專利名稱：磨削測(cè)力儀在機(jī)標(biāo)定方法和水平力加載器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明磨削測(cè)力儀在機(jī)標(biāo)定方法和水平力加載器屬于傳感測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在磨削過程中，磨削力綜合地反映了工件材料性質(zhì)和狀況、砂輪特性和磨損狀態(tài)、 加工用量和工藝系統(tǒng)參數(shù)等因素對(duì)磨削過程的影響，磨削力與材料去除率、磨削精度、表面 質(zhì)量和亞表面損傷有直接關(guān)系。特別是在大而薄的硬脆半導(dǎo)體晶體硅片超精密磨削過程 中，磨削力的變化和波動(dòng)會(huì)影響硅片磨削表面質(zhì)量和變形，甚至?xí)鸹扑椤Ｒ虼?，?磨削過程中實(shí)時(shí)測(cè)量和控制磨削力是保證半導(dǎo)體硅片磨削表面精度、效率和成品率的必要 措施。目前，大多數(shù)半導(dǎo)體基片超精密磨床沒有磨削力檢測(cè)和控制系統(tǒng)，只有少數(shù)磨床采用 檢測(cè)砂輪主軸電機(jī)電流值的方法來間接檢測(cè)磨削力，但這種方法很難準(zhǔn)確實(shí)時(shí)地檢測(cè)超精 密磨削過程的磨削力。申請(qǐng)?zhí)枮?00910220064. 1的“用于硅片超精密磨床的壓電式磨削力測(cè)量裝置”中 的磨削測(cè)力儀直接安裝在磨床上，可在磨削過程中高精度地在機(jī)檢測(cè)磨削力。磨削測(cè)力儀 在裝配調(diào)試時(shí)雖然進(jìn)行了靜動(dòng)態(tài)標(biāo)定，但是，當(dāng)磨削測(cè)力儀安裝在磨床上后，由于使用條件 和環(huán)境發(fā)生變化，使用之前必須根據(jù)磨削測(cè)力儀的實(shí)際工作狀態(tài)以及被測(cè)磨削力的特征， 對(duì)磨削測(cè)力儀進(jìn)行在機(jī)標(biāo)定，以檢查磨削測(cè)力儀是否達(dá)到所要求的技術(shù)性能指標(biāo)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是根據(jù)磨削測(cè)力儀安裝在磨床上后必須進(jìn)行在機(jī)標(biāo)定的實(shí)際要求，發(fā)明一 種磨削測(cè)力儀在機(jī)標(biāo)定方法和水平力加載器。該在機(jī)標(biāo)定方法采用兩個(gè)結(jié)構(gòu)完全相同的水 平力加載器和標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力計(jì)測(cè)量硅片磨削時(shí)產(chǎn)生的徑向力和切向力，利用電荷放大器、數(shù)據(jù) 采集卡和監(jiān)測(cè)軟件將輸出電荷轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)，建立磨削測(cè)力儀的“力值-示值”在機(jī)標(biāo)定 曲線并求得各性能指標(biāo)，實(shí)現(xiàn)對(duì)磨削測(cè)力儀的在機(jī)標(biāo)定，具有簡(jiǎn)單易行、測(cè)量精度高的良好 特性。本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種磨削測(cè)力儀在機(jī)標(biāo)定方法，其特征是，磨削測(cè)力儀 安裝在磨床上后，磨削測(cè)力儀按如下方式在機(jī)標(biāo)定首先安裝磨削測(cè)力儀將砂輪2安裝在主軸1上，其軸線與主軸1軸線嚴(yán)格一致， 硅片3通過真空吸盤吸附在回轉(zhuǎn)工作臺(tái)4上，安裝時(shí)，保證砂輪2外圓與硅片3的軸線相交， 回轉(zhuǎn)工作臺(tái)4連接在磨床工作臺(tái)5上；磨削測(cè)力儀7通過4個(gè)螺釘38固定在主軸1上，磨 削測(cè)力儀7的中心線與主軸1軸線嚴(yán)格一致，磨削測(cè)力儀7與轉(zhuǎn)接板9相連。