專利名稱：一種用于坩堝蒸發(fā)器的坩堝電源的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于坩堝蒸發(fā)器的坩堝電源，特別地涉及離子注入機(jī)，屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造過(guò)程的離子注入工藝中，要求離子注入機(jī)設(shè)備不但能使用氣體注入B、P、As等離子，還要求能注入Sb、In等重金屬離子，而Sb、In等重金屬元素不能通過(guò)氣態(tài)化合物分子直接送氣，只能使用鹵化物固體氣化工作，這樣就必須使用固體坩鍋蒸發(fā)器。在整個(gè)過(guò)程中，坩鍋蒸發(fā)器加熱溫度的控制直接決定著固體離子源能否穩(wěn)定可靠地工作，而其加熱溫度又由坩堝電源控制決定，因而設(shè)計(jì)一種性能優(yōu)良的的坩鍋蒸發(fā)器的坩鍋電源是必要的，然而目前國(guó)內(nèi)各研發(fā)生產(chǎn)廠家所生產(chǎn)使用的坩鍋電源存在或者結(jié)構(gòu)過(guò)于復(fù)雜、或者溫度控制性能不夠理想等缺點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型即是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的現(xiàn)狀而提出的一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可靠性高的用于坩堝蒸發(fā)器的坩堝電源。
本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)一種用于坩堝蒸發(fā)器的坩堝電源，包括有主控計(jì)算機(jī)、光纖通信控制器、溫度控制器、坩堝蒸發(fā)器、調(diào)功計(jì)，所述的主控計(jì)算機(jī)通過(guò)光纖、光纖通信控制器與溫度控制器連接；所述的溫度控制器與坩堝蒸發(fā)器連接，用于坩堝溫度的監(jiān)控；所述的溫度控制器還與調(diào)功計(jì)連接，用于控制調(diào)功計(jì)的導(dǎo)通相角；所述的調(diào)功計(jì)還與坩堝蒸發(fā)器連接，用于控制坩堝蒸發(fā)器的溫度。
所述的溫度控制器為熱電阻或者熱電耦之一；所述的調(diào)功計(jì)為調(diào)相控制型調(diào)功計(jì)。
本實(shí)用新型具有如下顯著優(yōu)點(diǎn)1、采用了光纖通信控制器，實(shí)現(xiàn)了270KV高電位與低電位主控計(jì)算機(jī)的隔離控制；2、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，接線少，控制簡(jiǎn)單方便。


圖1為本實(shí)用新型的一種用于坩堝蒸發(fā)器的坩堝電源的原理框圖；具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的介紹，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
參考圖1，一種用于坩堝蒸發(fā)器的坩堝電源，包括有主控計(jì)算機(jī)1、光纖通信控制器3、溫度控制器4、坩堝蒸發(fā)器5和調(diào)功計(jì)6，主控計(jì)算機(jī)1通過(guò)光纖2與光纖通信控制器3連接，光纖控制器3將主控計(jì)算機(jī)1發(fā)出的溫度設(shè)定命令——光信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，并經(jīng)過(guò)地址確認(rèn)，再將溫度設(shè)定的數(shù)字量經(jīng)過(guò)D/A轉(zhuǎn)換成0～5V的模擬量，該0～5V的模擬量線性對(duì)應(yīng)0～900℃，該信號(hào)傳送至溫度控制器4的溫度設(shè)定端，溫度控制器4采集到將坩鍋蒸發(fā)器5的加熱溫度，并將溫度反饋信號(hào)進(jìn)行放大，并進(jìn)行線性修正，然后將已處理的實(shí)測(cè)溫度信號(hào)與設(shè)定的溫度信號(hào)進(jìn)行比較，比較的結(jié)果去調(diào)節(jié)控制調(diào)功計(jì)6的導(dǎo)通相角，如果實(shí)測(cè)的溫度比設(shè)定的溫度高，那么調(diào)功計(jì)6的導(dǎo)通相角便減小，使加熱功率減小，而使坩鍋蒸發(fā)器5溫度下降；如果實(shí)測(cè)的溫度比設(shè)定的溫度低，那么調(diào)功計(jì)6的導(dǎo)通相角便增大，使加熱功率增加，而使坩鍋蒸發(fā)器5溫度上升，這樣形成的一個(gè)閉環(huán)控制，可以使坩鍋蒸發(fā)器5的加熱溫度控制精度非常精確。另一方面溫度控制器4將溫度反饋信號(hào)進(jìn)行處理后以0～5V的模擬信號(hào)送至光纖通信控制器3的模擬輸入端，再經(jīng)光纖通信控制器3中A/D轉(zhuǎn)換，由單片機(jī)處理后，再將電信號(hào)轉(zhuǎn)化成光信號(hào)，通過(guò)光纖傳輸?shù)街骺赜?jì)算機(jī)1。
圖1中電源模塊7為光纖通信控制器3、坩堝蒸發(fā)器5和調(diào)功計(jì)6提供工作電壓。
本實(shí)用新型的特定實(shí)施例已對(duì)本實(shí)用新型的內(nèi)容做了詳盡說(shuō)明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本實(shí)用新型精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見(jiàn)的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求1.一種用于坩堝蒸發(fā)器的坩堝電源，包括有主控計(jì)算機(jī)、光纖通信控制器、溫度控制器、坩堝蒸發(fā)器、調(diào)功計(jì)，其特征在于所述的主控計(jì)算機(jī)通過(guò)光纖、光纖通信控制器與溫度控制器連接；所述的溫度控制器與坩堝蒸發(fā)器連接，用于坩堝溫度的監(jiān)控；所述的溫度控制器還與調(diào)功計(jì)連接，用于控制調(diào)功計(jì)的導(dǎo)通相角；所述的調(diào)功計(jì)還與坩堝蒸發(fā)器連接，用于控制坩堝蒸發(fā)器的溫度。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于坩堝蒸發(fā)器的坩堝電源，其特征在于所述的溫度控制器為熱電阻。
3.如權(quán)利要求1所述的一種用于坩堝蒸發(fā)器的坩堝電源，其特征在于所述的溫度控制器為熱電耦。
4.如權(quán)利要求1所述的一種用于坩堝蒸發(fā)器的坩堝電源，其特征在于所述的調(diào)功計(jì)為調(diào)相控制型調(diào)功計(jì)。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于坩堝蒸發(fā)器的坩堝電源，屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。該坩堝電源包括有主控計(jì)算機(jī)、光纖通信控制器、溫度控制器、坩堝蒸發(fā)器、調(diào)功計(jì)，所述的主控計(jì)算機(jī)通過(guò)光纖、光纖通信控制器與溫度控制器連接；所述的溫度控制器與坩堝蒸發(fā)器連接，用于坩堝溫度的監(jiān)控；所述的溫度控制器還與調(diào)功計(jì)連接，用于控制調(diào)功計(jì)的導(dǎo)通相角；所述的調(diào)功計(jì)還與坩堝蒸發(fā)器連接，用于控制坩堝蒸發(fā)器的溫度。本實(shí)用新型具有如下顯著優(yōu)點(diǎn)(1)采用了光纖通信控制器，實(shí)現(xiàn)了270KV高電位與低電位主控計(jì)算機(jī)的隔離控制；(2)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，接線少，控制簡(jiǎn)單方便。
文檔編號(hào)C23C14/48GK2795232SQ20052001708
公開(kāi)日2006年7月12日 申請(qǐng)日期2005年4月22日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月22日
發(fā)明者孫雪平, 龍會(huì)躍, 姚志丹, 唐景庭, 戴習(xí)毛 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司