專利名稱：真空設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空設(shè)備，特別是涉及一種在真空腔體中設(shè)置另一非真空腔體供安裝觀測裝置的真空設(shè)備。
背景技術(shù)：
有機(jī)發(fā)光二極管的蒸鍍必須在真空環(huán)境中進(jìn)行。早期的有機(jī)發(fā)光二極管的發(fā)光單元是單色的，在蒸鍍時(shí)無須進(jìn)行精密對位，但是現(xiàn)今有機(jī)發(fā)光二極管的發(fā)光單元中包含多種顏色的材料，因此在蒸鍍時(shí)，必須進(jìn)行精密對位，使多種顏色的有機(jī)發(fā)光材料能分別排列在適當(dāng)?shù)奈恢蒙稀?br> 若要進(jìn)行精密對位，一般使用電荷耦合裝置(chargecoupled device，CCD)觀測對位的進(jìn)行，而電荷耦合裝置必須在大氣環(huán)境下才能做有效觀測。但是，在申請人現(xiàn)有的設(shè)備中，由于并未提供適當(dāng)?shù)挠^測窗供電荷耦合裝置從真空設(shè)備的外部進(jìn)行觀測，在不做設(shè)備更新的前提下，欲使舊有的真空設(shè)備也能具有精密對位的能力，需要在舊有真空設(shè)備的真空腔體中制造出一個(gè)非真空的環(huán)境，供電荷耦合裝置直接設(shè)置在真空設(shè)備的內(nèi)部進(jìn)行對位觀測。
一般的真空設(shè)備的腔體在完成之后會預(yù)留一些盲孔突緣，供日后追加其他元件。此盲孔突緣的構(gòu)造如圖1所示，在真空設(shè)備的真空腔體壁10上具有一個(gè)通孔20，一個(gè)環(huán)狀的CF標(biāo)準(zhǔn)真空突緣(CF standard vacuum flange)30安裝于真空腔體壁10上并圍繞該通孔20，在CF標(biāo)準(zhǔn)真空突緣30的上方安裝有一個(gè)CF盲孔突緣(CF blank flange)40，CF標(biāo)準(zhǔn)真空突緣30與CF盲孔突緣40以埋頭螺栓50固定于真空腔體壁10上。為了保持真空腔體良好的氣密性，在CF標(biāo)準(zhǔn)真空突緣30與CF盲孔突緣40之間設(shè)有CF襯墊60。
在此構(gòu)造中，若欲追加額外的元件，必須與原來的廠商接洽，請對方設(shè)計(jì)特殊的接頭，但數(shù)量太少時(shí)，廠商通常不愿意配合。如果可以直接將CF盲孔突緣40進(jìn)行改造但又不會破壞真空，則可以在通孔20的下方創(chuàng)造出一個(gè)非真空的腔體以便設(shè)置上述電荷耦合裝置。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的是在真空設(shè)備的真空腔體中，創(chuàng)造出一個(gè)非真空環(huán)境，以供設(shè)置觀測裝置。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種真空設(shè)備，包括一個(gè)第一腔體、一個(gè)第二腔體以及一個(gè)導(dǎo)管。該第一腔體呈真空狀態(tài)并具有一個(gè)通孔，該第二腔體設(shè)于該第一腔體內(nèi)，該導(dǎo)管的一端固接于該第二腔體，另一端穿過該通孔而延伸至該第一腔體的外部，使該第二腔體與該第一腔體的外部相通。這樣，可在真空的第一腔體中創(chuàng)造出一個(gè)非真空的第二腔體，以便于設(shè)置觀測元件。
本發(fā)明所述的真空設(shè)備，還包括一個(gè)套筒，設(shè)于該導(dǎo)管與該通孔之間。
本發(fā)明所述的真空設(shè)備，還包括一個(gè)第一突緣，設(shè)于該第一腔體的外側(cè)并圍繞該導(dǎo)管，以及多個(gè)第一O形環(huán)，設(shè)置于該導(dǎo)管與該第一突緣之間。
本發(fā)明所述的真空設(shè)備，還包括一個(gè)固定用螺帽，套合于該導(dǎo)管位于第一腔體外部的一端的外側(cè)，并且位于該第一突緣的上方，使該導(dǎo)管固定于該第一突緣上。
本發(fā)明所述的真空設(shè)備，還包括一個(gè)間隔塊，設(shè)于該固定用螺帽與該第一突緣之間。
本發(fā)明所述的真空設(shè)備，還包括一個(gè)觀測裝置，設(shè)置于該第二腔體中，該觀測裝置具有一個(gè)導(dǎo)線經(jīng)過該導(dǎo)管而延伸至該第一腔體的外部。
