專利名稱:拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種拋光機(jī),特別是涉及一種拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置。
背景技術(shù):
拋光機(jī)的工藝機(jī)理是形狀復(fù)制法,需要高精度的保持性良好的柏油拋光 膜(蠟板),而在拋光過程中膠盤面形的保持是其加工的關(guān)鍵,所以高精度的 拋光機(jī)必須配有校正板系統(tǒng)。通過有限元方法的計(jì)算,可以知道校正板的重 量產(chǎn)生的形變往往是很大的,在加工過程中,由于磨削作用,拋光膜的溫度 會隨著磨削而升高,當(dāng)校正板的重量壓在拋光膜上時(shí)會導(dǎo)致拋光膜的變形, 從而降低了拋光膜的精度,因此需要減輕校正板對拋光膜的壓力。
為了解決這些問題,過去工藝中使用的方法是在校正板上打孔,當(dāng)需要 轉(zhuǎn)移校正板或者使校正板方便清洗和存放時(shí),用螺釘從孔中穿過,固定鎖緊
后在另一端加上重錘,利用重錘的重力使校正板移動;同樣當(dāng)需要減輕校正 板對拋光膜的壓力時(shí),利用在另一端加重錘的方法,來控制拋光校正板對拋 光膜的壓力。在校正板上打孔不僅加大了校正板加工的難度,而且不利于操 作,也提高了清洗維護(hù)的難度;利用重錘的方法移動校正板,在操作時(shí)無法 確定精度,存在著自動化程度低,工作效率不高的問題。 發(fā)明內(nèi)容
針對上述缺陷,本實(shí)用新型提供的拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置,利用氣動裝 置自動提升校正板,可以精確控制校正板對拋光膜的壓力,提高了移動校正 板的精度和效率。
本實(shí)用新型提供的一種拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置,包括機(jī)架,固定在所述 機(jī)架上的提升套,所述提升套內(nèi)設(shè)置有提升軸,所述提升軸的上端與氣缸氣 連接,所述氣缸與氣源氣連接,所述提升軸的下端連接上述校正板。
優(yōu)選地,所述氣缸與氣源通過比例閥氣連接。
優(yōu)選地,所述提升軸的下端通過真空吸盤連接該校正板,所述真空吸盤 與真空發(fā)生器氣連接。
優(yōu)選地,所述真空吸盤通過旋轉(zhuǎn)接頭與該真空發(fā)生器氣連接。 優(yōu)選地,所述提升軸的上端通過桿端球接頭與氣缸氣連接。
優(yōu)選地,所述真空吸盤固定在吸盤座上,在所述吸盤座的上述提升軸中 心軸線位置上設(shè)置有可拆卸的定位軸,上述校正板的中心設(shè)置有圓形定位塊。 優(yōu)選地,所述真空吸盤通過球狀接頭固定在吸盤座上。 優(yōu)選地,在該裝置的氣路中安裝有壓力表。
優(yōu)選地,還包括與上述提升軸和真空吸盤氣連接的應(yīng)急儲氣包。 本實(shí)用新型提供的拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置,利用氣動裝置自動提升校正
板,可以精確控制校正板對拋光膜的壓力,也提高了移動校正板的精度和效率。
在本實(shí)用新型的優(yōu)選方案中,設(shè)置有應(yīng)急儲氣包,在整個(gè)系統(tǒng)停電停氣 后校正板自動抬起,通過手動操作使校正板安全落到校正板存放架上,使整 個(gè)系統(tǒng)更加安全和可靠。
綜上所述,本實(shí)用新型提供的拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置,可長期不間斷工 作,能夠精確實(shí)現(xiàn)校正板對拋光盤的卸荷功能,同時(shí)操作簡便、工作效率高、 安全可靠。
圖l是本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖; 圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的氣路示意圖。
具體實(shí)施方式
圖l是本實(shí)用新型具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖,下面結(jié)合圖l對本實(shí)用新 型實(shí)施例進(jìn)行介紹。
如圖l所示, 一種拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置,包括機(jī)架(l),固定在所述 機(jī)架(1)上的提升套(2),所述提升套(2)內(nèi)設(shè)置有提升軸(3),所述提 升軸(3)的上端通過桿端球接頭(4)與氣缸(5)氣連接,所述提升軸(3) 的下端通過真空吸盤(6)連接上述校正板(7),所述真空吸盤(6)通過旋 轉(zhuǎn)接頭(8 )與真空發(fā)生器氣連接,所述真空吸盤(6 )固定在吸盤座(9)上, 在所述吸盤座(9)的上述提升軸(3)中心軸線位置上設(shè)置有可拆卸的定位 軸(10),上述校正板(7)的中心設(shè)置有圓形定位塊(11)。
