專利名稱：一種用于pecvd裝置的懸臂式推拉舟系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及PECVD裝置的原料輸送系統(tǒng)領(lǐng)域，特別涉及一種用于PECVD裝置的懸 臂式推拉舟系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
用于太陽(yáng)能硅片加工設(shè)備的推拉舟輸送系統(tǒng)是太陽(yáng)能硅片加工設(shè)備的重要組成 部件，主要用于把原料和原料安放機(jī)構(gòu)輸送到反應(yīng)腔內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)，待反應(yīng)結(jié)束后把原料和 原料安放機(jī)構(gòu)輸送回原位，由工人取回，再重新安裝原料，不斷循環(huán)。輸送系統(tǒng)的速度影響 著太陽(yáng)能硅片加工設(shè)備的生產(chǎn)效率，且由于太陽(yáng)能硅片容易破碎，輸送系統(tǒng)必須要保證其 穩(wěn)定性，同時(shí)由于太陽(yáng)能硅片加工設(shè)備的生產(chǎn)率要求，一臺(tái)設(shè)備可由多個(gè)(一般是四個(gè))反 應(yīng)腔同時(shí)獨(dú)立進(jìn)行反應(yīng)，這要求輸送系統(tǒng)在滿足快速性和穩(wěn)定性的前提下，盡量簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)， 實(shí)現(xiàn)多推拉舟(即反應(yīng)腔)實(shí)時(shí)獨(dú)立運(yùn)動(dòng)。推拉舟輸送系統(tǒng)一般由動(dòng)力源、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、執(zhí)行 機(jī)構(gòu)、控制單元四部分組成，動(dòng)力源的選擇由所要輸送的原料及夾具裝置的重量決定，一般 采用交流電機(jī)或步進(jìn)電機(jī)；傳動(dòng)機(jī)構(gòu)采用帶傳動(dòng)或滾珠絲桿傳動(dòng)；執(zhí)行機(jī)構(gòu)用來(lái)承接原料 或承接安放原料的機(jī)構(gòu)?，F(xiàn)有的太陽(yáng)能硅片加工設(shè)備的推拉舟輸送系統(tǒng)結(jié)構(gòu)如圖1、2所示(圖中1為導(dǎo) 軌、2為雙桿、3為原料、4為反應(yīng)腔、5為V帶、6為連接塊、7為交流電機(jī))，動(dòng)力源采用交流 電機(jī)，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)采用V帶傳動(dòng)，執(zhí)行機(jī)構(gòu)為一雙桿式推拉舟，原料承接機(jī)構(gòu)直接安放在雙桿 上，由交流電機(jī)提供動(dòng)力和轉(zhuǎn)矩，帶動(dòng)V帶轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)帶動(dòng)雙桿式推拉舟前進(jìn)和后退，由雙 桿式推拉舟將原料送入反應(yīng)腔，等待反應(yīng)結(jié)束后，雙桿式推拉舟后退回原點(diǎn)，工人取料，不 斷循環(huán)?，F(xiàn)有的太陽(yáng)能硅片加工設(shè)備的推拉舟輸送系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單實(shí)用，成本較低，在各種 太陽(yáng)能硅片加工裝置如擴(kuò)散爐設(shè)備有著較廣的應(yīng)用，但也存在多種不足之處(1)采用交 流電機(jī)難以調(diào)速，不適用于一些需要調(diào)整速度的場(chǎng)合；(2)采用V帶傳動(dòng)容易產(chǎn)生振動(dòng)和相 對(duì)滑動(dòng)，使定位不準(zhǔn)，振動(dòng)會(huì)對(duì)原料造成損壞，影響裝置使用壽命；C3)對(duì)于反應(yīng)腔較長(zhǎng)，運(yùn) 行距離較大時(shí)，由雙桿組成的承接機(jī)構(gòu)長(zhǎng)度過(guò)大，剛度和強(qiáng)度難以保證；(4)由于動(dòng)力源和 傳動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在執(zhí)行機(jī)構(gòu)的下部，使整個(gè)推拉舟系統(tǒng)的垂直距離較大，所占空間較大，難以 實(shí)現(xiàn)多個(gè)推拉舟同時(shí)獨(dú)立工作；(5)反應(yīng)腔內(nèi)反應(yīng)時(shí)，原料與雙桿式推拉舟均停留在反應(yīng) 腔內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)，容易對(duì)反應(yīng)過(guò)程造成干擾，影響反應(yīng)效率，同時(shí)對(duì)于一些對(duì)真空度要求高的 反應(yīng)，反應(yīng)腔的密封性難以保證，從而影響反應(yīng)腔的真空度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種輸送效率較高、輸送過(guò)程 穩(wěn)定的用于PECVD裝置的懸臂式推拉舟系統(tǒng)。