專利名稱：濺射靶的制造方法以及濺射靶的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種通過將金屬鍛造而成形的濺射靶(sputtering target)的制造方法以及利用該方法制造成的濺射靶。
背景技術(shù)：
近年來，在使用了半導(dǎo)體裝置、太陽電池、FPD (平板顯示器，F(xiàn)lat Panel Display) 以及MEMS (微電子機(jī)械系統(tǒng)，Micro Electro Mechanical Systems)技術(shù)的電子設(shè)備的制造領(lǐng)域中，在金屬層或絕緣層的成膜上廣泛使用了濺射法。濺射法是，在由成膜材料構(gòu)成的靶與基板對置配置的真空室(chamber)內(nèi)中形成等離子，使通過使等離子中的離子沖撞靶而生成的來自靶的濺射粒子堆積在基板上，由此進(jìn)行成膜。靶的穩(wěn)定的濺射和所形成的薄膜的膜質(zhì)強(qiáng)烈地依賴于所使用的靶的品質(zhì)。S卩，濺射靶要求相對密度高、組分較為均質(zhì)以及結(jié)晶粒微細(xì)等。在例如金屬制靶的制造中，通過對結(jié)晶性金屬的錠坯(ingot)實(shí)施軋制和鍛造等機(jī)械加工，以獲得所述各種特性。例如，在專利文獻(xiàn)1中記載有一種鋁合金濺射靶的制造方法，其對鋁與銅的合金錠坯(鑄塊)進(jìn)行冷加工，且將其加工材在氬氣流中以預(yù)定溫度燜火鍛燒后再進(jìn)行驟冷。另外，在專利文獻(xiàn)2記載有一種濺射用鈷靶的制造方法，其通過對鈷錠坯進(jìn)行熱鍛造和熱軋以制作板材，在使該板材的厚度變均勻后，重復(fù)實(shí)施向二個軸方向以相同軋制率進(jìn)行的冷軋工序和預(yù)定溫度下的熱處理工序。專利文獻(xiàn)1 日本特開2002-69626號公報(第W006]段落)專利文獻(xiàn)2 日本特開2007-297679號公報(第
段落)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的問題在以往的濺射靶的制造方法中，當(dāng)三維地考慮了 XYZ軸時，施加于錠坯上的作用力的方向均是沿著XYZ軸的。因此，因結(jié)晶的滑動變形而產(chǎn)生的錯位僅僅形成于同一軸方向上，而無法避免位錯重復(fù)集中在同一軸方向上，因此內(nèi)部應(yīng)力不均勻，并且結(jié)晶粒子尺寸難以高效地微細(xì)化。另外，在軋制或鍛造后對加工材實(shí)施熱處理的情況下，因內(nèi)部應(yīng)力的偏移導(dǎo)致不均勻地產(chǎn)生再結(jié)晶核。即，在頻繁發(fā)生了滑動變形的區(qū)域(位錯密度高的區(qū)域)與滑動變形較少發(fā)生的區(qū)域(位錯密度低的區(qū)域)之間再結(jié)晶粒的粒子尺寸有較大的不同，非常難以均勻地形成微細(xì)組織。用于解決問題的手段鑒于如上所述的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠使結(jié)晶粒微細(xì)化和均勻化的濺射靶的制造方法以及濺射靶。為了達(dá)到所述目的，本發(fā)明的一實(shí)施方式的濺射靶的制造方法，包括通過沿著第一軸方向以及與所述第一軸方向正交的平面方向?qū)饘俚腻V坯施加作用力來鍛造所述錠坯的工序。通過沿著與平行于所述第一軸方向的方向傾斜交叉的第二軸方向?qū)λ鲥V坯施加作用力，以對所述錠坯進(jìn)一步進(jìn)行鍛造。對所述錠坯以其再結(jié)晶溫度以上的溫度實(shí)施熱處理。另外，本發(fā)明的一實(shí)施方式的濺射靶具備靶主體和被濺射面。所述靶主體具有由金屬構(gòu)成的板狀體。所述被濺射面具有70μπι以下的平均粒徑；和(111)面與(200)面的 X射線強(qiáng)度比為0.3以下的結(jié)晶方位。


