專利名稱：光電感應式腔體觀察窗的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種腔體觀察窗，尤其涉及一種能實時觀測及監(jiān)控用于鍍膜用的腔體
內(nèi)器件鍍膜狀況的光電感應式腔體觀察窗。
背景技術(shù)：
隨著經(jīng)濟迅速發(fā)展，技術(shù)水平的不斷提高，加速了工業(yè)化的前進步伐，使得工業(yè)化 正朝大型化、復雜化、智能化及精密化等方向邁進，從而更好地為人們生活服務，為經(jīng)濟發(fā) 展提供源源不斷的動力。其中，OLED制造行業(yè)屬于諸多精密行業(yè)中之一種。
OLED，即有機發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode)，又稱為有機電激光 顯示(Organic Electroluminesence Display,OELD)。因為具備輕薄、省電等特性，因此在 數(shù)碼產(chǎn)品的顯示屏上得到了廣泛應用，并且具有較大的市場潛力，目前世界上對OLED的應 用都聚焦在平板顯示器上，因為OLED是唯一在應用上能和TFT-LCD相提并論的技術(shù)，OLED 是目前所有顯示技術(shù)中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技術(shù)，可以做成 和紙張一樣的厚度。其中，在OLED的制作過程中，氧化銦錫(ITO)基板前處理、陰極工藝 及封裝是OLED制造中最關(guān)鍵的三大工藝，它們最大限度地關(guān)乎到OLED品質(zhì)的高低及OLED 正常的使用壽命。為了提升OLED品質(zhì)及正常的使用壽命，相應地，應用于OLED制造的三大 工藝中各種設(shè)備必須能滿足OLED對真空度要求極高的工作環(huán)境。其中，觀察窗就是應用于 OLED三大工藝中的一種設(shè)備。 觀察窗用于監(jiān)控氧化銦錫(ITO)基板前處理中器件的真空鍍膜流程，監(jiān)測真空鍍 膜器件表面的鍍膜層是否均勻、致密且沒針孔，以及監(jiān)測在鍍膜設(shè)備出現(xiàn)不確定微小故障 時能夠在保證不關(guān)閉整條設(shè)備是否能正常工作以提高效率，其質(zhì)量好壞極大程度上關(guān)系到 真空鍍膜器件表面的鍍膜層品質(zhì)的高低，從而影響到OLED后續(xù)的制造流程及OLED最終的 品質(zhì)及精度。但是，現(xiàn)有的觀察窗普遍存在以下不足。 目前，市面上安裝在真空鍍膜腔體上的觀察窗主要包括觀察窗座、玻璃及傳感器，
觀察窗座安裝在腔體上，觀察窗座開設(shè)有觀察收容通道，腔體具有與觀察收容通道相對應
的觀察孔，玻璃抵觸于觀察窗座與腔體之間且收容于觀察收容通道內(nèi)，分別于觀察窗座與
玻璃之間、玻璃與腔體之間設(shè)有密封膠，傳感器安裝于靠近腔體的觀察孔的開口處的玻璃
上。由于觀察窗座與玻璃之間、玻璃與腔體之間用密封膠使它們固定在一起以滿足器件在
鍍膜時對真空度的要求，使得觀察窗座裝拆不便、清洗困難，增加了維護的難度。同時，由于
傳感器安裝于靠近腔體的觀察孔的開口處的玻璃上，在器件鍍膜時傳感器極易地被涂料粘
附，使得其不能精準地監(jiān)控用于真空鍍膜用的腔體內(nèi)器件鍍膜的工作狀況，從而影響到器
件鍍膜層的均勻性及致密性，進而縮短器件的正常使用壽命，且安裝于靠近腔體的觀窗孔