然后安裝水平力加載器用8個(gè)固定螺釘37、37'將兩個(gè)相同的水平力加載器6、 6'分別固定在磨床工作臺(tái)5的0°角和90°角上，水平力加載器6、6'的中心線垂直相交 于點(diǎn)0 ；測(cè)量軸向力的1號(hào)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力計(jì)8置于回轉(zhuǎn)工作臺(tái)4上，1號(hào)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力計(jì)8的加載點(diǎn) 落在點(diǎn)0上。轉(zhuǎn)動(dòng)小手輪16，提升螺桿17帶動(dòng)提升架18，調(diào)整其高低位置，旋轉(zhuǎn)水平力加 載器6的手輪25，使安裝在移動(dòng)套12上的2號(hào)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力計(jì)10作徑向進(jìn)給，并加載到主軸1的側(cè)平面；水平力加載器6'的加載方式與水平力加載器6完全相同。最后在機(jī)標(biāo)定磨削測(cè)力儀用磨床加工硅片3時(shí)，砂輪2相對(duì)硅片3進(jìn)行軸向進(jìn) 給，當(dāng)砂輪2工作面與硅片3加工面接觸時(shí)，便會(huì)產(chǎn)生軸向力Fz、徑向力Fr和切向力Ft，并 通過平面移動(dòng)轉(zhuǎn)化到磨削測(cè)力儀7上，作用在硅片3上的軸向力Fz、徑向力Fr和切向力Ft 分別通過導(dǎo)線i、j、k輸出。磨削測(cè)力儀7與電荷放大器、數(shù)據(jù)采集卡、工控機(jī)依次相連構(gòu)成測(cè)控系統(tǒng)。對(duì)磨削 測(cè)力儀7施加標(biāo)準(zhǔn)載荷并進(jìn)行歸一化調(diào)節(jié)，確定磨削測(cè)力儀7的各向歸一化靈敏度，即磨削 測(cè)力儀輸出量的變化與引起此變化的輸入量的變化之比；由裝在工控機(jī)中的監(jiān)測(cè)軟件得出 所測(cè)軸向力Fz、徑向力Fr和切向力Ft的大小，處理數(shù)據(jù)后建立磨削測(cè)力儀的“力值-示值” 在機(jī)標(biāo)定曲線，由此求得各性能指標(biāo)。水平力加載器由結(jié)構(gòu)完全相同的兩個(gè)水平力加載器6、6'組成；4個(gè)固定螺釘37 將連接底板11固定在磨床工作臺(tái)5上；連接底板11和支架30通過4個(gè)螺栓四固定在一 起，導(dǎo)向平鍵35保證連接底板11和支架30只能平動(dòng)，不能轉(zhuǎn)動(dòng)，以便調(diào)整水平力加載器6 的左右位置；小手輪16連接提升螺桿17，提升架18安裝在提升螺桿17上；裝有導(dǎo)向鍵13 的移動(dòng)套12安裝在水平導(dǎo)向套34中，導(dǎo)向鍵13限制移動(dòng)套12轉(zhuǎn)動(dòng)，螺釘14限制移動(dòng)套 12平動(dòng)；螺桿M通過螺母19連接到移動(dòng)套12上，軸承36套在裝有調(diào)整套23的螺桿M 上，壓套22壓緊軸承36 ；端接板20和4個(gè)螺釘21將減速器33和水平導(dǎo)向套34連接在一 起；4個(gè)連接螺釘31將裝有手輪25和軸承座觀的連接軸32固定在減速器33上，軸承27 套在連接軸32上；水平力加載器6'的結(jié)構(gòu)與水平力加載器6完全相同。本發(fā)明的顯著效果是在機(jī)標(biāo)定磨削測(cè)力儀7的三向非線性小于1%，重復(fù)性小于 1 %，干擾小于3%，達(dá)到了良好的測(cè)量性能。


圖1是在機(jī)標(biāo)定裝置主視圖，圖2是圖IA-A剖視圖，圖3是水平力加載器B-B剖 視圖，圖4是水平力加載器C向視圖，圖5是磨削測(cè)力儀受力圖。