專利名稱：連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型關(guān)于一種自轉(zhuǎn)載具，其特別關(guān)于一種用于連續(xù) 式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具。
背景技術(shù)：
真空鍍膜技術(shù)是表面處理工程領(lǐng)域中的重要技術(shù)之一 ，真空鍍膜 技術(shù)是利用物理、化學(xué)手段將固體表面涂覆一層特殊性能的鍍膜，從 而使固體表面具有耐磨損、耐高溫、耐腐蝕、抗氧化、防輻射、導(dǎo)電、 導(dǎo)磁、絕緣和裝飾等許多優(yōu)于固體材料本身的優(yōu)越性能，達到提高產(chǎn) 品質(zhì)量、延長產(chǎn)品壽命、節(jié)約能源和獲得顯著技術(shù)經(jīng)濟效益的作用。 利用物理、化學(xué)手段將固體表面涂覆一層特殊性能的鍍膜，從而使固 體表面具有耐磨損、耐高溫、耐腐蝕、抗氧化、防輻射、導(dǎo)電、導(dǎo)磁、 絕緣等許多優(yōu)于固體材料本身的性能，獲得顯著技術(shù)經(jīng)濟效益的作用。:換，于2004年12月21日公告的中國臺灣新型專利第M253601 專利證號，名稱為「具自轉(zhuǎn)功能之鍍膜夾具」，揭露一種真空鍍膜 制程中使用的鍍膜夾治具，其特征為 一鍍膜夾治具為兩金屬板，以 復(fù)數(shù)固定柱固定，金屬板中設(shè)有復(fù)數(shù)夾具孔，可以安放可活動的夾具 組，其中夾具孔孔徑必需大于夾具組圓桿直徑，夾治具中間設(shè)有一轉(zhuǎn) 軸，輔以螺帽兩邊鎖固，并連結(jié)至臺車外部利用馬達帶動，使之公轉(zhuǎn)， 并藉以放置于夾治具臺車上。一般而言，為因應(yīng)真空鍍膜技術(shù)應(yīng)用層面日廣，為增加相關(guān)鍍膜 產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)竟爭力，必須降低真空鍍膜制程的成本，目前真空鍍膜制 程中所使用的鍍膜設(shè)備多為連續(xù)式(In-Line)多腔體(Multi-chambers ) 作業(yè)流程，在連續(xù)式真空鍍膜流程中，真空腔體依照物品加載方向， 依序分為低真空、高真空、高真空及低真空等四個真空環(huán)境，而連續(xù) 式鍍膜流程與傳統(tǒng)批次式(batch type)或晶圓式(wafer type)生產(chǎn)方式相比可以減少高達60°/。以上生產(chǎn)成本，并可大幅降低設(shè)備成本及廠房 空間，故本實用新型的實用新型人針對連續(xù)式鍍膜設(shè)備設(shè)計出 一種適 用于連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)栽具，以期增進真空鍍膜制程的效率。實用新型內(nèi)容本實用新型主要目的在于提供一種連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具， 其可適用于立式或臥式的鍍膜設(shè)備，不僅增進了真空鍍膜制程的效率， 更可透過齒條與齒輪的設(shè)計，使得載具移動時治具得以自轉(zhuǎn)，更進一 步加以提升待鍍工件的鍍膜均勻度。本實用新型連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具的技術(shù)方案為 一種用于 連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具，該連續(xù)式鍍膜設(shè)備由一腔體、一 自轉(zhuǎn)載具及一賊鍍源組成，包括 一底座，設(shè)有一基準邊凹槽及一 對應(yīng)邊凹槽；復(fù)凄t個齒輪，設(shè)置于該基準邊凹槽及該對應(yīng)邊凹槽中； 復(fù)數(shù)個治具組，各治具組分別連接于各齒輪并設(shè)置于該底座之上；一 基準邊齒條，嚙合于該基準邊凹槽內(nèi)的齒輪； 一對應(yīng)邊齒條，嚙合于 該對應(yīng)邊凹槽內(nèi)的齒輪；二傳動柱，設(shè)置于該底座的底面二側(cè)；以及 二傳動輪，承接該傳動柱；其中，該基準邊齒條及該對應(yīng)邊齒條固設(shè) 于鍍膜設(shè)備腔體的兩側(cè)，當該傳動輪被驅(qū)動使該自轉(zhuǎn)載具往前移動， 與該基準邊齒條及該對應(yīng)邊齒條嚙合的復(fù)數(shù)個齒輪因而旋轉(zhuǎn)，進而帶 動該復(fù)數(shù)個治具組隨著該齒輪旋轉(zhuǎn)而自轉(zhuǎn)。