專(zhuān)利名稱(chēng)：靜電夾盤(pán)裝置的制作方法
靜電夾盤(pán)裝置
技術(shù)區(qū)域
本發(fā)明涉及一種靜電夾盤(pán)裝置，例如在液晶顯示器(LCD)或等離 子顯示器(PDP)等平板顯示器面板的制造過(guò)程中，利用于包括吸附保 持CF玻璃或TFT玻璃等玻璃制基板或合成樹(shù)脂制基板等的工件而貼 合的基板貼合機(jī)的基板組裝裝置，或搬送基板的基板搬送裝置，或加
工硅片等的工件的半導(dǎo)體制造裝置等。
具體而言，本發(fā)明涉及通過(guò)對(duì)與工件相對(duì)置而以面狀配置的電極
施加電壓，而靜電吸附工件的靜電夾盤(pán)裝置。
背景技術(shù)：
以往，在真空中將兩個(gè)基板重疊的基板貼合機(jī)中，利用靜電夾盤(pán) 保持基板，但是，近年來(lái)，隨著基板的大型化，難以制造大尺寸的靜 電夾盤(pán)，而且即使能夠制造也成為價(jià)格非常高的高價(jià)品。
因此，為了解決上述問(wèn)題，并為了對(duì)應(yīng)大型基板，存在排列配置 多個(gè)靜電夾盤(pán)的靜電夾盤(pán)裝置。
作為這種靜電夾盤(pán)裝置的一例，在可以吸附大型工件(被吸附體) 的面積的臺(tái)座(底板)上，將兩個(gè)以上的靜電夾盤(pán)接合而固定為同一平 面，同時(shí)，通過(guò)導(dǎo)通于各靜電夾盤(pán)的內(nèi)部電極的電極端子通過(guò)底板的 貫通孔，從臺(tái)座背側(cè)互相電配線，從而構(gòu)成靜電夾盤(pán)單元(例如，參照 專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1日本專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)亻_(kāi)2002-252274號(hào)/〉報(bào)(第1-6頁(yè)
發(fā)明內(nèi)容
在利用這種靜電夾盤(pán)裝置的液晶顯示器生產(chǎn)線等中，尤其在裝配
中，碎玻璃(碎片)等會(huì)搬運(yùn)到玻璃基板上，隨著與基板的靜電吸附， 通過(guò)將該碎玻璃夾入到靜電夾盤(pán)之間，從而有時(shí)候該靜電夾盤(pán)的膜面 部分地被破壞而引起故障。
若靜電夾盤(pán)的膜面哪怕是一部分被破壞，該靜電夾盤(pán)的整個(gè)功能 則停止，同時(shí)，露出施加高電壓的電極，所以，尤其，在如真空中貼 合機(jī)在接近于真空的狀態(tài)下使用時(shí)，在與金屬制臺(tái)座的接地部之間進(jìn) 行電弧放電或者在抽真空時(shí)的帕邢區(qū)域進(jìn)行等離子放電等有可能出 現(xiàn)發(fā)生過(guò)電流的不良情況。
對(duì)于這一點(diǎn)，在專(zhuān)利文獻(xiàn)l的情況下有如下問(wèn)題。其問(wèn)題為因 為配置有兩個(gè)以上的靜電夾盤(pán)，所以，可以使用除了膜面被破壞的靜 電夾盤(pán)以外的靜電夾盤(pán)，但是，膜面一部分被破壞的靜電夾盤(pán)不能在 現(xiàn)場(chǎng)修理，因此，為了防止上述放電，不得不交換膜面一部分被破壞 的靜電夾盤(pán)本身，從而成本上升，同時(shí)，由于該交換工作結(jié)束之前不 能重新開(kāi)始整個(gè)生產(chǎn)線的運(yùn)轉(zhuǎn)，所以運(yùn)轉(zhuǎn)率降低。
為了縮短交換這種靜電夾盤(pán)的時(shí)間，在設(shè)置場(chǎng)所附近必須總是預(yù) 先備有靜電夾盤(pán)的備件，從而存在著總成本變高的問(wèn)題。
本發(fā)明中，方案l所述的發(fā)明，其目的在于，以簡(jiǎn)單的處理在短 時(shí)間內(nèi)復(fù)原為可吸附工件。
方案2所述的發(fā)明，除方案1所述的發(fā)明的目的外，其目的在于， 容易地進(jìn)行各區(qū)域的切斷工作，同時(shí)，還防止由伴隨切斷工作產(chǎn)生的 裂口擴(kuò)散引起的電極的再次受害。
