專利名稱：半導(dǎo)體太陽能鍍膜工藝腔室的承受器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于非晶硅薄膜太陽能電池行業(yè)領(lǐng)域，具體涉及涉及一種半導(dǎo)體太陽能鍍 膜工藝腔室的承受器。
技術(shù)背景現(xiàn)有的工藝腔室承受器是一個一體式的加熱裝置，玻璃在承受器上加熱并鍍膜， 藝腔室氣體注射器將鍍膜材料垂在玻璃上，有部分則吹在了承受器的上表面，經(jīng)過一定時 間后，承受器上表面就因沉積堅硬的金屬氧化膜而不平整，影響后續(xù)玻璃的鍍膜效果，為了 提高鍍膜效果，就需要人工打磨承受器的上表面，使之平整，但往往費時費力，且長期這樣 操作會使承受器邊沿凹下去，嚴(yán)重會導(dǎo)致增加玻璃邊沿色差發(fā)生率，如果采用換一個承受 器的話，則成本太高。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，而提供一種易于更換且 成本低的半導(dǎo)體太陽能鍍膜工藝腔室的承受器。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用的技術(shù)方案是一種半導(dǎo)體太陽能鍍膜工 藝腔室的承受器，包括加熱層以及設(shè)置在加熱層上端的熱量分配層，其特征在于在所述的 熱量分配層上端還設(shè)置有一可拆卸的表面層。所述的表面層為石墨層。在所述的加熱層下端還設(shè)置有底部背板層。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有如 下優(yōu)點本實用新型在承受器的加熱層最上層放置一表面層，當(dāng)金屬氧化膜沉積到一定 量，影響鍍膜效果時，可以將表面層拆下，換另一個表面層，十分便捷且不不要付出大量的 勞動力，同時，采用石墨的表面層，石墨具有良好的熱傳遞性能。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實用新型熱量分配層2以及表面層1連接分解圖。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖，對本實用新型作詳細(xì)說明如圖1所示，本實用新型承受器包括加熱層3、熱量分配層2以及表面層1，在加熱 層的下端設(shè)置底部背板層4。在本實施例中，承受器設(shè)計成四層承受器表面層1、熱量分配 層2、電阻絲加熱層3和底部背板層4。如圖2所示，表面層背面是凸形，熱量分配層是凹形； 安裝時，可將表面層背面凸形放置在熱量分配層的凹槽內(nèi)部，承受器表面層也是可以在維 護過程中更換的裝置，采用石墨材質(zhì)進行良好的熱傳遞，且承受器表面層設(shè)計要比玻璃大，使玻璃放置在承受器表面層上前后端和左右端各有0. 5毫米的玻璃放置誤差距離，這樣設(shè) 計能夠使玻璃在加熱和工藝的過程中受熱均勻，能有效地控制玻璃邊緣溫度擴散，對改善 色差有很好的作用。
權(quán)利要求一種半導(dǎo)體太陽能鍍膜工藝腔室的承受器，包括加熱層以及設(shè)置在加熱層上端的熱量分配層，其特征在于在所述的熱量分配層上端還設(shè)置有一可拆卸的表面層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體太陽能鍍膜工藝腔室的承受器，其特征在于所述的 表面層的下端設(shè)置有凸起，在所述的熱量分配層上端設(shè)置有凹槽，所述的表面層嵌入所述 的熱量分配層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體太陽能鍍膜工藝腔室的承受器，其特征在于所 述的表面層為石墨層。3、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體太陽能鍍膜工藝腔室的承受器，其特征在于在所 述的加熱層下端還設(shè)置有底部背板層。
專利摘要本實用新型公開了一種半導(dǎo)體太陽能鍍膜工藝腔室的承受器，包括加熱層以及設(shè)置在加熱層上端的熱量分配層，其特征在于在所述的熱量分配層上端還設(shè)置有一可拆卸的表面層。所述的表面層為石墨層。在所述的加熱層下端還設(shè)置有底部背板層。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型在承受器的加熱層最上層放置一表面層，當(dāng)金屬氧化膜沉積到一定量，影響鍍膜效果時，可以將表面層拆下，換另一個表面層，十分便捷且不不要付出大量的勞動力，同時，采用石墨的表面層，石墨具有良好的熱傳遞性能。
文檔編號C23C14/50GK201708179SQ201020179748
公開日2011年1月12日 申請日期2010年5月5日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月5日
發(fā)明者尤長林, 張 浩, 李長江 申請人:江蘇綜藝光伏有限公司