的開口處的傳感器調(diào)試及安裝極不方便。 因此，急需要一種裝拆方便、清洗極易、調(diào)試簡單且具有優(yōu)異的密封性能并能精準 地監(jiān)控用于真空鍍膜用的腔體內(nèi)器件鍍膜狀況的光電感應式腔體觀察窗。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種裝拆方便、清洗極易、調(diào)試簡單且具有優(yōu)異的密封性能并能精準地監(jiān)控用于真空鍍膜用的腔體內(nèi)器件鍍膜狀況的光電感應式腔體觀察窗。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為提供一種光電感應式腔體觀察窗，適應于安裝在對真空度要求極高的用于鍍膜用的腔體上，所述光電感應式腔體觀察窗包括法蘭座、傳感器裝置及玻璃板，所述法蘭座安裝于所述腔體上，所述法蘭座呈中空結(jié)構(gòu)，所述中空結(jié)構(gòu)形成收容腔，所述腔體開設(shè)有與所述收容腔相對應的觀察通道，所述玻璃板收容于所述收容腔內(nèi)且密封所述觀察通道，其中，所述光電感應式腔體觀察窗還包括密封部件，所述密封部件包括壓環(huán)及密封圈，所述壓環(huán)抵觸于所述玻璃板與所述腔體之間且收容于所述收容腔內(nèi)，所述壓環(huán)開設(shè)有與所述觀察通道相對應的觀察口 ，所述壓環(huán)的外側(cè)具有與所述密封圈相匹配的壓環(huán)槽，所述密封圈的一端與所述壓環(huán)槽抵觸，所述密封圈的另一端與所述收容腔的內(nèi)壁抵觸，所述傳感器裝置安裝于所述法蘭座上且延伸至所述收容腔正上方。
較佳地，所述光電感應式腔體觀察窗對稱且成對的安裝于所述腔體上，所述傳感器裝置包括光傳感器及光傳感器接收器，所述光傳感器及光傳感器接收器分別對稱且成對的安裝于所述光電感應式腔體觀察窗上。通過由光傳感器及光傳感器接收器組成的傳感器裝置，使得傳感器裝置能精準地監(jiān)控用于鍍膜用的腔體內(nèi)器件鍍膜的工作狀況；通過對稱且成對安裝于腔體上的光電感應式腔體觀察窗，便于多方位的觀測與監(jiān)控。具體地，對稱且成對的所述光電感應式腔體觀察窗的收容腔與光傳感器及光傳感器接收器位于同一直線上，使得光傳感器及光傳感器接收器精確地監(jiān)控用于鍍膜用的腔體內(nèi)器件鍍膜情況，使得器件鍍膜層更均勻，更致密，器件質(zhì)量更高。具體地，所述光電感應式腔體觀察窗還包括固定塊，所述固定塊的一端與所述法蘭座連接，另一端延伸至所述收容腔正上方，延伸至所述收容腔正上方的固定塊的一端開設(shè)有收容槽，所述光傳感器接收器安裝于所述收容槽內(nèi)，使得光傳感器接收器的安裝方便、固定可靠且調(diào)試極易；同時，由于光傳感器接收器位于收容腔正上方，使得光傳感器接收器能精準地接收信號，為光電感應式腔體觀察窗的實時監(jiān)控提供良好條件。 較佳地，所述壓環(huán)的截面呈彎折狀并形成彎折部，所述彎折部卡合于所述腔體的觀察通道的開口處，使得壓環(huán)與腔體的固定可靠、方便。 較佳地，所述壓環(huán)槽呈弧形，與所述壓環(huán)槽相匹配的密封圈的截面呈圓弧形，使得壓環(huán)槽與密封圈的配合緊密，且具有優(yōu)異的密封性能，從而使得光電感應式腔體觀察窗能適應于對真空度要求極高的用鍍膜用的腔體上。 較佳地，所述光電感應式腔體觀察窗還包括橡膠墊片，所述橡膠墊片抵觸于所述玻璃板與所述法蘭座之間，能更好地防止玻璃板在安裝過程中被壓壞，且使玻璃板與法蘭座之間具有優(yōu)異的密封性能。 較佳地，所述腔體開設(shè)有供所述法蘭座固定的固定臺階面，使得法蘭座在腔體內(nèi)
