸發(fā)方向31a和主要蒸發(fā)方向32a為垂直的但具有特定入射角。此外，蒸發(fā)束31b和蒸發(fā)束32b可相對于彼此為傾斜的。如上所述，可由蒸發(fā)源21a和蒸發(fā)源22a的取向界定蒸發(fā)束31b和蒸發(fā)束32b的取向。為了使蒸發(fā)束31b和蒸發(fā)束32b相對于彼此傾斜，使蒸發(fā)源21a和蒸發(fā)源22a相對于彼此傾斜。圖1圖示了蒸發(fā)源21a和蒸發(fā)源22a相對于彼此傾斜，使得當(dāng)在沿軸Ila和軸12a的投影中觀察時(shí)，所述蒸發(fā)束31b和蒸發(fā)束32b朝向彼此傾斜并重疊。因此形成共同沉積區(qū)域或共同蒸發(fā)陰影區(qū)(cloud)。如上所述，第一蒸發(fā)源21a和第二蒸發(fā)源22a可在與軸Ila和軸12a平行的方向上位移。例如，可以交錯(cuò)方式布置多個(gè)蒸發(fā)源21a和蒸發(fā)源22a。因此，術(shù)語“朝彼此傾斜”涉及在沿軸Ila和軸12a的投影中觀察時(shí)的取向。第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12傳送待涂布的卷筒紙料15穿過沿所述第一涂布滾筒11的圓周表面25和所述第二涂布滾筒12的圓周表面26的沉積區(qū)域。如圖1所示，繞第二涂布滾筒12的下半部傳送卷筒紙料15，使卷筒紙料15經(jīng)過縫隙17，由導(dǎo)輥18引導(dǎo)卷筒紙料15再次穿過縫隙17，隨后沿第一涂布滾筒11的下半部傳送卷筒紙料15。第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12共同形成其中可涂布卷筒紙料15的大涂布區(qū)域。由于使用導(dǎo)輥18，所以“雙重”涂布卷筒紙料15，其中，在由第二涂布滾筒12傳送卷筒紙料15時(shí)發(fā)生第一次涂布，在由第一涂布滾筒11傳送卷筒紙料15時(shí)發(fā)生第二次涂布。第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12具有相同的旋轉(zhuǎn)方向?？衫鋮s第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12以及導(dǎo)輥18。也有可能僅冷卻導(dǎo)輥
18?；蛘?，可僅冷卻第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12。蒸發(fā)器21和蒸發(fā)器22的傾斜布置避免或者至少顯著地減少第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12橫向向外的外部區(qū)域中的材料沉積。這些外部區(qū)域布置在與面向縫隙17的側(cè)面相對的第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12的側(cè)面上。因此，傾斜布置增大沉積在卷筒紙料15上的材料 與沉積在涂布裝置(諸如，遮蔽構(gòu)件)內(nèi)其他表面上的材料的比值。因此，增加產(chǎn)出率并降低生產(chǎn)成本的涂布工藝為更高效的。因?yàn)榭稍诮o定時(shí)間內(nèi)沉積更多材料，所以此涂布工藝還允許提高卷筒紙料15的輸送速度。例如，使用第一蒸發(fā)器21和第二蒸發(fā)器22的傾斜布置可獲得90%或甚至更高的涂布效率。這顯著地改善具有不超過60%的涂布效率的普遍使用的蒸發(fā)器單元，所述普遍使用的蒸發(fā)器單元具有引導(dǎo)成相同方向的多個(gè)蒸發(fā)源。出于種種原因，至遮蔽構(gòu)件上的減少的材料沉積為有用的。遮蔽構(gòu)件通常用于限制期望區(qū)域內(nèi)的沉積并且保護(hù)其他區(qū)域免受沉積。例如，可提供橫向遮蔽構(gòu)件以“定形”沉積區(qū)域。如本文所述的傾斜布置可用于定形或集中沉積區(qū)域，使得在一些應(yīng)用中不需要額外的遮蔽構(gòu)件來限制沉積區(qū)域。然而，可視情況使用遮蔽構(gòu)件，例如在應(yīng)避免蒸發(fā)束31b和蒸發(fā)束32b的“外部”區(qū)域的材料沉積時(shí)。盡管蒸發(fā)束31b和蒸發(fā)束32b圖示為僅覆蓋某一區(qū)域，但是技術(shù)人員將明白，材料還蒸發(fā)至蒸發(fā)束以外的區(qū)域，盡管僅是小程度的蒸發(fā)。然而，在變?yōu)槌练e時(shí)，此少量的材料沉積可使涂布層劣化。例如，卷筒紙料經(jīng)常涂有鋁以獲得反射性表面。來自技術(shù)上有用的蒸發(fā)束的外部的沉積材料可降低反射率。為了避免此情況，可提供遮蔽構(gòu)件。此外，減少遮蔽構(gòu)件上的蒸發(fā)材料沉積便于真空涂布裝置的清洗，原因是不必要進(jìn)行頻繁清洗。例如，第一蒸發(fā)器21的蒸發(fā)源21a和第二蒸發(fā)器22的蒸發(fā)源22a可布置在垂直線65內(nèi)部，所述垂直線65垂直于假想連接線13并且通過第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12的各自的軸Ila和軸12a。假想線13連接第一涂布滾筒11的旋轉(zhuǎn)軸Ila與第二涂布滾筒12的旋轉(zhuǎn)軸12a。換句話說，蒸發(fā)源21a和蒸發(fā)源22a相對于彼此間隔一距離L，所述距離L可小于2*R+D，由于縫隙17的寬度D通常遠(yuǎn)小于半徑R，所述距離L通常小于2*R。在可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例中，L小于或等于半徑R。距離L可例如在150mm與200mm之間。在以彼此之間相當(dāng)小的距離(例如，以小于2*R的距離)放置蒸發(fā)源21a和蒸發(fā)源22a時(shí)，向內(nèi)移動(dòng)蒸發(fā)束31b和蒸發(fā)束32b的各自“外”邊界，使得當(dāng)在沿軸Ila和軸12a的投影中觀察時(shí)，所述“外”邊界更加遠(yuǎn)離各自的涂布滾筒11和涂布滾筒12的橫向外邊緣。這使沉積集中朝向遠(yuǎn)離橫向外部區(qū)域的涂布滾筒11與涂布滾筒12之間的中心，因此降低材料沉積在涂布滾筒11和涂布滾筒12的橫向外部的可能性。