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可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置的制作方法

文檔序號:11576283閱讀:148來源:國知局

本發(fā)明涉及激光技術(shù),特別涉及激光輸出裝置的技術(shù)。



背景技術(shù):

隨著激光技術(shù)的發(fā)展,其在重大工程和生產(chǎn)中的應(yīng)用越來越多,許多重大工程如大型激光裝置中,有大量的大口徑金屬管道,由于使用條件的要求,需要定期的進行潔凈處理,激光清洗綠色環(huán)保,且為非接觸式清洗,是很好的選擇,目前已經(jīng)開始嘗試應(yīng)用;在激光切割過程中,也經(jīng)常需要對大口徑管材進行切割。在以上應(yīng)用場景中,激光若能夠?qū)崿F(xiàn)環(huán)形旋轉(zhuǎn)的可控運動,則會給其應(yīng)用時帶來極大的便利。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的就是提供一種可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置,能夠使輸出的激光做環(huán)狀運動。

本發(fā)明解決其技術(shù)問題,采用的技術(shù)方案是,可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置,其特征在于,包括第一全反鏡、掃描振鏡、平移臺、旋轉(zhuǎn)臺及至少一個調(diào)距全反鏡,所述平移臺上具有激光入射口及激光出射口,平移臺與旋轉(zhuǎn)臺滑動連接,平移臺能夠在垂直于旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移,旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸平行于入射激光,旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)中心具有激光入射孔,與平移臺上的激光入射口對應(yīng),能夠令入射激光穿過旋轉(zhuǎn)臺入射至平移臺中,所述第一全反鏡、調(diào)距全反鏡及掃描振鏡均位于平移臺內(nèi)部,第一全反鏡與旋轉(zhuǎn)臺的臺面固定連接,調(diào)距全反鏡及掃描振鏡固定在平移臺內(nèi)部;

入射激光從旋轉(zhuǎn)臺的激光入射孔穿過旋轉(zhuǎn)臺入射至平移臺的激光入射口中,從激光入射口中入射至第一全反鏡上,反射至調(diào)距全反鏡上,經(jīng)所有調(diào)距全反鏡順序反射后最終反射至掃描振鏡上,由掃描振鏡將其反射至激光出射口輸出,輸出的激光與入射激光垂直;

當(dāng)平移臺進行線性平移時,所有調(diào)距全反鏡及掃描振鏡隨平移臺的平移而平移,同時能夠保證輸出的激光與入射激光垂直,當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)時,平移臺跟隨旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。

具體的,還包括場鏡,所述場鏡安裝在激光出射口,用于密封。

進一步的,所述調(diào)距全反鏡為一個,第一全反鏡的鏡面與入射激光呈45°放置,調(diào)距全反鏡的鏡面與第一全反鏡的鏡面相對應(yīng),且平行放置,令入射激光經(jīng)調(diào)距全反鏡反射后的激光平行于入射激光,掃描振鏡的鏡面與調(diào)距全反鏡的鏡面對應(yīng),且與經(jīng)調(diào)距全反鏡反射后的激光呈45°放置。

再進一步的,所述調(diào)距全反鏡為三個,分別為第二全反鏡、第三全反鏡及第四全反鏡,所述第一全反鏡的鏡面與入射激光呈45°放置,第二全反鏡的鏡面與第一全反鏡的鏡面相對應(yīng),且平行放置,令入射激光經(jīng)第二全反鏡反射后的激光平行于入射激光,第三全反鏡的鏡面與第二全反鏡的鏡面對應(yīng),且與經(jīng)第二全反鏡反射后的激光呈45°放置,第四全反鏡的鏡面與第三全反鏡的鏡面相對應(yīng),且平行放置,令入射激光經(jīng)第四全反鏡反射后的激光平行于入射激光,掃描振鏡的鏡面與第四全反鏡的鏡面對應(yīng),且與經(jīng)第四全反鏡反射后的激光呈45°放置。

