專利名稱：金屬離子注入設(shè)備內(nèi)動(dòng)態(tài)水冷系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明具體涉及一種用于真空設(shè)備內(nèi)動(dòng)態(tài)狀況下冷卻的金屬離子注入 設(shè)備內(nèi)動(dòng)態(tài)水冷系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的金屬離子注入設(shè)備工件轉(zhuǎn)動(dòng)裝置只能進(jìn)行公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)，沒有水 冷卻功能。其缺點(diǎn)是工件在實(shí)施離子注入的過程中形成溫升，使輕薄型工件因溫度的升高 而產(chǎn)生形變和降低表面硬度，導(dǎo)致工件精度和機(jī)械性能的大幅降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種工件裝卸方便、定位準(zhǔn)確靈活、工件不變形、 能提高表面硬度和耐磨度的、具有水冷功能的一種金屬離子注入設(shè)備內(nèi)動(dòng)態(tài)水冷系統(tǒng)。本發(fā)明的技術(shù)方案是一種金屬離子注入設(shè)備內(nèi)動(dòng)態(tài)水冷系統(tǒng)，真空室下端外側(cè) 依次設(shè)有中心轉(zhuǎn)軸裝置和側(cè)邊驅(qū)動(dòng)裝置，中心轉(zhuǎn)軸裝置是由軸承支撐的中心轉(zhuǎn)軸、套裝于 軸上的內(nèi)套和固定于真空室的外套組成，外套與內(nèi)套之間設(shè)軸承和密封圈；側(cè)邊驅(qū)動(dòng)裝置 是由軸承、固定座支撐的側(cè)邊驅(qū)動(dòng)軸和軸上端設(shè)有的驅(qū)動(dòng)齒輪組成，軸的下端設(shè)有碰頭與 固定于真空室上的限位開關(guān)相配合；驅(qū)動(dòng)齒輪與支撐架支撐的大齒輪環(huán)相嚙合，大齒輪環(huán) 圓周上設(shè)有多個(gè)工件托盤裝置；所述的工件托盤裝置是由固于大齒輪環(huán)圓周上的工件托盤 和小傳動(dòng)齒輪組成，工件托盤上設(shè)有的小傳動(dòng)齒輪與中心軸上端設(shè)有中心齒輪相嚙合；其 特征是外套外側(cè)設(shè)有進(jìn)、出水口，通過內(nèi)套的進(jìn)、出水孔及進(jìn)出水管與工件托盤內(nèi)腔體相 連通，又通過串聯(lián)水管使多個(gè)工件托盤相連通。由于采用上述技術(shù)方案，轉(zhuǎn)動(dòng)架采用支撐和中心定位裝置，實(shí)現(xiàn)上下盤的分離，通 過側(cè)邊的驅(qū)動(dòng)使轉(zhuǎn)動(dòng)架公轉(zhuǎn)，依靠定位裝置使工件托盤逐個(gè)對(duì)準(zhǔn)離子注入源，再通過中心 軸的驅(qū)動(dòng)使工件托盤自轉(zhuǎn)。工件托盤可以逐個(gè)定位自轉(zhuǎn)，在注入的過程中工件托盤內(nèi)腔持 續(xù)有冷卻水循環(huán)，對(duì)工件進(jìn)行其冷卻。因而具有工件裝卸方便、定位準(zhǔn)確靈活、工件不變形、 能提高表面硬度和耐磨度、具有水冷功能的優(yōu)點(diǎn)。
以下結(jié)合附圖
