專利名稱：：通過干法真空氣相沉積制造多層薄膜的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及通過使用干法真空氣相沉積制造多層薄膜的方法，特別地，其涉及通過使用穩(wěn)定且簡單的干法真空氣相沉積制造多層薄膜的方法，該方法能夠?yàn)楸銛y式電子產(chǎn)品如移動(dòng)電話、MP3播放器、便攜式多媒體播放器(PMP)、數(shù)字多媒體廣播(匿B)收音機(jī)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、筆記本電腦等以及顯示產(chǎn)品的外殼、窗口、鍵盤、功能鍵部件、各種附件部件等提供視覺上的美感和奢華的印象。
背景技術(shù)：
：便攜式電子產(chǎn)品如移動(dòng)電話、MP3播放器、便攜式多媒體播放器(PMP)、數(shù)字多媒體廣播(匿B)收音機(jī)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、筆記本電腦等以及顯示產(chǎn)品如監(jiān)視器、觸摸屏等使用外殼、窗口、鍵盤、功能鍵部件、各種附件部件等，它們是由金屬、玻璃、壓克力(acryl)(丙烯酸樹脂)、聚碳酸酯(PC)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)、丙烯腈丁二烯苯乙烯(ABS)共聚物樹脂及其組合制備的注塑成型制品或片狀板形式。對(duì)于這些部件，進(jìn)行使用金屬和/或金屬氧化物的真空氣相沉積涂覆，以提供視覺上的美感和奢華的印象。在移動(dòng)電話的外殼中，特別地，為了通信質(zhì)量的穩(wěn)定性，通過用金屬氧化物而不是金屬來進(jìn)行真空氣相沉積方法，在其外殼的前面和后面、窗口、鍵盤、窗口集成外殼等之上形成非傳導(dǎo)的介電薄膜涂層。然而，由于通過真空氣相沉積方法涂覆的金屬和/或金屬氧化物薄膜對(duì)基質(zhì)的附著強(qiáng)度低，因此其顯示出低的抗磨性、抗刮性和鉛筆硬度，并且由于真空氣相沉積的薄膜在高溫、高濕度和鹽水中脫離，因此其可靠性也難以保證。因此，為了解決可靠性等問題，在氣相沉積過程之前和之后通過諸如浸漬、噴涂、旋涂、噴墨印刷等濕法進(jìn)行UV涂覆或硬涂覆。特別地，如果是為用于電子產(chǎn)品的外殼、窗口、鍵盤等的片狀板形式或由壓克力、聚碳酸酯(PC)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)、丙烯腈丁二烯苯乙烯(ABS)共聚物樹脂或其組合制備的注塑成型制品提供視覺設(shè)計(jì)而引入真空氣相沉積方法，則為了氣相沉積層的附著強(qiáng)度和穩(wěn)定性，應(yīng)當(dāng)通過使用諸如浸漬法、噴涂法、旋涂法、噴墨印刷法等的獨(dú)立的濕法實(shí)現(xiàn)底部涂覆和頂部涂覆。然而，在這種情況下，由于濕法和真空氣相沉積法以交替的方式進(jìn)行，引起因使用不同的方法而帶來的額外成本，并且導(dǎo)致在不同方法之間運(yùn)輸期間出現(xiàn)次品的問題。也就是說，由于引入了濕法，濕法和真空氣相沉積法(干法)以交替的方式進(jìn)行，因此用于涂覆部件的加工時(shí)間變長，這是因?yàn)橐貜?fù)進(jìn)行不同方法之間的運(yùn)輸和各方法中涂覆物體的安裝和拆卸。此外，由于在不同方法進(jìn)行期間產(chǎn)生的加工次品和在不同方法之間運(yùn)輸期間產(chǎn)生的高次品率，以及由于多方法所導(dǎo)致的生產(chǎn)時(shí)間的增加，都導(dǎo)致產(chǎn)率下降，產(chǎn)率下降又導(dǎo)致高的產(chǎn)品生產(chǎn)成本。