在如上所述使蒸發(fā)器21和蒸發(fā)器22朝向彼此傾斜時(shí)，此作用甚至更加顯著。蒸發(fā)器21和蒸發(fā)器22的各自外邊緣甚至可朝向第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12的共同中心偏斜?？梢耘c垂直于假想連接線13而構(gòu)造的垂直線14間隔開的關(guān)系橫向布置第一蒸發(fā)器21和第二蒸發(fā)器22。垂直線14貫穿縫隙17?？筛鶕?jù)特定需要選擇距離dl和距離d2的各自橫向位移。距離dl和距離d2可為相同的。或者，距離dl和距離d2可彼此不同。例如，在第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12具有相同半徑R時(shí)，dl通?；镜扔赿2。當(dāng)使用具有不同半徑的涂布滾筒時(shí)，dl可不同于d2。卷筒紙料15可為任何適合的帶狀柔性材料。典型實(shí)例為箔片。涂層箔片可用作食品包裝材料。蒸發(fā)材料可為可被適當(dāng)蒸發(fā)的任何材料(諸如，金屬或電介質(zhì)材料)。實(shí)例為鋁。另一實(shí)例為銅?？梢栽诩訜嵴舭l(fā)器中熔融的金屬線的形式輸送材料。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的實(shí)施例，布置蒸發(fā)器21和蒸發(fā)器22,使得沒有來自各自的蒸發(fā)源21a和蒸發(fā)源22a的蒸發(fā)材料沿直線通過縫隙17。在圖示圖1的放大細(xì)節(jié)的圖2A中圖示此情況。第一蒸發(fā)器21的蒸發(fā)源21a和第二蒸發(fā)器22的蒸發(fā)源22a以相對于彼此以及相對于貫穿縫隙17的線14傾斜的方式導(dǎo)向涂布滾筒11和涂布滾筒12。術(shù)語“導(dǎo)向”旨在描述各自的蒸發(fā)源的主要蒸發(fā)方向指向指示的方向。蒸發(fā)源21a和蒸發(fā)源22a布置在可由線61和線62構(gòu)造的區(qū)域63的外部，所述線61和線62通過縫隙17并且成為第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12的公切線。每條線61和線62形成第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12的切線。這些線61和線62限制以線14為中心的區(qū)域63。以灰色圖示區(qū)域63。在區(qū)域63外部蒸發(fā)的材料不能直接沿直線通過縫隙17。第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12形成縫隙17的遮蔽，以防止蒸發(fā)材料通過縫隙17。因此，沉積區(qū)域基本上局限于位于縫隙17 “前方”的區(qū)域。在如上所述布置蒸發(fā)源21a和蒸發(fā)源22a時(shí)，無論是在縫隙17前方還是在縫隙17后方都不需要遮蔽構(gòu)件。此外，這提高產(chǎn)出率，因?yàn)闆]有沉積在遮蔽構(gòu)件上、需定期清除的材料。如圖2A所示，蒸發(fā)源21a和蒸發(fā)源22a經(jīng)布置，使得主要蒸發(fā)方向31a和主要蒸發(fā)方向32a的幾何擴(kuò)展在布置于縫隙17后方的點(diǎn)P (本文未示出)處相交。如此，則蒸發(fā)材料在沉積區(qū)域內(nèi)更加均勻地分布，而不是集中在單個(gè)區(qū)域中。另一方面，因?yàn)檎舭l(fā)束31b和蒸發(fā)束32b朝向彼此傾斜，所以提高蒸發(fā)區(qū)域內(nèi)蒸發(fā)材料的濃度，這允許以更大距離設(shè)置蒸發(fā)源21a和蒸發(fā) 源22a，例如以減小卷筒紙料15的熱應(yīng)力。此外，可提高卷筒紙料15的輸送速度。圖2B圖示可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的另一實(shí)施例。第一蒸發(fā)器21和第二蒸發(fā)器22的布置類似于圖2A圖示的布置，不同之處在于第一蒸發(fā)器21和第二蒸發(fā)器22朝向彼此更加傾斜，使得主要蒸發(fā)方向31a和主要蒸發(fā)方向32a的幾何相交點(diǎn)P布置在縫隙17前方。這更進(jìn)一步地增加蒸發(fā)材料的濃度，還允許增大蒸發(fā)源21和蒸發(fā)源22a與第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12的表面之間的距離。在此實(shí)施例中，當(dāng)在垂直于軸Ila和軸12a的投影中觀察時(shí)，在到達(dá)涂布滾筒11的表面25和涂布滾筒12的表面26之前，蒸發(fā)束31b和蒸發(fā)束32b彼此“交叉”。尤其是，緊靠第一涂布滾筒11布置的第一蒸發(fā)器21導(dǎo)向第二涂布滾筒12，而緊靠第二涂布滾筒12布置的第二蒸發(fā)器22導(dǎo)向第一涂布滾筒11，使得出現(xiàn)“交叉沉積”。來自第一蒸發(fā)源21a的蒸發(fā)材料“通過”第一涂布滾筒11的外表面25。還出現(xiàn)自第一蒸發(fā)源21a在第一涂布滾筒11上的沉積。以相對于第一涂布滾筒11的表面25的法線的傾斜角沉積材料。以類似的方式，出現(xiàn)自第二蒸發(fā)源22a在第二涂布滾筒12上的沉積。因此，當(dāng)在第一涂布滾筒11的表面25上時(shí)，由第一蒸發(fā)源21的蒸發(fā)源21a和第二蒸發(fā)源22的蒸發(fā)源22a涂 布卷筒紙料15。類似地，當(dāng)在第二涂布滾筒12的表面26上時(shí)，由第一蒸發(fā)源21的蒸發(fā)源21a和第二蒸發(fā)源22的蒸發(fā)源22a涂布卷筒紙料15?？捎上鄬τ跐L筒表面25和滾筒表面26的法線的傾斜角以及至涂布滾筒11和涂布滾筒12的距離來調(diào)整相對于一個(gè)蒸發(fā)源至第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12上的沉積的比值。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，自第一蒸發(fā)器21至第二涂布滾筒12上的沉積可以大于出現(xiàn)自第一蒸發(fā)器21至第一涂布滾筒11上的沉積所處的角度的角度出現(xiàn)。