本發(fā)明的技術(shù)方案為一種用于PECVD設(shè)備的懸臂式推拉舟系統(tǒng)，包括懸臂桿機(jī) 構(gòu)、側(cè)面連接機(jī)構(gòu)和滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)，用于作為懸臂桿機(jī)構(gòu)水平運(yùn)動(dòng)和垂直運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向的滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)設(shè)于PECVD設(shè)備的機(jī)架上，懸臂桿機(jī)構(gòu)固定于側(cè)面連接機(jī)構(gòu)上，側(cè) 面連接機(jī)構(gòu)與滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)連接。懸臂桿機(jī)構(gòu)包括一根粗管和兩根細(xì)管，兩根細(xì)管并列設(shè)置，并通過(guò)后部連接塊與 粗管的一端連接，粗管的另一端設(shè)有粗管連接座和粗管連接塊，粗管通過(guò)粗管連接座和粗 管連接塊與側(cè)面連接機(jī)構(gòu)固定連接，兩根細(xì)管的末端通過(guò)前部連接塊連接固定。滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)包括固定板、水平傳動(dòng)組件和垂直傳動(dòng)組件，水平傳動(dòng)組件 包括水平電機(jī)、短同步帶、長(zhǎng)同步帶和導(dǎo)軌，水平電機(jī)、短同步帶和長(zhǎng)同步帶依次連接，導(dǎo)軌 固定于固定板上，導(dǎo)軌和長(zhǎng)同步帶平行設(shè)置，側(cè)面連接機(jī)構(gòu)設(shè)于導(dǎo)軌上并與長(zhǎng)同步帶接觸， 垂直傳動(dòng)組件包括垂直電機(jī)、傳動(dòng)軸、蝸桿、蝸輪、螺桿和垂直導(dǎo)桿，垂直電機(jī)、傳動(dòng)軸、蝸 桿、蝸輪和螺桿依次連接，垂直導(dǎo)桿垂直設(shè)于固定板兩端，垂直導(dǎo)桿與螺桿平行設(shè)置。所述側(cè)面連接機(jī)構(gòu)由多個(gè)鋁板組合構(gòu)成，包括上固定板、下固定板、加強(qiáng)肋板、第 一側(cè)固定板和第二側(cè)固定板，上固定板與第一側(cè)固定板垂直連接，上固定板與第一側(cè)固定 板連接的一端下方設(shè)置加強(qiáng)肋板，上固定板的另一端下方設(shè)置下固定板，并通過(guò)下固定板 與懸臂桿機(jī)構(gòu)的粗管連接座和粗管連接塊固定連接，第一側(cè)固定板的側(cè)面設(shè)置第二側(cè)固定 板，第二側(cè)固定板通過(guò)固定于滑塊固定板上的滑塊與滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)上的導(dǎo)軌連接。所述上固定板和下固定板的連接處，上固定板上設(shè)有多個(gè)調(diào)節(jié)懸臂桿左右位置用 的條形螺栓孔。通過(guò)調(diào)節(jié)螺栓在相應(yīng)條形螺栓孔內(nèi)的位置后鎖緊，可以調(diào)整下固定板與上 固定板之間的相對(duì)位置，由于懸臂桿機(jī)構(gòu)與下固定板同定連接，因此也就調(diào)節(jié)了懸臂桿機(jī) 構(gòu)在反應(yīng)腔內(nèi)的左右位置。所述側(cè)面連接機(jī)構(gòu)中的各個(gè)鋁板之間通過(guò)螺栓固定連接。所述直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)上的導(dǎo)軌為雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，滑塊固定板上設(shè)置四個(gè)滑塊，每個(gè) 導(dǎo)軌對(duì)應(yīng)兩個(gè)滑塊，可使得懸臂桿機(jī)構(gòu)在運(yùn)行中更為平穩(wěn)。所述粗管和細(xì)管均為空心管，并列的兩根細(xì)管上用于放置原料(即石墨舟)。所述滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)的固定板上還設(shè)有用于檢測(cè)垂直傳動(dòng)組件下行程的下 行程開關(guān)、用于檢測(cè)垂直傳動(dòng)組件上行程的上行程開關(guān)和用于檢測(cè)水平傳動(dòng)組件運(yùn)動(dòng)行程 的激光傳感器，下行程開關(guān)、上行程開關(guān)和激光傳感器分別外接PECVD設(shè)備的控制單元。