其中1-主軸，2-砂輪，3-硅片，4-回轉(zhuǎn)工作臺(tái)，5-磨床工作臺(tái)，6_水平力加載器，7_磨 削測(cè)力儀，8-1號(hào)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力計(jì)，9-轉(zhuǎn)接板，10-2號(hào)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力計(jì)，11-連接底板，12-移動(dòng)套， 13-導(dǎo)向鍵，14-螺釘，15-上搭接板，16-小手輪，17-提升螺桿，18-提升架，19-螺母，20-端 接板，21-螺釘，22-壓套，23-調(diào)整套，24-螺桿，25-手輪，26-螺母，27-軸承，28-軸承座， 29-螺栓，30-支架，31-連接螺釘，32-連接軸，33-減速器，34-水平導(dǎo)向套，35-導(dǎo)向平鍵， 36-軸承，37-固定螺釘，38-螺釘，6'-水平力加載器，10' _2號(hào)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力計(jì)，11'-連接 底板，12'-移動(dòng)套，13'-導(dǎo)向鍵，14'-螺釘，15'-上搭接板，16'-小手輪，17'-提 升螺桿，18'-提升架，19'-螺母，20'-端接板，21'-螺釘，22'-壓套，23'-調(diào)整套， 24'-螺桿，25'-手輪，26'-螺母，27'-軸承，28'-軸承座，29'-螺栓，30'-支 架，31'-連接螺釘，32'-連接軸，33'-減速器，34'-水平導(dǎo)向套，35'-導(dǎo)向平鍵， 36'-軸承，37'-固定螺釘，軸向力&輸出線，j-徑向力Fr輸出線，k-切向力Ft輸出 線。圖6是測(cè)控系統(tǒng)構(gòu)成框圖，圖7是在機(jī)標(biāo)定曲線圖，其中FZ'-軸向力Fz輸出曲 線，F(xiàn)z-Fx-徑向力Fr干擾曲線，F(xiàn)z-Fy-切向力Ft干擾曲線，N-橫坐標(biāo)表示采點(diǎn)個(gè)數(shù)，mv-縱坐標(biāo)表示輸出電壓。
具體實(shí)施例方式結(jié)合附圖和技術(shù)方案詳細(xì)說明本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，本發(fā)明以磨削測(cè)力儀為在 機(jī)標(biāo)定實(shí)例，測(cè)力裝置在正式連線以前，對(duì)各個(gè)組成環(huán)節(jié)必須逐個(gè)檢查，防止連線后出現(xiàn)短 路、斷路，尤其是過大零漂。檢查連接測(cè)力儀和電荷放大器之間的低噪音電纜是否有短路、 斷路以及極間絕緣電阻是否彡IO13 Ω，否則需對(duì)其進(jìn)行清潔與干燥處理；電荷放大器預(yù)熱 30分鐘后，與監(jiān)測(cè)軟件連接看其空載零漂情況，如果超過測(cè)力儀規(guī)定指標(biāo)(3mV/min)，對(duì)電 荷放大器的輸入端插座要進(jìn)行清潔和干燥處理。上述儀表和導(dǎo)線完全滿足要求后方可連線 調(diào)試ο磨削測(cè)力儀的在機(jī)標(biāo)定方法，具體標(biāo)定步驟如下(1)安裝磨削測(cè)力儀和水平力加載器磨削測(cè)力儀中的傳感器位置、預(yù)緊力等都是經(jīng)過精心調(diào)好的，并經(jīng)過多道密封，所 以對(duì)磨削測(cè)力儀不要輕易拆卸和調(diào)整，將其原始密封狀態(tài)破壞，由此而使磨削測(cè)力儀的精 度和穩(wěn)定性受到影響。另外，在磨削測(cè)力儀使用過程中也要注意保護(hù)密封免受切屑等外來 的損傷。對(duì)傳感器的預(yù)緊力已經(jīng)調(diào)好的磨削測(cè)力儀，只要安裝平面平整光潔，接觸良好即可。如圖1，2所示，將砂輪2安裝在主軸1上，其軸線與主軸1軸線嚴(yán)格一致，硅片3 通過真空吸盤吸附在回轉(zhuǎn)工作臺(tái)4上，安裝時(shí)，保證砂輪2外圓與硅片3的軸線相交，回轉(zhuǎn) 工作臺(tái)4連接在磨床工作臺(tái)5上；磨削測(cè)力儀7通過4個(gè)螺釘38固定在主軸1上，磨削測(cè) 力儀7的中心線與主軸1軸線嚴(yán)格一致，磨削測(cè)力儀7與轉(zhuǎn)接板9相連。用8個(gè)固定螺釘37、37'將兩個(gè)相同的水平力加載器6、6'分別固定在磨床工作 臺(tái)5的0°角和90°角上，水平力加載器6、6'的中心線垂直相交于點(diǎn)0;測(cè)量軸向力的1 號(hào)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力計(jì)8置于回轉(zhuǎn)工作臺(tái)4上，1號(hào)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力計(jì)8的加載點(diǎn)落在點(diǎn)0上。