圖1是說明本發(fā)明的第一實(shí)施方式的濺射靶的制造方法的工序圖。圖2是說明所述濺射靶的制造方法的各工序的概略圖。圖3是說明比較例的濺射靶的制造方法的概略工序圖。圖4是表示X射線衍射結(jié)果的一個例子的圖，其中，(a)表示實(shí)施方式的抽樣，(b) 表示比較例中的抽樣。圖5是組織照片的一個例子，其中，(a)表示實(shí)施方式的抽樣，(b)表示比較例中的抽樣。圖6是說明本發(fā)明的第二實(shí)施方式的濺射靶的制造方法的概略工序圖。圖7是表示圖1的變形例的工序圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的一實(shí)施方式的濺射靶的制造方法包括通過沿著第一軸方向以及與所述第一軸方向正交的平面方向?qū)饘俚腻V坯施加作用力來鍛造所述錠坯的工序。之后，通過沿著平行于所述第一軸方向的方向傾斜交叉的第二軸方向?qū)λ鲥V坯再施加作用力，以對所述錠坯進(jìn)一步進(jìn)行鍛造。對所述錠坯以其再結(jié)晶溫度以上的溫度實(shí)施熱處理。在所述濺射靶的制造方法中，對錠坯進(jìn)行鍛造時，不僅要沿著所述第一軸方向以及與該方向正交的平面方向、而且要沿著與這些方向交叉的第二軸方向施加作用力。這樣， 錠坯不僅能夠在所述第一軸方向以及與該方向正交的平面方向而且在第二軸方向上產(chǎn)生了滑動變形，因而可實(shí)現(xiàn)內(nèi)部應(yīng)力的高密度化和均勻化。由此，避免了載荷向同一軸方向集中，從而能夠抑制錯位密度的不均勻化。所述熱處理工序以去除錠坯的內(nèi)部應(yīng)變和結(jié)晶的再排列化為目的。所述熱處理工序也可以在錠坯形成為靶形狀(板狀)之后實(shí)施，還可以作為錠坯的鍛造工序的一部分(例如熱鍛造)來實(shí)施。根據(jù)所述濺射靶的制造方法，能夠使結(jié)晶粒的平均粒徑成為例如70 μ m以下。另外，能夠制造出具備具有(111)面與(200)面的X射線強(qiáng)度比為0.3以下的結(jié)晶方位的被濺射面的濺射靶。沿著與所述第一軸方向正交的平面方向施加作用力的工序，也可以包括使所述錠坯從圓柱形狀變形為長方體形狀的處理。在該情況下，向所述第二軸方向施加作用力的工序包括在所述長方體形狀的錠坯的對邊或?qū)侵g使所述錠坯壓縮變形的處理。由此，對于長方形狀的錠坯不僅能使其在縱向、橫向以及高度方向上，而且還能在傾斜方向上發(fā)生滑動變形。所述濺射靶的制造方法也可以還具備通過沿著與平行于所述第一軸方向的方向
4傾斜交叉且與所述第二軸方向不平行的第三軸方向?qū)λ鲥V坯施加作用力來鍛造所述錠坯的工序。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)使粒子尺寸進(jìn)一步精細(xì)化。所述金屬未作特別限定，而且，結(jié)晶結(jié)構(gòu)(面心立方、體心立方和最密六方堆積等)也不作限定。作為所述金屬，可以使用例如鉭、鈦、鋁和銅或以這些金屬中任一種作為主成分的結(jié)晶性金屬(多結(jié)晶金屬)或其合金。本發(fā)明的一實(shí)施方式的濺射靶具備靶主體和被濺射面。所述靶主體具有由金屬構(gòu)成的板狀體。所述被濺射面具有70 μ m以下的平均粒徑；和(111)面與(200)面的X射線強(qiáng)度比為0.3以下的結(jié)晶方位。根據(jù)上述的噴鍍靶，由于該濺射靶具有微細(xì)且均勻的結(jié)晶組織和穩(wěn)定的結(jié)晶方位，因此能夠?qū)崿F(xiàn)濺射的穩(wěn)定化以及膜質(zhì)的均勻化。以下，參照附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。[第一實(shí)施方式]圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的濺射靶的制造方法的工序圖。圖2是表示各工序中的錠坯的變形狀況的概略圖。