技術(shù)編號：3366583
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及PECVD裝置的原料輸送系統(tǒng)領(lǐng)域，特別涉及一種用于PECVD裝置的懸 臂式推拉舟系統(tǒng)。背景技術(shù)用于太陽能硅片加工設(shè)備的推拉舟輸送系統(tǒng)是太陽能硅片加工設(shè)備的重要組成 部件，主要用于把原料和原料安放機構(gòu)輸送到反應腔內(nèi)進行反應，待反應結(jié)束后把原料和 原料安放機構(gòu)輸送回原位，由工人取回，再重新安裝原料，不斷循環(huán)。輸送系統(tǒng)的速度影響 著太陽能硅片加工設(shè)備的生產(chǎn)效率，且由于太陽能硅片容易破碎，輸送系統(tǒng)必須要保證其 穩(wěn)定性，同時由于太陽能硅片加工設(shè)備的生產(chǎn)率要...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。