所述水平電機(jī)和垂直電機(jī)均采用細(xì)分電路驅(qū)動(dòng)的混合式步進(jìn)電機(jī)，可有效提高電 機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)的穩(wěn)定性，從而提高懸臂桿機(jī)構(gòu)運(yùn)行的穩(wěn)定性。本用于PECVD設(shè)備的懸臂式推拉舟系統(tǒng)使用時(shí)，其工作原理為該系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)循環(huán) 的放舟和取舟動(dòng)作；實(shí)現(xiàn)放舟動(dòng)作時(shí)，由水平傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的水平電機(jī)提供動(dòng)力，動(dòng)力依次傳遞 給短同步帶和長(zhǎng)同步帶，長(zhǎng)同步帶的傳動(dòng)帶動(dòng)側(cè)面連接機(jī)構(gòu)沿著導(dǎo)軌前進(jìn)，從而帶動(dòng)懸臂 桿機(jī)構(gòu)和原料前進(jìn)并送入反應(yīng)腔，當(dāng)激光傳感器檢測(cè)到懸臂桿機(jī)構(gòu)的前進(jìn)到位時(shí)，控制單 元控制水平電機(jī)停止，啟動(dòng)垂直電機(jī)，垂直電機(jī)提供的動(dòng)力依次傳遞給傳動(dòng)軸、蝸桿、蝸輪 和螺桿，從而驅(qū)動(dòng)固定板沿著垂直導(dǎo)桿下降，帶動(dòng)側(cè)面連接機(jī)構(gòu)、懸臂桿機(jī)構(gòu)和原料下降， 當(dāng)下行程開關(guān)檢測(cè)懸臂桿機(jī)構(gòu)的下降到位時(shí)，控制單元控制垂直電機(jī)停止，啟動(dòng)水平電機(jī)， 水平傳動(dòng)組件控制懸臂桿機(jī)構(gòu)退出反應(yīng)腔，原料在反應(yīng)腔內(nèi)進(jìn)入反應(yīng)階段；實(shí)現(xiàn)取舟動(dòng)作 時(shí)，先通過(guò)水平傳動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)懸臂桿機(jī)構(gòu)前進(jìn)，前進(jìn)到位后，通過(guò)垂直傳動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)懸臂桿 機(jī)構(gòu)上升，當(dāng)上行程開關(guān)檢測(cè)懸臂桿機(jī)構(gòu)的上升到位時(shí)，再通過(guò)水平傳動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)懸臂桿 機(jī)構(gòu)退出，從而將反應(yīng)后的原料帶出反應(yīng)腔。
本用于PECVD設(shè)備的懸臂式推拉舟系統(tǒng)使用時(shí)，還可以先通過(guò)調(diào)整側(cè)面連接機(jī)構(gòu) 中的上固定板和下固定板的相對(duì)位置，從而調(diào)整懸臂桿機(jī)構(gòu)的左右位置，使并列的兩個(gè)細(xì) 管正好處于反應(yīng)腔的中部，保證放舟動(dòng)作時(shí)石墨舟在反應(yīng)腔里面的位置關(guān)于反應(yīng)腔中心對(duì) 稱，不偏斜；調(diào)整好懸臂桿機(jī)構(gòu)的位置后，再裝配側(cè)面連接機(jī)構(gòu)的其它鋁板。本發(fā)明相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，具有以下有益效果本懸臂式推拉舟系統(tǒng)采用由懸臂桿伸入反應(yīng)腔取放石墨舟的形式，可簡(jiǎn)化輸送系 統(tǒng)，提高輸送效率；該系統(tǒng)采用側(cè)面固定的形式，使導(dǎo)軌安裝在懸臂桿的側(cè)面，可避免石墨 舟上硅片碎片掉落到系統(tǒng)上，影響系統(tǒng)正常動(dòng)作，并可節(jié)省空間，可實(shí)現(xiàn)多推拉舟同時(shí)運(yùn) 動(dòng)；該系統(tǒng)采用混合式步進(jìn)電機(jī)，使用細(xì)分電路驅(qū)動(dòng)，提高電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)的穩(wěn)定性，更好的實(shí)現(xiàn) 控制。本懸臂式推拉舟系統(tǒng)采用滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)水平運(yùn)動(dòng)和垂直運(yùn)動(dòng)的導(dǎo)向， 并采用雙導(dǎo)軌、四滑塊的形式，使運(yùn)動(dòng)更加平穩(wěn)；該系統(tǒng)采用同步帶傳動(dòng)，可減少運(yùn)動(dòng)中的 滑動(dòng)和振動(dòng)現(xiàn)象；采用蝸輪蝸桿傳動(dòng)與螺旋傳動(dòng)的結(jié)合，可降低電機(jī)的功率和轉(zhuǎn)矩要求，從 而降低成本。該懸臂式推拉舟系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)水平和垂直方向的運(yùn)動(dòng)，能平穩(wěn)地實(shí)現(xiàn)取放石墨 舟的動(dòng)作。