可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置,其特征在于,包括第一全反鏡、掃描振鏡、平移臺、旋轉(zhuǎn)臺、至少兩個調(diào)距全反鏡及至少一個固定全反鏡,所述平移臺上具有激光入射口及激光出射口,平移臺與旋轉(zhuǎn)臺滑動連接,平移臺能夠在不平行于旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移,旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸平行于入射激光,旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)中心具有激光入射孔,與平移臺上的激光入射口對應(yīng),能夠令入射激光穿過旋轉(zhuǎn)臺入射至平移臺中,所述第一全反鏡、所有調(diào)距全反鏡、所有固定全反鏡及掃描振鏡均位于平移臺內(nèi)部,第一全反鏡、固定全反鏡及掃描振鏡與旋轉(zhuǎn)臺的臺面固定連接,其余調(diào)距全反鏡均分別固定在平移臺內(nèi)部;

入射激光從旋轉(zhuǎn)臺的激光入射孔穿過旋轉(zhuǎn)臺入射至平移臺的激光入射口中,從激光入射口中入射至第一全反鏡上,反射至調(diào)距全反鏡上,經(jīng)所有調(diào)距全反鏡及固定全反鏡依次反射后反射至掃描振鏡上,再由掃描振鏡將其反射至激光出射口輸出,輸出的激光與入射激光垂直;

所述線性平移是指平行于入射激光經(jīng)第一全反鏡反射后的激光光束的線性平移;

當(dāng)平移臺進行線性平移時,所有調(diào)距全反鏡隨平移臺的平移而平移,同時能夠保證輸出的激光與入射激光垂直,當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)時,平移臺跟隨旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。

具體的,還包括場鏡,所述場鏡安裝在激光出射口,用于密封。

進一步的,所述平移臺能夠在不平行于旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移是指:平移臺能夠在垂直于旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移。

具體的,所述調(diào)距全反鏡為兩個,分別為第二全反鏡及第三全反鏡,所述固定全反鏡為一個,記為第四全反鏡,所述第一全反鏡的鏡面與入射激光呈45°放置,第二全反鏡的鏡面與第一全反鏡的鏡面相對應(yīng),且平行放置,令入射激光經(jīng)第二全反鏡反射后的激光平行于入射激光,第三全反鏡的鏡面與第二全反鏡的鏡面對應(yīng),且與經(jīng)第二全反鏡反射后的激光呈45°放置,第四全反鏡的鏡面與第三全反鏡的鏡面相對應(yīng),且平行放置,令入射激光經(jīng)第四全反鏡反射后的激光平行于入射激光,掃描振鏡的鏡面與第四全反鏡的鏡面對應(yīng),且與經(jīng)第四全反鏡反射后的激光呈45°放置。

可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置,其特征在于,包括第一全反鏡、掃描振鏡、平移臺、旋轉(zhuǎn)臺、至少兩個調(diào)距全反鏡及至少一個固定全反鏡,所述平移臺上具有激光入射口及激光出射口,平移臺與旋轉(zhuǎn)臺滑動連接,平移臺能夠在不平行于旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移,旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸平行于入射激光,旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)中心具有激光入射孔,與平移臺上的激光入射口對應(yīng),能夠令入射激光穿過旋轉(zhuǎn)臺入射至平移臺中,所述第一全反鏡、所有調(diào)距全反鏡及所有固定全反鏡均位于平移臺內(nèi)部,第一全反鏡、固定全反鏡及掃描振鏡與旋轉(zhuǎn)臺的臺面固定連接,調(diào)距全反鏡均分別固定在平移臺內(nèi)部;

入射激光從旋轉(zhuǎn)臺的激光入射孔穿過旋轉(zhuǎn)臺入射至平移臺的激光入射口中,從激光入射口中入射至第一全反鏡上,反射至調(diào)距全反鏡上,經(jīng)所有調(diào)距全反鏡及固定全反鏡依次反射后最終通過激光輸出口反射至掃描振鏡上,再由掃描振鏡將其反射輸出,輸出的激光與入射激光垂直;

所述線性平移是指平行于入射激光經(jīng)第一全反鏡反射后的激光光束的線性平移;

當(dāng)平移臺進行線性平移時,所有調(diào)距全反鏡隨平移臺的平移而平移,同時能夠保證輸出的激光與入射激光垂直,當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)時,平移臺跟隨旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。

具體的,還包括輸出臺,所述輸出臺上具有激光出射孔及場鏡,所述掃描振鏡位于輸出臺內(nèi)部,輸出的激光通過激光出射孔輸出,場鏡安裝在激光出射孔,用于密封。

進一步的,所述平移臺能夠在不平行于旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移是指:平移臺能夠在垂直于旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移。