其中，于該底座更包括設(shè)置有復(fù)數(shù)個槽洞。其中，該治具組更包含復(fù)數(shù)個治具套筒，分別穿過該復(fù)數(shù)個槽洞 固接于該復(fù)數(shù)個齒輪。其中，該治具組由復(fù)數(shù)個治具串接固定而形成，并且插置 于該治具套筒中與該齒輪連動。其中，該治具為一圓形治具，設(shè)有一作為各治具相互串接 之用的中心套筒。其中，該鍍膜設(shè)備為立式或臥式的鍍膜設(shè)備。本實用新型的有益效果為因相較于傳統(tǒng)的水電鍍技術(shù)，真空鍍 膜技術(shù)更具有環(huán)保、可回收等特性，加上真空鍍膜方法已成為近代薄膜合成的主流，其能在各種不同的基材表面，利用真空濺鍍的方式制 作各種功能性薄膜，具有低成本、速度快等優(yōu)點。故本實用新型提供 一種連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具，其可適用于立式或臥式的鍍膜設(shè)備， 不僅增進了真空鍍膜制程的效率，更可透過齒條與齒輪的設(shè)計，使得 載具移動時治具得以自轉(zhuǎn)，更進一步加以提升待鍍工件的鍍膜均勻度。


圖1說明本實用新型連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具的立體示意圖； 圖2說明本實用新型連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具的組件分解圖； 圖3說明本實用新型連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具的俯視圖；以及 圖4說明本實用新型連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具另一實施例的前 視圖。圖號說明1自轉(zhuǎn)載具11底座111基準邊凹槽112對應(yīng)邊凹槽113槽洞12齒輪13治具組131治具1311中心套筒1312工件放置處132治具套筒133治具定位環(huán)134止推軸承14A基準邊齒條14B對應(yīng)邊齒條15傳動柱16傳動輪17卡制件171把乎172壓制桿173壓制塊18A固定塊18B浮動固定塊19A固定夾塊19B浮動夾塊20彈性組件具體實施方式
為使熟悉該項技藝人士了解本實用新型的目的、特征及功效，茲 藉由下述具體實施例，并配合所附的圖式，對本實用新型詳加說明，說明如后習(xí)知連續(xù)式鍍膜設(shè)備由一腔體、 一自轉(zhuǎn)載具及一濺鍍源組成；接 著請參考圖1說明本實用新型用于連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)栽具的立體 示意圖，其中該自轉(zhuǎn)載具1包括 一底座11,內(nèi)設(shè)有一基準邊凹槽111 及一對應(yīng)邊凹槽112、 二傳動柱15，設(shè)置于該底座11的底面二側(cè)、二 傳動輪16,承接該傳動柱15;復(fù)數(shù)個齒輪12,設(shè)置于該底座ll中； 以及復(fù)數(shù)個治具組13，各治具組13分別連接于各齒輪12。以下擬詳細說明該自轉(zhuǎn)載具1的結(jié)構(gòu)，如前所述，該底座ll設(shè)有 一基準邊凹槽111及一對應(yīng)邊凹槽112;復(fù)數(shù)個齒輪12,設(shè)置于該基 準邊凹槽111及該對應(yīng)邊凹槽112中；復(fù)數(shù)個治具組13,各治具組13 分別連接于各齒輪12并設(shè)置于該底座11之上； 一基準邊齒條14A, 嚙合于該基準邊凹槽111內(nèi)的齒輪12; —對應(yīng)邊齒條14B,嚙合于該 對應(yīng)邊凹槽112內(nèi)的齒輪12; 二傳動柱15, i殳置于該底座11的底面 二側(cè)；以及二傳動輪16,承接該傳動柱15;其中，該基準邊齒條14A 及該對應(yīng)邊齒條14B設(shè)置于鍍膜設(shè)備腔體的兩側(cè)，當該傳動輪16被驅(qū) 動使該自轉(zhuǎn)載具1往前移動，與該基準邊齒條14A及該對應(yīng)邊齒條14B 嚙合的復(fù)數(shù)個齒輪12因而旋轉(zhuǎn)，進而帶動該復(fù)數(shù)個治具組13隨著該 齒4侖12旋轉(zhuǎn)而自轉(zhuǎn)。接著，請參考圖2，說明本實用新型連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具的 組件分解圖，在本實施例中，于該底座11的兩側(cè)邊上共設(shè)有六個槽洞 113,即，該基準邊凹槽111上方設(shè)有三個槽洞113，該對稱邊凹槽112 上方亦設(shè)有三個槽洞113;此外，該治具組13更包含復(fù)數(shù)個治具套筒 132,各治具套筒132分別穿過該槽洞113，并經(jīng)由一治具定位環(huán)133 及一止推軸承134固接于該齒輪12，該止推軸承134可在該自轉(zhuǎn)載具 1行進時消除該齒輪12旋動時所產(chǎn)生的推力。