和具體實(shí)施來對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案做進(jìn)一步詳細(xì)說明。附圖是本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式參考附圖，一種金屬離子注入設(shè)備內(nèi)動(dòng)態(tài)水冷系統(tǒng)，真空室12下 端外側(cè)依次設(shè)有中心轉(zhuǎn)軸裝置和側(cè)邊驅(qū)動(dòng)裝置，中心轉(zhuǎn)軸裝置是由軸承支撐的中心轉(zhuǎn)軸 10、套裝于軸上的內(nèi)套13和固定于真空室的外套14組成，外套14與內(nèi)套13之間設(shè)軸承和 密封圈11 ；側(cè)邊驅(qū)動(dòng)裝置是由軸承、固定座15支撐的側(cè)邊驅(qū)動(dòng)軸4和軸上端設(shè)有的驅(qū)動(dòng)齒 輪16組成，軸的下端設(shè)有碰頭17與固定于真空室上的限位開關(guān)18相配合；驅(qū)動(dòng)齒輪16與 支撐架2支撐的大齒輪環(huán)1相嚙合，大齒輪環(huán)1圓周上設(shè)有多個(gè)工件托盤裝置；所述的工件 托盤裝置是由固于大齒輪環(huán)1圓周上的工件托盤3和小傳動(dòng)齒輪6組成，工件托盤3上設(shè) 有的小傳動(dòng)齒輪6與中心軸上端設(shè)有中心齒輪5相嚙合；外套14外側(cè)設(shè)有進(jìn)、出水口 19、 20，通過內(nèi)套13的進(jìn)、出水孔及進(jìn)出水管7、9與工件托盤3內(nèi)腔體相連通，又通過串聯(lián)水管 8使多個(gè)工件托盤3相連通。
權(quán)利要求
一種金屬離子注入設(shè)備內(nèi)動(dòng)態(tài)水冷系統(tǒng)，真空室(12)下端外側(cè)依次設(shè)有中心轉(zhuǎn)軸裝置和側(cè)邊驅(qū)動(dòng)裝置，中心轉(zhuǎn)軸裝置是由軸承支撐的中心轉(zhuǎn)軸(10)、套裝于軸上的內(nèi)套(13)和固定于真空室的外套(14)組成，外套(14)與內(nèi)套(13)之間設(shè)軸承和密封圈(11)；側(cè)邊驅(qū)動(dòng)裝置是由軸承、固定座(15)支撐的側(cè)邊驅(qū)動(dòng)軸(4)和軸上端設(shè)有的驅(qū)動(dòng)齒輪(16)組成，軸的下端設(shè)有碰頭(17)與固定于真空室上的限位開關(guān)(18)相配合；驅(qū)動(dòng)齒輪(16)與支撐架(2)支撐的大齒輪環(huán)(1)相嚙合，大齒輪環(huán)(1)圓周上設(shè)有多個(gè)工件托盤裝置；所述的工件托盤裝置是由固于大齒輪環(huán)(1)圓周上的工件托盤(3)和小傳動(dòng)齒輪(6)組成，工件托盤(3)上設(shè)有的小傳動(dòng)齒輪(6)與中心軸上端設(shè)有中心齒輪(5)相嚙合；其特征是外套(14)外側(cè)設(shè)有進(jìn)、出水(19、20)，通過內(nèi)套(13)的進(jìn)、出水孔及進(jìn)出水管(7、9)與工件托盤(3)內(nèi)腔體相連通，又通過串聯(lián)水管(8)使多個(gè)工件托盤(3)相連通。
全文摘要
本發(fā)明具體涉及一種用于真空設(shè)備內(nèi)動(dòng)態(tài)狀況下冷卻的金屬離子注入設(shè)備內(nèi)動(dòng)態(tài)水冷系統(tǒng)。其特征是外套外側(cè)設(shè)有進(jìn)、出水口，通過內(nèi)套的進(jìn)、出水孔及進(jìn)出水管與工件托盤內(nèi)腔體相連通，又通過串聯(lián)水管使多個(gè)工件托盤相連通。因而具有工件定位準(zhǔn)確、束斑范圍內(nèi)注入離子均勻、工件溫升小、幾何形狀穩(wěn)定，保證工件表面硬度和耐磨性等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)C23C14/48GK101886250SQ200910015430
公開日2010年11月17日 申請(qǐng)日期2009年5月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月15日
發(fā)明者欒庚祖, 王桂岳, 趙松強(qiáng) 申請(qǐng)人:龍口市比特真空技術(shù)有限公司