專利名稱：平行平面研磨機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及機(jī)械加工，尤其是研磨加工機(jī)床。
背景技術(shù)：
近年來，隨著電子機(jī)器設(shè)備及移動(dòng)通訊日新月異的發(fā)展，對(duì)電子產(chǎn)品短薄輕小化的需求，大多數(shù)的功能性元器件都被要求更小、更薄，而這些功能性元器件，較多采用硅、水晶，還有藍(lán)寶石等單晶體材料，還有將粉體燒結(jié)的磁性材料及陶瓷成份的多晶體材料及光學(xué)玻璃、石英玻璃等的非晶體材料作為原料的情形，這些材料的共同特性是硬而脆，對(duì)生產(chǎn)加工此類原料的產(chǎn)品，則需要研究更高精度的元器件基板坯料，采用分別加工以達(dá)到更高效的加工方法。在此所謂的高精度首先是無裂痕、無傷痕，加之平行度和表面粗糙度等的高要求。
圖1是現(xiàn)有技術(shù)中具有代表性的平行平面研磨機(jī)例的側(cè)視圖。其運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上的游輪9被稱為公轉(zhuǎn)并自轉(zhuǎn)的齒輪行星傳動(dòng)方式。
圖示中的氣缸主軸1、聯(lián)軸環(huán)2、吊板3等零部件聯(lián)接，上研磨盤5呈擺垂?fàn)畲瓜?，在調(diào)整汽缸的氣壓后使之分級(jí)下降，給安裝在行星輪9空穴孔中被加工的工件8以適當(dāng)?shù)膲毫d荷。這時(shí)，讓安裝在上研磨盤5上的鍵閘4對(duì)準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)軸12鍵槽11閘合，使得驅(qū)動(dòng)軸12與上研磨盤5聯(lián)接，并可同步旋轉(zhuǎn)。
磨削方式太陽(yáng)輪6與內(nèi)齒輪10及驅(qū)動(dòng)軸12旋轉(zhuǎn)，游輪9——行星輪邊自轉(zhuǎn)邊公轉(zhuǎn)，下研磨盤7與旋轉(zhuǎn)著的上研磨盤5對(duì)所夾持的被加工工件8的兩面進(jìn)行磨削，在磨削的同時(shí)，設(shè)置在上研磨盤5中網(wǎng)點(diǎn)孔中流出水、油、砂粒等混和狀研磨液體。
在此所謂的磨削，是對(duì)包括通過固體砂粒進(jìn)行的磨削和含游離砂粒的研磨和拋光研磨等加工方法的總稱。
用這種結(jié)構(gòu)的平行平面研磨機(jī)進(jìn)行大而薄的基板研磨加工存在如下缺點(diǎn)1、將上研磨盤5下平面，下研磨盤7的上平面復(fù)制到被加工工件8兩平面的磨削加工時(shí)，成為具有高平面度的上下研磨平面，必須平行貼合。在圖1中，上研磨盤5、支柱13、吊板3、聯(lián)軸環(huán)2，在氣缸主軸1擺垂?fàn)顟业跸聽顟B(tài)，上研磨盤5的研磨平面其撓度相當(dāng)大，即使通過加工也無法完全消除這個(gè)撓度，所以在這種狀態(tài)下被加工的工件8，不僅不能獲得平行平面，還會(huì)誘發(fā)其它的傷痕或缺陷；2、上研磨盤5與下研磨盤7中，有著從貫穿研磨盤的孔中供給流出的水或油、砂粒的混和狀均勻研磨液體，為了排出磨屑，在下研磨盤7工作上面上有格子狀的溝槽，隨著磨削的進(jìn)行，磨屑在下研磨盤7的溝槽中堆積，而發(fā)生堵塞。這樣會(huì)使被加工的產(chǎn)品精度低和裂紋增大，因此，必須定期地進(jìn)行槽的清掃；3、圖3，上研磨盤5呈擺垂?fàn)顟业鯛顟B(tài)，下降時(shí)，上研磨盤傾斜的現(xiàn)象非常多。如果是傾斜狀態(tài)下降到被加工工件8的表面時(shí)，上研磨盤外圓的傾斜點(diǎn)會(huì)使被加工的工件產(chǎn)生移動(dòng)并發(fā)生壓損，而且在研磨時(shí)傾斜的研磨盤不易還原水平；是現(xiàn)有的平行平面研磨機(jī)的弊病。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種新型的平行平面研磨機(jī)，克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺點(diǎn)。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的解決方案是一種平行平面研磨機(jī)，包括吊板、上研磨盤，下研磨盤，聯(lián)軸環(huán)，還包括可對(duì)上研磨盤的研磨平面撓度進(jìn)行調(diào)整的撓度矯正機(jī)構(gòu)。