此外，當(dāng)進(jìn)行濕法涂覆的公司與進(jìn)行真空氣相沉積的公司不同時(shí)，此類結(jié)構(gòu)問題有變得更嚴(yán)重的傾向。另外，如圖4所示，與通過成百上千次真空氣相沉積過程(干法)制備的涂膜70相比，通過濕法在產(chǎn)品10表面制備的涂膜60更厚，并且由于基質(zhì)視覺特性的降低和表面紋理的劣化，基質(zhì)的獨(dú)特特性不能達(dá)到其最佳。
發(fā)明內(nèi)容技術(shù)目的作為現(xiàn)有技術(shù)中上述問題的解決方案，本發(fā)明的目的是提供制造多層薄膜的方法，該方法通過在電子產(chǎn)品的外殼的前面和后面、窗口、鍵盤、功能鍵部件、窗口集成外殼和各種附屬基質(zhì)上形成穩(wěn)定的真空氣相沉積薄膜來進(jìn)行，甚至通過需要的真空氣相沉積裝置盡可能最小的干法真空氣相沉積步驟來進(jìn)行，該方法能夠?yàn)楸銛y式電子產(chǎn)品和顯示產(chǎn)品提供美觀和奢華的視覺設(shè)計(jì)，以及保障產(chǎn)品的可靠性。此外，本發(fā)明的其它目的是通過消除或最小化有環(huán)境問題的濕法從而獲得消除或減少環(huán)境污染的效果，以及通過保證薄膜的可靠性而獲得由于生產(chǎn)時(shí)間和次品的減少帶來的成本節(jié)約效果，甚至按照需求盡可能簡化該方法。技術(shù)方案根據(jù)本發(fā)明，提供用于制造多層薄膜的方法，該方法包括在基質(zhì)上形成底部涂覆氣相沉積層的步驟和在該底部涂覆氣相沉積層上形成視覺涂層的步驟，其中該底部涂覆氣相沉積層提供基質(zhì)和視覺涂層之間的附著強(qiáng)度，其中該多層薄膜是通過干法真空氣相沉積形成的。本發(fā)明的方法優(yōu)選還在形成視覺涂層的步驟之后包括形成中間涂覆氣相沉積層的步驟。此外，本發(fā)明的方法優(yōu)選還在形成中間涂覆氣相沉積層的步驟之后或在形成視覺涂層的步驟之后包括形成頂部涂覆氣相沉積層的步驟。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了多層薄膜涂層，其通過本發(fā)明的用于制造多層薄膜的方法形成，并且包含在基質(zhì)上形成的底部涂覆氣相沉積層以及在該底部涂覆氣相沉積層上形成的視覺涂層。本發(fā)明的多層薄膜涂層優(yōu)選地還包括在視覺涂層上形成的中間涂覆氣相沉積層。本發(fā)明的多層薄膜涂層優(yōu)選地還包括在中間涂覆氣相沉積層上形成的頂部涂覆氣相沉積層。本發(fā)明的多層薄膜涂層優(yōu)選地還包括在視覺涂層上形成的頂部涂覆氣相沉積層。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了電子產(chǎn)品，其包括通過本發(fā)明的制造多層薄膜的方法形成的多層薄膜涂層。有益效果如果本發(fā)明的用于制造多層薄膜的干法真空氣相沉積方法用于涂覆便攜式電子產(chǎn)品的外殼、窗口、窗口集成外殼、鍵盤、鍵盤集成窗口、功能鍵部件、各種附屬部件等，所述便攜式電子產(chǎn)品例如移動(dòng)電話、MP3播放器、便攜式多媒體播放器(PMP)、數(shù)字多媒體廣播(匿B)收音機(jī)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、筆記本電腦等和顯示產(chǎn)品如監(jiān)視器、觸摸屏等以及家用電子產(chǎn)品如冰箱、空調(diào)、電視等，則在為這些產(chǎn)品提供美觀和奢華的視覺設(shè)計(jì)的同時(shí)，產(chǎn)品的可靠性也能夠得到保障。