專利名稱：基于計(jì)算機(jī)的電子束蒸發(fā)速率自動(dòng)控制設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光學(xué)鍍膜，特別是一種用于電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的基于計(jì)算機(jī)的 電子束蒸發(fā)速率自動(dòng)控制設(shè)備。
技術(shù)背景由于現(xiàn)代鍍膜的需要，許多儀表和設(shè)備都朝著智能化方向發(fā)展。通過(guò)計(jì)算機(jī)程 序精確控制鍍膜過(guò)程中鍍膜設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)和鍍膜參數(shù)的改變，成為鍍膜生產(chǎn)的迫切需 要。電子束蒸發(fā)在整個(gè)光學(xué)鍍膜過(guò)程中，是個(gè)很重要的環(huán)節(jié)，它能否在整個(gè)鍍膜過(guò) 程中提供穩(wěn)定的蒸發(fā)速率，將直接影響鍍膜產(chǎn)品的光譜指標(biāo)和成品率。電子束蒸發(fā) 鍍膜的過(guò)程是高能量的電子束入射在靶材表面上轟擊加熱，使靶材氣化蒸發(fā)后凝結(jié) 在基板表面成膜。膜料的蒸發(fā)速率與電子槍的加熱功率成正比。在高壓不能隨意變 動(dòng)的情況下，電子槍功率與一定時(shí)間內(nèi)打入靶材的電子數(shù)成正比，而調(diào)節(jié)燈絲兩端 電壓則可控制燈絲發(fā)射電子的速率，故調(diào)節(jié)燈絲端電壓可實(shí)現(xiàn)對(duì)蒸發(fā)速率的實(shí)時(shí)調(diào) 節(jié)。傳統(tǒng)的電子槍功率調(diào)節(jié)是通過(guò)機(jī)械電位器，如手動(dòng)旋轉(zhuǎn)式電阻器來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)燈絲 端電壓調(diào)節(jié)的，手動(dòng)調(diào)節(jié)存在反應(yīng)慢、調(diào)節(jié)完全憑個(gè)人經(jīng)驗(yàn)，而且調(diào)節(jié)精度差，無(wú) 法滿足快速準(zhǔn)確、穩(wěn)定調(diào)節(jié)的要求。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是要克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種用于光學(xué)鍍膜機(jī)的 基于計(jì)算機(jī)的電子束蒸發(fā)速率自動(dòng)控制設(shè)備，它能夠以設(shè)定的速率要求對(duì)鍍膜過(guò)程 中的蒸發(fā)速率進(jìn)行穩(wěn)定控制，該設(shè)備在速度、精度和可靠性上大大提高，智能化程 度也大大提高。本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案如下-一種用于電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的電子束蒸發(fā)速率的自動(dòng)控制設(shè)備，其特點(diǎn)是該設(shè) 備包括蒸發(fā)速率探測(cè)器，該蒸發(fā)速率探測(cè)器的晶振探頭置于電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的真空 室內(nèi)，以探測(cè)電子束蒸發(fā)速率；數(shù)據(jù)采集卡；電子槍燈絲電壓調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，由所述的數(shù)據(jù)采集卡的數(shù)模轉(zhuǎn)換器、品閘管智能調(diào) 壓模塊和電子槍燈絲變壓器構(gòu)成，該數(shù)模轉(zhuǎn)換器的輸出端接所述的晶閘管智能調(diào)壓 模塊的控制端，該晶閘管智能調(diào)壓模塊輸入端接220V交流電，其輸出端接在所述的電子槍燈絲變壓器的原邊，該電子槍燈絲變壓器的副邊接所述的電子槍燈絲的兩端；開關(guān)量輸入輸出機(jī)構(gòu)，包括所述的數(shù)據(jù)采集卡的數(shù)字輸入口和數(shù)字輸出口，該 數(shù)字輸入口接收外界的高低電平輸入，該數(shù)字輸出口通過(guò)擋板控制模塊與真空室內(nèi) 的擋板相連；具有控制程序的計(jì)算機(jī)，所述的數(shù)據(jù)采集卡接該計(jì)算機(jī)，所述的蒸發(fā)速率探測(cè) 器接計(jì)算機(jī)的串口。