具體的,所述調(diào)距全反鏡為兩個,分別為第二全反鏡及第三全反鏡,所述固定全反鏡為一個,記為第四全反鏡,所述第一全反鏡的鏡面與入射激光呈45°放置,第二全反鏡的鏡面與第一全反鏡的鏡面相對應(yīng),且平行放置,令入射激光經(jīng)第二全反鏡反射后的激光平行于入射激光,第三全反鏡的鏡面與第二全反鏡的鏡面對應(yīng),且與經(jīng)第二全反鏡反射后的激光呈45°放置,第四全反鏡的鏡面與第三全反鏡的鏡面相對應(yīng),且平行放置,令入射激光經(jīng)第四全反鏡反射后的激光平行于入射激光,掃描振鏡的鏡面與第四全反鏡的鏡面對應(yīng),且與經(jīng)第四全反鏡反射后的激光呈45°放置。

可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置,其特征在于,包括第一全反鏡、掃描振鏡、平移臺、旋轉(zhuǎn)臺、固定臺、至少兩個調(diào)距全反鏡及至少一個固定全反鏡,所述平移臺上具有激光入射口及激光出射口,平移臺與固定臺滑動連接,旋轉(zhuǎn)臺與固定臺連接,平移臺能夠在不平行于旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移,旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸平行于入射激光,旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)中心具有激光入射孔,與平移臺上的激光出射口對應(yīng),側(cè)面具有激光出射孔,所述第一全反鏡、所有調(diào)距全反鏡及所有固定全反鏡均位于平移臺內(nèi)部,掃描振鏡位于旋轉(zhuǎn)臺內(nèi),掃描振鏡與旋轉(zhuǎn)臺固定連接,調(diào)距全反鏡均分別固定在平移臺內(nèi)部,第一全反鏡及所有固定全反鏡與固定臺固定連接;

入射激光從平移臺的激光入射口入射至第一全反鏡上,反射至調(diào)距全反鏡上,經(jīng)所有調(diào)距全反鏡及固定全反鏡依次反射后最終通過激光輸出口及其對應(yīng)的激光入射孔反射進旋轉(zhuǎn)臺,進而入射至掃描振鏡上,再由掃描振鏡將其反射至旋轉(zhuǎn)臺的激光出射孔輸出,輸出的激光與入射激光垂直;

所述線性平移是指平行于入射激光經(jīng)第一全反鏡反射后的激光光束的線性平移;

當(dāng)平移臺進行線性平移時,所有調(diào)距全反鏡隨平移臺的平移而平移,同時能夠保證輸出的激光與入射激光垂直,當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)時,僅掃描振鏡跟隨旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。

具體的,還包括場鏡,場鏡安裝在激光出射孔,用于密封。

進一步的,所述平移臺能夠在不平行于旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移是指:平移臺能夠在垂直于旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移。

具體的,所述調(diào)距全反鏡為兩個,分別為第二全反鏡及第三全反鏡,所述固定全反鏡為一個,記為第四全反鏡,所述第一全反鏡的鏡面與入射激光呈45°放置,第二全反鏡的鏡面與第一全反鏡的鏡面相對應(yīng),且平行放置,令入射激光經(jīng)第二全反鏡反射后的激光平行于入射激光,第三全反鏡的鏡面與第二全反鏡的鏡面對應(yīng),且與經(jīng)第二全反鏡反射后的激光呈45°放置,第四全反鏡的鏡面與第三全反鏡的鏡面相對應(yīng),且平行放置,令入射激光經(jīng)第四全反鏡反射后的激光平行于入射激光,掃描振鏡的鏡面與第四全反鏡的鏡面對應(yīng),且與經(jīng)第四全反鏡反射后的激光呈45°放置。

本發(fā)明的有益效果是,通過上述可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置,可以通過旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn),使輸出的激光隨旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)進行環(huán)狀運動,且由于平移臺的加入,可以通過平移臺的平移,使激光輸出到各預(yù)定點的光路距離不變,從而保證輸出到各預(yù)定點的光斑直徑相同,從上述可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置的結(jié)構(gòu)還可見,激光發(fā)生器不需要進行旋轉(zhuǎn)及移動,只需要旋轉(zhuǎn)臺進行旋轉(zhuǎn)及平移臺進行平移即可。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例1中可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置的剖面示意圖;