相對于涂布滾筒的表面界定角度，主要蒸發(fā)方向以所述角度到達(dá)各自的表面。因此，可以大于出現(xiàn)自第二蒸發(fā)器22到第二涂布滾筒12上的沉積所處的角度的角度出現(xiàn)自第二蒸發(fā)器22到第一涂布滾筒11上的沉積。然而，也有可能將第一蒸發(fā)器21和第二蒸發(fā)器22布置在區(qū)域63內(nèi)。盡管在蒸發(fā)源21a、蒸發(fā)源22a與縫隙17之間形成“筆直”路徑，但是可通過使蒸發(fā)源21a和蒸發(fā)源22a朝向彼此傾斜而顯著地減少穿過縫隙17的沉積，使得各自的蒸發(fā)源21a的主要蒸發(fā)方向31a和蒸發(fā)源22a的主要蒸發(fā)方向32a指向各自的相反涂布滾筒。如果需要，則可提供遮蔽58來覆蓋縫隙17。如圖2B和圖2C所示，緊靠相鄰?fù)坎紳L筒布置的蒸發(fā)源導(dǎo)向以與所述蒸發(fā)源的距離大于與相鄰?fù)坎紳L筒的距離布置的另一涂布滾筒。在圖2A中，蒸發(fā)源導(dǎo)向所述蒸發(fā)源的相鄰?fù)坎紳L筒，并且部分地朝向遠(yuǎn)離蒸發(fā)源布置的其他涂布滾筒傾斜。可根據(jù)特定需要選擇蒸發(fā)源21a與蒸發(fā)源22a之間的傾斜角(由主要蒸發(fā)方向31a與主要蒸發(fā)方向32a之間的角度界定)，并且所述傾斜角可在例如約60°與約180°之間。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，僅如圖3所示，真空涂布裝置200可包括第一蒸發(fā)器21。結(jié)合圖1以及圖2A至圖2C的任一個(gè)所描述，可類似地布置第一蒸發(fā)器21。如結(jié)合圖2A至圖2C的任一個(gè)所描述，第一蒸發(fā)器21可具有相對于第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12的位置和方位。圖4圖示可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的進(jìn)一步實(shí)施例。真空涂布裝置300僅包括一個(gè)涂布滾筒11?？扇缟纤霾贾玫谝徽舭l(fā)器21和第二蒸發(fā)器22。第一蒸發(fā)器21的主要蒸發(fā)方向31a和第二蒸發(fā)器22的主要蒸發(fā)方向32a的幾何擴(kuò)展在分別到達(dá)涂布滾筒11的表面25和涂布滾筒11傳送的卷筒紙料15之前，在點(diǎn)P處相交。隨后點(diǎn)P與涂布滾筒11的外表面25間隔一距離B。或者，點(diǎn)P可接近涂布滾筒11的外表面25或在涂布滾筒11的外表面25上。在進(jìn)一步的替代中，點(diǎn)P可位于涂布滾筒11的外表面25與涂布滾筒11的旋轉(zhuǎn)軸Ila之間。在點(diǎn)P與涂布滾筒11的外表面間隔時(shí)，B可在Omm與IOOmm之間。或者，當(dāng)點(diǎn)P在涂布滾筒11 “內(nèi)”時(shí)，B可在約O (在表面處)至約-R (在涂布滾筒的中心處)的范圍內(nèi)，其中R為涂布滾筒11的半徑。如上所述，使蒸發(fā)源21a和蒸發(fā)源22a朝向彼此傾斜產(chǎn)生更加集中的沉積區(qū)域，所述沉積區(qū)域與使用單個(gè)源或使用指向相同方向的兩個(gè)蒸發(fā)源(即，所述兩個(gè)蒸發(fā)源彼此平行)相比具有更加均勻的蒸發(fā)材料分布。此外，蒸發(fā)束以一傾斜角而非垂直于表面的方式到達(dá)涂布滾筒11的圓周表面25，因此到達(dá)卷筒紙料15的表面。這還改善了沉積工藝。圖5圖示真空涂布裝置400的進(jìn)一步實(shí)施例，所述進(jìn)一步實(shí)施例可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例。真空涂布裝置400包括以大于圖1的縫隙17的縫隙17’彼此平行布置的兩個(gè)涂布滾筒11、涂布滾筒12。相對于通過第一涂布滾筒11與第二涂布滾筒12之間的中間部分的垂直線14橫向設(shè)置導(dǎo)輥18。導(dǎo)輥18的橫向位移保證通過縫隙17’的蒸發(fā)材料沉積在卷筒紙料15上。圖6圖示真空涂布裝置500的進(jìn)一步實(shí)施例，所述進(jìn)一步實(shí)施例可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例。真空涂布裝置500包括彼此平行布置的兩個(gè)涂布滾筒11和涂布滾筒12，其中在所述涂布滾筒11和所述涂布滾筒12之間形成有一縫隙17。與圖1相比，同時(shí)涂布兩個(gè)卷筒紙料，其中由第一涂布滾筒11輸送卷筒紙料15’，而由第二涂布滾筒12輸送卷筒紙料15’’。涂布滾筒11和涂布滾筒12可具有相同的旋轉(zhuǎn)方向?；蛘撸坎紳L筒11和涂布滾筒12可具有相反的旋轉(zhuǎn)方向。圖7圖示真空涂布裝置6`00的進(jìn)一步實(shí)施例，所述進(jìn)一步實(shí)施例可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例。真空涂布裝置600包括彼此平行布置的兩個(gè)涂布滾筒11和涂布滾筒12，其中在兩個(gè)涂布滾筒11與涂布滾筒12之間形成有縫隙17。真空涂布裝置600包括具有上腔室51和下腔室52的殼體50。在上腔室51中布置有展開滾筒41和卷繞滾筒42。在上腔室51中還布置有導(dǎo)輥18。第一涂布滾筒11和第二涂布滾筒12部分地布置在上腔室51中，而所述第一涂布滾筒11和所述第二涂布滾筒12的下部(例如，下半部)突出到形成沉積腔室的下腔室52中，蒸發(fā)源21和蒸發(fā)源22布置在所述下腔室52中?？梢詸M向蒸發(fā)源21和蒸發(fā)源22的方式布置遮蔽構(gòu)件57，以避免可能有蒸發(fā)材料的痕跡沉積在傳送的卷筒紙料15上?？赏ㄟ^閥53排空第一上腔室51，而可通過閥54排空下腔室52。通常，在上腔室51與下腔室52之間存在壓力差。為了維持壓力差，壁部分55伸長到接近涂布滾筒的外表面，僅留下小間隙。也可形成相當(dāng)小的縫隙17，以維持上腔室51與下腔室52之間的真空壓力差。