在鍍膜機(jī)內(nèi)，每一把電子槍各對(duì)應(yīng)一個(gè)所述的電子槍燈絲電壓調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；每一 塊相應(yīng)的擋板各對(duì)應(yīng)一個(gè)數(shù)字輸出口及相應(yīng)的擋板控制模塊。所述的數(shù)模轉(zhuǎn)換器、數(shù)字輸入口和數(shù)字輸出口是集成在所述的數(shù)據(jù)采集卡上的 三個(gè)獨(dú)立的功能部件，該數(shù)據(jù)采集卡與所述的控制程序的計(jì)算機(jī)相連。利用上述電子束蒸發(fā)速率自動(dòng)控制設(shè)備進(jìn)行電子束蒸發(fā)速率自動(dòng)控制的方法， 包括下列歩驟① 啟動(dòng)鍍膜機(jī)和程序控制的計(jì)算機(jī)并初始化，在所述的程序控制的計(jì)算機(jī)的輸 入窗口設(shè)定要鍍制的膜系及每一層膜的目標(biāo)速率、膜厚和對(duì)應(yīng)的電子槍；程序從膜 系的第一層膜開始載入各層膜的控制參數(shù)，并由此選擇控制對(duì)應(yīng)的電子槍和擋板；② 蒸發(fā)速率探測(cè)器通過(guò)置于鍍膜機(jī)真空室內(nèi)的晶振探頭測(cè)得即時(shí)蒸發(fā)速率并計(jì) 算膜厚，通過(guò)串口將即時(shí)蒸發(fā)速率和膜厚傳給程序控制的計(jì)算機(jī)并顯示，在默認(rèn)的 情況下計(jì)算機(jī)程序進(jìn)入開環(huán)工作，在開環(huán)的情況下由程序界面的手動(dòng)輸入來(lái)控制輸 出量，即控制電子槍燈絲的端電壓，在開環(huán)的情況下可進(jìn)行膜料的預(yù)融和預(yù)沉積， 所述的數(shù)字輸出口處于低電平，擋板關(guān)閉；③ 當(dāng)操作人員判斷可以打開擋板正式鍍膜時(shí)，操作人員通過(guò)給數(shù)字輸入口輸入 一個(gè)高低電平的切換量，由數(shù)字輸出口輸出高電平驅(qū)動(dòng)擋板控制模塊去打開擋板開 始鍍膜，所述的程序控制的計(jì)算機(jī)進(jìn)入閉環(huán)自動(dòng)反饋控制；④ 所述的程序控制的計(jì)算機(jī)從蒸發(fā)速率探測(cè)器獲得即時(shí)蒸發(fā)速率，并和用戶設(shè) 定的目標(biāo)蒸發(fā)速率相比較得誤差信號(hào)，該誤差信號(hào)經(jīng)PID算法計(jì)算得控制信號(hào)，該 控制信號(hào)經(jīng)所述的數(shù)模轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)變成模擬控制信號(hào)，所述的晶閘管智能調(diào)壓模塊的 控制端接收該模擬控制信號(hào)并根據(jù)該模擬控制信號(hào)調(diào)節(jié)輸出交流電壓的大小，該交 流電壓接在燈絲變壓器的原邊，實(shí)現(xiàn)對(duì)接在燈絲變壓器副邊的電子槍燈絲兩端的電 壓調(diào)節(jié)，從而控制蒸發(fā)速率；⑤ 如果該層膜厚度已到，則退出閉環(huán)切換到開環(huán)狀態(tài)，計(jì)算機(jī)通過(guò)數(shù)字輸出口 輸出低電平驅(qū)動(dòng)擋板控制模塊去關(guān)閉擋板，并將控制信號(hào)降為0并輸出；⑥ 同時(shí)判斷膜系是否鍍完，如果是則退出循環(huán)終止程序，否則程序載入下一層膜的控制參數(shù)，重復(fù)上述歩驟②、③、 、⑤，直至膜系鍍完。在鍍膜蒸發(fā)速率自動(dòng)控制的過(guò)程中如果出現(xiàn)意外，人們可以通過(guò)數(shù)字輸入口輸 入高低電平的切換量，告訴程序進(jìn)入開環(huán)狀態(tài)并關(guān)閉擋板，控制信號(hào)降為0并輸出。所述的程序控制計(jì)算機(jī)上運(yùn)行的程序核心是PID控制算法。