圖1為現(xiàn)有太陽(yáng)能硅片加工設(shè)備中推拉舟系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1中推拉舟系統(tǒng)的左視圖。圖3為本懸臂式推拉舟系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本懸臂式推拉舟系統(tǒng)中懸臂桿機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本懸臂式推拉舟系統(tǒng)中側(cè)面連接機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖6為本懸臂式推拉舟系統(tǒng)中滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖7為圖6中水平傳動(dòng)組件的結(jié)構(gòu)示意圖。圖8為圖6中垂直傳動(dòng)組件的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合實(shí)施例及附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明，但本發(fā)明的實(shí)施方式不 限于此。實(shí)施例本實(shí)施例一種用于PECVD設(shè)備的懸臂式推拉舟系統(tǒng)，其結(jié)構(gòu)如圖3所示，包括懸 臂桿機(jī)構(gòu)、側(cè)面連接機(jī)構(gòu)和滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)，用于作為懸臂桿機(jī)構(gòu)水平運(yùn)動(dòng)和垂直運(yùn) 動(dòng)導(dǎo)向的滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)設(shè)于PECVD設(shè)備的機(jī)架上，懸臂桿機(jī)構(gòu)固定于側(cè)面連接機(jī)構(gòu) 上，側(cè)面連接機(jī)構(gòu)與滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)連接；懸臂桿機(jī)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)如圖4所示，包括一根粗管8和兩根細(xì)管9，兩根細(xì)管9并 列設(shè)置，并通過(guò)后部連接塊10與粗管8的一端連接，粗管8的另一端設(shè)有粗管連接座11和 粗管連接塊12，粗管8通過(guò)粗管連接座11和粗管連接塊12與側(cè)面連接機(jī)構(gòu)固定連接，兩根 細(xì)管的末端通過(guò)前部連接塊36連接固定；滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)如圖6所示，包括固定板、水平傳動(dòng)組件和垂直傳動(dòng)組件，如圖7所示，水平傳動(dòng)組件包括水平電機(jī)13、短同步帶14、長(zhǎng)同步帶15和導(dǎo)軌 16，水平電機(jī)13、短同步帶14和長(zhǎng)同步帶15依次連接，導(dǎo)軌16固定于固定板17上，導(dǎo)軌 16和長(zhǎng)同步帶15平行設(shè)置，側(cè)面連接機(jī)構(gòu)設(shè)于導(dǎo)軌16上并與長(zhǎng)同步帶16接觸，如圖8所 示，垂直傳動(dòng)組件包括垂直電機(jī)18、傳動(dòng)軸19、蝸桿20、蝸輪21、螺桿22和垂直導(dǎo)桿23，垂 直電機(jī)18、傳動(dòng)軸19、蝸桿20、蝸輪21和螺桿22依次連接，垂直導(dǎo)桿23垂直設(shè)于固定板 17兩端，垂直導(dǎo)桿23與螺桿22平行設(shè)置；側(cè)面連接機(jī)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)如圖5所示，由多個(gè)鋁板組合構(gòu)成，包括上固定板對(duì)、下 固定板25、加強(qiáng)肋板沈、第一側(cè)固定板27和第二側(cè)固定板觀，上固定板M與第一側(cè)固定板 27垂直連接，上固定板M與第一側(cè)固定板27連接的一端下方設(shè)置加強(qiáng)肋板沈，上固定板 24的另一端下方設(shè)置下固定板25，并通過(guò)下固定板25與懸臂桿機(jī)構(gòu)的粗管連接座11和粗 管連接塊12固定連接，第一側(cè)固定板27的側(cè)面設(shè)置第二側(cè)固定板觀，第二側(cè)固定板觀通 過(guò)固定于滑塊固定板四上的滑塊30與滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)上的導(dǎo)軌16連接。