方案3所述的發(fā)明，除方案1或2所述的發(fā)明目的外，其目的 在于，比較不降低靜電吸附功能而確保供電部的占有空間。
方案4所述的發(fā)明，除方案l、 2或3所述的發(fā)明的目的外，其 目的在于，即使伴隨供電部的切斷處理部分地突出，也抑制對(duì)工件的 壞影響。
方案5所述的發(fā)明，除方案4所述的發(fā)明的目的外，其目的在 于，防止選擇性切斷部分和金屬臺(tái)座的放電。
方案6所述的發(fā)明，除方案l、 2、 3、 4或5所述的發(fā)明的目的
外，其目的在于，可以在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行簡(jiǎn)便且確切的密封處理，同時(shí)， 可以再使用密封構(gòu)件。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的方案1所述的發(fā)明，其特征在于， 在與工件平行的平面內(nèi)將電極分割成多個(gè)區(qū)域，在這些每個(gè)區(qū)域分別 設(shè)置獨(dú)立的電極圖案，同時(shí)，在每個(gè)區(qū)域分別設(shè)置向各電極圖案的供 電部，切斷任意的供電部，而部分地停止向配置于任意的區(qū)域的電極 圖案的供電。
方案2所述的發(fā)明，其特征在于，對(duì)方案1所述的發(fā)明的構(gòu)成另 加上，使上述多個(gè)供電部互相接近而排列，同時(shí)，在這些供電部附近 沿著該供電部形成裂縫的構(gòu)成。
方案3所述的發(fā)明，其特征在于，對(duì)方案1或2所述的發(fā)明的構(gòu) 成另加上，在與工件相對(duì)置并設(shè)置有電極圖案的靜電夾盤(pán)功能面的外 側(cè)區(qū)域上配置上述多個(gè)供電部的構(gòu)成。
方案4所述的發(fā)明，其特征在于，對(duì)方案l、 2或3所述的發(fā)明 的構(gòu)成另加上，在與上述供電部相對(duì)置的臺(tái)座上形成凹部的構(gòu)成。
方案5所述的發(fā)明，其特征在于，對(duì)方案4所述的發(fā)明的構(gòu)成另 加上，在臺(tái)座的凹部?jī)?nèi)密封上述供電部的選擇性切斷部分的構(gòu)成。
方案6所述的發(fā)明，其特征在于，對(duì)方案l、 2、 3、 4或5所述 的發(fā)明的構(gòu)成另加上，以圍繞上述供電部的選擇性切斷部分的方式配 置環(huán)狀密封材并進(jìn)行密封的構(gòu)成。
本發(fā)明中的方案1所述的發(fā)明，在與工件平行的平面內(nèi)將電極分 割成多個(gè)區(qū)域，在這些每個(gè)區(qū)域分別設(shè)置獨(dú)立的電極圖案，同時(shí)，在 每個(gè)區(qū)域分別設(shè)置對(duì)各電極圖案的供電部，切斷任意的供電部，而部 分地停止向配置于任意的區(qū)域的電極圖案的供電，從而在多個(gè)區(qū)域中 即使一部分膜面被破壞，雖然該被破壞的區(qū)域內(nèi)的電極圖案不作為靜 電夾盤(pán)選擇性地起作用，但是其外的區(qū)域的電極圖案仍作為靜電夾盤(pán) 起作用。
從而，以簡(jiǎn)單的處理在短時(shí)間內(nèi)能夠復(fù)原為可吸附工件。 其結(jié)果，與為了防止由膜面破壞而導(dǎo)致的放電必須交換膜面被破
壞的靜電夾盤(pán)本身的以往的靜電夾盤(pán)相比，即使膜面的一部分被破 壞，也不需要為了防止放電而交換整個(gè)其靜電夾盤(pán)，所以，不但可以 進(jìn)行數(shù)次修補(bǔ)，而且可以降低總成本，同時(shí)，也可以降低靜電夾盤(pán)的 備件的備有數(shù)。
尤其，在液晶顯示器生產(chǎn)線等使用本發(fā)明的靜電夾盤(pán)裝置時(shí)，即