該程序以一定的周 期從串口讀取所述的蒸發(fā)速率探測(cè)器測(cè)得的即時(shí)蒸發(fā)速率，與用戶在程序界面設(shè)定 的目標(biāo)速率相比較的誤差信號(hào)，該誤差信號(hào)經(jīng)PID算法計(jì)算得到實(shí)時(shí)控制信號(hào)。所述的燈絲電壓調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)依次由數(shù)模轉(zhuǎn)換器D/A、品閘管控制模塊及燈絲變壓 器構(gòu)成。該數(shù)模轉(zhuǎn)換器D/A與所述的程序控制的計(jì)算機(jī)相連接并將PID算法算得的 實(shí)時(shí)控制信號(hào)轉(zhuǎn)換成模擬控制信號(hào)并輸出。所述的晶閘管控制模塊的控制端接數(shù)模 轉(zhuǎn)換器D/A的輸出端，輸出端與燈絲變壓器的原邊相連，輸入端接入220V的交流電 壓。該晶閘管控制模塊根據(jù)控制端輸入的模擬控制信號(hào)調(diào)節(jié)輸出到燈絲變壓器原邊 的交流電壓大小，從而對(duì)接在燈絲變壓器副邊的電子槍燈絲端電壓實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)。本實(shí)用新型的技術(shù)效果本實(shí)用新型電子束蒸發(fā)速率控制設(shè)備引入了自動(dòng)反饋控制的思想，克服了人工 調(diào)節(jié)存在的經(jīng)驗(yàn)化、反應(yīng)慢、調(diào)節(jié)精度差的問(wèn)題，具有以下優(yōu)點(diǎn)1 、根據(jù)設(shè)定的膜層控制參數(shù)自動(dòng)選擇對(duì)應(yīng)的電子槍和擋板進(jìn)行速率自動(dòng)反饋控 制，無(wú)需人工調(diào)節(jié)。2、程序控制算法可根據(jù)實(shí)際的控制效果進(jìn)行修改或改進(jìn)，極具靈活性。4、能在程序運(yùn)行的過(guò)程中接受外界輸入高低電平開關(guān)量，進(jìn)行判斷，做出相應(yīng) 的響應(yīng)并輸出高低電平開關(guān)量。

圖1是本實(shí)用新型電子束蒸發(fā)速率自動(dòng)控制設(shè)備的實(shí)施例1的總體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型電子束蒸發(fā)速率自動(dòng)控制設(shè)備的實(shí)施例2的總體結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本實(shí)用新型計(jì)算機(jī)控制程序的主程序流程圖。圖4是并行的接受外界輸入并響應(yīng)輸出的從屬程序流程圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說(shuō)明，但不應(yīng)以此限制本實(shí)用新型的 保護(hù)范圍。請(qǐng)先參閱圖1，圖1是本實(shí)用新型電子槍蒸發(fā)速率自動(dòng)控制設(shè)備的實(shí)施例1的 整體結(jié)構(gòu)示意圖。由圖可見(jiàn)，本實(shí)用新型的電子槍蒸發(fā)速率自動(dòng)控制設(shè)備，包括蒸發(fā)速率探測(cè)器3，該蒸發(fā)速率探測(cè)器3的晶振探頭31置于電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的真空室9內(nèi)，以探測(cè)即時(shí)電子束蒸發(fā)速率； 數(shù)據(jù)采集卡2;電子槍燈絲電壓調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，由所述的數(shù)據(jù)采集卡2的數(shù)模轉(zhuǎn)換器21、晶閘管智 能調(diào)壓模塊4和電子槍燈絲變壓器5構(gòu)成，該數(shù)模轉(zhuǎn)換器21的輸出端接所述的晶 閘管智能調(diào)壓模塊4的控制端，該晶閘管智能調(diào)壓模塊4輸入端接220V交流電，其 輸出端接在所述的電子槍燈絲變壓器5的原邊，該電子槍燈絲變壓器5的副邊接所 述的電子槍燈絲7的兩端；開關(guān)量輸入輸出結(jié)構(gòu)，包括所述的數(shù)據(jù)采集卡2的數(shù)字輸入口 22和數(shù)字輸出 口 23，該數(shù)字輸入口 22接收外界的開關(guān)量輸入，該數(shù)字輸出口 23通過(guò)擋板控制模 塊6與真空室9內(nèi)的擋板8的控制端相連；一具有控制程序計(jì)算機(jī)l，所述的數(shù)據(jù)采集卡2接該計(jì)算機(jī)1，所述的蒸發(fā)速 率探測(cè)器3接計(jì)算機(jī)1的串口 11 。