此外，可以通過消除或最小化有環(huán)境問題的濕法而獲得消除或減少環(huán)境污染的效果，以及通過保證薄膜的可靠性而獲得由于生產(chǎn)時(shí)間和次品的減少帶來的成本節(jié)約效果，甚至按照需求盡可能簡化該方法。附圖簡述圖1是本發(fā)明的用于制造多層薄膜的真空氣相沉積方法的一個(gè)實(shí)施方案的工藝流程圖。圖2是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方案制造的真空氣相沉積多層薄膜的組成示意圖。圖3是附著強(qiáng)度和表面接觸角之間關(guān)系的描述圖。圖4是通過常規(guī)的濕法形成的底部和頂部涂層和通過本發(fā)明的真空氣相沉積法形成的那些的厚度的比較圖。圖5的照片顯示了塑料模內(nèi)(in-mold)注射成型產(chǎn)品的表面接觸角。圖6的照片顯示了在根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方案制造多層薄膜中，在底部涂覆的真空氣相沉積后的表面接觸角。圖7的照片顯示了在根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方案制造多層薄膜中，在完成了頂部涂覆的真空氣相沉積后的表面接觸角。*圖中顯示的標(biāo)記10:基質(zhì)20:底部涂覆氣相沉積層30:視覺涂層40:中間涂覆氣相沉積層50:頂部涂覆氣相沉積層60:根據(jù)常規(guī)濕法的涂層70:根據(jù)本發(fā)明的干法的真空氣相沉積多層薄膜具體實(shí)施例方式與通過濕法提供的常規(guī)涂層相比，本發(fā)明的用于制造薄膜的真空氣相沉積方法的特征在于該涂層是通過干法在真空氣相沉積設(shè)備中形成的。目前通過濕法提供的常規(guī)涂層可包括，例如，UV(紫外線)硬化型涂層、用于提高基質(zhì)和視覺涂層之間的附著強(qiáng)度的底部涂層，和用于保護(hù)視覺單層或多層涂層的頂部涂層。在本發(fā)明的真空氣相沉積方法(干法)中，采用用于形成各薄膜層的化學(xué)試劑，通過超薄涂覆方法在真空氣相沉積設(shè)備中提供穩(wěn)定的單層或多層涂層，優(yōu)選使用如在韓國專利申請No.10-2007-0075000中描述的載體?？蓱?yīng)用本發(fā)明的薄膜制造方法的合適基質(zhì)包括，但不限于，便攜式電子產(chǎn)品的外殼、窗口、窗口集成外殼、鍵盤、鍵盤集成窗口、功能鍵部件和各種附屬部件，所述便攜式電子產(chǎn)品例如移動(dòng)電話、MP3播放器、便攜式多媒體播放器(PMP)、數(shù)字多媒體廣播(DMB)收音機(jī)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、筆記本電腦等和顯示產(chǎn)品如監(jiān)視器、觸摸屏等?；|(zhì)可以是片狀板形式或各種注塑成型制品形式，但不限于此。金屬、玻璃、壓克力(丙烯酸樹脂)、聚碳酸酯(PC)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)、丙烯腈丁二烯苯乙烯(ABS)共聚物樹脂及其組合可以用作基質(zhì)材料，但不限于此。在本發(fā)明的薄膜制造方法中，在基質(zhì)上形成的底部涂覆氣相沉積層是用于在基質(zhì)和隨后形成的視覺涂層之間提供附著強(qiáng)度的層。