使膜面的一部分祐:j波壞，也可以確切地防止放電，同時(shí)，在短時(shí)間內(nèi) 重新開(kāi)始整個(gè)生產(chǎn)線的運(yùn)轉(zhuǎn)，所以不降低運(yùn)轉(zhuǎn)率，而可以期待穩(wěn)定的 生產(chǎn)量。
方案2的發(fā)明，除方案1所述的發(fā)明的效果外，通過(guò)使多個(gè)供電
部互相接近而排列，同時(shí)，在這些供電部的附近沿著該供電部形成裂 縫，若從裂縫插入刀具或剪子等刃具，則可以切斷所瞄準(zhǔn)的供電部的 一個(gè)，同時(shí)，不會(huì)從其切斷邊緣在構(gòu)成電極的薄膜等發(fā)生裂口。
因此，容易進(jìn)行各區(qū)域的切斷工作，同時(shí)，可以防止由伴隨切斷 工作產(chǎn)生的裂口擴(kuò)散引起的電極的再次受害。
方案3的發(fā)明，在方案1或2所述的發(fā)明外，通過(guò)在與工件相對(duì) 置并設(shè)置電極圖案的靜電夾盤(pán)功能面的外側(cè)區(qū)域上配置多個(gè)供電部， 從而為了確保供電部的空間不進(jìn)入靜電夾盤(pán)功能面的區(qū)域內(nèi)，而可以 確保寬廣的吸附區(qū)域的有效面積。
因此，比較不降低靜電吸附功能，而可以確保供電部的占有空間。
方案4所述的發(fā)明，除方案l、 2或3所述的發(fā)明的效果外，通 過(guò)在與供電部相對(duì)置的臺(tái)座上形成凹部，即使因供電部的切斷而該供 電部的切斷部分成為向工件以凸?fàn)钔怀龅男螤睿诠ぜ撵o電吸附時(shí) 該切斷凸?fàn)畈恳策M(jìn)入上述凹部?jī)?nèi)，對(duì)工件不會(huì)部分地壓接。
因此，即使伴隨供電部的切斷處理而部分地突出，也可以抑制對(duì) 工件的壞影響。
方案5的發(fā)明，除方案4的發(fā)明的效果外，通過(guò)在臺(tái)座的凹部?jī)?nèi) 密封供電部的選擇性切斷部分，從而供電部的選擇性切斷部分不露 出。
因此，可以防止選擇性切斷部分和金屬臺(tái)座之間的放電。
方案6的發(fā)明，在方案l、 2、 3、 4或5的發(fā)明的效果外，以圍 繞供電部的選擇性切斷部分的方式配置環(huán)狀密封材并進(jìn)行密封，從而 經(jīng)環(huán)狀密封材遮斷切斷部分和其外部氣氛(環(huán)境)。
因此，在短時(shí)間內(nèi)可以進(jìn)行簡(jiǎn)便且確切的密封處理，同時(shí)，可以 再使用密封構(gòu)件。


圖1為表示本發(fā)明的靜電夾盤(pán)裝置的實(shí)施例1的橫截正面圖2為部分放大圖1的主要部分的橫截正面圖3為沿著圖2的(3)-(3)線的放大縱剖側(cè)面圖，(a)表示正常時(shí)，
(b)表示供電停止時(shí)；
圖4為表示本發(fā)明的靜電夾盤(pán)裝置的實(shí)施例2的橫截正面圖； 圖5為部分放大主要部分的縱剖側(cè)面圖，(a)表示正常時(shí)，(b)表
示供電停止時(shí)；
圖6為表示部分放大本發(fā)明的靜電夾盤(pán)裝置的實(shí)施例3的縱剖側(cè) 面圖，表示供電停止時(shí)；
圖7為部分放大主要部分的橫截仰視圖。 (附圖標(biāo)記說(shuō)明)
A...靜電夾盤(pán)裝置
1 ".電極
la...區(qū)域
lc...供電部
ld...裂縫
3".臺(tái)座
3b…凹部
3d…側(cè)面
4a、 4b…塊
5 .。.覆蓋材
ll...保持板
W…工件
l'...靜電夾盤(pán)功能面 lb...電極圖案 lc'...切斷部分 2 ...電介質(zhì)層 3a…背面 3c".表面 4 ...絕緣體 4c."締結(jié)構(gòu)件 6...環(huán)狀密封材 lla...基板側(cè)表面
具體實(shí)施例方式
表示本發(fā)明的靜電夾盤(pán)裝置A配置在基板貼合機(jī)的情況，該基 板貼合機(jī)靜電吸附作為工件W的液晶顯示器(LCD)面板等的玻璃基 板而貼合。
該基板貼合機(jī)，使作為工件W的兩個(gè)基板分別保持在上下一對(duì) 配置的保持板ll的相對(duì)置面，劃分形成于其周?chē)拿荛]空間(未圖示)