數(shù)據(jù)采集卡2包含3個(gè)獨(dú)立的功能部件數(shù)模轉(zhuǎn)換器D/A 21,數(shù)字輸入口 D/I 22，數(shù)字輸出口 D/0 23。蒸發(fā)速率探測(cè)器3通過(guò)置于鍍膜機(jī)真空室9內(nèi)的晶振頭 31以每秒10HZ的頻率探測(cè)到實(shí)時(shí)的蒸發(fā)速率并計(jì)算得膜厚，并通過(guò)計(jì)算機(jī)的串口 11將該蒸發(fā)速率和膜厚以數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)形式傳給計(jì)算機(jī)1。計(jì)算機(jī)1中的程序則相應(yīng)的 以每秒10HZ的頻率從串口 11讀取該數(shù)據(jù)進(jìn)行程序運(yùn)算并顯示。在一個(gè)循環(huán)周期中， 計(jì)算機(jī)1中的程序?qū)@得的蒸發(fā)速率數(shù)據(jù)與用戶在計(jì)算機(jī)程序面板上設(shè)定的目標(biāo)蒸 發(fā)速率相比較獲得誤差信號(hào)，該誤差信號(hào)經(jīng)PID算法計(jì)算得到一數(shù)字控制信號(hào)，該 數(shù)字控制信號(hào)通過(guò)數(shù)據(jù)采集卡2的數(shù)模轉(zhuǎn)換器21轉(zhuǎn)換輸出為模擬控制信號(hào)。本實(shí) 施例的數(shù)據(jù)采集卡2采用的是NI公司的pci-6221，其數(shù)模轉(zhuǎn)換器D/A 21的位數(shù)為 16位，轉(zhuǎn)換速度為833ks/s。數(shù)模轉(zhuǎn)換器D/A 21轉(zhuǎn)換輸出的模擬控制信號(hào)為電壓 信號(hào)，電壓范圍為0-10V，采用軟件定時(shí)，即每一次程序向其寫入數(shù)字控制信號(hào)就 立即轉(zhuǎn)換輸出為相應(yīng)的模擬控制信號(hào)。晶閘管智能控制模塊4的控制輸入端與數(shù)模 轉(zhuǎn)換器D/A21模擬輸出相接，其主電路輸入端接入220V的交流電，主電路輸出端 接在電子槍燈絲變壓器5的原邊。晶閘管智能控制模塊4根據(jù)控制輸入端輸入的模 擬控制信號(hào)在0-10V間變化，而在主電路輸出端正比地輸出0-220V的交流電壓。 該受計(jì)算機(jī)控制的0-220V的交流電壓接在燈絲變壓器5的原邊從而實(shí)現(xiàn)對(duì)接在燈 絲變壓器5副邊的電子槍燈絲7的調(diào)節(jié)與控制。圖2是本實(shí)用新型電子束蒸發(fā)速率自動(dòng)控制設(shè)備的實(shí)施例2的總體結(jié)構(gòu)示意 圖。實(shí)施例2是一種用于雙蒸發(fā)源的電子束蒸發(fā)速率自動(dòng)控制設(shè)備，鍍膜機(jī)的真空 室內(nèi)有第一電子槍燈絲71、第二電子槍燈絲72及相應(yīng)的第一擋板81和第二擋板 82,相應(yīng)的電子槍燈絲電壓調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)也有兩套由所述的數(shù)據(jù)采集卡2的數(shù)模轉(zhuǎn)換 器211、晶閘管智能調(diào)壓模塊41和電子槍燈絲變壓器51構(gòu)成第一電子槍燈絲71 的電壓調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，由由所述的數(shù)據(jù)采集卡2的數(shù)模轉(zhuǎn)換器212、晶閘管智能調(diào)壓模 塊42和電子槍燈絲變壓器52構(gòu)成第二電子槍燈絲72的電壓調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。