本實(shí)施方式的濺射靶的制造工序具有錠坯的制作工序STl ；第一熱鍛造工序 ST2a ；第二熱鍛造工序ST2b ；冷鍛造工序ST3a和熱處理工序ST3b。(錠坯制作工序)在本實(shí)施方式中，使用了以Al為主體的結(jié)晶性合金作為錠坯10。作為鋁合金，能夠適用Al-Cu合金、Al-Si合金和Al-Si-Cu合金等。另外，錠坯10的構(gòu)成金屬不僅限于鋁及其合金，例如，能夠適用鉭、鈦和銅等純金屬或以這些金屬中任一種作為主成分的合金。鋁合金的錠坯10是通過將熔融的鋁合金澆鑄來制作的。錠坯10的形狀和大小未作特別限定，可根據(jù)所制造的靶的大小進(jìn)行適當(dāng)設(shè)定。例如，在制造直徑300 350mm且厚度20 30mm的靶的情況下，錠坯10能夠做成為直徑160 200mm且高度200 250mm的圓柱形狀(圖2(a))。錠坯10的上表面(與ζ軸正交的平面)的面方位例如為(200)。(第一熱鍛造工序)在第一熱鍛造工序ST2a中，錠坯10從圓柱形狀變形為長方體形狀(圖2 (b))。在該工序中，對加熱至250 420°C的錠坯10沿著作為高度方向的ζ軸方向(第一軸方向) 施加壓縮作用力。與此同時，通過向與ζ軸正交的xy平面方向施加作用力，而由圓柱形狀的錠坯10制作成長方體形狀的錠坯11 (圖2(b))。 也可以同時實(shí)施向ζ軸方向和xy平面方向的變形加工操作，也可以交替地實(shí)施。 在同時實(shí)施的情況下，也可以使用例如預(yù)定的鍛造模。另一方面，向xy平面方向的變形加工操作還可以同時實(shí)施，也可以交替向χ軸方向和y軸方向?qū)嵤?。錠坯10的加熱溫度并不受限于所述例子，能夠設(shè)定為適當(dāng)?shù)臏囟?。所述加熱溫度設(shè)定為例如錠坯10的再結(jié)晶溫度以上，即鍛造時不會產(chǎn)生加工破裂那樣程度的溫度。該第一熱鍛造工序中的加工量也未作特別限定，根據(jù)材料、加熱溫度和成為目的材料特性進(jìn)行適當(dāng)決定。在該第一熱鍛造工序中，重復(fù)實(shí)施向ζ軸方向和xy平面方向的壓縮變形處理。該加工操作也稱為揉壓鍛造。通過向如上所述的三個軸方向(X軸、y軸以及Z軸方向)的變形加工操作，使錠坯10產(chǎn)生相對于內(nèi)部組織且沿著所述三個軸方向的滑動變形。在結(jié)束第一熱鍛造后，將錠坯10入水淬火(WQ)。由此，阻止結(jié)晶沿著滑動線(滑動面)回位到原位置。并且，通過將長方體形狀的錠坯11按預(yù)定厚度切斷，制作成長方體形狀的錠坯片12。接著，對各錠坯片12實(shí)施第二熱鍛造工序。(第二熱鍛造工序)在第二熱鍛造工序ST2b中，在長方形狀的錠坯片的對角或?qū)呏g使該錠坯片 12壓縮變形。S卩，如圖2(c)所示，例如在使錠坯片12的長邊方向朝向ζ軸方向時，沿著與平行于ζ軸的方向傾斜交叉的軸方向(例如cll、cl2、c21、c22)施加作用力。此時的處理溫度與第一熱鍛造工序同樣能夠達(dá)到例如250 420°C。其中，cll軸表示將錠坯片12的上表面?zhèn)鹊囊粋€頂點(diǎn)tl與處于與頂點(diǎn)tl成對置的關(guān)系的下表面?zhèn)鹊囊粋€頂點(diǎn)t2之間連結(jié)而成的軸方向。另外，cl2軸表示將錠坯片12的上表面?zhèn)鹊钠渌粋€頂點(diǎn)t3與處于與頂點(diǎn)t3成對置的關(guān)系的下表面?zhèn)鹊牧硪粋€頂點(diǎn)t4 之間連結(jié)而成的軸方向。當(dāng)然，并不局限于上述例子，也可以也向?qū)⑸媳砻鎮(zhèn)鹊氖Ｓ喽€頂點(diǎn)與和這些頂點(diǎn)對置的下表面?zhèn)鹊亩€頂點(diǎn)之間連結(jié)而成的軸方向施加壓縮作用力。進(jìn)而，c21軸表示將錠坯片12的上表面?zhèn)鹊囊粭l邊si與處于與邊si成對置關(guān)系的下表面?zhèn)鹊囊粭l邊s2之間連結(jié)而成的軸方向。