圖8圖示蒸發(fā)器單元700的實(shí)施例，所述實(shí)施例可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例。蒸發(fā)單元700包括兩個(gè)蒸發(fā)排701、701。每一排701、702包括在每一排701和702內(nèi)沿線705兩兩彼此橫向間隔一基本恒定距離的多個(gè)蒸發(fā)器721、722，以與卷筒紙料15的移動(dòng)方向垂直的方式布置所述線705。此處不圖示卷筒紙料15。以幻線圖示第一涂布滾筒711和第二涂布滾筒712。蒸發(fā)器單元700可包括以兩排701和702布置的例如25至30個(gè)蒸發(fā)器721和蒸發(fā)器722。排701和排702沿線705相對于彼此位移，以獲得各個(gè)蒸發(fā)器721和蒸發(fā)器722的交錯(cuò)布置。此外，當(dāng)沿與涂布滾筒的旋轉(zhuǎn)軸平行的線705觀察時(shí)，各自的排701和排702的蒸發(fā)器721和蒸發(fā)器722可彼此部分地重疊。如圖8所示，如在上文進(jìn)一步描述，排701的蒸發(fā)器721和排702的蒸發(fā)器721相對于彼此傾斜，以形成共同蒸發(fā)區(qū)域。此處由加熱的坩堝形成蒸發(fā)器721和蒸發(fā)器722，以熔融以金屬線770形式輸送的金屬。每個(gè)坩堝具有細(xì)長形狀，以形成各自的蒸發(fā)束732。圖9A和圖9B圖示用于圖8的各自的蒸發(fā)器721和蒸發(fā)器722的蒸發(fā)束732。形成蒸發(fā)器721和蒸發(fā)器722的坩堝相對于彼此傾斜。為每個(gè)坩堝輸送金屬線770，以熔融金屬?？烧{(diào)整金屬線770的輸送速率，使得熔融速率類似于蒸發(fā)速率?？蓽p少熔融金屬的富裕量，以避免熔融的金屬流出傾斜的坩堝。例如，可調(diào)整熔融金屬的輸送速率，使得液態(tài)金屬薄膜僅潤濕坩堝的表面。每一坩堝721和722可為例如30mm寬并且180mm長。圖10圖示蒸發(fā)器單元800的實(shí)施例，所述實(shí)施例可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例。蒸發(fā)單元800包括第一排801的蒸發(fā)器821和第二排802的蒸發(fā)器822，每一排分別包括各自的蒸發(fā)源821a和蒸發(fā)源822a。不同于圖8的蒸發(fā)單元700，在與涂布滾筒11的軸IIa和涂布滾筒12的12a平行的投影中，各自的排801的蒸發(fā)器821和排802的蒸發(fā)器822不彼此重疊。 圖10進(jìn)一步圖示覆蓋涂布滾筒11和涂布滾筒12的各自端的可移動(dòng)遮蔽構(gòu)件56。在使用具有不同尺寸的帶狀材料時(shí)，遮蔽構(gòu)件56用于限制沉積并且調(diào)整沉積區(qū)域。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，提供用于涂布卷筒紙料的真空涂布裝置。所述裝置包括真空腔室、第一可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒、以及與第一滾筒平行設(shè)置的第二可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒，其中在第一涂布滾筒與第二涂布滾筒之間形成用于傳送至少一個(gè)卷筒紙料的縫隙。第一蒸發(fā)器包括經(jīng)調(diào)適以產(chǎn)生第一蒸發(fā)束的至少一個(gè)蒸發(fā)源，其中緊靠第一涂布滾筒布置第一蒸發(fā)器。第二蒸發(fā)器包括經(jīng)調(diào)適以產(chǎn)生第二蒸發(fā)束的至少一個(gè)蒸發(fā)源，其中緊靠第二涂布滾筒布置第二蒸發(fā)器。第一蒸發(fā)器和第二蒸發(fā)器經(jīng)布置使得所述第一蒸發(fā)器和所述第二蒸發(fā)器的蒸發(fā)束相對于彼此傾斜。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，提供用于涂布卷筒紙料的真空涂布裝置。所述裝置包括真空腔室、第一可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒、以及與第一滾筒平行設(shè)置的第二可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒，其中在第一涂布滾筒與第二涂布滾筒之間形成用于傳送至少一個(gè)卷筒紙料的縫隙。第一蒸發(fā)器包括緊靠第一涂布滾筒布置的至少一個(gè)蒸發(fā)源。第二蒸發(fā)器包括緊靠第二涂布滾筒布置的至少一個(gè)蒸發(fā)源。第一蒸發(fā)器與第二蒸發(fā)器相對于彼此傾斜。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，第一蒸發(fā)器和第二蒸發(fā)器的蒸發(fā)束的每一個(gè)包括主要蒸發(fā)方向，其中各自的主要蒸發(fā)方向的幾何擴(kuò)展在布置在縫隙前方的點(diǎn)P處相交。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，第一蒸發(fā)器和第二蒸發(fā)器的蒸發(fā)束的每一個(gè)包括主要蒸發(fā)方向，其中各自的主要蒸發(fā)方向的幾何擴(kuò)展在布置在縫隙后方的點(diǎn)P處相交。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，第一蒸發(fā)器和第二蒸發(fā)器的蒸發(fā)束的每一個(gè)包括主要蒸發(fā)方向，其中各自的主要蒸發(fā)方向的幾何擴(kuò)展在布置在縫隙內(nèi)的點(diǎn)P處相交。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，第一涂布滾筒和第二涂布滾筒被配置為傳送卷筒紙料穿過縫隙，其中第一蒸發(fā)器和第二蒸發(fā)器相對于第一涂布滾筒和第二涂布滾筒布置，使得當(dāng)從各自的蒸發(fā)器的蒸發(fā)源觀察時(shí)，縫隙被第一涂布滾筒和第二涂布滾筒的對應(yīng)的一個(gè)隱藏在視野之外。