內(nèi)達(dá)到規(guī)定的真空度后，將上下保持板相對(duì)地向XYe方向調(diào)整移動(dòng)，
進(jìn)行基板彼此間的定位。之后，從上保持板強(qiáng)制剝離上基板，向下基 板上的環(huán)狀粘接劑或密封材(未圖示)瞬間壓接，從而密封兩者間并疊 合后，用在兩個(gè)基板的內(nèi)外發(fā)生的氣壓差，將兩個(gè)基板之間加壓至規(guī) 定的間隙，從而完成貼合工序。
而且，在上述保持板11的基板側(cè)上，其整體上配置本發(fā)明的靜
電夾盤(pán)裝置A，或者將多個(gè)靜電夾盤(pán)裝置A互相接合且以并列狀配置 以便各吸附面成為同一平面，從而即使為大型的工件(基板)W也能夠 確切地吸附保持。
本發(fā)明的靜電夾盤(pán)裝置A為，如圖1~圖5所示，由與工件W 相對(duì)置并形成為面狀的電極1、層疊于該電極1的電介質(zhì)層2、和沿 著這些設(shè)置于與工件W相反側(cè)的臺(tái)座3構(gòu)成的薄膜狀或板狀的疊層 結(jié)構(gòu)體，相對(duì)于上述保持板11的基板側(cè)表面lla將該臺(tái)座3的背面 3a裝卸自由地裝配。
上述電介質(zhì)層2為，例如由聚酰亞胺、聚醚醚酮(PEEK)、聚萘 二甲酸乙二醇酯(PEN)等的工程塑料構(gòu)成的可彈性變形的絕緣性有機(jī) 材料，形成為2層或3層以上或一層的薄膜狀，或者由例如入1203、 SiC、 A1N、 Zr203等的陶瓷或其外的無(wú)機(jī)材料等形成為薄板狀，并且 只粘接在形成為面狀的電極1的兩面或工件側(cè)表面而層疊。
在上述電極1的工件側(cè)表面層疊聚酰亞胺或PEEK等的有機(jī)材 料制的電介質(zhì)層2時(shí)，有電氣特性?xún)?yōu)秀的優(yōu)點(diǎn)。而且，層疊陶乾制的 電介質(zhì)層2時(shí)，該電介質(zhì)層2本身變硬，從而有即使碎玻璃(碎片)等
硬異物夾入到與工件W之間時(shí)也不容易損傷電介質(zhì)層2的優(yōu)點(diǎn)。
而且，上述電介質(zhì)層2的背面或電極l的背面和臺(tái)座3，可以?shī)A 著粘接材或粘接劑等的粘接層(未圖示)而 一體貼附。
而且，如圖1及圖4所示，上述電極l在與工件W平行的平面 內(nèi)分割成多個(gè)區(qū)域la，在這些每個(gè)區(qū)域la分別設(shè)置獨(dú)立的電極圖案 lb，同時(shí)，在每個(gè)區(qū)域la分別設(shè)置以便獨(dú)立控制對(duì)各電極圖案lb的 供電的供電部lc，通過(guò)用后述的切斷辦法切斷處理任意的供電部lc， 從而部分停止向配置于任意的區(qū)域la的電極圖案lb的供電。
如圖1所示，這些多個(gè)供電部lc配置于與上述工件W相對(duì)置并 設(shè)置電極圖案lb的靜電夾盤(pán)功能面l'的內(nèi)側(cè)區(qū)域，或者如圖4所示， 配置于靜電夾盤(pán)功能面l'的外側(cè)區(qū)域，同時(shí)，如圖示例，多個(gè)供電部 lc中分別集中區(qū)域la接近的供電部lc而分別分散配置在各區(qū)域la 附近的多個(gè)部位，或者將所有的供電部lc集中配置在規(guī)定部位為宜。
如此，集中多個(gè)供電部lc而配置時(shí)，如圖2所示，使多個(gè)供電 部lc互相接近而大致平行地排列，同時(shí)，在這些供電部lc的附近以 及層疊于其的上述電介質(zhì)層2上，沿著該供電部lc預(yù)先切開(kāi)形成大 致平行的適當(dāng)長(zhǎng)度的裂縫(裂口)ld，從而在以后的工程，可以對(duì)于各 裂縫ld插入例如刀具或剪子等刃具(未圖示)，同時(shí)，利用該刃具只對(duì) 任意的供電部lc可進(jìn)行選擇性切斷處理。
圖示例中，在大致平行排列的供電部lc之間大致平行地切開(kāi)形 成多個(gè)裂縫(裂口)ld。