進(jìn)一步，該撓度矯正機(jī)構(gòu)包括第一滑輪群組，包括均勻設(shè)置于上研磨盤的周沿的復(fù)數(shù)個(gè)滑輪；第二滑輪群組，包括均勻設(shè)置于的吊板的周沿的復(fù)數(shù)個(gè)滑輪；滑輪索，其交替穿過該第一組滑輪群組和第二滑輪群組的滑輪；還包括能調(diào)整該滑輪索的長(zhǎng)度的裝置；該能調(diào)整該滑輪索的長(zhǎng)度的裝置包括至少一個(gè)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，該調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括調(diào)節(jié)螺桿，調(diào)節(jié)螺母，螺桿座，導(dǎo)索夾板；該螺桿座固定在第二滑輪群組滑輪之間的吊板的周沿，該螺桿通過螺桿座上的孔穿入該導(dǎo)索夾板上的對(duì)應(yīng)螺孔中，該調(diào)節(jié)螺母將調(diào)節(jié)螺桿固定在螺桿座上；該導(dǎo)索夾板上設(shè)有滑輪，該滑輪索搭接通過該導(dǎo)索夾板上的滑輪；在下研磨盤工作面格子狀溝槽中設(shè)有復(fù)數(shù)孔口；所述的孔口可向外噴出砂?；蛞后w或氣體；還包括使上研磨盤保持水平工作狀態(tài)的結(jié)構(gòu)；該使上研磨盤保持水平工作狀態(tài)的結(jié)構(gòu)為在聯(lián)軸環(huán)上端設(shè)置定環(huán)盤，該定環(huán)盤的外圓周上設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)吊環(huán)螺栓，上研磨盤上表面設(shè)置有與所述吊環(huán)螺栓對(duì)應(yīng)的吊鉤螺釘，每一組對(duì)應(yīng)的吊環(huán)螺栓和吊鉤螺釘之間以索條聯(lián)接；該吊鉤螺釘設(shè)置在上研磨盤上表面的中徑位置；該索條的長(zhǎng)度是可以調(diào)整的。
本發(fā)明通過在上研磨盤與下研磨盤之間架設(shè)環(huán)狀鋼索來矯正上研磨盤平面平行度的翹曲，達(dá)到與下研磨盤平面的匹配及通過來自下研磨盤的液體或氣體的噴射，不僅可達(dá)到消除槽溝部的堵塞，還可確保上研磨盤的水平。


圖1是現(xiàn)有機(jī)構(gòu)主要部分的立體示意圖。
圖2是本發(fā)明一種實(shí)施例形態(tài)的主要部分的立體示意圖。
圖3是現(xiàn)有的機(jī)構(gòu)斷面示意圖。
圖4是本發(fā)明一種實(shí)施例形態(tài)的斷面示意圖。
圖5是本發(fā)明添設(shè)有滑輪索調(diào)節(jié)裝置的實(shí)施例形態(tài)的示意圖。
具體實(shí)施例方式
請(qǐng)參閱圖2、4、5，本發(fā)明一種平行平面研磨機(jī)，包括吊板3、上研磨盤5，下研磨盤7，聯(lián)軸環(huán)2，還包括可對(duì)上研磨盤5的研磨平面撓度進(jìn)行調(diào)整的撓度矯正機(jī)構(gòu)。進(jìn)一步，該撓度矯正機(jī)構(gòu)包括第一滑輪群組，包括均勻設(shè)置于上研磨盤5的周沿的復(fù)數(shù)個(gè)滑輪15；第二滑輪群組，包括均勻設(shè)置于的吊板3的周沿的復(fù)數(shù)個(gè)滑輪17；滑輪索16，其交替穿過該第一組滑輪群組和第二滑輪群組的滑輪15、17；還包括能調(diào)整該滑輪索16的長(zhǎng)度的裝置；該能調(diào)整該滑輪16索的長(zhǎng)度的裝置包括至少一個(gè)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，該調