圖2為本發(fā)明實施例1或2中可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置的剖面示意圖;

圖3為本發(fā)明實施例3中可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置的剖面示意圖;

圖4為本發(fā)明實施例4中可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置的剖面示意圖;

其中,1為旋轉(zhuǎn)臺,2為平移臺,3為第一全反鏡,4為第二全反鏡,5為掃描振鏡,6為激光出射口,7為第三全反鏡,8為第四全反鏡,9為輸出臺,10為場鏡,11為固定臺。

具體實施方式

下面結(jié)合實施例及附圖,詳細描述本發(fā)明的技術(shù)方案。

本發(fā)明所述的第一種可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置,包括第一全反鏡、掃描振鏡、平移臺、旋轉(zhuǎn)臺及至少一個調(diào)距全反鏡,平移臺上具有激光入射口及激光出射口,平移臺與旋轉(zhuǎn)臺滑動連接,平移臺能夠在垂直于旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移,旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸平行于入射激光,旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)中心具有激光入射孔,與平移臺上的激光入射口對應(yīng),能夠令入射激光穿過旋轉(zhuǎn)臺入射至平移臺中,第一全反鏡、調(diào)距全反鏡及掃描振鏡均位于平移臺內(nèi)部,第一全反鏡與旋轉(zhuǎn)臺的臺面固定連接,調(diào)距全反鏡及掃描振鏡固定在平移臺內(nèi)部;入射激光從旋轉(zhuǎn)臺的激光入射孔穿過旋轉(zhuǎn)臺入射至平移臺的激光入射口中,從激光入射口中入射至第一全反鏡上,反射至調(diào)距全反鏡上,經(jīng)所有調(diào)距全反鏡順序反射后最終反射至掃描振鏡上,由掃描振鏡將其反射至激光出射口輸出,輸出的激光與入射激光垂直;當(dāng)平移臺進行線性平移時,所有調(diào)距全反鏡及掃描振鏡隨平移臺的平移而平移,同時能夠保證輸出的激光與入射激光垂直,當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)時,平移臺跟隨旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。

本發(fā)明所述的第二種可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置,包括第一全反鏡、掃描振鏡、平移臺、旋轉(zhuǎn)臺、至少兩個調(diào)距全反鏡及至少一個固定全反鏡,平移臺上具有激光入射口及激光出射口,平移臺與旋轉(zhuǎn)臺滑動連接,平移臺能夠在不平行于旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移,旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸平行于入射激光,旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)中心具有激光入射孔,與平移臺上的激光入射口對應(yīng),能夠令入射激光穿過旋轉(zhuǎn)臺入射至平移臺中,第一全反鏡、所有調(diào)距全反鏡、所有固定全反鏡及掃描振鏡均位于平移臺內(nèi)部,第一全反鏡、固定全反鏡及掃描振鏡與旋轉(zhuǎn)臺的臺面固定連接,調(diào)距全反鏡均分別固定在平移臺內(nèi)部;入射激光從旋轉(zhuǎn)臺的激光入射孔穿過旋轉(zhuǎn)臺入射至平移臺的激光入射口中,從激光入射口中入射至第一全反鏡上,反射至調(diào)距全反鏡上,經(jīng)所有調(diào)距全反鏡及固定全反鏡依次反射后反射至掃描振鏡上,再由掃描振鏡將其反射至激光出射口輸出,輸出的激光與入射激光垂直;線性平移是指平行于入射激光經(jīng)第一全反鏡反射后的激光光束的線性平移;當(dāng)平移臺進行線性平移時,所有調(diào)距全反鏡隨平移臺的平移而平移,同時能夠保證輸出的激光與入射激光垂直,當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)時,平移臺跟隨旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。