裝拆方便、固定可靠，從而使本發(fā)明光電感應式腔體觀察窗極易清洗及維護。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明具有密封部件，且該密封部件包括具有壓環(huán)槽的壓
環(huán)及與壓環(huán)槽相匹配的密封圈，一方面使得本發(fā)明光電感應式腔體觀察窗與腔體之間形成
優(yōu)異的真空環(huán)境以滿足器件的真空鍍膜要求，保證器件鍍膜層的均勻性及致密封性以提高
器件的品質(zhì)；另一方面使得本發(fā)明光電感應式腔體觀察窗裝拆方便、清洗極易。同時，由于傳感器裝置安裝于所述法蘭座上且延伸至所述收容腔正上方，一方面能更有效地阻止腔體內(nèi)鍍膜的涂料粘附于傳感器裝置上而影響到傳感器裝置的精準度及傳感器裝置的正常壽命，因而使得本發(fā)明能精準地監(jiān)控用鍍膜用的腔體內(nèi)的器件的鍍膜情況，保證器件鍍膜層的均勻性及致密性；另一方面使得傳感器裝置的安裝調(diào)試極易，減少維護時間以降低成本。


圖1是本發(fā)明光電感應式腔體觀察窗對稱且成對地安裝于腔體上的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2是圖1中A部分的放大圖。 圖3是本發(fā)明光電感應式腔體觀察窗的立體圖。 圖4是本發(fā)明光電感應式腔體觀察窗的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
為了詳細說明本發(fā)明光電感應式腔體觀察窗的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征，以下結(jié)合實施方式并配合附圖作進一步說明。 如圖1和圖3所示，本發(fā)明光電感應式腔體觀察窗100安裝在對真空度要求極度的用于鍍膜用的腔體l內(nèi)。該光電感應式腔體觀察窗100包括法蘭座2、傳感器裝置及玻璃板3。上述法蘭座2通過安裝孔25及螺釘(圖中未示)固定在上述腔體1上，上述法蘭座2呈中空結(jié)構(gòu)，該中空結(jié)構(gòu)形成收容腔20。上述腔體1開設(shè)有與上述收容腔20相對應的觀察通道10。上述玻璃板3收容于上述收容腔20內(nèi)且密封上述觀察通道10。其中，上述光電感應式腔體觀察窗100還包括密封部件5，該密封部件5包括壓環(huán)51及密封圈52。上述壓環(huán)51抵觸于上述玻璃板3與上述腔體1之間且收容于上述收容腔20內(nèi)，上述壓環(huán)51開設(shè)有與上述觀察通道10相對應的觀察口 510，上述壓環(huán)51的外側(cè)具有與上述密封圈52相匹配的壓環(huán)槽511。上述密封圈52的一端與上述壓環(huán)槽511抵觸，上述密封圈52的另一端與上述收容腔20的內(nèi)壁抵觸。上述傳感器裝置安裝于上述法蘭座2上且延伸至上述收容腔20正上方。具體地，上述壓環(huán)51的截面呈彎折狀并形成彎折部512，上述彎折部512卡合于上述腔體1的觀察通道10的開口處，使得壓環(huán)51與腔體1的固定可靠、方便。上述壓環(huán)槽511呈弧形，與上述壓環(huán)槽511相匹配的密封圈52的截面呈圓弧形，使得壓環(huán)槽511與密封圈52的配合緊密，且具有優(yōu)異的密封性能，從而使得光電感應式腔體觀察窗100能安裝在對真空度要求極高的用鍍膜用的腔體1上。結(jié)合圖2和圖4，更具體地，如下