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括調(diào)節(jié)螺桿22，調(diào)節(jié)螺母，螺桿座23，導(dǎo)索夾板24；該螺桿座23固定在第二滑輪群組滑輪之間的吊板的周沿，可以根據(jù)具體需要將該螺桿座23設(shè)置為一傾斜角度該該螺桿22通過螺桿座上的孔穿入該導(dǎo)索夾板24上的對(duì)應(yīng)螺孔中，該調(diào)節(jié)螺母將調(diào)節(jié)螺桿22固定在螺桿座23上；該導(dǎo)索夾板24可以包括兩塊板，板間可以設(shè)有兩滑輪，該第一滑輪群組的滑輪兩側(cè)的滑輪索搭接通過該導(dǎo)索夾板24上的滑輪，該滑輪可對(duì)該滑輪索導(dǎo)引、限位并減少摩擦；可以根據(jù)具體實(shí)施情況將該螺桿座23設(shè)置有一傾斜角度，例如與該導(dǎo)索夾板24所在的平面相垂直，以便調(diào)節(jié)螺桿22可以位于導(dǎo)索夾板24所在的平面內(nèi)而順利與導(dǎo)索夾板24上的螺孔相配合。通過順時(shí)針或逆時(shí)針擰動(dòng)調(diào)節(jié)螺桿22上的調(diào)節(jié)螺母使調(diào)節(jié)螺桿22帶動(dòng)導(dǎo)索夾板24上或下移動(dòng)，調(diào)整該滑輪索16實(shí)際發(fā)揮作用的長(zhǎng)度。該調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)可以對(duì)應(yīng)與于第一滑輪群組的滑輪設(shè)置復(fù)數(shù)個(gè)。
在下研磨盤7工作面格子狀溝槽中設(shè)有復(fù)數(shù)孔口14；所述的孔口14可向外噴出砂?；蛞后w或氣體；還包括使上研磨盤5保持水平工作狀態(tài)的結(jié)構(gòu)；該使上研磨盤保持水平工作狀態(tài)的結(jié)構(gòu)為在聯(lián)軸環(huán)2上端設(shè)置定環(huán)盤18，該定環(huán)盤18的外圓周上設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)吊環(huán)19，上研磨盤5上表面設(shè)置有與所述吊環(huán)19對(duì)應(yīng)的吊鉤21，每一組對(duì)應(yīng)的吊環(huán)19和吊鉤21之間以索條20聯(lián)接；該吊鉤21可以設(shè)置在上研磨盤5上表面的中徑位置；索條20從吊板3上設(shè)置的孔(未示出)中穿過將吊環(huán)19與對(duì)應(yīng)的吊鉤21相連。
該索條20的長(zhǎng)度是可以調(diào)整的。
氣缸主軸1，在下研磨盤7平面上設(shè)置放射狀網(wǎng)點(diǎn)均布復(fù)數(shù)個(gè)研磨液出口孔，復(fù)數(shù)個(gè)游輪——行星輪9與太陽(yáng)輪6外圓的齒相嚙合，同時(shí)，游輪——行星輪9與內(nèi)齒輪圈10齒相嚙合，工件8被安置于行星輪9的空穴中，上研磨盤5通過上研磨盤鍵閘4嵌入驅(qū)動(dòng)軸鍵槽11，就這樣通過未作圖示的驅(qū)動(dòng)源進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸、太陽(yáng)輪6、內(nèi)齒輪圈10，上研磨盤5與下研磨盤7作相對(duì)旋轉(zhuǎn)，工件8被夾持在上、下研磨盤之間，同時(shí)，工件8在行星輪9中既自轉(zhuǎn)又公轉(zhuǎn)，這就是磨削機(jī)理，在上研磨盤5上平面近外圓處等分安置復(fù)數(shù)個(gè)滑輪15，構(gòu)成了第一滑輪群組。圓板狀的吊板3，在其外圓側(cè)面安置與第一滑輪群組對(duì)應(yīng)相同數(shù)量有軸承支撐被固定的滑輪17，這就構(gòu)成了第二滑輪群組。
氣缸主軸1通過聯(lián)軸環(huán)2連接吊板3及上研磨盤5，使其成一整體，隨著設(shè)置氣壓的變化即可上下運(yùn)行。軟鋼索16穿繞于上下第一、第二滑輪組滑輪的凹槽內(nèi)，作環(huán)狀并可調(diào)線長(zhǎng)的聯(lián)接。