本發(fā)明所述的真空設(shè)備，還包括多個(gè)支持機(jī)構(gòu)，設(shè)于該第二腔體上，使該觀測裝置被支持于該第二腔體中。其中，該第二腔體設(shè)有多個(gè)開口對應(yīng)于該支持機(jī)構(gòu)，該支持機(jī)構(gòu)經(jīng)由該開口延伸于該第一腔體中。該支持機(jī)構(gòu)包括一個(gè)調(diào)整部位于該第一腔體中，以及一個(gè)支持部結(jié)合于該調(diào)整部并經(jīng)由該開口連接于該觀測裝置。
本發(fā)明所述的真空設(shè)備，還包括多個(gè)第二突緣圍繞該開口，同時(shí)該支持機(jī)構(gòu)還包括一個(gè)基座安裝于該第二突緣上，該基座具有一個(gè)安裝孔，該支持部經(jīng)由該安裝孔連接于該觀測裝置。該調(diào)整部可以是一個(gè)螺栓，該支持部可以是一個(gè)圓柱形構(gòu)件，一端樞接于該觀測裝置，另一端螺合于該螺栓，通過旋轉(zhuǎn)該螺栓使該圓柱形構(gòu)件上下移動而調(diào)整該觀測裝置的位置，在該支持部與該安裝孔之間設(shè)有多個(gè)第二O形環(huán)。
本發(fā)明所述的真空設(shè)備，還包括一個(gè)觀測窗，設(shè)于該第二腔體上，供該觀測裝置透過該觀測窗量測位于該第一腔體中的對象物體。
本發(fā)明所述的真空設(shè)備，該觀測裝置可以是電荷耦合裝置。
本發(fā)明所述的真空設(shè)備，還包括多個(gè)組裝用窗口，設(shè)于該第二腔體上并分別對應(yīng)于該導(dǎo)管以及該觀測裝置的位置。
本發(fā)明所述的真空設(shè)備，還包括一個(gè)接頭，可結(jié)合于該導(dǎo)管位于第一腔體外部的一端。該接頭包括一個(gè)環(huán)形的承載座，套接并螺合于該導(dǎo)管位于第一腔體外部的一端；一個(gè)管狀的接頭本體，穿過該承載座并插入于該導(dǎo)管位于第一腔體外部的一端的管口；一個(gè)第三突緣從該接頭本體的外側(cè)延伸出，供嵌合于該承載座；以及一個(gè)環(huán)形的鎖扣件，套接并螺合于該承載座的外圍，同時(shí)使該第三突緣固定于該承載座上。在該接頭本體與該導(dǎo)管之間設(shè)有多個(gè)第三O形環(huán)。
本發(fā)明提供的真空設(shè)備，包括一個(gè)呈真空狀態(tài)并具有通孔的第一腔體、一個(gè)第二腔體和一個(gè)導(dǎo)管。第二腔體放置在第一腔體內(nèi)，導(dǎo)管的一端與第二腔體連接，另一端通過通孔延伸至第一腔體的外部，從而在真空設(shè)備的腔體內(nèi)創(chuàng)造出一個(gè)非真空環(huán)境。


圖1是現(xiàn)有的用于有機(jī)發(fā)光材料的真空蒸鍍設(shè)備中，真空腔體壁上所預(yù)留的盲孔。
圖2是本發(fā)明真空設(shè)備的剖視圖。
圖3是圖2的部分放大圖。
圖4是圖3中A部分的放大圖。
圖5是圖3中B部分的放大圖。
圖6是本發(fā)明的測漏接頭安裝于第二腔體的示意圖。
具體實(shí)施例方式
為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉出較佳實(shí)施例，并結(jié)合附圖加以詳細(xì)說明。
圖2是本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例的剖視圖。在圖2中，第一腔體100為實(shí)施有機(jī)發(fā)光材料蒸鍍的真空腔體，因此在第一腔體100的內(nèi)側(cè)為真空側(cè)，外側(cè)為大氣側(cè)。在第一腔體100中設(shè)置一個(gè)第二腔體200，一個(gè)導(dǎo)管300穿過第一腔體壁110的一個(gè)通孔115，一端連接于第二腔體200，另一端則開放于大氣側(cè)(第一腔體100的外側(cè))，如此使大氣環(huán)境可延續(xù)于第二腔體200中。在第二腔體200中安裝有供觀測對位的電荷耦合裝置(以下稱CCD裝置)400，而CCD裝置400的信號纜線及電源線(圖未示)則經(jīng)由導(dǎo)管300延伸至第一腔體100的外側(cè)。
