技術編號：3393848
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種真空設備，特別是涉及一種在真空腔體中設置另一非真空腔體供安裝觀測裝置的真空設備。背景技術 有機發(fā)光二極管的蒸鍍必須在真空環(huán)境中進行。早期的有機發(fā)光二極管的發(fā)光單元是單色的，在蒸鍍時無須進行精密對位，但是現(xiàn)今有機發(fā)光二極管的發(fā)光單元中包含多種顏色的材料，因此在蒸鍍時，必須進行精密對位，使多種顏色的有機發(fā)光材料能分別排列在適當?shù)奈恢蒙?。若要進行精密對位，一般使用電荷耦合裝置(chargecoupled device，CCD)觀測對位的進行，而電荷...
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