吊板3外圓邊沿及上研磨盤5的上平面圓周近邊沿，上下對(duì)應(yīng)均等分布偶數(shù)個(gè)，例如4個(gè)或6個(gè)或8個(gè)滑輪的滑輪組群，并在上下滑輪組繞上一根軟鋼索16呈峰形環(huán)狀，因此，全長(zhǎng)就能夠很容易地進(jìn)行拉緊張力調(diào)整。
在下研磨盤7工作面格子狀溝槽中，設(shè)有網(wǎng)點(diǎn)孔14，可從這些孔中不斷地供給研磨混和液或水，具有維持槽內(nèi)正壓狀態(tài)的機(jī)能。
圖3中，吊板3的外圓直徑大于上研磨盤5的孔內(nèi)徑，而小于其外徑，因此，可通過數(shù)個(gè)支柱13把吊板3與上研磨盤5構(gòu)成一體。吊板3的外圓直徑是由支柱13的直徑與上研磨盤5工作面內(nèi)外直徑的比率而定，再有零件制造精度和材料的內(nèi)應(yīng)力影響，形成整套裝置傾斜及上研磨平面5撓度的存在而失去水平性。接下來參見圖4，在吊板3外圓側(cè)面安置復(fù)數(shù)個(gè)滑輪17構(gòu)成了第二滑輪群組，在上研磨盤5上平面近外圓處亦安置復(fù)數(shù)個(gè)滑輪15，構(gòu)成第一滑輪群組。這樣通過環(huán)狀鋼索16使第一滑輪群組和第二滑輪群組的上下滑輪聯(lián)接，此時(shí)，調(diào)整鋼索長(zhǎng)度，增強(qiáng)鋼索張緊度，這樣不僅可矯正上研磨盤5平面度的撓曲、更可改善材料應(yīng)力的存在，其特點(diǎn)是可維持5上研磨盤平面平行度的理想形狀。
關(guān)于對(duì)上研磨盤5傾斜的調(diào)整法，結(jié)合圖4進(jìn)行具體說明。
氣缸主軸1既可旋轉(zhuǎn)又可上下升降，在聯(lián)軸環(huán)上端設(shè)置定環(huán)盤18，定環(huán)盤18的外圓周上設(shè)置奇數(shù)個(gè)，例如3個(gè)或5個(gè)或7個(gè)吊環(huán)19，同樣在上研磨盤5上表面中徑位置設(shè)置與上面對(duì)應(yīng)的吊鉤21，用奇數(shù)根，例如3根或5根或7根鋼索20聯(lián)接吊環(huán)19與吊鉤21為一組，成奇數(shù)組，這樣分別調(diào)整奇數(shù)組鋼索，以此維持和確保上研磨盤5水平工作狀態(tài)。
上研磨盤5，下研磨盤7在研磨運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，從上研磨盤5研磨面網(wǎng)點(diǎn)孔中流出含砂粒的研磨液參與研磨(未作圖示)，同時(shí)排出含砂粒的磨屑液，滯留在下研磨盤7格子槽內(nèi)，而引起堵塞，為提研磨工況，下研磨盤7格子溝槽內(nèi)設(shè)置放射狀等分均布網(wǎng)點(diǎn)孔14，從中亦噴出一定的流量研磨液(未作圖示)，達(dá)到槽內(nèi)正壓的狀況，從而，有效防止堵塞。當(dāng)然，還可在下研磨盤7外圓環(huán)面噴出不含砂粒的液體和氣體等。
權(quán)利要求
1.一種平行平面研磨機(jī)，包括吊板、上研磨盤，下研磨盤，聯(lián)軸環(huán)，其特征在于還包括可對(duì)上研磨盤的研磨平面撓度進(jìn)行調(diào)整的撓度矯正機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平行平面研磨機(jī)，其特征在于該撓度矯正機(jī)構(gòu)包括第一滑輪群組，包括均勻設(shè)置于上研磨盤的周沿的復(fù)數(shù)個(gè)滑輪；第二滑輪群組，包括均勻設(shè)置于的吊板的周沿的復(fù)數(shù)個(gè)滑輪；滑輪索，其交替穿過該第一組滑輪群組和第二滑輪群組的滑輪。