優(yōu)選地，形成的底部涂覆氣相沉積層具有10人至l，OOOA(lnmto100nm)的納米級(jí)薄厚度，并且充當(dāng)所謂的"納米底漆"以增加基質(zhì)表面和在隨后步驟中形成的視覺單層或多涂層之間的附著強(qiáng)度。此外，根據(jù)基質(zhì)的表面特性和視覺涂層的多層設(shè)計(jì)，在真空氣相沉積方法中，該底部涂覆氣相沉積層可通過等離子體輔助氣相沉積方法(離子輔助)以io人至l，OOOi的厚度沉積，并且因此可顯示出硬涂層特征和提高該薄膜氣相沉積層的附著特性。優(yōu)選地，作為形成底部涂覆氣相沉積層的涂覆試劑，可以使用具有一個(gè)或多個(gè)選自羧基、磷酸基、硅烷基、胺基、羥基、醛基、酮基、醚基和縮酮基的官能團(tuán)的基于碳的化合物，并且其分子量可以是100-10，000，但不限于此。在本發(fā)明的薄膜制造方法中，在底部涂覆氣相沉積層上形成的視覺涂層可以是單層或多層，并且可以為產(chǎn)品(即基質(zhì))的外觀提供美觀和奢華的視覺設(shè)計(jì)、各種顏色和鏡像或反鏡像的效果。作為形成視覺涂層的材料，可使用金屬如SUS(不銹鋼)、鎳(Ni)、鋁(Al)、鉻(Cr)、錫(Sn)、銦-錫(In-Sn)等；金屬氧化物如二氧化硅(S叫)、二氧化鈦(闊、氧化鋁(A1A)、氧化鋯(Zr0》、氧化銦鈦(InxTiy02，IT0)、氧化鋇鈦(BaT叫)、氧化鎂(Mg0)等；金屬氮化物如SiN、TiN等；或金屬氟化物如MgF2等。在真空氣相沉積設(shè)備中，這些材料通過使用電子束或電阻加熱設(shè)備汽化并沉積為單層或以交替的方式形成多層。對(duì)視覺涂層的厚度沒有特殊限制。例如，其可以形成具有不同厚度的單層或單層的多層，例如在10A-1,000i(lnm-100nm)的納米級(jí)厚度至微米級(jí)厚度范圍內(nèi)。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案，在形成視覺涂層的步驟之后，還可在表面上形成中間涂覆氣相沉積層。中間涂覆氣相沉積層起到增強(qiáng)抗鹽水性、抗磨性、抗刮性等的作用并輔助可額外形成的頂部涂覆氣相沉積層的功能。根據(jù)視覺涂層的表面特性和多層設(shè)計(jì)，可在真空氣相沉積方法中通過等離子體輔助氣相沉積方法(離子輔助)以10i-l，OOO人的厚度沉積中間涂覆氣相沉積層，并且因此可以增強(qiáng)薄膜氣相沉積層的弱抗刮性、抗鹽水性等。優(yōu)選地，作為用于形成中間涂覆氣相沉積層的涂覆試劑，可使用具有一個(gè)或多個(gè)選自羧基、磷酸基、硅烷基、胺基、羥基、醛基、酮基、醚基和縮酮基的官能團(tuán)的基于碳的化合物，并且其分子量可以是100-10，000，但不限于此。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案，在形成中間涂覆氣相沉積層的步驟之后，還可進(jìn)一步在表面上形成頂部涂覆氣相沉積層。頂部涂覆氣相沉積層通過提供污染抗性(抗指紋)和易于清潔的特性以及增強(qiáng)可靠性如抗鹽水性、抗磨性、抗刮性等，從而起到保護(hù)視覺涂層的作用。根據(jù)中間涂覆氣相沉積層的表面特性和多層設(shè)計(jì)，在真空氣相沉積方法中，頂部涂覆氣相沉積層可以通過等離子體輔助氣相沉積方法(離子輔助)以10人-l，OOOA的厚度沉積。優(yōu)選地，作為用于形成頂部涂覆氣相沉積層的涂覆試劑，可使用具有一個(gè)或多個(gè)選自羧基、磷酸基、硅烷基、胺基、羥基、醛基、酮基、醚基和縮酮基的官能團(tuán)的基于氟碳的化合物，并且其分子量可以是100-10，000，但不限于此。