上固定板M和下固定板25的連接處，上固定板M上設(shè)有多個(gè)調(diào)節(jié)懸臂桿左右位 置用的條形螺栓孔31。通過(guò)調(diào)節(jié)螺栓在相應(yīng)條形螺栓孔31內(nèi)的位置后鎖緊，可以調(diào)整下固 定板25與上固定板M之間的相對(duì)位置，由于懸臂桿機(jī)構(gòu)與下固定板25固定連接，因此也 就調(diào)節(jié)了懸臂桿機(jī)構(gòu)在反應(yīng)腔內(nèi)的左右位置。上述系統(tǒng)結(jié)構(gòu)中，側(cè)面連接機(jī)構(gòu)中的各個(gè)鋁板之間通過(guò)螺栓固定連接。如圖6所示，直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)上的導(dǎo)軌16為雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，滑塊固定板四上設(shè)置四 個(gè)滑塊30，每個(gè)導(dǎo)軌16對(duì)應(yīng)兩個(gè)滑塊30，可使得懸臂桿機(jī)構(gòu)在運(yùn)行中更為平穩(wěn)。粗管8和細(xì)管9均為空心管，并列的兩根細(xì)管9上用于放置原料(即圖3所示的 石墨舟32)。如圖6或圖7所示，滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)的固定板17上還設(shè)有用于檢測(cè)垂直傳動(dòng) 組件下行程的下行程開關(guān)33、用于檢測(cè)垂直傳動(dòng)組件上行程的上行程開關(guān)34和用于檢測(cè) 水平傳動(dòng)組件運(yùn)動(dòng)行程的激光傳感器35，下行程開關(guān)33、上行程開關(guān)34和激光傳感器35 分別外接PECVD設(shè)備的控制單元。水平電機(jī)13和垂直電機(jī)18均采用細(xì)分電路驅(qū)動(dòng)的混合式步進(jìn)電機(jī)，可有效提高 電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)的穩(wěn)定性，從而提高懸臂桿機(jī)構(gòu)運(yùn)行的穩(wěn)定性。本用于PECVD設(shè)備的懸臂式推拉舟系統(tǒng)使用時(shí)，其工作原理為該系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)循環(huán) 的放舟和取舟動(dòng)作；實(shí)現(xiàn)放舟動(dòng)作時(shí)，由水平傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的水平電機(jī)13提供動(dòng)力，動(dòng)力依次 傳遞給短同步帶14和長(zhǎng)同步帶15，長(zhǎng)同步帶15的傳動(dòng)帶動(dòng)側(cè)面連接機(jī)構(gòu)沿著導(dǎo)軌16前 進(jìn)，從而帶動(dòng)懸臂桿機(jī)構(gòu)和原料前進(jìn)并送入反應(yīng)腔，當(dāng)激光傳感器35檢測(cè)到懸臂桿機(jī)構(gòu)的 前進(jìn)到位時(shí)，控制單元控制水平電機(jī)13停止，啟動(dòng)垂直電機(jī)18，垂直電機(jī)18提供的動(dòng)力依 次傳遞給傳動(dòng)軸19、蝸桿20、蝸輪21和螺桿22，從而驅(qū)動(dòng)固定板17沿著垂直導(dǎo)桿下降， 帶動(dòng)側(cè)面連接機(jī)構(gòu)、懸臂桿機(jī)構(gòu)和原料下降，當(dāng)下行程開關(guān)33檢測(cè)懸臂桿機(jī)構(gòu)的下降到位 時(shí)，控制單元控制垂直電機(jī)18停止，啟動(dòng)水平電機(jī)13，水平傳動(dòng)組件控制懸臂桿機(jī)構(gòu)退出 反應(yīng)腔，原料在反應(yīng)腔內(nèi)進(jìn)入反應(yīng)階段；實(shí)現(xiàn)取舟動(dòng)作時(shí)，先通過(guò)水平傳動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)懸臂桿 機(jī)構(gòu)前進(jìn)，前進(jìn)到位后，通過(guò)垂直傳動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)懸臂桿機(jī)構(gòu)上升，當(dāng)上行程開關(guān)34檢測(cè)懸 臂桿機(jī)構(gòu)的上升到位時(shí)，再通過(guò)水平傳動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)懸臂桿機(jī)構(gòu)退出，從而將反應(yīng)后的原料 帶出反應(yīng)腔。