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，當(dāng)沿連接第一涂布滾筒的旋轉(zhuǎn)軸與第二涂布滾筒的旋轉(zhuǎn)軸的假想連接線測量時(shí)，第一涂布滾筒和第二涂布滾筒的每一個(gè)具有半徑R，并且第一涂布滾筒與第二涂布滾筒之間的縫隙具有寬度D，其中比值R/D大于或等于15,尤其是大于100。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，真空涂布裝置進(jìn)一步包括相對于第一蒸發(fā)器和第二蒸發(fā)器布置在第一涂布滾筒和第二涂布滾筒后方的導(dǎo)輥，所述導(dǎo)輥用于引導(dǎo)卷筒紙料穿過縫隙。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，其中第一蒸發(fā)束和第二蒸發(fā)束形成布置在第一蒸發(fā)器和第二蒸發(fā)器與第一涂布滾筒和第二涂布滾筒之間的共同沉積區(qū)域。根據(jù)可結(jié)合 本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，當(dāng)在沿第一涂布滾筒和第二涂布滾筒的軸的投影中觀察時(shí)，共同沉積區(qū)域與由單個(gè)蒸發(fā)器形成的沉積區(qū)域相比具有更加均勻的蒸發(fā)材料分布。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，其中真空涂布裝置被配置為由第一涂布滾筒輸送第一卷筒紙料穿過縫隙，并且同時(shí)由第二涂布滾筒輸送第二卷筒紙料穿過縫隙。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，提供用于涂布卷筒紙料的真空涂布裝置。所述裝置包括:真空腔室；第一可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒；以及與第一滾筒平行設(shè)置的第二可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒，其中在第一涂布滾筒與第二涂布滾筒之間形成一縫隙，用于傳送卷筒紙料穿過所述縫隙。具有蒸發(fā)源的至少第一蒸發(fā)器緊靠第一涂布滾筒布置并且朝向第二涂布滾筒傾斜，以用于在由第二涂布滾筒傳送卷筒紙料穿過縫隙時(shí)，使材料沉積在所述卷筒紙料上。以比靠近第二涂布滾筒而更加靠近第一涂布滾筒的方式布置第一蒸發(fā)器的蒸發(fā)源，并且相對于第一涂布滾筒和第二涂布滾筒設(shè)置所述蒸發(fā)源，使得當(dāng)從第一蒸發(fā)器的蒸發(fā)源觀察時(shí)，縫隙被第一涂布滾筒隱藏在視野之外。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，真空涂布裝置進(jìn)一步包括具有蒸發(fā)源的至少第二蒸發(fā)器，所述蒸發(fā)源朝向第一涂布滾筒傾斜，以用于在由第一涂布滾筒傳送卷筒紙料時(shí)，使材料沉積在所述卷筒紙料上，其中以比靠近第一涂布滾筒而更加靠近第二涂布滾筒的方式布置第二蒸發(fā)器，并且相對于第一涂布滾筒和第二涂布滾筒設(shè)置所述第二蒸發(fā)器，使得當(dāng)從第二蒸發(fā)器的蒸發(fā)源觀察時(shí)，縫隙被第二涂布滾筒隱藏在視野之外。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，第一蒸發(fā)器具有第一主要蒸發(fā)方向并且第二蒸發(fā)器具有第二主要蒸發(fā)方向。第一主要蒸發(fā)方向和第二主要蒸發(fā)方向在布置于在第一涂布滾筒與第二涂布滾筒之間形成的縫隙后方的點(diǎn)P處相交。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，第一蒸發(fā)器具有第一主要蒸發(fā)方向并且第二蒸發(fā)器具有第二主要蒸發(fā)方向。第一主要蒸發(fā)方向和第二主要蒸發(fā)方向在布置于在第一涂布滾筒與第二涂布滾筒之間形成的縫隙前方的點(diǎn)P處相交。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，第一涂布滾筒和第二涂布滾筒的每一個(gè)包含半徑R。第一蒸發(fā)器的蒸發(fā)源與第二蒸發(fā)器的蒸發(fā)源間隔小于涂布滾筒的半徑R的距離L。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，第一涂布滾筒和第二涂布滾筒的半徑R大于第一涂布滾筒與第二蒸發(fā)器的蒸發(fā)源之間的距離和/或大于第二涂布滾筒與第一蒸發(fā)器的蒸發(fā)源之間的距離。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，提供用于涂布卷筒紙料的真空涂布裝置。真空涂布裝置包括:真空腔室；用于傳送卷筒紙料的至少一個(gè)可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒，所述至少一個(gè)可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒具有旋轉(zhuǎn)軸和表面；具有至少一個(gè)蒸發(fā)源的第一蒸發(fā)器；具有至少一個(gè)蒸發(fā)源的第二蒸發(fā)器。第一蒸發(fā)器和第二蒸發(fā)器緊靠涂布滾筒布置并且相對于彼此傾斜。