如圖3或圖5所示，通過(guò)把上述多個(gè)供電部lc的背面?zhèn)纫约半?極圖案lb的背面?zhèn)葮?gòu)成為，經(jīng)上述電介質(zhì)層2或粘接層與臺(tái)座3相 對(duì)置，在與各供電部lc相對(duì)置的位置上形成有凹部3b,即使由所述 的選擇性切斷處理使任意的供電部lc的切斷部分lc'成為向工件W以 凸?fàn)钔怀龅男螤睿陟o電吸附工件W時(shí)，也使該切斷凸?fàn)畈窟M(jìn)入到 上述凹部3b內(nèi)，從而對(duì)于工件W切斷凸?fàn)畈颗c其他部分相比，部分 地不強(qiáng)力壓接。
而且，上述臺(tái)座3，例如由鋁等金屬或其外的導(dǎo)電材料形成時(shí)，
經(jīng)過(guò)由絕緣性材料構(gòu)成的絕緣體4，利用所述的切斷處理對(duì)選擇性地 切斷的任意的供電部le的切斷部分lc'進(jìn)行密封處理，從而防止施加 高電壓的切斷部分lc'露出，而不會(huì)發(fā)生r等離子放電J或r電弧放 電J等的現(xiàn)象。
以下，參照附圖，說(shuō)明本發(fā)明的各實(shí)施例。
實(shí)施例1
如圖1 ~圖3所示，該實(shí)施例1表示，上述電極圖案lb為具有+ 極的電極和-極的電極的雙極型靜電夾盤(pán)，將這些+極和-極的電極圖案 lb插入密封在由聚酰亞胺或聚醚醚酮(PEEK)等的工程塑料構(gòu)成的電 介質(zhì)層2之間，同時(shí)，在靜電夾盤(pán)功能面l'的內(nèi)側(cè)區(qū)域上分散配置上 述多個(gè)供電部lc，從而構(gòu)成一體結(jié)構(gòu)的靜電夾盤(pán)薄膜，而且將該靜電 夾盤(pán)薄膜粘接在金屬制的臺(tái)座3上，凹部3b形成于臺(tái)座3的表面3c， 以便與上述供電部lc相對(duì)置的情況。
在圖示例中，上述區(qū)域la為矩形狀，上述電極圖案lb的+極和 -極在同一平面上分別形成為互相嵌合的梳齒狀，例如配置成，在約 500mmx300mm的區(qū)域la上一對(duì)電極圖案lb互相嵌合。
而且，作為圖示例以外的電極結(jié)構(gòu)，也可以使用例如如在日本專(zhuān) 利申請(qǐng)?zhí)亻_(kāi)2005-64105號(hào)公報(bào)公開(kāi)，夾著由聚酰亞胺薄膜等的絕緣性 材料構(gòu)成的電介質(zhì)層(絕緣層)，沿著其兩面層疊第1電極圖案和第2 電極圖案，同時(shí)，由聚酰亞胺薄膜等的電介質(zhì)層(絕緣性薄膜)覆蓋這 些兩電極圖案的表面的靜電夾盤(pán)或單極型的靜電夾盤(pán)。
而且，在圖示例中，將配置于以一列排列的三個(gè)區(qū)域la上的電 極圖案lb的+極和-極分別集中為一組，而構(gòu)成供電部lc,將這些成 組的供電部lc分散配置在劃分形成于各電極圖案lb之間的空間。
其次，對(duì)這種靜電夾盤(pán)裝置A的切斷辦法進(jìn)行說(shuō)明。
在靜電吸附基板等的工件W時(shí)，例如由于將碎玻璃(碎片)夾入 到與靜電夾盤(pán)裝置A的靜電夾盤(pán)功能面l'之間，因此，若相當(dāng)于該靜 電夾盤(pán)功能面l'的膜面的電介質(zhì)層2和配置于特定部位的區(qū)域la的 電極圖案lb部分地^皮破壞而發(fā)生故障，則由于過(guò)電流而在對(duì)應(yīng)于該
電極圖案lb的區(qū)域la上其它靜電吸附區(qū)域也不起作用，因此進(jìn)行與 該破壞的區(qū)域la的電極圖案lb連通的供電部lc的切斷處理，而部 分停止向該電極圖案lb的供電。
更詳細(xì)而言，如圖2所示，從夾著被破壞的區(qū)域la的供電部lc 而配置的兩個(gè)裂縫Id的任一方，向另一方插入例如刀具或剪子等刃 具，則可以只對(duì)瞄準(zhǔn)的供電部lc選擇性地、簡(jiǎn)單地進(jìn)行切斷。