本用于PECVD設(shè)備的懸臂式推拉舟系統(tǒng)使用時(shí)，還可以先通過(guò)調(diào)整側(cè)面連接機(jī)構(gòu) 中的上固定板M和下固定板25的相對(duì)位置，從而調(diào)整懸臂桿機(jī)構(gòu)的左右位置，使并列的兩 個(gè)細(xì)管9正好處于反應(yīng)腔的中部，保證放舟動(dòng)作時(shí)石墨舟32在反應(yīng)腔里面的位置關(guān)于反應(yīng) 腔中心對(duì)稱，不偏斜；調(diào)整好懸臂桿機(jī)構(gòu)的位置后，再裝配側(cè)面連接機(jī)構(gòu)的其它鋁板。如上所述，便可較好地實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，上述實(shí)施例僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并非用 來(lái)限定本發(fā)明的實(shí)施范圍；即凡依本發(fā)明內(nèi)容所作的均等變化與修飾，都為本發(fā)明權(quán)利要 求所要求保護(hù)的范圍所涵蓋。
權(quán)利要求
1.一種用于PECVD設(shè)備的懸臂式推拉舟系統(tǒng)，其特征在于，包括懸臂桿機(jī)構(gòu)、側(cè)面連接 機(jī)構(gòu)和滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)，用于作為懸臂桿機(jī)構(gòu)水平運(yùn)動(dòng)和垂直運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向的滾動(dòng)直線導(dǎo) 套副機(jī)構(gòu)設(shè)于PECVD設(shè)備的機(jī)架上，懸臂桿機(jī)構(gòu)固定于側(cè)面連接機(jī)構(gòu)上，側(cè)面連接機(jī)構(gòu)與 滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于PECVD設(shè)備的懸臂式推拉舟系統(tǒng)，其特征在于，所述懸 臂桿機(jī)構(gòu)包括一根粗管和兩根細(xì)管，兩根細(xì)管并列設(shè)置，并通過(guò)后部連接塊與粗管的一端 連接，粗管的另一端設(shè)有粗管連接座和粗管連接塊，粗管通過(guò)粗管連接座和粗管連接塊與 側(cè)面連接機(jī)構(gòu)固定連接，兩根細(xì)管的末端通過(guò)前部連接塊連接固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于PECVD設(shè)備的懸臂式推拉舟系統(tǒng)，其特征在于，所述滾 動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)包括固定板、水平傳動(dòng)組件和垂直傳動(dòng)組件，水平傳動(dòng)組件包括水平電 機(jī)、短同步帶、長(zhǎng)同步帶和導(dǎo)軌，水平電機(jī)、短同步帶和長(zhǎng)同步帶依次連接，導(dǎo)軌固定于固定 板上，導(dǎo)軌和長(zhǎng)同步帶平行設(shè)置，側(cè)面連接機(jī)構(gòu)設(shè)于導(dǎo)軌上并與長(zhǎng)同步帶接觸，垂直傳動(dòng)組 件包括垂直電機(jī)、傳動(dòng)軸、蝸桿、蝸輪、螺桿和垂直導(dǎo)桿，垂直電機(jī)、傳動(dòng)軸、蝸桿、蝸輪和螺 桿依次連接，垂直導(dǎo)桿垂直設(shè)于固定板兩端，垂直導(dǎo)桿與螺桿平行設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于PECVD設(shè)備的懸臂式推拉舟系統(tǒng)，其特征在于，所述側(cè) 面連接機(jī)構(gòu)由多個(gè)鋁板組合構(gòu)成，包括上固定板、下固定板、加強(qiáng)肋板、第一側(cè)固定板和第 二側(cè)固定板，上固定板與第一側(cè)固定板垂直連接，上固定板與第一側(cè)固定板連接的一端下 方設(shè)置加強(qiáng)肋板，上固定板的另一端下方設(shè)置下固定板，并通過(guò)下固定板與懸臂桿機(jī)構(gòu)的 粗管連接座和粗管連接塊固定連接，第一側(cè)固定板的側(cè)面設(shè)置第二側(cè)固定板，第二側(cè)固定 