另外，c22軸表示將錠坯片12的上表面?zhèn)鹊牧硪粭l邊s3與處于和邊s3成對置的關(guān)系的下表面?zhèn)鹊钠渌粭l邊s4與之間連結(jié)而成的軸方向。當(dāng)然，并不局限于所述例子，也可以也對上表面?zhèn)鹊钠渌l邊與和這些邊對置的下表面?zhèn)鹊钠渌?邊之間連結(jié)起來的軸方向施加壓縮作用力。從傾斜方向施加于錠坯片12上的壓縮作用力可以是在錠坯片12的對角間和對邊間中的任一個，也可以是兩者。壓縮加工的對象不僅限于以所有組的對角或?qū)呴g，也可以是任一組的對角或?qū)呴g。另外，來自這些傾斜方向的壓縮加工不限于就同一方向僅僅進(jìn)行一次的情況下，也可以進(jìn)行多次重復(fù)。通過進(jìn)行如上那樣的鍛造處理，從長方體形狀的錠坯片12形成為如圖2(d)所示的多面體形狀的錠坯片13。通過使該錠坯片13不僅在ζ軸方向和xy平面方向上，而且還在cll、cl2、c21、c22等各傾斜軸方向上產(chǎn)生滑動變形，可實(shí)現(xiàn)內(nèi)部應(yīng)力的高密度化和均勻化。因此，能夠避免載荷向ζ軸方向以及xy平面方向集中，從而能夠抑制位錯密度的不均勻化。 從傾斜方向?qū)嵤╁懺焯幚淼腻V坯片13通過其后向ζ軸方向以及xy平面方向施加作用力，以變形為如圖2(e)所示的圓柱形狀的錠坯片14。錠坯片14的大小未作特別限定， 例如直徑為330mm，高度為40mm。(冷鍛造工序)在冷鍛造工序ST3a中，圓柱形狀的錠坯片14變形為如圖2(f)所示的圓盤形狀的成形體15。成形體15是通過使錠坯片14在ζ軸方向上產(chǎn)生壓縮變形來形成的。成形體 15的大小未作特別限定，例如直徑為360mm，厚度為30mm。在成形體15的制作中，能夠采用例如模鍛鍛造法或軋制法。處理溫度未作特別限定，可以是例如室溫。(熱處理工序)熱處理工序ST3b是，將經(jīng)第一、第二鍛造工序ST2a，ST2b制作的錠坯片15以再結(jié)晶溫度以上的預(yù)定溫度加熱預(yù)定時間，使成形體15的內(nèi)部組織再結(jié)晶化的工序。處理溫度例如為280°C以上且350°C以下的溫度，處理時間例如為1小時。成形體15通過再結(jié)晶化處理，可去除內(nèi)部應(yīng)變，并且促進(jìn)結(jié)晶的再排列。在本實(shí)施方式中，通過上述的鍛造工序ST2a、ST2b，實(shí)現(xiàn)內(nèi)部應(yīng)力的高密度化和均勻化圖，因而能夠使再結(jié)晶時的核生成均勻化。另外，由于不僅在ζ軸方向和xy平面方向上而且在相對于這些方向傾斜交叉的方向上也產(chǎn)生滑動變形，因此位錯線三維地多重交叉起來，其結(jié)果，結(jié)晶粒變得微細(xì)化，并且其均勻地分布起來。因此，通過該熱處理能夠使微細(xì)的再結(jié)晶粒均勻地成長。再結(jié)晶粒的粒子尺寸例如為60 70 μ m，關(guān)于結(jié)晶方位，能夠?qū)?111)面與(200) 面的X射線強(qiáng)度比抑制為0. 3以下。在經(jīng)熱處理后，將成形體15加工成目標(biāo)的形狀、大小以及厚度，由此制作濺射靶。如上所述制作成的濺射靶具有由結(jié)晶性金屬構(gòu)成的板狀靶主體；和由表面的一部分構(gòu)成的被濺射面。被濺射面具有70 μ m以下的平均粒徑；和(111)面與(200)面的X 射線強(qiáng)度比為0. 3以下的結(jié)晶方位。根據(jù)該濺射靶，由于該濺射靶具有微細(xì)且均勻結(jié)晶組織和穩(wěn)定的結(jié)晶方位，因而能夠?qū)崿F(xiàn)濺射的穩(wěn)定化和膜質(zhì)的均勻化。圖3是作為表示比較例所示的濺射靶的一制造方法的工序圖。圖中表示在交替地進(jìn)行使圖3(a)所示的圓柱形狀的錠坯20沿著ζ軸方向的壓縮變形、和沿著與ζ軸正交的平面方向的壓縮變形后(圖3(b) (d))，以制作成圓盤形狀的成形體21的例子。