本發(fā)明所述的第三種可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置,包括第一全反鏡、掃描振鏡、平移臺、旋轉(zhuǎn)臺、至少兩個調(diào)距全反鏡及至少一個固定全反鏡,平移臺上具有激光入射口及激光出射口,平移臺與旋轉(zhuǎn)臺滑動連接,平移臺能夠在不平行于旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移,旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸平行于入射激光,旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)中心具有激光入射孔,與平移臺上的激光入射口對應(yīng),能夠令入射激光穿過旋轉(zhuǎn)臺入射至平移臺中,第一全反鏡、所有調(diào)距全反鏡及所有固定全反鏡均位于平移臺內(nèi)部,第一全反鏡、固定全反鏡及掃描振鏡與旋轉(zhuǎn)臺的臺面固定連接,調(diào)距全反鏡均分別固定在平移臺內(nèi)部;入射激光從旋轉(zhuǎn)臺的激光入射孔穿過旋轉(zhuǎn)臺入射至平移臺的激光入射口中,從激光入射口中入射至第一全反鏡上,反射至調(diào)距全反鏡上,經(jīng)所有調(diào)距全反鏡及固定全反鏡依次反射后最終通過激光輸出口反射至掃描振鏡上,再由掃描振鏡將其反射輸出,輸出的激光與入射激光垂直;線性平移是指平行于入射激光經(jīng)第一全反鏡反射后的激光光束的線性平移;當(dāng)平移臺進行線性平移時,所有調(diào)距全反鏡隨平移臺的平移而平移,同時能夠保證輸出的激光與入射激光垂直,當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)時,平移臺跟隨旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。

本發(fā)明所述的第四種可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置,包括第一全反鏡、掃描振鏡、平移臺、旋轉(zhuǎn)臺、固定臺、至少兩個調(diào)距全反鏡及至少一個固定全反鏡,平移臺上具有激光入射口及激光出射口,平移臺與固定臺滑動連接,旋轉(zhuǎn)臺與固定臺連接,平移臺能夠在不平行于旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移,旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸平行于入射激光,旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)中心具有激光入射孔,與平移臺上的激光出射口對應(yīng),側(cè)面具有激光出射孔,第一全反鏡、所有調(diào)距全反鏡及所有固定全反鏡均位于平移臺內(nèi)部,掃描振鏡位于旋轉(zhuǎn)臺內(nèi),掃描振鏡與旋轉(zhuǎn)臺固定連接,調(diào)距全反鏡均分別固定在平移臺內(nèi)部,第一全反鏡及所有固定全反鏡與固定臺固定連接;入射激光從平移臺的激光入射口入射至第一全反鏡上,反射至調(diào)距全反鏡上,經(jīng)所有調(diào)距全反鏡及固定全反鏡依次反射后最終通過激光輸出口及其對應(yīng)的激光入射孔反射進旋轉(zhuǎn)臺,進而入射至掃描振鏡上,再由掃描振鏡將其反射至旋轉(zhuǎn)臺的激光出射孔輸出,輸出的激光與入射激光垂直;線性平移是指平行于入射激光經(jīng)第一全反鏡反射后的激光光束的線性平移;當(dāng)平移臺進行線性平移時,所有調(diào)距全反鏡隨平移臺的平移而平移,同時能夠保證輸出的激光與入射激光垂直,當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)時,僅掃描振鏡跟隨旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。

實施例1

本發(fā)明實施例1中的可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置,包括第一全反鏡3、掃描振鏡5、平移臺2、旋轉(zhuǎn)臺1及至少一個調(diào)距全反鏡,平移臺2上具有激光入射口及激光出射口6,平移臺2與旋轉(zhuǎn)臺1滑動連接,平移臺2能夠在垂直于旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移,旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)軸平行于入射激光,旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)中心具有激光入射孔,與平移臺2上的激光入射口對應(yīng),能夠令入射激光穿過旋轉(zhuǎn)臺入射至平移臺2中,第一全反鏡3、調(diào)距全反鏡及掃描振鏡5均位于平移臺2內(nèi)部,第一全反鏡3與旋轉(zhuǎn)臺1的臺面固定連接,調(diào)距全反鏡及掃描振鏡5固定在平移臺2內(nèi)部;

入射激光從旋轉(zhuǎn)臺1的激光入射孔穿過旋轉(zhuǎn)臺1入射至平移臺2的激光入射口中,從激光入射口中入射至第一全反鏡3上,反射至調(diào)距全反鏡上,經(jīng)所有調(diào)距全反鏡順序反射后最終反射至掃描振鏡5上,由掃描振鏡5將其反射至激光出射口6輸出,輸出的激光與入射激光垂直;