板通過(guò)固定于滑塊固定板上的滑塊與滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)上的導(dǎo)軌連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種用于PECVD設(shè)備的懸臂式推拉舟系統(tǒng)，其特征在于，所述上 固定板和下固定板的連接處，上固定板上設(shè)有多個(gè)調(diào)節(jié)懸臂桿左右位置用的條形螺栓孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種用于PECVD設(shè)備的懸臂式推拉舟系統(tǒng)，其特征在于，所述側(cè) 面連接機(jī)構(gòu)中的各個(gè)鋁板之間通過(guò)螺栓固定連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種用于PECVD設(shè)備的懸臂式推拉舟系統(tǒng)，其特征在于，所述直 線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)上的導(dǎo)軌為雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，滑塊固定板上設(shè)置四個(gè)滑塊，每個(gè)導(dǎo)軌對(duì)應(yīng)兩個(gè)滑 塊。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種用于PECVD設(shè)備的懸臂式推拉舟系統(tǒng)，其特征在于，所述粗 管和細(xì)管均為空心管。
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種用于PECVD設(shè)備的懸臂式推拉舟系統(tǒng)，其特征在于，所述滾 動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)的固定板上還設(shè)有用于檢測(cè)垂直傳動(dòng)組件下行程的下行程開關(guān)、用于檢 測(cè)垂直傳動(dòng)組件上行程的上行程開關(guān)和用于檢測(cè)水平傳動(dòng)組件運(yùn)動(dòng)行程的激光傳感器，下 行程開關(guān)、上行程開關(guān)和激光傳感器分別外接PECVD設(shè)備的控制單元。
10.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種用于PECVD設(shè)備的懸臂式推拉舟系統(tǒng)，其特征在于，所述 水平電機(jī)和垂直電機(jī)均采用細(xì)分電路驅(qū)動(dòng)的混合式步進(jìn)電機(jī)。
全文摘要
本發(fā)明公開一種用于PECVD設(shè)備的懸臂式推拉舟系統(tǒng)，包括懸臂桿機(jī)構(gòu)、側(cè)面連接機(jī)構(gòu)和滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)，用于作為懸臂桿機(jī)構(gòu)水平運(yùn)動(dòng)和垂直運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向的滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)設(shè)于PECVD設(shè)備的機(jī)架上，懸臂桿機(jī)構(gòu)固定于側(cè)面連接機(jī)構(gòu)上，側(cè)面連接機(jī)構(gòu)與滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)連接，滾動(dòng)直線導(dǎo)套副機(jī)構(gòu)包括固定板、水平傳動(dòng)組件和垂直傳動(dòng)組件，通過(guò)水平傳動(dòng)組件和垂直傳動(dòng)組件分別控制懸臂桿機(jī)構(gòu)帶動(dòng)原料進(jìn)行水平運(yùn)動(dòng)和垂直運(yùn)動(dòng)。本懸臂式推拉舟系統(tǒng)采用由懸臂桿伸入反應(yīng)腔取放石墨舟的形式，可簡(jiǎn)化輸送系統(tǒng)，提高輸送效率；采用側(cè)面固定的形式，可避免石墨舟上硅片碎片掉落到系統(tǒng)上，影響系統(tǒng)正常動(dòng)作，并可節(jié)省空間，可實(shí)現(xiàn)多推拉舟同時(shí)運(yùn)動(dòng)。
文檔編號(hào)C23C16/44GK102061456SQ20101052999
公開日2011年5月18日 申請(qǐng)日期2010年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月29日
發(fā)明者張憲民, 歐陽(yáng)高飛, 賀振興, 鄺泳聰, 陳家釗 申請(qǐng)人:華南理工大學(xué)