該數(shù)模轉(zhuǎn)換器21的輸出端接所述的品閘管智能調(diào)壓模塊4的控制端，該晶閘 管智能調(diào)壓模塊4輸入端接220V交流電，其輸出端接在所述的電子槍燈絲變壓器5 的原邊，該電子槍燈絲變壓器5的副邊接所述的電子槍燈絲7的兩端；開關(guān)量輸入輸出結(jié)構(gòu)為對(duì)應(yīng)于第一擋板81，包括所述的數(shù)據(jù)采集卡2的數(shù)字 輸入口 22和數(shù)字輸出口 231，該數(shù)字輸入口 22接收外界的開關(guān)量輸入，該數(shù)字輸 出口 231通過(guò)第一擋板控制模塊61與真空室9內(nèi)的第一擋板81的控制端相連；對(duì) 應(yīng)于第堆二擋板82，包括所述的數(shù)據(jù)采集卡2的數(shù)字輸入口 22和數(shù)字輸出口 232,該數(shù)字輸入口 22接收外界的開關(guān)量輸入，該數(shù)字輸出口 232通過(guò)第二擋板控制模 塊62與真空室9內(nèi)的第二擋板82的控制端相連。一具有控制程序計(jì)算機(jī)1，所述的數(shù)據(jù)采集卡2接該計(jì)算機(jī)1，所述的蒸發(fā)速 率探測(cè)器3接計(jì)算機(jī)1的串口 11 。同理，本實(shí)用新型還可以擴(kuò)展為多蒸發(fā)源的電子束蒸發(fā)速率自動(dòng)控制設(shè)備和控 制方法，在此恕我不再贅述。因?yàn)橛?jì)算機(jī)l每獲得一個(gè)新的蒸發(fā)速率數(shù)據(jù)，就要輸出一個(gè)新的控制信號(hào)，故 計(jì)算機(jī)1中的程序每100ms循環(huán)一次(對(duì)應(yīng)于10HZ的蒸發(fā)速率采樣)。在一次循環(huán) 周期中主程序的流程圖如圖3所示。計(jì)算機(jī)1從串口 11讀取即時(shí)速率并顯示，在 默認(rèn)的情況下程序進(jìn)入開環(huán)，在丌環(huán)的情況下由程序界面的手動(dòng)輸入來(lái)控制輸出量 即控制電子槍燈絲端電壓。在開環(huán)的情況下可進(jìn)行膜料的預(yù)融和預(yù)沉積。當(dāng)操作人 員判斷可以打開擋板正式鍍膜時(shí)，可通過(guò)給數(shù)字輸入口D/1 22輸入一個(gè)TTL高低 電平的切換，此時(shí)程序能接受此外界的輸入并通過(guò)數(shù)字輸出口 D/0 23輸出高電平 來(lái)驅(qū)動(dòng)擋板控制模塊6去打開擋板8并在延遲一定的時(shí)間(如10s，視具體的鍍膜 機(jī)和膜料確定)后切換進(jìn)入閉環(huán)自動(dòng)反饋控制。在閉環(huán)自動(dòng)控制的循環(huán)流程中，程 序會(huì)判斷膜厚是否到了預(yù)定值，如果未到，則繼續(xù)進(jìn)行閉環(huán)控制計(jì)算誤差e,由 PID算法得控制信號(hào)并輸出。如果厚度已到，則退出閉環(huán)切換到開環(huán)狀態(tài)，通過(guò)數(shù) 字輸出口 D/0 23輸出低電平來(lái)驅(qū)動(dòng)擋板控制模塊6去關(guān)閉擋板8并將控制信號(hào)降 為0并輸出。此時(shí)判讀膜系是否鍍制完成，是的話退出循環(huán)終止程序，否則載入下 一層膜的控制參數(shù)并重復(fù)上述循環(huán)。在鍍膜蒸發(fā)速率自動(dòng)控制的過(guò)程中如果出現(xiàn)意 外也可以通過(guò)數(shù)字輸入口 D/0 22的TTL高低電平的切換，告訴程序進(jìn)入開環(huán)狀態(tài) 并關(guān)閉擋板8，控制信號(hào)降為0并輸出。在程序運(yùn)行的過(guò)程中，存在開環(huán)狀態(tài)和閉環(huán)狀態(tài)的選擇和切換以及擋板8的打 開與關(guān)閉。這些可通過(guò)數(shù)字輸入口 D/I 22、數(shù)字輸出口 D/0 23及擋板控制模塊6 來(lái)實(shí)現(xiàn)，其實(shí)現(xiàn)過(guò)程已在主程序的流程中說(shuō)明，相應(yīng)的并行運(yùn)行的附屬程序流程圖 如圖4所示。實(shí)驗(yàn)表明，本實(shí)用新型能夠以設(shè)定的蒸發(fā)速率要求對(duì)鍍膜過(guò)程中的電子束蒸發(fā) 速率進(jìn)行穩(wěn)定控制。整個(gè)設(shè)備在速度、精度和可靠性上大大提高，智能化程度也大 大提高。