根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，第一蒸發(fā)器的蒸發(fā)源經(jīng)調(diào)適以產(chǎn)生具有第一主要蒸發(fā)方向的第一蒸發(fā)束，并且第二蒸發(fā)器的蒸發(fā)源經(jīng)調(diào)適以產(chǎn)生具有第二主要蒸發(fā)方向的第二蒸發(fā)束。第一蒸發(fā)器和第二蒸發(fā)器經(jīng)布置使得所述第一蒸發(fā)器和所述第二蒸發(fā)器的蒸發(fā)束朝向彼此傾斜。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，第一蒸發(fā)器和第二蒸發(fā)器經(jīng)布置，使得當(dāng)在與旋轉(zhuǎn)軸平行的投影中觀察時(shí)，第一主要蒸發(fā)方向和第二主要蒸發(fā)方向在布置在涂布滾筒與第一蒸發(fā)器和第二蒸發(fā)器之間的點(diǎn)P處相交。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，提供蒸發(fā)單元或蒸發(fā)布置，所述蒸發(fā)單元或蒸發(fā)布置具有:第一蒸發(fā)器，所述第一蒸發(fā)器具有用于產(chǎn)生第一蒸發(fā)束(31a)的至少一個(gè)蒸發(fā)源；以及第二蒸發(fā)器，所述第二蒸發(fā)器具有用于產(chǎn)生第二蒸發(fā)束的至少一個(gè)蒸發(fā)源，其中第一蒸發(fā)器和第二蒸發(fā)器相對于彼此傾斜。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，蒸發(fā)單元或蒸發(fā)布置進(jìn)一步包括:第一排的第一蒸發(fā)器，其中每個(gè)第一蒸發(fā)器經(jīng)調(diào)適以產(chǎn)生第一蒸發(fā)束；以及第二排的第二蒸發(fā)器，其中每個(gè)第二蒸發(fā)器經(jīng)調(diào)適以產(chǎn)生第二蒸發(fā)束。第一排和第二排彼此平行布置，其中第一排的第一蒸發(fā)器和第二排的第二蒸發(fā)器經(jīng)布置，使得當(dāng)在沿第一排和第二排的投影中觀察時(shí)，第一蒸發(fā)器的蒸發(fā)束朝向第二蒸發(fā)器的蒸發(fā)束傾斜。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，以交錯(cuò)的方式布置第一蒸發(fā)器和第二蒸發(fā)器。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，提供真空涂布裝置。真空涂布裝置包括:真空腔室；具有軸的第一涂布滾筒以及與第一滾筒平行設(shè)置的、具有軸的第二涂布滾筒，其中在第一涂布滾筒與第二涂布滾筒之間形成有一縫隙；具有蒸發(fā)源的至少第一蒸發(fā)器，所述蒸發(fā)源導(dǎo)向第二涂布滾筒，用于在由第二涂布滾筒傳送卷筒紙料穿過縫隙時(shí)，使材料沉積在所述卷筒紙料上。第一蒸發(fā)器的蒸發(fā)源布置在界定在第一假想線之間的區(qū)域外部，當(dāng)在與軸平行的投影中觀察時(shí)，所述第一假想線貫穿縫隙并且是第一涂布滾筒和第二涂布滾筒的切線。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，真空涂布裝置進(jìn)一步包括具有蒸發(fā)源的至少第二蒸發(fā)器，所述蒸發(fā)源導(dǎo)向第一涂布滾筒，用于在由第一涂布滾筒傳送卷筒紙料時(shí)，使材料沉積在所述卷筒紙料上。當(dāng)在與軸平行的投影中觀察時(shí)，第二蒸發(fā)器的蒸發(fā)源布置在界定在第一假想線之間的區(qū)域的外部。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，軸沿穿過縫隙的假想連接線相對于彼此設(shè)置。第一蒸發(fā)器和/或第二蒸發(fā)器的蒸發(fā)源布置在界定在第二假想線之間的區(qū)域的內(nèi)部，所述第二假想線貫穿第一涂布滾筒和第二涂布滾筒的軸的對應(yīng)的一個(gè)并且垂直于假想連接線。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，提供用于涂布卷筒紙料的真空涂布裝置。所述真空涂布裝置包括:真空腔室；第一可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒；以及與第一滾筒平行設(shè)置的第二可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒，其中在第一涂布滾筒與第二涂布滾筒之間形成一縫隙，用于傳送卷筒紙料穿過所述縫隙。軸沿通過縫隙的假想連接線相對于彼此設(shè)置。具有蒸發(fā)源的至少第一蒸發(fā)器導(dǎo)向第二涂布滾筒，用于在由第二涂布滾筒傳送卷筒紙料穿過縫隙時(shí)，使材料沉積在所述卷筒紙料上。第一蒸發(fā)器相對于第一涂布滾筒和第二涂布滾筒布置，使得從蒸發(fā)源穿過縫隙的直線被第一涂布滾筒阻隔。根據(jù)可結(jié)合本文描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例，提供用于涂布卷筒紙料的方法。所述方法包括:提供第一可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒以及與第一滾筒平行設(shè)置的第二可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒，其中在第一涂布滾筒與第二涂布滾筒之間形成有縫隙；通過從第一蒸發(fā)器自第一蒸發(fā)方向蒸發(fā)材料并且從第二蒸發(fā)器自第二蒸發(fā)方向蒸發(fā)材料，來形成緊靠第一涂布滾筒和第二涂布滾筒的表面的共同蒸發(fā)區(qū)域；由第一涂布滾筒和/或第二涂布滾筒傳送至少一個(gè)卷筒紙料穿過共同蒸發(fā)區(qū)域`。盡管上文涉及本發(fā)明的實(shí)施例，但可在不脫離本發(fā)明的基本范圍的情況下設(shè)計(jì)本發(fā)明的其他實(shí)施例與進(jìn)一步實(shí)施例，且本發(fā)明的范圍由以下權(quán)利要求書決定。
權(quán)利要求
1.一種用于涂布卷筒紙料的真空涂布裝置，所述真空涂布裝置包含: 真空腔室(50); 第一可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒(11)和第二可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒(12)，所述第二涂布滾筒(12)與所述第一滾筒(11)平行設(shè)置，其中在所述第一涂布滾筒與所述第二涂布滾筒(11、12)之間形成用于傳送至少一個(gè)卷筒紙料(15)的縫隙(17); 第一蒸發(fā)器(21)，所述第一蒸發(fā)器(21)包含用于產(chǎn)生第一蒸發(fā)束(31b)的至少一個(gè)蒸發(fā)源(21a)，所述第一蒸發(fā)器(21)緊靠所述第一涂布滾筒(11)布置； 第二蒸發(fā)器(22)，所述第二蒸發(fā)器(22)包含用于產(chǎn)生第二蒸發(fā)束(32b)的至少一個(gè)蒸發(fā)源(22a)，所述第二蒸發(fā)器(22)緊靠所述第二涂布滾筒(12)布置； 所述第一蒸發(fā)器和所述第二蒸發(fā)器(21、22)相對于彼此傾斜。