圖3是圖2的內(nèi)部結(jié)構(gòu)部分放大圖。由圖3可知，導(dǎo)管300在連接于第二腔體200的一端具有一個(gè)突緣310，以螺栓220固定在第二腔體壁210上，并借此與第二腔體200相通。導(dǎo)管300的詳細(xì)配置可參照圖4，圖4是圖3中A部分的放大圖。在圖4中，導(dǎo)管300穿過通孔115而延伸至第一腔體100的外側(cè)，在通孔115的周圍設(shè)有一個(gè)環(huán)狀的CF標(biāo)準(zhǔn)真空突緣120，在CF標(biāo)準(zhǔn)真空突緣120上設(shè)有一個(gè)第一突緣122，CF標(biāo)準(zhǔn)真空突緣120與第一突緣122以螺栓124固定于第一腔體壁110上。此第一突緣122原為現(xiàn)有設(shè)備中的CF盲孔突緣，但經(jīng)過加工改進(jìn)可使導(dǎo)管300穿過。如此直接改造原來的盲孔突緣，日后不使用時(shí)可直接拆除，再購買一個(gè)相同的盲孔突緣用于封閉通孔115，無須請制造廠商重新設(shè)計(jì)，較具經(jīng)濟(jì)性。
為了保持第一腔體100的高度真空，防止氣體自大氣側(cè)滲漏至第一腔體100中，除了原有的CF襯墊125保持a方向的氣密性外，在通孔115與導(dǎo)管300之間設(shè)置一個(gè)套筒126，其目的在于導(dǎo)正300的垂直度，并在第一突緣122與導(dǎo)管300之間設(shè)置多個(gè)第一O形環(huán)(在本實(shí)施例中使用兩個(gè)O形環(huán)，兩個(gè)O型環(huán)是必要的，而且距離不能太遠(yuǎn))320以保持b方向的氣密性。導(dǎo)管300的突緣310與第二腔體壁210之間由于使用螺栓220固定，已經(jīng)具有某種成度的氣密性，再使用雙O形環(huán)340防止氣體自第二腔體200滲漏至第一腔體100中。
在導(dǎo)管300位于第一腔體100外側(cè)的一端上形成螺紋，通過多個(gè)固定用螺帽360，可將導(dǎo)管300固定于第一突緣122上，同時(shí)可在固定用螺帽360與第一突緣122之間設(shè)置一個(gè)間隔塊380，使固定用螺帽360不直接壓在第一突緣122上，因?yàn)槁菝敝苯訅簳r(shí)接觸面壓不夠均勻。由于導(dǎo)管300固接于第二腔體200，通過將導(dǎo)管300固定于第一突緣122可使第二腔體200固定于第一腔體100上。
接著說明CCD裝置400在第二腔體200中的配置。如圖3所示，CCD裝置400包括一個(gè)棱鏡部410用來將通過設(shè)于第二腔體壁210上的觀測窗290的光線L折射至CCD裝置400的接收單元430。為了調(diào)整位置以便精確地接收光線，CCD裝置400在第二腔體200中由多個(gè)具有微調(diào)功能的支持機(jī)構(gòu)(本實(shí)施例中為兩個(gè))500所支持。在第二腔體壁210上設(shè)有多個(gè)開口240，便于設(shè)置該支持機(jī)構(gòu)500。
圖5是圖3中B部分的放大圖。在圖5中，支持機(jī)構(gòu)500包括一個(gè)基座510，以螺栓520固定于第二突緣260上；一個(gè)圓柱形的支持部530，其一端樞接于CCD裝置400，另一端位于基座510的安裝孔512中；以及一個(gè)與支持部530連接的調(diào)整部540。在本實(shí)施例中，調(diào)整部540為一個(gè)調(diào)整螺栓，螺合于支持部530的調(diào)整螺孔532中，通過旋轉(zhuǎn)調(diào)整部540，可使支持部530在安裝孔512中上下移動，借此調(diào)整CCD裝置400的角度及高度。同時(shí)，調(diào)整部540位于第二腔體200的外側(cè)，無須拆下組裝用蓋板280即可進(jìn)行CCD裝置400的調(diào)整。為了保持良好的氣密性，在支持部530與安裝孔512之間設(shè)有多個(gè)第二O形環(huán)(在本實(shí)施例中為兩個(gè))560。
又如圖6所示，為了便于組裝，在第二腔體200上還設(shè)有數(shù)個(gè)組裝用窗口211、212、213、214。