進(jìn)行了該選擇性切斷處理的供電部lc的切斷部分lc'，有可能成 為向工件w突出的形狀，同時(shí)，存在著切斷后的電線露出而接觸于 外空氣的可能性，所以，如圖3(a)(b)所示，將該供電部lc的切斷部 分lc'壓入到臺(tái)座3的凹部3b內(nèi)后，經(jīng)過(guò)由絕緣性材料構(gòu)成的絕緣體 4進(jìn)行密封處理。
而且，作為該密封例，將絕緣體4層疊在該凹部3b內(nèi)底面，在 該絕緣體4上，通過(guò)絕緣性粘接劑等的覆蓋材5進(jìn)行鑄模處理而密封 固定已被切斷處理的供電部lc的切斷部分lc'，就可以簡(jiǎn)單地進(jìn)行密 封處理。
而且，進(jìn)行該選擇性切斷處理的同時(shí)或者在其前后，除去夾入的 碎玻璃，且將破壞的電介質(zhì)層2的表面研磨而平坦化，則以后可以繼 續(xù)使用。
根據(jù)這種選擇性切斷處理，被破壞的區(qū)域la內(nèi)的電極圖案lb 不作為靜電夾盤(pán)起作用，可是，因?yàn)槠渫獾膮^(qū)域la的電極圖案lb作 為靜電夾盤(pán)起作用，并以后也可以繼續(xù)使用，所以，能夠以簡(jiǎn)單的切 斷處理工作在短時(shí)間內(nèi)復(fù)原為可吸附工件W。
這時(shí)，通過(guò)增加區(qū)域la的分割數(shù)，可以減少在一部分因破損等 發(fā)生故障時(shí)使靜電吸附不起作用的區(qū)域，但是，在同一層內(nèi)的雙極電 極圖案時(shí)，因?yàn)樾枰獮榱藢⑴渚€從電極圖案lb布置到供電部lc的配 線空間及確保供電部lc的空間，所以若區(qū)域la的分割數(shù)多，則相對(duì) 于靜電夾盤(pán)功能面l'的區(qū)域，從原來(lái)不作為靜電夾盤(pán)起作用的電極圖 案lb到供電部lc的配線空間和供電部lc的占有空間比率也增加， 從而減少吸附區(qū)域的有效面積。由此靜電吸附功能降低，因此要求最佳的分割數(shù)。
而且，在同一層內(nèi)只施加單一電位的單極結(jié)構(gòu)或雙極且將各層分 成為各個(gè)層的情況下，從電極圖案lb到供電部lC的配線布置空間也 可以作為對(duì)靜電吸附有效的空間所利用，所以可以不縮小吸附的有效 面積而進(jìn)行分割。
而且，因?yàn)閷⒘芽pId預(yù)先放入在電介質(zhì)層2，所以具有可以防 止從由選擇性切斷處理引起的切斷端的裂口向其他供電部lc或區(qū)域 la的電介質(zhì)層2擴(kuò)散的再次受害的作用。
而且，在圖示例中，與在該凹部3b的絕緣體4上被鑄模處理的 絕緣性粘接劑等的覆蓋材5 —起廢棄被破壞的靜電夾盤(pán)薄膜，并交換 為新的靜電夾盤(pán)薄膜，則臺(tái)座3可以再利用，從而與交換包括臺(tái)座3 的整個(gè)靜電夾盤(pán)裝置A的以往技術(shù)相比可以降低成本。
實(shí)施例2
該實(shí)施例2，如圖4~圖5所示，將上述多個(gè)供電部lc，分散配 置在與工件W相對(duì)置并設(shè)置有電極圖案lb的靜電夾盤(pán)功能面l'的外 側(cè)區(qū)域，從而構(gòu)成可以彎曲的一體結(jié)構(gòu)的靜電夾盤(pán)薄膜，而且將這些 向外側(cè)突出的供電部lc沿著臺(tái)座3的側(cè)面3d折曲而粘接固定，或者 以到達(dá)該臺(tái)座3的背面3a的方式折曲并粘接固定，而在這些臺(tái)座3 的側(cè)面3d或背面3a上形成凹部3b，從而密封處理已被切斷的供電部 lc的切斷部分lc'的構(gòu)成，不同于上述圖1~圖3所示的實(shí)施例1，其 外的構(gòu)成與圖1~圖3所示的實(shí)施例l相同。
因此，在圖4~圖5所示的實(shí)施例2,可獲得與上述的實(shí)施例1 相同的作用效果，而且需要確保為了將配線從電極圖案lb布置到供 電部lc的配線空間這點(diǎn)沒(méi)有變化，但是，因?yàn)椴恍枰糜诖_保供電 部lc的空間，所以即使增加區(qū)域la的分割數(shù)，相對(duì)于靜電夾盤(pán)功能 面l'的區(qū)域，也只增加從原來(lái)不作為靜電夾盤(pán)起作用的電極圖案lb 到供電部lc的配線空間，從而，可以確保比實(shí)施例1的更寬闊的吸 附區(qū)域的有效面積。