權(quán)利要求1、一種用于電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的基于計(jì)算機(jī)的電子束蒸發(fā)速率的自動(dòng)控制設(shè)備，其特征在于該設(shè)備包括蒸發(fā)速率探測(cè)器(3)，該蒸發(fā)速率探測(cè)器(3)的晶振探頭(31)置于電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的真空室(9)內(nèi)，以探測(cè)電子束蒸發(fā)速率；數(shù)據(jù)采集卡(2)；電子槍燈絲電壓調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，由所述的數(shù)據(jù)采集卡(2)的數(shù)模轉(zhuǎn)換器(21)、晶閘管智能調(diào)壓模塊(4)和電子槍燈絲變壓器(5)構(gòu)成，該數(shù)模轉(zhuǎn)換器(21)的輸出端接所述的晶閘管智能調(diào)壓模塊(4)的控制端，該晶閘管智能調(diào)壓模塊(4)輸入端接220V交流電，其輸出端接在所述的電子槍燈絲變壓器(5)的原邊，該電子槍燈絲變壓器(5)的副邊接所述的電子槍燈絲(7)的兩端；開關(guān)量輸入輸出機(jī)構(gòu)，包括所述的數(shù)據(jù)采集卡(2)的數(shù)字輸入口(22)和數(shù)字輸出口(23)，該數(shù)字輸入口(22)接收外界的高低電平輸入，該數(shù)字輸出口(23)通過(guò)擋板控制模塊(6)與真空室(9)內(nèi)的擋板(8)相連；具有控制程序的計(jì)算機(jī)(1)，所述的數(shù)據(jù)采集卡(2)接該計(jì)算機(jī)(1)，所述的蒸發(fā)速率探測(cè)器(3)接計(jì)算機(jī)(1)的串口(11)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的電子束蒸發(fā)速率的自動(dòng)控制設(shè)備，其特征是在鍍膜機(jī) 內(nèi)，每一把電子槍各對(duì)應(yīng)一個(gè)所述的電子槍燈絲電壓調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；每一塊相應(yīng)的擋板 各對(duì)應(yīng)一個(gè)數(shù)字輸出口及相應(yīng)的擋板控制模塊。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的電子束蒸發(fā)速率的自動(dòng)控制設(shè)備，其特征在于所述的 數(shù)模轉(zhuǎn)換器(21)、數(shù)字輸入口 (22)和數(shù)字輸出口 (23)是集成在所述的數(shù)據(jù)采集 卡(2)上的三個(gè)獨(dú)立的功能部件。
專利摘要一種用于光學(xué)鍍膜機(jī)的基于計(jì)算機(jī)的電子束蒸發(fā)速率自動(dòng)控制設(shè)備，該設(shè)備包括蒸發(fā)速率探測(cè)部分、電子槍燈絲電壓調(diào)節(jié)部分、開關(guān)量輸入輸出部分以及一臺(tái)程序控制的計(jì)算機(jī)。該程序控制的計(jì)算機(jī)從速率探測(cè)器獲得即時(shí)蒸發(fā)速率，據(jù)此得一控制信號(hào)，該控制信號(hào)經(jīng)燈絲電壓調(diào)節(jié)部分輸出加載在燈絲兩端對(duì)蒸發(fā)功率進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)從而控制蒸發(fā)速率。在此過(guò)程中控制程序能接收外界的輸入并做出相應(yīng)的響應(yīng)。本實(shí)用新型能對(duì)電子槍的蒸發(fā)速率進(jìn)行自動(dòng)反饋控制，整個(gè)設(shè)備在速度、精度及可靠性上大大提高，也提高了智能化程度。
文檔編號(hào)C23C14/28GK201109795SQ200720076828
公開日2008年9月3日 申請(qǐng)日期2007年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月31日
發(fā)明者葵 易, 王善成, 郭世海 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所