為了測試第二腔體200是否具有良好的氣密性，可將第二腔體200連同導(dǎo)管300置于水中，然后從導(dǎo)管300的管口充氣以增加氣壓，再從水中觀察有無氣漏，為此設(shè)計(jì)出一個(gè)特殊的測漏接頭700安裝于導(dǎo)管300的管口。此測漏接頭700主要包括一個(gè)承載座710、一個(gè)接頭本體720、一個(gè)第三突緣730、一個(gè)鎖扣件740以及O型環(huán)750。環(huán)形的承載座710套接并鎖住導(dǎo)管300的管口。管狀的接頭本體720可穿過承載座710并插入導(dǎo)管300的管口。第三突緣730從接頭本體720的外側(cè)延伸出，使接頭本體720嵌合于承載座710。環(huán)形的鎖扣件740具有一個(gè)徑向延伸的突緣741，在鎖扣件740套接并螺合于該承載座710外圍的同時(shí)，可使第三突緣730固定于承載座710上。充氣時(shí)可經(jīng)由管狀的接頭本體720將空氣送入第二腔體200中，同時(shí)在接頭本體720的外側(cè)設(shè)有多個(gè)第三O形750，使接頭本體720與導(dǎo)管300結(jié)合時(shí)，可以保持良好的氣密性。
通過上述構(gòu)造，可在真空的第一腔體中創(chuàng)造出一個(gè)非真空的第二腔體，使CCD裝置得以直接設(shè)置于真空的第一腔體中，進(jìn)行對位觀測。
雖然本發(fā)明已通過較佳實(shí)施例說明如上，但該較佳實(shí)施例并非用以限定本發(fā)明。本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，應(yīng)有能力對該較佳實(shí)施例做出各種更改和補(bǔ)充，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求書的范圍為準(zhǔn)。
附圖中符號的簡單說明如下10真空腔體壁 110第一腔體壁20通孔 115通孔30CF標(biāo)準(zhǔn)真空突緣 120CF標(biāo)準(zhǔn)真空突緣40CF盲孔突緣 122第一突緣50埋頭螺栓 124螺栓60CF襯墊 125CF襯墊100第一腔體 126套筒
200第二腔體430接收單元211、212組裝用窗口 500支持機(jī)構(gòu)213、214組裝用窗口 510基座220螺栓512安裝孔240開口520螺栓260第二突緣530支持部280蓋板532調(diào)整螺孔290觀測窗 540調(diào)整部300導(dǎo)管560第二O形環(huán)310突緣700測漏接頭320第一O形環(huán) 710承載座340O形環(huán) 720接頭本體360固定用螺帽 730第三突緣380間隔塊 740鎖扣件400電荷耦合裝置741突緣410棱鏡部 750第三O形環(huán)
權(quán)利要求
1.一種真空設(shè)備，其特征在于包括一個(gè)第一腔體，呈真空狀態(tài)并且具有一個(gè)通孔；一個(gè)第二腔體，設(shè)于該第一腔體內(nèi)；以及一個(gè)導(dǎo)管，一端固接于該第二腔體，另一端穿過該通孔而延伸至該第一腔體的外部，使該第二腔體與該第一腔體的外部相通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1項(xiàng)所述的真空設(shè)備，其特征在于還包括一個(gè)套筒，設(shè)于所述導(dǎo)管與所述通孔之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1項(xiàng)所述的真空設(shè)備，其特征在于還包括一個(gè)第一突緣，設(shè)于所述第一腔體的外側(cè)并圍繞所述導(dǎo)管；以及多個(gè)第一O形環(huán)，設(shè)置于所述導(dǎo)管與所述第一突緣之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3項(xiàng)所述的真空設(shè)備，其特征在于還包括一個(gè)固定用螺帽，套合于所述導(dǎo)管位于所述第一腔體外部的一端的外側(cè)，并且位于所述第一突緣的上方，以使所述導(dǎo)管固定于所述第一突緣上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4項(xiàng)所述的真空設(shè)備，其特征在于還包括一個(gè)間隔塊，設(shè)于所述固定用螺帽與所述第一突緣之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1項(xiàng)所述的真空設(shè)備，其特征在于還包括一個(gè)觀測裝置，設(shè)置于所述第二腔體中，該觀測裝置具有一個(gè)導(dǎo)線經(jīng)過所述導(dǎo)管而延伸至所述第一腔體的外部。