在本發(fā)明中，用于形成各薄膜層的涂覆試劑可以通過使用電子束、電阻加熱設(shè)備、濺射設(shè)備或離子電鍍設(shè)備進(jìn)行沉積，優(yōu)選地使用如韓國專利申請No.10-2007-0075000中所描述的載體。此外，優(yōu)選地在本發(fā)明中，多層薄膜結(jié)構(gòu)的形成連續(xù)地在真空氣相沉積設(shè)備中進(jìn)行。用于形成各薄膜層的涂覆試劑優(yōu)選地包含用于貯存和試劑穩(wěn)定性的溶劑，所述溶劑例如水、甲醇、乙醇、丙酮、乙酰丙酮、乙二醇、酮等。根據(jù)本發(fā)明的用于制造真空氣相沉積多層薄膜的方法將以具體的實(shí)施方案在下面詳細(xì)地逐步說明。根據(jù)本發(fā)明的用于制造真空氣相沉積多層薄膜的方法的一個(gè)實(shí)施方案與在圖1中所示一致。根據(jù)圖l所示的工藝流程圖，本發(fā)明的特征在于，在真空氣相沉積設(shè)備中，從基質(zhì)(即產(chǎn)品)的安裝到拆卸的所有涂覆操作都在真空氣相沉積設(shè)備中通過干法進(jìn)行。1:安裝步驟將諸如便攜式電子產(chǎn)品的外殼、窗口、窗口集成外殼、鍵盤、鍵盤集成窗口、功能鍵部件和各種附屬部件的基質(zhì)(或產(chǎn)品)10安裝在真空氣相沉積設(shè)備中，其中所述便攜式電子產(chǎn)品例如移動(dòng)電話、MP3播放器、便攜式多媒體播放器(PMP)、數(shù)字多媒體廣播(DMB)收音機(jī)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、筆記本電腦等和顯示產(chǎn)品如監(jiān)視器、觸摸屏等。為避免基質(zhì)在真空氣相沉積過程期間脫落，將該基質(zhì)安裝在夾具上，將所述夾具設(shè)計(jì)成適合各種形式的基質(zhì)。2:排氣步驟當(dāng)在基質(zhì)在真空氣相沉積設(shè)備中的安裝完成之后，對(duì)真空氣相沉積腔體內(nèi)進(jìn)行排氣以維持1.0X10—6-1.0X10—3托的高真空狀態(tài)，優(yōu)選1.0X10—5托的高真空狀態(tài)或更高的真空，以用金屬和/或金屬氧化物進(jìn)行真空氣相沉積涂覆。根據(jù)所安裝基質(zhì)10的材料，將真空氣相沉積腔體內(nèi)的溫度設(shè)置為20-300°C。3:底部涂層的氣相沉積步驟當(dāng)獲得了合適的高真空狀態(tài)時(shí)，在氬(Ar)、氮(N2)和氧(02)氣流下通過使用離子束設(shè)備進(jìn)行高壓放電，以產(chǎn)生相應(yīng)氣體的等離子體。根據(jù)所安裝基質(zhì)的表面條件，應(yīng)用高能等離子體氣體10秒至1，000秒，以活化所安裝基質(zhì)10的表面(等離子體蝕刻)。在基質(zhì)10經(jīng)活化的表面上形成底部涂覆氣相沉積層20。為了形成該底部涂覆氣相沉積層，可使用如在韓國專利申請No.10-2007-0075000中所描述的載體。在該載體中載入用于底部涂覆的試劑并隨后將該載體安裝至真空氣相沉積設(shè)備中使用電子束的汽化口或電阻加熱型汽化口，并且隨后通過使用電子束或電阻加熱舟皿加熱安裝至汽化口的載體，以汽化在載體中裝載的涂覆試劑，并且形成底部涂覆氣相沉積層。在電子束加熱型的情況下，可通過使用IC-5(INFIC0N)使涂覆過程的所有步驟自動(dòng)化，其中所述的IC-5(INFIC0N)是一種用于真空氣相沉積設(shè)備的控制設(shè)備。將電子束的功率(power)合適地控制在1.5%至8.0%之間，優(yōu)選在2.0%至4.0%之間。