其結(jié)果，其優(yōu)點(diǎn)為增加區(qū)域la的分割數(shù)而減少不起靜電吸附
作用的區(qū)域時(shí)，不要求比上述圖1~圖3所示的實(shí)施例1更合適的分 割數(shù)，從而容易對(duì)應(yīng)的同時(shí)，比較不降低靜電吸附功能而可以確保供 電部lc的占有空間。
而且，實(shí)施例2的靜電夾盤(pán)裝置A配置在基板貼合機(jī)的情況下， 其中該基板貼合機(jī)靜電吸附作為工件W的液晶顯示器面板等的玻璃 基板并加壓貼合，在臺(tái)座3的表面3c上沒(méi)有形成凹部3b，所以，具 有在貼合玻璃基板時(shí)完全沒(méi)有加壓不均勻的可能性的有利之處。
實(shí)施例3
該實(shí)施例3的結(jié)構(gòu)，如圖6~圖7所示，對(duì)于上述多個(gè)供電部lc 被分散配置在靜電夾盤(pán)功能面l'的外側(cè)區(qū)域的可以彎曲的靜電夾盤(pán) 薄膜，使這些供電部lc沿著臺(tái)座3的側(cè)面3d或背面3a折彎而粘接 固定，而且，將在這些側(cè)面3d或背面3a上與上述供電部lc相對(duì)置 而形成的凹部3b，形成為開(kāi)閉自由的密封結(jié)構(gòu)，并在其內(nèi)部放入被切 斷的供電部lc的切斷部分lc'而密封處理，不同于上述圖1 ~圖3所 示的實(shí)施例1以及圖4~圖5所示的實(shí)施例2，其外的構(gòu)成與在圖1~ 圖3所示的實(shí)施例1以及在圖4~圖5所示的實(shí)施例2相同。
在圖示例中，臺(tái)座3為金屬制，在其凹部3b內(nèi)作為由上迷絕緣 性材料構(gòu)成的絕緣體4配置開(kāi)閉自由的塊4a、 4b，同時(shí)，在這些塊 4a、 4b內(nèi)放入被切斷的供電部lc的切斷部分lc'，以將其包圍的方式 例如利用0環(huán)等的環(huán)狀密封材6密封固定。
而且，夾著上述供電部lc在其兩側(cè)和塊4a、 4b之間各配置一個(gè) 0環(huán)等的環(huán)狀密封材6，但是根據(jù)實(shí)驗(yàn)，只用任一個(gè)環(huán)狀密封材6也 可以密封。
而且，塊4a、 4b并不限定于圖示的形狀，還可以變更為其他的 形狀。并且將這些塊4a、 4b利用螺絲等的締結(jié)構(gòu)件4c裝卸自由地連 結(jié)，但是還可以利用其他種類(lèi)的連結(jié)。
而且，在圖6~圖7所示的實(shí)施例3具有以下優(yōu)點(diǎn)。其優(yōu)點(diǎn)為 可以獲得與所述的實(shí)施例1及實(shí)施例2相同的作用效果，而且，與實(shí) 施例l或?qū)嵤├?所示的利用絕緣性粘接劑等的覆蓋材5的供電部lc
的切斷部分lc'的鑄模處理相比，可以在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行簡(jiǎn)便且確切的 密封處理，同時(shí)，可以再使用密封構(gòu)件。
而且，表示了本發(fā)明的靜電夾盤(pán)裝置配置于基板貼合機(jī)的情況， 但并不限定于此，配置在該基板貼合機(jī)以外的基板組裝裝置或搬送基
板的基板搬送裝置，或者靜電吸附LCD面板用玻璃基板以外的基板 并保持也可以。
而且，說(shuō)明了作為工件W在真空中貼合上下一對(duì)基板的基板貼 合機(jī)，但并不限定于此，在大氣中貼合上下一對(duì)基板的基板貼合機(jī)也 可以，此時(shí)，也可以獲得與上述的真空貼合機(jī)相同的作用效果。
而且，在上述實(shí)施例表示了上述區(qū)域la為矩形狀的情況，但并 不限定于此，扇狀或同心圓狀等圖示例以外的形狀也可以。此時(shí)，也 可以獲得與上述實(shí)施例1及實(shí)施例2相同的作用效果。
而且，表示了集中多個(gè)供電部lc或整個(gè)供電部lc而配置的情況， 但并不限定于此，還可以使整個(gè)供電部lc分別分散在適當(dāng)?shù)牟课欢?配置。