2.如權(quán)利要求1所述的真空涂布裝置，其中所述第一蒸發(fā)器和所述第二蒸發(fā)器(21、22)的每一個(gè)包含主要蒸發(fā)方向(31a、32a),其中所述各自的主要蒸發(fā)方向(31a、32a)的幾何擴(kuò)展在布置在所述縫隙(17)前方的點(diǎn)P處相交。
3.如權(quán)利要求1或2所述的真空涂布裝置，其中所述第一涂布滾筒和所述第二涂布滾筒(11、12)被配置為傳送卷筒紙料(15)穿過所述縫隙(17)，并且其中所述第一蒸發(fā)器和所述第二蒸發(fā)器(21、22)相對于所述第一涂布滾筒和所述第二涂布滾筒(11、12)布置，使得當(dāng)從所述各自的蒸發(fā)器(21、22)的所述蒸發(fā)源(21a、Z2a)觀察時(shí)，所述縫隙(17)被所述第一涂布滾筒和所述第二涂布滾筒(11、12)的對應(yīng)的一個(gè)隱藏在視野之外。
4.如權(quán)利要求1至3的任一項(xiàng)所述的真空涂布裝置，其中當(dāng)沿連接所述第一涂布滾筒(11)的所述旋轉(zhuǎn)軸(Ila)與所述第二涂布滾筒(12)的所述旋轉(zhuǎn)軸(12a)的假想連接線(13)測量時(shí)，所述第一涂布滾 筒和所述第二涂布滾筒(11、12)的每一個(gè)具有半徑R，并且所述第一涂布滾筒與所述第二涂布滾筒(11、12)之間的所述縫隙(17)具有寬度D，其中所述比值R/D大于或等于15。
5.如權(quán)利要求1至4的任一項(xiàng)所述的真空涂布裝置，進(jìn)一步包含相對于所述第一蒸發(fā)器和所述第二蒸發(fā)器(21、22)布置在所述第一涂布滾筒和所述第二涂布滾筒(11、12)后方的導(dǎo)輥(18)，所述導(dǎo)輥(18)用于引導(dǎo)所述卷筒紙料(15)穿過所述縫隙(17)。
6.如權(quán)利要求1至5的任一項(xiàng)所述的真空涂布裝置，其中所述第一蒸發(fā)器和所述第二蒸發(fā)器(21、22)經(jīng)布置，使得所述第一蒸發(fā)束和所述第二蒸發(fā)束(31b、32b)形成布置在所述第一蒸發(fā)器和所述第二蒸發(fā)器(21、22)與所述第一涂布滾筒和所述第二涂布滾筒(11、12)之間的共同沉積區(qū)域。
7.如權(quán)利要求6所述的真空涂布裝置，其中當(dāng)在沿所述第一涂布滾筒和所述第二涂布滾筒(11、12)的所述軸(lla、12a)的投影中觀察時(shí)，所述共同沉積區(qū)域與由單個(gè)蒸發(fā)器形成的沉積區(qū)域相比具有更加均勻的蒸發(fā)材料分布。
8.如權(quán)利要求1至7的任一項(xiàng)所述的真空涂布裝置，被配置為由所述第一涂布滾筒(11)輸送第一卷筒紙料(15’)穿過所述縫隙(17)，并且同時(shí)由所述第二涂布滾筒(12)輸送第二卷筒紙料(15〃)穿過所述縫隙(17)。
9.一種用于涂布卷筒紙料的真空涂布裝置，所述真空涂布裝置包含: 真空腔室(50); 第一可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒(11)以及與所述第一涂布滾筒(11)平行設(shè)置的第二可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒(12)，其中在所述第一涂布滾筒與所述第二涂布滾筒(11、12)之間形成縫隙(17)，用于傳送卷筒紙料(15)穿過所述縫隙(17); 至少第一蒸發(fā)器(21)，所述至少第一蒸發(fā)器(21)包含緊靠所述第一涂布滾筒(11)布置并且朝向所述第二涂布滾筒(12)傾斜的蒸發(fā)源(21a)，用于當(dāng)由所述第二涂布滾筒(12)傳送所述卷筒紙料(15)穿過所述縫隙(17)時(shí)，使材料沉積在所述卷筒紙料(15)上，以比靠近所述第二涂布滾筒(12)而更加靠近所述第一涂布滾筒(11)的方式布置所述第一蒸發(fā)器(21)的所述蒸發(fā)源，并且相對于所述第一涂布滾筒和所述第二涂布滾筒(11、12)設(shè)置所述第一蒸發(fā)器(21)的所述蒸發(fā)源，使得當(dāng)從所述第一蒸發(fā)器(21)的所述蒸發(fā)源(21a)觀察時(shí)，所述縫隙(17)被所述第一涂布滾筒(11、12)隱藏在視野之外。
10.如權(quán)利要求9所述的真空涂布裝置，進(jìn)一步包含至少第二蒸發(fā)器(22)，所述第二蒸發(fā)器(22)包含朝向所述第一涂布滾筒(11)傾斜的蒸發(fā)源(22a)，用于當(dāng)由所述第一涂布滾筒(11)傳送所述卷筒紙料(15)時(shí)，使材料沉積在所述卷筒紙料(15)上，以比靠近所述第一涂布滾筒(11)而更加靠近所述第二涂布滾筒(12)的方式布置所述第二蒸發(fā)器(22)的所述蒸發(fā)源，并且相對于所述第一涂布滾筒和所述第二涂布滾筒(11、22)設(shè)置所述第二蒸發(fā)器(22)的所述蒸發(fā)源，使得當(dāng)從所述第二蒸發(fā)器(22)的所述蒸發(fā)源(22a)觀察時(shí)，所述縫隙(17)被所述第二涂布滾筒(12)隱藏在視野之外。
11.如權(quán)利要求10所述的真空涂布裝置，其中所述第一蒸發(fā)器(21)包含第一主要蒸發(fā)方向(31a)，并且所述第二蒸發(fā)器(22)包含第二主要蒸發(fā)方向(32a)，所述第一主要蒸發(fā)方向(31a)和所述第二主要蒸發(fā)方向(32a)在布置于形成在所述第一涂布滾筒與所述第二涂布滾筒(11、12)之間的所述縫隙(17)后方的點(diǎn)(P)處相交。
12.如權(quán)利要求10或11所述的真空涂布裝置，其中所述第一涂布滾筒和所述第二涂布滾筒(11、21)的每一個(gè)包含半徑(R)，并且其中所述第一蒸發(fā)器(21)的所述蒸發(fā)源(21a)與所述第二蒸發(fā)器(22)的所述蒸發(fā)源(22a)間隔小于所述涂布滾筒(11、12)的所述半徑(R)的距離(L)。