7如上那樣形成的底部涂覆氣相沉積層優(yōu)選地具有IOA-l，OOOA(0.001m至0.lym)的厚度，最優(yōu)選約IOO人(0.01iim，10nm)或更多或更少。可向其上應(yīng)用如上所述的等離子體蝕刻0至300秒，由此可穩(wěn)定底部涂覆氣相沉積層?；|(zhì)表面上形成的涂層與表面能相關(guān)。可通過測量基質(zhì)和在該基質(zhì)表面上的水滴之間的接觸角來估計(jì)附著強(qiáng)度，如圖3所示。當(dāng)接觸角變小時(shí)，附著強(qiáng)度變大。在塑料模內(nèi)注射成型產(chǎn)品的情況下，在涂覆之前基質(zhì)表面上的接觸角是74.3°(圖5)，而在底部涂覆氣相沉積層20在產(chǎn)品表面上形成之后，該接觸角降至32.2°(圖6)，并且在底部涂覆氣相沉積之前和之后，表面能從33.02mN/m變化到47.98mN/m。也就是說，附著強(qiáng)度通過底部涂覆氣相沉積得到了提高。對(duì)于不同材料的產(chǎn)品表面，以下的表1和表2分別顯示了在底部涂覆氣相沉積層形成前后，表面接觸角和表面能的變化。表1底部涂層形成前后表面接觸角的變化<table>tableseeoriginaldocumentpage8</column></row><table>表2底部涂層形成前后表面能的變化<table>tableseeoriginaldocumentpage8</column></row><table>4:多氣相沉積步驟(視覺涂層形成步驟)為了給基質(zhì)提供美觀和奢華的視覺設(shè)計(jì)，并顯示不同的顏色、鏡像或非鏡像效果以及抗反射效果，在底部涂覆氣相沉積層上形成視覺涂層30。在真空氣相沉積設(shè)備中，使用電子束或電阻加熱設(shè)備，通過交替氣相沉積以單層或多層，將金屬如SUS(不銹鋼)、鎳(Ni)、鋁(Al)、鉻(Cr)、錫(Sn)、銦-錫(In-Sn)等；金屬氧化物如二氧化硅(SiO》、二氧化鈦(TiO》、氧化鋁"1203)、氧化鋯(ZrO》、氧化銦鈦(InxTiy02，ITO)、氧化鋇鈦(BaTi03)、氧化鎂(MgO)等；金屬氮化物如SiN、TiN等；或金屬氟化物如MgF2等，進(jìn)行氣相沉積，從而形成視覺涂層30。5:中間涂層的氣相沉積步驟因?yàn)橐曈X涂層30由金屬、金屬氧化物、金屬氮化物或金屬氟化物形成，由于無機(jī)材料的特性，因此其具有各種各樣的表面特性以及對(duì)潮濕和污染等的易損性。因此，在視覺涂層30上，根據(jù)不同的表面條件，優(yōu)選以約100i左右的厚度形成中間涂覆氣相沉積層40，以提供對(duì)各種環(huán)境穩(wěn)定的表面，并強(qiáng)化抗磨損性和真空氣相沉積薄膜對(duì)抗環(huán)境的可靠性。根據(jù)視覺涂層的多層設(shè)計(jì)，可在真空氣相沉積過程中通過等離子體輔助的氣相沉積方法(離子輔助)沉積中間涂覆氣相沉積層40，并且因此可表現(xiàn)出硬涂覆特性并強(qiáng)化薄膜氣相沉積層的弱抗刮性、抗鹽水性等。與底部涂覆氣相沉積層一樣，可使用如韓國專利申請No.10-2007-0075000中所描述的載體來形成中間涂覆氣相沉積層。在該載體中載入用于該中間涂覆的試劑，并隨后在真空氣相沉積設(shè)備中將該載體安裝至使用電子束的汽化口或電阻加熱型汽化口，然后通過使用電子束或電阻加熱舟皿加熱該安裝至汽化口的載體以汽化裝載在該載體中的涂覆試劑，并且形成該中間涂覆氣相沉積層。如上那樣形成的中間涂覆氣相沉積層優(yōu)選地具有IOA-l，OOOi(0.001iimt至O.liim)的厚度，最優(yōu)選約100人(O.Oliim，lOnm)或更多或更少?？