轉(zhuǎn)動(dòng)小手 輪16，提升螺桿17帶動(dòng)提升架18，調(diào)整其高低位置，旋轉(zhuǎn)水平力加載器6的手輪25，使安裝 在移動(dòng)套12上的2號(hào)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力計(jì)10作徑向進(jìn)給，并加載到主軸1的側(cè)平面；水平力加載器 6'的加載方式與水平力加載器6完全相同。(2)操作水平力加載器如圖3，4所示，水平力加載器由結(jié)構(gòu)完全相同的兩個(gè)水平力加載器6、6'組成；4 個(gè)固定螺釘37將連接底板11固定在磨床工作臺(tái)5上；連接底板11和支架30通過4個(gè)螺 栓四固定在一起，導(dǎo)向平鍵35保證連接底板11和支架30只能平動(dòng)，不能轉(zhuǎn)動(dòng)，以便調(diào)整 水平力加載器6的左右位置；小手輪16連接提升螺桿17，提升架18安裝在提升螺桿17上， 松開螺母26，搖動(dòng)小手輪16，通過提升螺桿17調(diào)節(jié)提升架18的高度，即移動(dòng)套12的高低 位置；裝有導(dǎo)向鍵13的移動(dòng)套12安裝在水平導(dǎo)向套34中，導(dǎo)向鍵13限制移動(dòng)套12轉(zhuǎn)動(dòng)， 螺釘14限制移動(dòng)套12平動(dòng)；螺桿M通過螺母19連接到移動(dòng)套12上，軸承36套在裝有調(diào) 整套23的螺桿M上，壓套22壓緊軸承36 ；端接板20和4個(gè)螺釘21將減速器33和水平 導(dǎo)向套34連接在一起；4個(gè)連接螺釘31將裝有手輪25和軸承座觀的連接軸32固定在減 速器33上，軸承27套在連接軸32上，搖動(dòng)手輪25，減速器33減速后帶動(dòng)螺桿M轉(zhuǎn)動(dòng)，使 螺母19前進(jìn)推動(dòng)移動(dòng)套12伸出形成推力。
(3)在機(jī)標(biāo)定磨削測(cè)力儀根據(jù)磨削測(cè)力儀的量程=Fx = 士500N，F(xiàn)y = 士500N，F(xiàn)z = 士 1500N，對(duì)磨削測(cè)力儀 先預(yù)壓后加載，預(yù)壓時(shí)，需注意磨削測(cè)力儀僅允許超過規(guī)定量程的20% 50%，如果超過 上述指標(biāo)，其中的傳感器晶片就有被壓碎的危險(xiǎn)，使磨削測(cè)力儀失效，尤其是當(dāng)測(cè)量沖擊載 荷時(shí)，更應(yīng)注意防止沖擊過載。在附圖5，6中，磨削測(cè)力儀7裝在超精密磨床主軸1上。磨床工作時(shí)，產(chǎn)生的軸向 力Fz、徑向力Fr和切向力Ft由磨削測(cè)力儀7測(cè)量。磨削測(cè)力儀7受力后，力傳感器產(chǎn)生電 荷，輸出電荷經(jīng)電荷放大器放大，轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)輸出，經(jīng)數(shù)據(jù)采集卡將模擬信號(hào)變成計(jì)算 機(jī)接受的數(shù)字信號(hào)，輸入工控機(jī)，經(jīng)工控機(jī)采集、監(jiān)測(cè)軟件處理后得出所測(cè)軸向力Fz、徑向 力Fr和切向力Ft的大小。對(duì)磨削測(cè)力儀進(jìn)行歸一化調(diào)節(jié)，即在靜態(tài)或者準(zhǔn)靜態(tài)力的作用下， 磨削測(cè)力儀輸出量的變化與引起此變化的輸入量的變化之比，確定磨削測(cè)力儀各向歸一化 靈敏度SX = 7. 85pC/N, Sy = 8. 02pC/N, Sz = 3. 58pC/N。處理數(shù)據(jù)后建立磨削測(cè)力儀的“力值-示值”在機(jī)標(biāo)定曲線，如圖7所示，其中橫 坐標(biāo)N表示采點(diǎn)個(gè)數(shù)，縱坐標(biāo)mv表示輸出電壓，軸向力Fz輸出曲線Fz ‘，徑向力&干擾曲 線Fz-Fx,切向力Ft干擾曲線Fz-Fy。