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的平行平面研磨機(jī)，其特征在于還包括能調(diào)整該滑輪索的長(zhǎng)度的裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的平行平面研磨機(jī)，其特征在于該能調(diào)整該滑輪索的長(zhǎng)度的裝置包括至少一個(gè)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，該調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括調(diào)節(jié)螺桿，調(diào)節(jié)螺母，螺桿座，導(dǎo)索夾板；該螺桿座固定在第二滑輪群組滑輪之間的吊板的周沿，該螺桿通過螺桿座上的孔穿入該導(dǎo)索夾板上的對(duì)應(yīng)螺孔中，該調(diào)節(jié)螺母將調(diào)節(jié)螺桿固定在螺桿座上；該導(dǎo)索夾板上設(shè)有滑輪，該滑輪索搭接通過該導(dǎo)索夾板上的滑輪。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平行平面研磨機(jī)，其特征在于在下研磨盤工作面格子狀溝槽中設(shè)有復(fù)數(shù)孔口。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的平行平面研磨機(jī)，其特征在于所述的孔口可向外噴出砂?；蛞后w或氣體。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一所述的平行平面研磨機(jī)，其特征在于還包括使上研磨盤保持水平工作狀態(tài)的結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的平行平面研磨機(jī)，其特征在于該使上研磨盤保持水平工作狀態(tài)的結(jié)構(gòu)為在聯(lián)軸環(huán)上端設(shè)置定環(huán)盤，該定環(huán)盤的外圓周上設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)吊環(huán)，上研磨盤上表面設(shè)置有與所述吊環(huán)對(duì)應(yīng)的吊鉤，每一組對(duì)應(yīng)的吊環(huán)和吊鉤之間以索條聯(lián)接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的平行平面研磨機(jī)，其特征在于該吊鉤螺釘設(shè)置在上研磨盤上表面的中徑位置。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的平行平面研磨機(jī)，其特征在于該索條的長(zhǎng)度是可以調(diào)整的。
全文摘要
一種平行平面研磨機(jī)，包括吊板、上研磨盤，下研磨盤，聯(lián)軸環(huán)，還包括第一滑輪群組，包括均勻設(shè)置于上研磨盤的周沿的復(fù)數(shù)個(gè)滑輪；第二滑輪群組，包括均勻設(shè)置于的吊板的周沿的復(fù)數(shù)個(gè)滑輪；滑輪索，其交替穿過該第一組滑輪群組和第二滑輪群組的滑輪；該滑輪索的長(zhǎng)度是可以調(diào)整的；在下研磨盤工作面格子狀溝槽中設(shè)有復(fù)數(shù)孔口；所述的孔口可向外噴出砂?；蛞后w或氣體；在聯(lián)軸環(huán)上端設(shè)置定環(huán)盤，該定環(huán)盤的外圓周上設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)吊環(huán)，上研磨盤上表面設(shè)置有與所述吊環(huán)對(duì)應(yīng)的吊鉤，每一組對(duì)應(yīng)的吊環(huán)和吊鉤之間以索條聯(lián)接。本發(fā)明能矯正上研磨盤平面平行度的翹曲及使上研磨盤保持水平工作狀態(tài)，達(dá)到與下研磨盤平面的匹配，有利于提高加工質(zhì)量和效率。
文檔編號(hào)B24B37/34GK1745970SQ200410066300
公開日2006年3月15日 申請(qǐng)日期2004年9月10日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月10日
發(fā)明者盧建偉, 石塚陽(yáng)一, 鈴木淳平 申請(qǐng)人:盧建偉