上蚱渖蠎?yīng)用如上所述的等離子體蝕刻0至300秒，由此可穩(wěn)定中間涂覆氣相沉積層。6:頂部涂層的氣相沉積步驟如上所述，由于無機(jī)材料的特性，視覺涂層30具有各種各樣的表面特性以及對(duì)潮濕和污染等的易損性，因而頂部涂覆氣相沉積層50優(yōu)選直接覆蓋在視覺涂層30上或在其間插入中間涂覆氣相沉積層40?？赏ㄟ^與底部和中間涂覆氣相沉積層類似的方法形成頂部涂覆氣相沉積層50，在沒有對(duì)涂層厚度進(jìn)行特殊控制的情況下，其厚度為IOOi-l，OOO人。通過頂部涂覆氣相沉積步驟形成的薄膜涂層具有非常低的表面能和低摩擦系數(shù)的特征，因此顯示出非常光滑的表面特性，并且因此可以顯著地減少諸如指紋和污物等污染源的附著。即使附著了指紋和污物，也可很容易地通過該涂層優(yōu)異的易清潔功能除去。而且，同時(shí)，可獲得諸如防水或防油特性、抗刮性、耐用性等特有特性，并且因此可形成在具有外部涂層和內(nèi)部涂層的產(chǎn)品的可靠性測試之后穩(wěn)定的真空氣相沉積涂層。如圖3所示，當(dāng)接觸角變大時(shí)，附著或粘附強(qiáng)度變差。然而，在污染物的附著方面，其意味著對(duì)污染的抗性變得更強(qiáng)。圖7所示是具有用上述方法處理過的頂部涂覆氣相沉積層的涂覆表面。下表3和4分別顯示了當(dāng)形成頂部涂覆氣相沉積層時(shí)的接觸角和表面能。表3形成頂部涂覆氣相沉積層時(shí)的接觸角<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>7:通風(fēng)步驟(真空破環(huán)步驟)當(dāng)完成了通過干法的多層薄膜的制造時(shí)，破環(huán)真空氣相沉積設(shè)備內(nèi)的真空狀態(tài)。8:拆卸步驟在破環(huán)了真空氣相沉積設(shè)備內(nèi)的真空狀態(tài)后，將完成了多層薄膜制造的產(chǎn)品從真空氣相沉積設(shè)備中取出。依據(jù)本發(fā)明的上述實(shí)施方案，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的解釋。然而，應(yīng)當(dāng)理解，上述實(shí)施方案絕不意味著是對(duì)本發(fā)明范圍的限制。工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明可應(yīng)用于在便攜式電子產(chǎn)品如移動(dòng)電話、MP3播放器、便攜式多媒體播放器(PMP)、數(shù)字多媒體廣播(匿B)收音機(jī)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、筆記本電腦等以及顯示產(chǎn)品諸如監(jiān)視器、觸摸屏等和家用電器如冰箱、空調(diào)、電視等中使用的外殼、窗口、窗口集成外殼、鍵盤、鍵盤集成窗口、功能鍵部件、顯示器的各種附件等和附屬部件。權(quán)利要求制造多層薄膜的方法，包括以下步驟在基質(zhì)上形成底部涂覆氣相沉積層；并在該底部涂覆氣相沉積層上形成視覺涂層，其中該底部涂覆氣相沉積層為基質(zhì)和視覺涂層之間提供附著強(qiáng)度，其中該多層薄膜的形成是通過干法真空氣相沉積進(jìn)行的。2.權(quán)利要求l的方法，還在形成視覺涂層的步驟之后包括形成中間涂覆氣相沉積層的步驟。3.權(quán)利要求2的方法，還在形成中間涂覆氣相沉積層的步驟之后包括形成頂部涂覆氣相沉積層的步驟。4.權(quán)利要求l的方法，還在形成視覺涂層的步驟之后包括形成頂部涂覆氣相沉積層的步驟。5.