再者，該治具組13由復(fù)數(shù)個治具131串接而形成，可配合制程需 求而去增減該治具131的個數(shù)，在本實施例中，該治具組13由四個治 具131串接形成，且該治具組13插置于該治具套筒132中，藉由與該 齒輪12固接的治具套筒132使該治具組13與該齒輪12連動，該治具 定位環(huán)133則將該治具套筒132固定于該底座11之上而達到定位該治6具組13的目的。而該治具131并不限定于特定的型態(tài)，可依制程需求 設(shè)計。其中，在本實施例中，該治具131為一圓形治具，設(shè)有一中心套 筒13U，該中心套筒1311除了作為各治具131相互串接之用，亦可套 接固定于該治具套筒132之中；該治具131亦設(shè)有復(fù)數(shù)個工件放置處 1312，每個治具131均設(shè)有六個工件放置處1312以放置待鍍的工件。另外，在各治具組13上方均設(shè)有一卡制件17，該卡制件17的主 要組件包含一把手171，與該把手171相連的一壓制桿172,以及位于 該壓制桿172尾端的一壓制塊173,該卡制件17樞設(shè)于該自轉(zhuǎn)載具頂 部的槽洞113之中，該壓制塊173對應(yīng)于該治具131的中心套筒1311, 欲固定該治具組13時，可下壓該把手171使該壓制桿172向該中心套 筒的1311的方向移動，并使該壓制塊173置入該中心套筒1311之中， 接著轉(zhuǎn)動該把手171使該壓制塊173卡合于該中心套筒1311,藉此即 可利用該卡制件17固定該治具組13,此外，該把手171下壓使該壓制 桿172往下固定該治具組13所產(chǎn)生的軸向推力，則可藉由該止推軸承 134予以消除。此外，該基準邊齒條14A固定于鍍膜設(shè)備的腔體上，先將復(fù)數(shù)個 固定塊18A固定于腔體內(nèi)壁，繼以復(fù)數(shù)個固定夾塊19A夾置該基準邊 齒條14A并固接于該固定塊18A，以一固定塊18A搭配二固定夾塊19A 的方式達到固定基準邊齒條14A的目的。該對應(yīng)邊齒條14B的部份， 先將復(fù)數(shù)個浮動固定塊18B固定于腔體內(nèi)壁，再以復(fù)數(shù)個浮動夾塊19B 夾置該對應(yīng)邊齒條14B并固接于該浮動固定塊18B,并在該浮動固定 塊18B與該對應(yīng)邊齒條14B之間設(shè)置一彈性組件20,以一浮動固定塊 18B搭配二浮動夾塊19B及一彈性組件20，利用該浮動夾塊19B形成 滑塊的作用，藉由該彈性組件20使該對應(yīng)邊齒條14B往基準邊的方向 前后移動微調(diào)，以修正齒條齒隙與齒輪齒隙之間的尺寸公差。再者，如圖3所示，說明本實用新型連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具 的俯視圖，并請同時參考圖l,當鍍膜制程進行時，以一動力源(未圖 標)驅(qū)動該傳動輪16,該傳動輪16承接該傳動柱15，該自轉(zhuǎn)載具1 連同該復(fù)數(shù)個治具組13及待鍍工件會有足夠的重量以產(chǎn)生正壓力，而使得該傳動輪16與傳動柱15之間產(chǎn)生摩擦力，藉此，當外部動力源 提供動力使該傳動輪16轉(zhuǎn)動，該傳動輪16亦帶動該傳動柱15,使該 自轉(zhuǎn)載具1往前移動，圖3中箭頭所示方向即為該自轉(zhuǎn)載具1的動向。 此時，因為該基準邊齒條14A與對應(yīng)邊齒條14B設(shè)置于鍍膜腔體內(nèi)壁 并與該自轉(zhuǎn)載具1的齒輪12嚙合，該基準邊齒條14A固定不動，該對 應(yīng)邊齒條14B則可在該自轉(zhuǎn)載具1移動時浮動調(diào)整齒隙間的尺寸公差， 由于該基準邊齒條14A與對應(yīng)邊齒條14B設(shè)置于腔體中不隨自轉(zhuǎn)載具 1移動，故與的嚙合的復(fù)數(shù)個齒輪12.在該自轉(zhuǎn)載具1朝箭頭方向移動 時，呈逆時針方向旋轉(zhuǎn)，該復(fù)數(shù)個治具組13亦隨的以逆時針方向自轉(zhuǎn)， 置于該工件放置處1312上的待鍍工件即可被均勻地鍍上表面薄膜。在本實施例中，自轉(zhuǎn)栽具的基準邊齒條與對應(yīng)邊齒條設(shè)置于腔體 內(nèi)壁，然而，在連續(xù)式鍍膜設(shè)備中進行真空薄膜制程時，并未限定要 將基準邊齒條固定不動及對應(yīng)邊齒條浮動微調(diào)的設(shè)計。