13.如權(quán)利要求9至12的任一項(xiàng)所述的真空涂布裝置，其中所述第一涂布滾筒和所述第二涂布滾筒(11、12)的所述半徑(R)大于所述第一涂布滾筒(11)與所述第二蒸發(fā)器(22)的所述蒸發(fā)源(22a)之間的距離和/或大于所述第二涂布滾筒(12)與所述第一蒸發(fā)器(21)的所述蒸發(fā)源(21a)之間的距離。
14.一種用于涂布卷筒紙料的真空涂布裝置，所述真空涂布裝置包含: 真空腔室(50); 用于傳送卷筒紙料(15)的至少一個(gè)可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒(11)，所述至少一個(gè)可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒(11)包含旋轉(zhuǎn)軸(Ila)和表面(25); 第一蒸發(fā)器(21)，所述第一蒸發(fā)器(21)包含至少一個(gè)蒸發(fā)源(21a); 第二蒸發(fā)器(22)，所述第二蒸發(fā)器(22)包含至少一個(gè)蒸發(fā)源(22a)，所述第一蒸發(fā)器和所述第二蒸發(fā)器(21、22)緊靠所述涂布滾筒(11)布置并且相對于彼此傾斜。
15.如權(quán)利要求14所述的真空涂布裝置，其中: 所述第一蒸發(fā)器(21)的所述蒸發(fā)源(21a)經(jīng)調(diào)試以產(chǎn)生包含第一主要蒸發(fā)萬向(31a)的第一蒸發(fā)束(31a); 所述第二蒸發(fā)器的所述蒸發(fā)源(22a)經(jīng)調(diào)試以產(chǎn)生包含第二主要蒸發(fā)方向(32a)的第二蒸發(fā)束(32a); 所述第一蒸發(fā)器和所述第二蒸發(fā)器(21、22)經(jīng)布置使得所述第一蒸發(fā)器和所述第二蒸發(fā)器(21、22)的蒸發(fā)束(31b、32b)朝向彼此傾斜。
16.如權(quán)利要求15所述的真空涂布裝置，其中所述第一蒸發(fā)器和所述第二蒸發(fā)器(21、22)經(jīng)布置，使得當(dāng)在與所述旋轉(zhuǎn)軸(Ila)平行的投影中觀察時(shí)，所述第一主要蒸發(fā)方向(31a)和所述第二主要蒸發(fā)方向(32a)在布置于所述涂布滾筒(11)與所述第一蒸發(fā)器和所述第二蒸發(fā)器(21、22)之間的點(diǎn)(P)處相交。
17.—種蒸發(fā)單兀,包含: 第一蒸發(fā)器(21)，所述第一蒸發(fā)器(21)包含用于產(chǎn)生第一蒸發(fā)束(31a)的至少一個(gè)蒸發(fā)源(21a); 第二蒸發(fā)器(22)，所述第二蒸發(fā)器(22)包含用于產(chǎn)生第二蒸發(fā)束(32a)的至少一個(gè)蒸發(fā)源(22a); 所述第一蒸發(fā)器和所述第二蒸發(fā)器(21、22)相對于彼此傾斜。
18.如權(quán)利要求17所述的蒸發(fā)單元,進(jìn)一步包含: 第一排(701)的第一蒸發(fā)器(721)，每個(gè)第一蒸發(fā)器(721)經(jīng)調(diào)適以產(chǎn)生第一蒸發(fā)束(732); 第二排(702)的第二蒸發(fā)器(722)，每個(gè)第二蒸發(fā)器(722)經(jīng)調(diào)適以產(chǎn)生第二蒸發(fā)束(732)，第一排和第二排(701、702)彼此平行布置； 所述第一排(701)的所述·第一蒸發(fā)器(721)和所述第二排(702)的所述第二蒸發(fā)器(722)經(jīng)布置，使得當(dāng)在沿所述第一排和所述第二排(701、702)的投影中觀察時(shí)，所述第一蒸發(fā)器(721)的所述蒸發(fā)束(732)相對于所述第二蒸發(fā)器(722)的所述蒸發(fā)束(732)傾斜。
19.如權(quán)利要求18所述的蒸發(fā)單元，其中以交錯(cuò)的方式布置所述第一蒸發(fā)器和所述第二蒸發(fā)器(721、722)。
20.一種用于涂布卷筒紙料的方法，所述方法包含: 提供第一可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒(11)以及與所述第一滾筒(11)平行設(shè)置的第二可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒(12)，其中在所述第一涂布滾筒與所述第二涂布滾筒(11、12)之間形成縫隙(17); 通過從第一蒸發(fā)器(21)自第一蒸發(fā)方向蒸發(fā)材料并且從第二蒸發(fā)器(22)自第二蒸發(fā)方向蒸發(fā)材料，以緊靠所述第一涂布滾筒和所述第二涂布滾筒(11、12)的表面形成共同蒸發(fā)區(qū)域； 由所述第一涂布滾筒(11)、所述第二涂布滾筒(12)，以及所述第一涂布滾筒(11)和所述第二涂布滾筒(12)的組合的至少一個(gè)傳送至少一個(gè)卷筒紙料(15)穿過所述共同蒸發(fā)區(qū)域。
全文摘要
一種用于涂布卷筒紙料的真空涂布裝置包括第一可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒(11)以及與第一滾筒(11)平行設(shè)置的第二可旋轉(zhuǎn)涂布滾筒(12)，其中在第一涂布滾筒與第二涂布滾筒(11、12)之間形成有用于傳送至少一個(gè)卷筒紙料(15)的縫隙(17)。第一蒸發(fā)器(21)具有用于產(chǎn)生第一蒸發(fā)束(31b)的至少一個(gè)蒸發(fā)源(21a)，其中第一蒸發(fā)器(21)緊靠所述第一涂布滾筒(11)布置。第二蒸發(fā)器(22)具有用于產(chǎn)生第二蒸發(fā)束(32b)的至少一個(gè)蒸發(fā)源(22a)，其中第二蒸發(fā)器(22)緊靠第二涂布滾筒(12)布置。第一蒸發(fā)器和第二蒸發(fā)器(21、22)相對于彼此傾斜。
文檔編號(hào)C23C14/56GK103249861SQ201080070574
公開日2013年8月14日 申請日期2010年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月1日
發(fā)明者S·海恩, G·霍夫曼 申請人:應(yīng)用材料公司