較佳者，上述光電感應式腔體觀察窗100通過安裝孔25及螺釘(圖中未示)對稱且成對的安裝于上述腔體1的左側(cè)和右側(cè)上。上述傳感器裝置包括光傳感器43及光傳感器接收器41 。其中，光傳感器43為光電傳感器或光纖傳感器，提高光傳感器43監(jiān)控精度，然其種類不限制于此。上述光傳感器43安裝于右側(cè)的光電感應式腔體觀察窗100上。上述光傳感器接收器41安裝在左側(cè)的光電感應式腔體觀察窗100上。上述光傳感器43與光傳感器接收器41組成一對且分別對稱地設(shè)置的，使得傳感器裝置能精準地監(jiān)控用于鍍膜用的腔體1內(nèi)器件鍍膜的工作狀況，以及能多方位的觀測與監(jiān)控用于真空鍍膜用的腔體1內(nèi)的鍍膜狀況。具體地，對稱且成對的上述光電感應式腔體觀察窗100的收容腔20與光傳感器43及光傳感器接收器41位于同一直線上，使得光傳感器43及光傳感器接收器41精確地監(jiān)控用于鍍膜用的腔體1內(nèi)的器件鍍膜情況，使得器件鍍膜更均勻，更致密，器件質(zhì)量更高。上述光電感應式腔體觀察窗100還包括固定塊7，上述固定塊7的一端通過螺釘71安 裝在上述法蘭座2上，其另一端延伸至上述收容腔20正上方，延伸至上述收容腔20正上方 的固定塊7的一端開設(shè)有收容槽70。上述光傳感器接收器41安裝于上述收容槽70內(nèi)，使 得光傳感器接收器41的安裝方便、固定可靠且調(diào)試極易；且由于光傳感器接收器41位于收 容腔20的正上方，使得光傳感器接收器41能精準地接收信號，為光電感應式腔體觀察100 的實時控制提供良好條件。 較佳者，上述光電感應式腔體觀察窗100還包括橡膠墊片6，該橡膠墊片6抵觸于 上述玻璃板3與上述法蘭座2之間，更好地防止玻璃板3在安裝過程中被壓壞，及使玻璃板 3與法蘭座2之間具有優(yōu)異的密封性能。 較佳者，上述腔體1開設(shè)有供上述法蘭座2固定的固定臺階面11，使得法蘭座2在 腔體1內(nèi)裝拆方便、固定可靠，從而使本發(fā)明光電感應式腔體觀察窗100極易清洗及維護。
本發(fā)明的密封部件5由壓環(huán)51及密封圈52組成，且壓環(huán)51開設(shè)有與密封圈52 相匹配的壓環(huán)槽511，一方面使得本發(fā)明光電感應式腔體觀察窗100與腔體1之間形成優(yōu)異 的真空環(huán)境以滿足器件真空鍍膜的要求，保證器件鍍膜層的均勻性及致密封性以提高器件 的品質(zhì)；另一方面使得本發(fā)明光電感應式腔體觀察窗100裝拆方便、清洗極易。同時，由于 傳感器裝置安裝于法蘭座2上且延伸至收容腔20正上方， 一方面能更有效地阻止腔體1內(nèi) 鍍膜的涂料粘附于傳感器裝置上而影響到傳感器裝置的精準度及傳感器裝置的正常壽命， 因而使得本發(fā)明能精準地監(jiān)控用鍍膜用的腔體1內(nèi)的器件的鍍膜情況，保證器件鍍膜層的 均勻性及致密性；另一方面使得傳感器裝置的安裝調(diào)試極易，減少維護時間以降低成本。
本發(fā)明光電感應式腔體觀察窗IOO所涉及的用于鍍膜用的腔體1的具體形狀及傳 感器裝置的工作原理均為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)實際需要所熟知的，在此不再做詳細的 說明。 以上所揭露的僅為本發(fā)明的較佳實例而已，當然不能以此來限定本發(fā)明之權(quán)利范 圍，因此依本發(fā)明申請專利范圍所作的等同變化，仍屬于本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