真空吸盤通過旋轉(zhuǎn)接頭與真空發(fā)生器相通,當(dāng)真空發(fā)生器工作時(shí),使每
個(gè)真空吸盤處于抽真空狀態(tài),保證吸盤牢牢吸住校正板。每個(gè)真空吸盤都配 有球狀接頭,保證其在浮動狀態(tài)下工作。吸盤座中心有一個(gè)可拆卸的定位軸, 保證其重復(fù)定位精度。
提升套和提升軸之間安裝了邊界潤滑軸承,配有旋轉(zhuǎn)軸承組可保證校正 板在工作中轉(zhuǎn)動自如。
機(jī)架由型材槽鋼、及鋼板焊接而成,支撐整個(gè)校正板減壓裝置,具有良 好的穩(wěn)定性和剛性。
圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的氣路示意圖。
氣源(1)經(jīng)兩聯(lián)件(2),由三通(3)分成兩路 一路連通常閉兩位三 通電磁閥(4)并控制真空發(fā)生器(5),真空發(fā)生器(5)再通過兩位三通電 磁閥(6)控制真空吸盤(7)對校正板進(jìn)行吸附;另 一路通過三通(3 )分成 兩路, 一路通過比例閥(8)接氣壓表(9),再通過一個(gè)長通動斷的兩位三通 電磁閥(10 )控制氣缸(11)下端進(jìn)氣氣壓的大小,(這一路通過比例閥(10 ) 來控制氣缸(11)氣壓,從而實(shí)現(xiàn)對校正板的減負(fù)控制,減負(fù)精度為1%,最 后可以完全提升到壓力為零,在其過程中,所設(shè)定的減負(fù)數(shù)值長時(shí)間不會變 化。)另一路則通過一個(gè)長斷動通的兩位三通電磁閥(12)控制氣缸(11)下 端進(jìn)氣。(這一路是用來實(shí)現(xiàn)氣缸(11)快速升降用的,因此,保持正常通氣 氣壓就可以了 。)
綜上所述,本實(shí)用新型提供的拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置,可長期不間斷工 作,能夠精確實(shí)現(xiàn)校正板對拋光盤的卸荷功能,同時(shí)操作簡便、工作效率高、 安全可靠。
權(quán)利要求1. 一種拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置,其特征在于,包括機(jī)架,固定在所述機(jī)架上的提升套,所述提升套內(nèi)設(shè)置有提升軸,所述提升軸的上端與氣缸氣連接,所述氣缸與氣源氣連接,所述提升軸的下端連接上述校正板。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置,其特征在于,所述氣 缸與氣源通過比例閥氣連接。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置,其特征在于,所述提 升軸的下端通過真空吸盤連接該校正板,所述真空吸盤與真空發(fā)生器氣連接。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置,其特征在于,所述真 空吸盤通過旋轉(zhuǎn)接頭與該真空發(fā)生器氣連接。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置,其特征在于,所述提 升軸的上端通過桿端球接頭與氣缸氣連接。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置,其特征在于,所述真 空吸盤固定在吸盤座上,在所述吸盤座的上述提升軸中心軸線位置上設(shè)置有可 拆卸的定位軸,上述校正板的中心設(shè)置有圓形定位塊。
7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置,其特征在于,所述真 空吸盤通過球狀接頭固定在吸盤座上。
8、 根據(jù)權(quán)利要求7所述的拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置,其特征在于,在該裝 置的氣路中安裝有壓力表。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置,其特征在于,還包括 與上述提升軸和真空吸盤氣連接的應(yīng)急儲氣包。
專利摘要本實(shí)用新型提供的拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置,其特征在于,包括機(jī)架,固定在所述機(jī)架上的提升套,所述提升套內(nèi)設(shè)置有提升軸,所述提升軸的上端與氣缸氣連接,所述氣缸與氣源氣連接,所述提升軸的下端連接上述校正板。本實(shí)用新型提供的拋光機(jī)校正板減負(fù)裝置,可長期不間斷工作,能夠精確實(shí)現(xiàn)校正板對拋光盤的卸荷功能,同時(shí)操作簡便、工作效率高、安全可靠。
文檔編號B24B29/00GK201079921SQ200720043139
公開日2008年7月2日 申請日期2007年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月10日
發(fā)明者劉民才, 吳學(xué)良, 楊李茗 申請人:南京利生光學(xué)機(jī)械有限責(zé)任公司