權(quán)利要求l的方法，其中基質(zhì)是便攜式電子產(chǎn)品、顯示產(chǎn)品或家用電器的外殼、窗口、窗口集成外殼、鍵盤、鍵盤集成窗口、功能鍵部件或附屬部件。6.權(quán)利要求l的方法，其中基質(zhì)由選自金屬、玻璃、壓克力、聚碳酸酯、PMMA、PET、ABS樹脂及其組合的材料制成。7.權(quán)利要求l的方法，其中底部涂覆氣相沉積層由具有一個(gè)或多個(gè)選自羧基、磷酸基、硅烷基、胺基、羥基、醛基、酮基、醚基和縮酮基的官能團(tuán)的基于碳的化合物形成。8.權(quán)利要求l的方法，其中底部涂覆氣相沉積層具有IOi-l，000i的厚度。9.權(quán)利要求l的方法，其中視覺涂層由選自金屬、金屬氧化物、金屬氮化物、金屬氟化物及其組合的材料形成。10.權(quán)利要求2的方法，其中中間涂覆氣相沉積層由具有一個(gè)或多個(gè)選自羧基、磷酸基、硅烷基、胺基、羥基、醛基、酮基、醚基和縮酮基的官能團(tuán)的基于碳的化合物形成。11.權(quán)利要求3的方法，其中頂部涂覆氣相沉積層由具有一個(gè)或多個(gè)選自羧基、磷酸基、硅烷基、胺基、羥基、醛基、酮基、醚基和縮酮基的官能團(tuán)的基于氟碳的化合物形成。12.權(quán)利要求1的方法，其中真空氣相沉積通過使用電子束、電阻加熱設(shè)備、濺射設(shè)備或離子電鍍設(shè)備進(jìn)行。13.權(quán)利要求l的方法，其中多層薄膜結(jié)構(gòu)的形成在真空氣相沉積設(shè)備中連續(xù)地進(jìn)行。14.多層薄膜涂層，其根據(jù)權(quán)利要求1-13中任意之一的方法形成，并且包含在基質(zhì)上形成的底部涂覆氣相沉積層，和在該底部涂覆氣相沉積層上形成的視覺涂層。15.權(quán)利要求14的多層薄膜涂層，還包含在視覺涂層上形成的中間涂覆氣相沉積層。16.權(quán)利要求15的多層薄膜涂層，還包含在中間涂覆氣相沉積層上形成的頂部涂覆氣相沉積層。17.權(quán)利要求14的多層薄膜涂層，還包含在視覺涂層上形成的頂部涂覆氣相沉積層。18.包含通過權(quán)利要求1-13中任一方法形成的多層薄膜涂層的電子產(chǎn)品。19.權(quán)利要求18的電子產(chǎn)品，該電子產(chǎn)品是移動(dòng)電話、MP3播放器、便攜式多媒體播放器(PMP)、數(shù)字多媒體廣播(匿B)收音機(jī)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、筆記本電腦、監(jiān)視器、觸摸屏、冰箱、空調(diào)或電視。20.權(quán)利要求18的電子產(chǎn)品，其中該多層薄膜涂層在外殼、窗口、窗口集成外殼、鍵盤、鍵盤集成窗口、功能鍵部件或附屬部件上形成。全文摘要本發(fā)明涉及通過使用干法真空氣相沉積制造多層薄膜的方法，特別地，其涉及通過使用穩(wěn)定且簡單的干法真空氣相沉積制造多層薄膜的方法，該方法能夠?yàn)橐苿?dòng)電話、MP3播放器、便攜式多媒體播放器(PMP)、數(shù)字多媒體廣播(DMB)收音機(jī)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、筆記本電腦等的外殼、窗口、鍵盤、功能鍵部件、各種附屬部件等提供視覺上的美感和奢華的印象。文檔編號(hào)C23C14/00GK101784692SQ200880101661公開日2010年7月21日申請日期2008年7月31日優(yōu)先權(quán)日2007年8月2日發(fā)明者金正來,金洪徹,金炫中申請人:株式會(huì)社世可