其后，對成形體21施加預(yù)定的熱處理后，將其加工為靶形狀。在圖3所示的制造方法中，對錠坯20的鍛造處理僅限于ζ軸方向以及與其正交的平面方向，因此利用結(jié)晶的滑動變形產(chǎn)生的位錯僅僅形成于這些方向上，無法避免位錯向同一軸方向集中。因此，內(nèi)部應(yīng)力變得不均勻，并且難以使結(jié)晶粒子尺寸高效地微細(xì)化。另外，在位錯密度高的區(qū)域與位錯密度低的區(qū)域之間，再結(jié)晶粒的粒子尺寸有較大的不同，非常難以使微細(xì)組織均勻地形成，進(jìn)而無法實(shí)現(xiàn)結(jié)晶方位的穩(wěn)定化。圖4(a)表示通過圖2所示的工序制造出的本實(shí)施方式的濺射靶的被濺射面的X 射線衍射結(jié)果。圖4(b)表示通過圖3所示的工序制造出的比較例的濺射靶的被濺射面的 X射線衍射結(jié)果。實(shí)驗(yàn)所使用的錠坯的組成均為A1-0. 5% Cu。根據(jù)圖4的結(jié)果可知，相對于(111)面與(200)面的X射線強(qiáng)度比在該比較例中為0.63士0.31，該強(qiáng)度比在本實(shí)施方式中為0.17士0.15。根據(jù)本實(shí)施方式，能夠使結(jié)晶方位向(200)面穩(wěn)定地取向。另外，相對于比較例中粒徑為91 μ m士 10. 3μ m的平均結(jié)晶粒子，在本實(shí)施方式中平均結(jié)晶粒子的粒徑為62 μ m士5. 1 μ m。圖5表示組織照片的一個例子。圖5 (a)是本實(shí)施方式的濺射靶的被濺射面的顯微鏡照片，圖5(b)是比較例中的濺射靶的被濺射面的顯微鏡照片。在本實(shí)施方式中，粒界呈五角形或六角形的樣相?？赏葡脒@是基于通過向三個軸方向而且向傾斜方向施加作用力，以結(jié)晶粒進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的方式發(fā)生變形。另外，可推想通過伴隨這樣的變形，可控制再結(jié)晶時的核成長，結(jié)果關(guān)系到結(jié)晶方位的穩(wěn)定化。[第二實(shí)施方式]圖6是表示本發(fā)明的其他實(shí)施方式。在本實(shí)施方式中，說明改變錠坯的朝向且從傾斜方向?qū)﹀V坯重復(fù)地進(jìn)行鍛造處理的處理方法。該鍛造處理以熱態(tài)或溫態(tài)來實(shí)施，各工序的詳情與上述的第一實(shí)施方式同樣，因此，在此省略了重復(fù)的說明。首先，如圖6(a)所示，向水平方向，即沿著ζ軸方向(高度方向)以及與該ζ軸方向正交的平面方向?qū)⒆饔昧κ┘佑趫A柱形狀的錠坯30的上表面(圖中以陰影線表示)上，以形成為長方體形狀。其后，對所制作成的長方體形狀的錠坯30的各對邊和對角施加壓縮作用力，使其在相對于ζ軸方向的傾斜方向上產(chǎn)生滑動變形。其后，使錠坯的各側(cè)面壓縮變形來制作成圓柱形狀的錠坯31。接著，根據(jù)需要可對其追加實(shí)施熱處理之后，如圖6(b)所示，使錠坯31的上表面 (圖中以陰影線表示)朝向鉛垂方向，再重復(fù)上述加工動作。即，沿著與ζ軸方向正交的平面方向?qū)A柱形狀的錠坯31施加壓縮作用力以制作長方體形狀的錠坯31，并對該錠坯31 的各對邊和對角施加壓縮作用力，使其在相對于ζ軸方向的傾斜方向上產(chǎn)生滑動變形。其后，使錠坯31變形為圓盤形狀，從而獲得成形體32。該工序也可以在冷態(tài)下進(jìn)行。其后，通過實(shí)施預(yù)定的熱處理，且實(shí)施所需的機(jī)械加工，以獲得所期望的濺射靶。根據(jù)本實(shí)施方式，能夠制造出具有與上述的第一實(shí)施方式同樣的特性的濺射靶。 特別是根據(jù)本實(shí)施方式，一邊改變錠坯的朝向一邊重復(fù)實(shí)施了傾斜方向的鍛造處理，因此， 能夠?qū)崿F(xiàn)結(jié)晶粒的進(jìn)一步微細(xì)化和均勻化。