接著，請繼續(xù)參考圖4說明本實用新型自轉(zhuǎn)載具的另一實施例的 前視圖，該基準邊齒條14A及對應(yīng)邊齒條14B均以浮動固定塊18B、 浮動夾塊19B及彈性組件20設(shè)置于腔體內(nèi)壁，先將該浮動固定塊18B 固定于腔體內(nèi)壁，再以復(fù)數(shù)個浮動夾塊19B分別夾置該對應(yīng)邊齒條14B 及基準邊齒條14A,并固接于該浮動固定塊18B，并在該浮動固定塊 18B與該對應(yīng)邊齒條14B之間及該浮動固定塊18B與該基準邊齒條 14A之間各設(shè)置一彈性組件20,以一浮動固定塊18B搭配二浮動夾塊 19B及一彈性組件20,利用該浮動夾塊19B形成滑塊的作用，再藉由 該彈性組件20使該對應(yīng)邊齒條14B及基準邊齒條14A以垂直于該自轉(zhuǎn) 載具動線的方向前后移動微調(diào)，以修正齒條齒隙與齒輪齒隙之間的尺 寸公差。然而，以上所述者，僅為本實用新型的較佳實施例，當不能以此限定本實用新型實施的范圍；故，凡依本實用新型申請專利范圍及實用新型說明書內(nèi)容所作的簡單的等效變化與修飾，皆應(yīng)仍屬本實用新 型專利涵蓋的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種用于連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具，該連續(xù)式鍍膜設(shè)備由一腔體、一自轉(zhuǎn)載具及一濺鍍源組成，其特征在于，該自轉(zhuǎn)載具包括一底座，設(shè)有一基準邊凹槽及一對應(yīng)邊凹槽；復(fù)數(shù)個齒輪，設(shè)置于該基準邊凹槽及該對應(yīng)邊凹槽中；復(fù)數(shù)個治具組，各治具組分別連接于各齒輪并設(shè)置于該底座之上；一基準邊齒條，嚙合于該基準邊凹槽內(nèi)的齒輪；一對應(yīng)邊齒條，嚙合于該對應(yīng)邊凹槽內(nèi)的齒輪；二傳動柱，設(shè)置于該底座的底面二側(cè)；以及二傳動輪，承接該傳動柱；其中，該基準邊齒條及該對應(yīng)邊齒條固設(shè)于該腔體的兩側(cè)。
2、 如權(quán)利要求1所述的連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具， 其特征在于，該底座設(shè)有復(fù)數(shù)個槽洞。
3、 如權(quán)利要求1所述的連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具， 其特征在于，該治具組更包含復(fù)數(shù)個治具套筒，分別穿過該 復(fù)數(shù)個槽洞固接于該復(fù)數(shù)個齒輪。
4、 如權(quán)利要求1所述的連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具， 其特征在于，該治具組由復(fù)數(shù)個治具串接固定而形成，并且 插置于該治具套筒中與該齒輪連動。
5、 如權(quán)利要求4所述的連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具， 其特征在于，該治具為一圓形治具，設(shè)有一作為各治具相互 串接之用的中心套筒。
6、 如權(quán)利要求1所述的連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具， 其特征在于，該鍍膜設(shè)備為立式.或臥式的鍍膜設(shè)備。
專利摘要本實用新型關(guān)于一種連續(xù)式鍍膜設(shè)備的自轉(zhuǎn)載具，包括一底座、復(fù)數(shù)個齒輪、復(fù)數(shù)個治具組、一基準邊齒條、一對應(yīng)邊齒條、二傳動柱及二傳動輪，其中，該基準邊齒條及該對應(yīng)邊齒條設(shè)置于鍍膜設(shè)備腔體的兩側(cè)，當該傳動輪被驅(qū)動使該自轉(zhuǎn)載具往前移動時，與該基準邊齒條及該對應(yīng)邊齒條嚙合的復(fù)數(shù)個齒輪因而旋轉(zhuǎn)，進而帶動該復(fù)數(shù)個治具組隨著該齒輪旋轉(zhuǎn)而自轉(zhuǎn)。
文檔編號C23C14/56GK201116306SQ200720181340
公開日2008年9月17日 申請日期2007年10月24日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月24日
發(fā)明者郭勛聰 申請人:鈺衡科技股份有限公司