一種光電感應式腔體觀察窗，適應于安裝在對真空度要求極高的用于鍍膜用的腔體上，所述光電感應式腔體觀察窗包括法蘭座、傳感器裝置及玻璃板，所述法蘭座安裝于所述腔體上，所述法蘭座呈中空結(jié)構(gòu)，所述中空結(jié)構(gòu)形成收容腔，所述腔體開設(shè)有與所述收容腔相對應的觀察通道，所述玻璃板收容于所述收容腔內(nèi)且密封所述觀察通道，其特征在于還包括密封部件，所述密封部件包括壓環(huán)及密封圈，所述壓環(huán)抵觸于所述玻璃板與所述腔體之間且收容于所述收容腔內(nèi)，所述壓環(huán)開設(shè)有與所述觀察通道相對應的觀察口，所述壓環(huán)的外側(cè)具有與所述密封圈相匹配的壓環(huán)槽，所述密封圈的一端與所述壓環(huán)槽抵觸，所述密封圈的另一端與所述收容腔的內(nèi)壁抵觸，所述傳感器裝置安裝于所述法蘭座上且延伸至所述收容腔正上方。
2. 如權(quán)利要求1所述的光電感應式腔體觀察窗，其特征在于所述光電感應式腔體觀 察窗對稱且成對的安裝于所述腔體上，所述傳感器裝置包括光傳感器及光傳感器接收器， 所述光傳感器及光傳感器接收器分別對稱且成對的安裝于所述光電感應式腔體觀察窗上。
3. 如權(quán)利要求2所述的光電感應式腔體觀察窗，其特征在于對稱且成對的所述光電 感應式腔體觀察窗的收容腔與光傳感器及光傳感器接收器位于同一直線上。
4. 如權(quán)利要求2所述的光電感應式腔體觀察窗，其特征在于還包括固定塊，所述固定 塊的一端與所述法蘭座連接，另一端延伸至所述收容腔正上方，延伸至所述收容腔正上方 的固定塊的一端開設(shè)有收容槽，所述光傳感器接收器安裝于所述收容槽內(nèi)。
5. 如權(quán)利要求1所述的光電感應式腔體觀察窗，其特征在于所述壓環(huán)的截面呈彎折 狀并形成彎折部，所述彎折部卡合于所述腔體的觀察通道的開口處。
6. 如權(quán)利要求l所述的光電感應式腔體觀察窗，其特征在于所述壓環(huán)槽呈弧形，與所 述壓環(huán)槽相匹配的密封圈的截面呈圓弧形。
7. 如權(quán)利要求l所述的光電感應式腔體觀察窗，其特征在于還包括橡膠墊片，所述橡 膠墊片抵觸于所述玻璃板與所述法蘭座之間。
8. 如權(quán)利要求1所述的光電感應式腔體觀察窗，其特征在于所述腔體開設(shè)有供所述 法蘭座固定的固定臺階面。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種光電感應式腔體觀察窗，安裝在對真空度要求極高的用于鍍膜用的腔體上，其包括法蘭座、傳感器裝置及玻璃板，法蘭座安裝于腔體上，法蘭座呈中空結(jié)構(gòu)，中空結(jié)構(gòu)形成收容腔，腔體開設(shè)有與收容腔相對應的觀察通道，玻璃板收容于收容腔內(nèi)且密封觀察通道，其中，還包括密封部件，密封部件包括壓環(huán)及密封圈，壓環(huán)抵觸于玻璃板與腔體之間且收容于收容腔內(nèi)，壓環(huán)開設(shè)有與觀察通道相對應的觀察口，壓環(huán)的外側(cè)具有與密封圈相匹配的壓環(huán)槽，密封圈的一端與壓環(huán)槽抵觸，另一端與收容腔的內(nèi)壁抵觸，傳感器裝置安裝于法蘭座上且延伸至收容腔正上方，使本發(fā)明光電感應式腔體觀察窗具有優(yōu)異密封性能，維護極易并能精準地監(jiān)控腔體內(nèi)器件鍍膜狀況。
文檔編號C23C14/52GK101693989SQ20091004215
公開日2010年4月14日 申請日期2009年8月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月25日
發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良, 郭遠倫 申請人:東莞宏威數(shù)碼機械有限公司;