7.根據(jù)權(quán)利要求6項(xiàng)所述的真空設(shè)備，其特征在于還包括多個(gè)支持機(jī)構(gòu)，設(shè)于所述第二腔體上，使所述觀測裝置被支持于所述第二腔體中。
8.根據(jù)權(quán)利要求7項(xiàng)所述的真空設(shè)備，其特征在于所述第二腔體設(shè)有多個(gè)開口對應(yīng)于所述支持機(jī)構(gòu)，所述支持機(jī)構(gòu)經(jīng)由該開口延伸于所述第一腔體中。
9.根據(jù)權(quán)利要求8項(xiàng)所述的真空設(shè)備，其特征在于所述支持機(jī)構(gòu)包括一個(gè)位于所述第一腔體中的調(diào)整部，以及一個(gè)結(jié)合于該調(diào)整部并經(jīng)由所述開口連接于所述觀測裝置的支持部。
10.根據(jù)權(quán)利要求9項(xiàng)所述的真空設(shè)備，其特征在于還包括多個(gè)第二突緣圍繞所述開口，并且所述支持機(jī)構(gòu)還包括一個(gè)安裝于所述第二突緣上的基座，該基座具有一個(gè)安裝孔，所述支持部經(jīng)由該安裝孔連接于所述觀測裝置。
11.根據(jù)權(quán)利要求10項(xiàng)所述的真空設(shè)備，其特征在于所述調(diào)整部為一個(gè)螺栓，所述支持部為一個(gè)圓柱形構(gòu)件，一端樞接于所述觀測裝置，另一端與該螺栓螺合，通過旋轉(zhuǎn)該螺栓使該圓柱形構(gòu)件上下移動而調(diào)整所述觀測裝置的位置。
12.根據(jù)權(quán)利要求11項(xiàng)所述的真空設(shè)備，其特征在于還包括多個(gè)設(shè)于所述支持部與所述安裝孔之間的第二O形環(huán)。
13.根據(jù)權(quán)利要求6項(xiàng)所述的真空設(shè)備，其特征在于還包括一個(gè)觀測窗，設(shè)于所述第二腔體上，供所述觀測裝置透過該觀測窗測量位于所述第一腔體中的對象物體。
14.根據(jù)權(quán)利要求6項(xiàng)所述的真空設(shè)備，其特征在于所述觀測裝置為電荷耦合裝置。
15.根據(jù)權(quán)利要求6項(xiàng)所述的真空設(shè)備，其特征在于還包括多個(gè)組裝用窗口，設(shè)于所述第二腔體上并分別對應(yīng)于所述導(dǎo)管以及所述觀測裝置的位置。
16.根據(jù)權(quán)利要求1項(xiàng)所述的真空設(shè)備，其特征在于還包括一個(gè)接頭，可結(jié)合于所述導(dǎo)管位于所述第一腔體外部的一端。
17.根據(jù)權(quán)利要求16項(xiàng)所述的真空設(shè)備，其特征在于所述接頭包括一個(gè)環(huán)形的承載座，套接并螺合于所述導(dǎo)管位于所述第一腔體外部的一端；一個(gè)管狀的接頭本體，穿過該承載座并插入于所述導(dǎo)管位于所述第一腔體外部的一端的管口；一個(gè)第三突緣從該接頭本體的外側(cè)延伸出，供嵌合于該承載座；以及一個(gè)環(huán)形的鎖扣件，套接并螺合于該承載座的外圍，同時(shí)使該第三突緣固定于該承載座上。
18.根據(jù)權(quán)利要求17項(xiàng)所述的真空設(shè)備，其特征在于還包括多個(gè)第三O形環(huán)，設(shè)于所述接頭本體與所述導(dǎo)管之間。
全文摘要
本發(fā)明提供一種真空設(shè)備，包括一個(gè)第一腔體、一個(gè)第二腔體以及一個(gè)導(dǎo)管。該第一腔體呈真空狀態(tài)并具有一個(gè)通孔，該第二腔體設(shè)于該第一腔體內(nèi)，該導(dǎo)管的一端固接于該第二腔體，另一端穿過該通孔而延伸至該第一腔體的外部，使該第二腔體與該第一腔體的外部相通。借此，可在真空的第一腔體中創(chuàng)造出一個(gè)非真空的第二腔體，以便于設(shè)置觀測元件。
文檔編號C23C14/22GK1812152SQ20051000260
公開日2006年8月2日 申請日期2005年1月24日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月24日
發(fā)明者葉少華, 王家蔚, 丁定國 申請人:東元激光科技股份有限公司