以上，對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但是，當(dāng)然本發(fā)明并不局限于此，根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)的思想能夠進(jìn)行各種變形。例如在以上的實(shí)施方式中，在實(shí)施了來自傾斜方向的第二熱鍛造工序(ST2b)后， 實(shí)施了冷鍛造工序(ST3a)以及熱處理工序(ST3b)。也可以取而代之的是，如圖7所示，在第二熱鍛造工序(ST2b)之后，通過實(shí)施熱鍛造工序(ST3c)，而同時進(jìn)行對板形狀體的軋制和再結(jié)晶化熱處理。另外，在以上的實(shí)施方式中，使實(shí)施第二熱鍛造(ST2b)時的錠坯的初期形狀成為四棱柱，但并不僅限于此，也可以成為圓柱，還可以成為其他多棱柱。附圖標(biāo)記說明10 14、30、31 …錠坯15、31…成形體
權(quán)利要求
1.一種濺射靶的制造方法，其中，通過沿著第一軸方向以及與所述第一軸方向正交的平面方向?qū)饘俚腻V坯施加作用力，以對所述錠坯進(jìn)行鍛造，通過沿著與平行于所述第一軸方向的方向傾斜交叉的第二軸方向?qū)λ鲥V坯施加作用力，以對所述錠坯進(jìn)一步進(jìn)行鍛造，對所述錠坯以其再結(jié)晶溫度以上的溫度進(jìn)行加熱處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射靶的制造方法，其中，沿著與所述第一軸方向正交的平面方向?qū)λ鲥V坯施加作用力的工序包括使所述錠坯從圓柱形狀變形為長方體形狀的處理，沿著所述第二軸方向?qū)λ鲥V坯施加作用力的工序包括在所述長方體形狀的錠坯的對邊或?qū)侵g使所述錠坯壓縮變形的處理。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濺射靶的制造方法，其中，還通過沿著與平行于所述第一軸方向的方向傾斜交叉且與所述第二軸方向不平行的第三軸方向?qū)λ鲥V坯施加作用力，以對所述錠坯進(jìn)行鍛造。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射靶的制造方法，其中，所述金屬為鉭、鈦、鋁和銅或以這些金屬中的任一種為主成分的合金。
5.一種濺射靶，其中，所述濺射靶具備板狀的靶主體，其由金屬構(gòu)成；和被濺射面，其形成于所述靶主體的表面，并具有70 μ m以下的平均結(jié)晶粒徑以及(111) 面與(200)面的X射線強(qiáng)度比為0.3以下的結(jié)晶方位。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供能夠使結(jié)晶粒微細(xì)化和均勻化的濺射靶的制造方法以及濺射靶。本發(fā)明的一實(shí)施方式的濺射靶的制造方法包括通過沿著第一軸方向(z軸方向)以及與所述第一軸方向正交的平面方向(xy平面方向)對金屬的錠坯施加作用力來鍛造所述錠坯的工序。通過向與平行于所述第一軸方向的方向傾斜交叉的第二軸方向(c11、c12、c21、c22軸方向)施加作用力，以對所述錠坯進(jìn)一步進(jìn)行鍛造。所述錠坯以其再結(jié)晶溫度以上的溫度進(jìn)行熱處理。這樣，能夠使所述錠坯不僅在與第一軸方向以及正交的平面方向而且在第二軸方向上也產(chǎn)生滑動變形，因而可實(shí)現(xiàn)內(nèi)部應(yīng)力的高密度化和勻化。
文檔編號C22F1/18GK102171380SQ20108000276
公開日2011年8月31日 申請日期2010年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月12日
發(fā)明者東秀一, 神原正三, 萩原淳一郎 申請人:株式會社愛發(fā)科