而且，表示了將上述電極圖案lb插入密封在由聚酰亞胺或聚醚 醚酮(PEEK)等的絕緣性有機(jī)材料構(gòu)成的電介質(zhì)層2之間的情況，但并 不限定于此，只在電極圖案lb的工件側(cè)表面層疊由有機(jī)材料構(gòu)成的 電介質(zhì)層2,且在背面?zhèn)葘盈B由無(wú)機(jī)材料構(gòu)成的電介質(zhì)層2，或者層 疊其外的絕緣性有機(jī)材料或由其他材質(zhì)構(gòu)成的絕緣層，或者在電極圖 案lb的工件側(cè)表面也層疊由無(wú)機(jī)材料構(gòu)成的電介質(zhì)層2也可以。
權(quán)利要求
1.一種靜電夾盤(pán)裝置，通過(guò)對(duì)與工件(W)相對(duì)并置以面狀配置的電極(1)施加電壓，而靜電吸附工件(W)，其特征在于在與工件(W)平行的平面內(nèi)將上述電極(1)分割成多個(gè)區(qū)域(1a)，在這些每個(gè)區(qū)域(1a)分別設(shè)置獨(dú)立的電極圖案(1b)，同時(shí)在每個(gè)區(qū)域(1a)分別設(shè)置對(duì)各電極圖案(1b)的供電部(1c)，切斷任意的供電部(1c)，而部分地停止向配置于任意的區(qū)域(1a)的電極圖案(1b)的供電。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電夾盤(pán)裝置，其特征在于使上述 多個(gè)供電部(lc)互相接近而排列的同時(shí)，在這些供電部(lc)附近沿著該 供電部(lc)形成裂縫(ld)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的靜電夾盤(pán)裝置，其特征在于在 與工件(W)相對(duì)置并設(shè)有電極圖案(lb)的靜電夾盤(pán)功能面(l')的外側(cè)區(qū) 域上配置上述多個(gè)供電部(lc)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l、 2或3所述的靜電夾盤(pán)裝置，其特征在于 在與上述供電部(lc)相對(duì)置的臺(tái)座(3)上形成凹部(3b)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的靜電夾盤(pán)裝置，其特征在于在臺(tái)座 (3)的凹部(3b)內(nèi)密封上述供電部(lc)的選擇性切斷部分(lc')。
6，根據(jù)權(quán)利要求l、 2、 3、 4或5所述的靜電夾盤(pán)裝置，其特征 在于以圍繞上述供電部(lc)的選擇性切斷部分(lc')的方式配置環(huán)狀 密封材(6)并進(jìn)行密封。
全文摘要
本發(fā)明提供一種靜電夾盤(pán)裝置，以簡(jiǎn)單的處理在短時(shí)間內(nèi)復(fù)原為可吸附工件。本發(fā)明在與工件(W)平行的平面內(nèi)將電極(1)分割成多個(gè)區(qū)域(1a)，在這些每個(gè)區(qū)域(1a)分別設(shè)置獨(dú)立的電極圖案(1b)，同時(shí)，在每個(gè)區(qū)域(1a)分別設(shè)置向各電極圖案(1b)的供電部(1c)，切斷任意的供電部(1c)，而部分地停止向配置于任意區(qū)域(1a)的電極圖案(1b)的供電。從而，即使為多個(gè)區(qū)域(1a)中的一部分膜面被破壞的情況，也雖然該破壞的區(qū)域(1a)內(nèi)的電極圖案(1b)不作為靜電夾盤(pán)選擇性地起作用，但是其外的區(qū)域(1a)的電極圖案(1b)仍作為靜電夾盤(pán)起作用。
文檔編號(hào)B24B41/06GK101167174SQ20058004960
公開(kāi)日2008年4月23日 申請(qǐng)日期2005年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月28日
發(fā)明者大谷義和 申請(qǐng)人:信越工程株式會(huì)社