并根據(jù)靈敏度、非線性、重復(fù)性、橫向干擾的公式求得各 性能指標(biāo)，具體結(jié)果參見表1 電荷靈敏度在靜態(tài)或者準(zhǔn)靜態(tài)力的作用下，測(cè)力儀輸出量y的變化dy與引起此 變化的輸入量(即被測(cè)信號(hào))的變化4之比稱為靈敏度S，可以用如下的一般性公式表示S = dy/dx線性度誤差在規(guī)定的環(huán)境條件(溫度和濕度)下，磨削測(cè)力儀的實(shí)際標(biāo)定曲線和 理論直線的不一致性，數(shù)值上用標(biāo)定曲線與理論直線的最大偏差與滿量程輸出之比的百分 數(shù)來表示L= ALmax/ymX100%式中Atax為在全量程范圍內(nèi)實(shí)際標(biāo)定曲線與理論直線間的最大偏差，yffl為滿量 程輸出。重復(fù)性誤差在規(guī)定的環(huán)境條件(溫度和濕度)下，在同一方向上連續(xù)加載三次 時(shí)，實(shí)際標(biāo)定曲線的不一致性，其數(shù)值用實(shí)際標(biāo)定曲線的最大差值對(duì)滿量程輸出的百分比 來表示R= AsmaxZymX 100%式中=Asmax為在全量程范圍內(nèi)各實(shí)際標(biāo)定曲線最大重復(fù)性差值，ym為滿量程輸 出ο向間橫向干擾在磨削測(cè)力儀某一特征方向上輸入，而在其它方向上產(chǎn)生的輸出， 數(shù)值上以干擾向的輸出與其特征方向輸出的百分?jǐn)?shù)來表示。例如當(dāng)對(duì)徑向力Fr方向的力進(jìn)行標(biāo)定時(shí)，在切向力Ft和軸向力Fz方向的輸出值 即為橫向干擾，切向力Ft方向的干擾大小用切向力Ft方向的最大輸出值除以切向力Ft方 向的最大理論值，同樣軸向力Fz方向的干擾大小用軸向力&方向的最大輸出值除以軸向力 Fz方向的最大理論值。表1-測(cè)力儀主要性能參數(shù)
權(quán)利要求
1.一種磨削測(cè)力儀在機(jī)標(biāo)定方法，其特征是，磨削測(cè)力儀安裝在磨床上后，磨削測(cè)力儀 按如下方式在機(jī)標(biāo)定首先安裝磨削測(cè)力儀將砂輪(2)安裝在主軸(1)上，其軸線與主軸(1)軸線嚴(yán)格一致，硅片(3)通過真空吸 盤吸附在回轉(zhuǎn)工作臺(tái)⑷上，安裝時(shí)，保證砂輪⑵外圓與硅片⑶的軸線相交，回轉(zhuǎn)工作 臺(tái)(4)連接在磨床工作臺(tái)(5)上；磨削測(cè)力儀(7)通過4個(gè)螺釘(38)固定在主軸(1)上， 磨削測(cè)力儀(7)的中心線與主軸(1)軸線嚴(yán)格一致，磨削測(cè)力儀(7)與轉(zhuǎn)接板(9)相連；然后安裝水平力加載器用8個(gè)固定螺釘(37、37')將兩個(gè)相同的水平力加載器(6、6')分別固定在磨床工 作臺(tái)(5)的0°角和90°角上，水平力加載器(6、6')的中心線垂直相交于點(diǎn)0;測(cè)量軸 向力的1號(hào)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力計(jì)⑶置于回轉(zhuǎn)工作臺(tái)⑷上，1號(hào)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力計(jì)⑶的加載點(diǎn)落在點(diǎn)0 上；轉(zhuǎn)動(dòng)小手輪(16)，提升螺桿(17)帶動(dòng)提升架(18)，調(diào)整其高低位置，旋轉(zhuǎn)水平力加載器 (6)的手輪(25)，使安裝在移動(dòng)套(12)上的2號(hào)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力計(jì)(10)作徑向進(jìn)給，并加載到主 軸(1)的側(cè)平面；水平力加載器(6')的加載方式與水平力加載器(6)完全相同；最后在機(jī)標(biāo)定磨削測(cè)力儀用磨床加工硅片(3)時(shí)，砂輪(2)相對(duì)硅片(3)進(jìn)行軸向進(jìn)給，當(dāng)砂輪(2)工作面與硅 片(3)加工面接觸時(shí)，便會(huì)產(chǎn)生軸向力Fz、徑向力Fr和切向力Ft，并通過平面移動(dòng)轉(zhuǎn)化到磨 削測(cè)力儀⑵上，作用在硅片(3)上的軸向力Fz、徑向力Fr和切向力Ft分別通過導(dǎo)線(i)、 (j)、(k)輸出；磨削測(cè)力儀(7)與電荷放大器、數(shù)據(jù)采集卡、工控機(jī)依次相連構(gòu)成測(cè)控系統(tǒng)；對(duì)磨削測(cè) 力儀(7)施加標(biāo)準(zhǔn)載荷并進(jìn)行歸一化調(diào)節(jié)，確定磨削測(cè)力儀(7)的各向歸一化靈敏度，即磨 削測(cè)力儀輸出量的變化與引起此變化的輸入量的變化之比；由裝在工控機(jī)中的監(jiān)測(cè)軟件得 出所測(cè)軸向力Fz、徑向力Fr和切向力Ft的大小，處理數(shù)據(jù)后建立磨削測(cè)力儀的“力值-示 值”在機(jī)標(biāo)定曲線，由此求得各性能指標(biāo)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種磨削測(cè)力儀在機(jī)標(biāo)定方法所采用的水平力加載器，其特征 是，水平力加載器由結(jié)構(gòu)完全相同的兩個(gè)水平力加載器(6、6')組成；4個(gè)固定螺釘(37) 將連接底板(11)固定在磨床工作臺(tái)( 上；連接底板(11)和支架(30)通過4個(gè)螺栓09) 固定在一起，導(dǎo)向平鍵(3 保證連接底板(11)和支架(30)只能平動(dòng)，不能轉(zhuǎn)動(dòng)，以便調(diào)整 水平力加載器(6)的左右位置；小手輪(16)連接提升螺桿(17)，提升架(18)安裝在提升螺 桿(17)上；裝有導(dǎo)向鍵(13)的移動(dòng)套(12)安裝在水平導(dǎo)向套(34)中，導(dǎo)向鍵(13)限制 移動(dòng)套(1 轉(zhuǎn)動(dòng)，螺釘(14)限制移動(dòng)套(1 平動(dòng)；螺桿04)通過螺母(19)連接到移動(dòng) 套(1 上，軸承(36)套在裝有調(diào)整套的螺桿04)上，壓套0 壓緊軸承(36)；端 接板OO)和4個(gè)螺釘將減速器(3 和水平導(dǎo)向套(34)連接在一起；4個(gè)連接螺釘 (31)將裝有手輪0 和軸承座08)的連接軸(3 固定在減速器(3 上，軸承(XT)套在 連接軸(3 上；水平力加載器(6')的結(jié)構(gòu)與水平力加載器(6)完全相同。
全文摘要
本發(fā)明一種磨削測(cè)力儀在機(jī)標(biāo)定方法和水平力加載器屬于傳感測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域。該方法中，磨削測(cè)力儀與電荷放大器、數(shù)據(jù)采集卡、工控機(jī)依次相連構(gòu)成測(cè)控系統(tǒng)。在磨削測(cè)力儀安裝在磨床上后，對(duì)磨削測(cè)力儀施加標(biāo)準(zhǔn)載荷并進(jìn)行歸一化調(diào)節(jié)，確定磨削測(cè)力儀的各向歸一化靈敏度，由裝在工控機(jī)中的監(jiān)測(cè)軟件處理數(shù)據(jù)后，建立磨削測(cè)力儀的“力值-示值”在機(jī)標(biāo)定曲線，由此求得各性能指標(biāo)。該在機(jī)標(biāo)定方法采用兩個(gè)結(jié)構(gòu)完全相同的水平力加載器和標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力計(jì)測(cè)量硅片磨削時(shí)產(chǎn)生的軸向力Fz、徑向力Fr和切向力Ft，每個(gè)水平力加載器由移動(dòng)套、提升螺桿、端接板、螺桿、連接軸、減速器、水平導(dǎo)向套等組成。該方法簡(jiǎn)便，干擾小，夠達(dá)到良好的測(cè)量性能。
文檔編號(hào)B24B49/00GK102039557SQ20101024778
公開日2011年5月4日 申請(qǐng)日期2010年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月2日
發(fā)明者劉博 , 康仁科, 張軍, 郭東明, 錢敏 申請(qǐng)人:大連理工大學(xué)