當(dāng)平移臺2進行線性平移時,所有調(diào)距全反鏡及掃描振鏡5隨平移臺2的平移而平移,同時能夠保證輸出的激光與入射激光垂直,當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺1旋轉(zhuǎn)時,平移臺2跟隨旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn),則同時第一全反鏡3會跟隨旋轉(zhuǎn)臺1進行旋轉(zhuǎn),由于平移臺2也會旋轉(zhuǎn),因此固定其上的調(diào)距全反鏡及掃描振鏡5也會跟隨平移臺2進行環(huán)狀運動。

本例中,還可以包括場鏡10,場鏡10安裝在激光出射口6,用于密封,保護整個裝置內(nèi)部環(huán)境。

舉例如下:

參見圖1,其調(diào)距全反鏡為一個,即為第二全反鏡4,第一全反鏡3的鏡面與入射激光呈45°放置,調(diào)距全反鏡4的鏡面與第一全反鏡3的鏡面相對應(yīng),且平行放置,令入射激光經(jīng)調(diào)距全反鏡反射后的激光平行于入射激光,掃描振鏡5的鏡面與調(diào)距全反鏡4的鏡面對應(yīng),且與經(jīng)調(diào)距全反鏡4反射后的激光呈45°放置。

參見圖2,其調(diào)距全反鏡為三個,分別為第二全反鏡4、第三全反鏡7及第四全反鏡8,第一全反鏡3的鏡面與入射激光呈45°放置,第二全反鏡4的鏡面與第一全反鏡3的鏡面相對應(yīng),且平行放置,令經(jīng)第二全反鏡4反射后的激光平行于入射激光,第三全反鏡7的鏡面與第二全反鏡4的鏡面對應(yīng),且與經(jīng)第二全反鏡4反射后的激光呈45°放置,第四全反鏡8的鏡面與第三全反鏡7的鏡面相對應(yīng),且平行放置,令經(jīng)第四全反鏡8反射后的激光平行于入射激光,掃描振鏡5的鏡面與第四全反鏡8的鏡面對應(yīng),且與經(jīng)第四全反鏡反射后的激光呈45°放置。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)可見,首先,由于掃描振鏡5是固定在平移臺2上的,因此旋轉(zhuǎn)臺1旋轉(zhuǎn)時及平移臺2平移時,為保證輸出的激光到激光入射孔之間的水平距離不變,則要求第一全反鏡3反射的激光垂直于入射的激光,且平移臺2只能在垂直于旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移,其次,其調(diào)距體現(xiàn)在根據(jù)平移臺2的平移可以調(diào)整第一全反鏡3反射的激光到第一個調(diào)距全反鏡之間距離,其他調(diào)距全反鏡及掃描振鏡均固定在平移臺2上,則其相對位置及距離并不會發(fā)生變化,因此也不會產(chǎn)生調(diào)距效果,另外,第一個調(diào)距全反鏡并不一定需要與第一全反鏡3的鏡面相平行進行放置,其可以采用各種與第一全反鏡的鏡面相對應(yīng)的位置進行放置,只要經(jīng)過所有調(diào)距全反鏡及掃描振鏡5的反射后,輸出的激光是垂直于最初的入射激光即可。

最后,為保證入射激光能夠進入平移臺2,則平移臺2上的激光入射口優(yōu)選為長條形,其上可設(shè)置相應(yīng)的透明鏡面進行密封。

實施例2

本發(fā)明實施例2中的可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置,包括第一全反鏡3、掃描振鏡5、平移臺2、旋轉(zhuǎn)臺1、至少兩個調(diào)距全反鏡及至少一個固定全反鏡,平移臺2上具有激光入射口及激光出射口,平移臺2與旋轉(zhuǎn)臺1滑動連接,平移臺2能夠在不平行于旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移,旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)軸平行于入射激光,旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)中心具有激光入射孔,與平移臺2上的激光入射口對應(yīng),能夠令入射激光穿過旋轉(zhuǎn)臺1入射至平移臺2中,第一全反鏡3、所有調(diào)距全反鏡、所有固定全反鏡及掃描振鏡5均位于平移臺內(nèi)部,第一全反鏡3、固定全反鏡及掃描振鏡5與旋轉(zhuǎn)臺1的臺面固定連接,調(diào)距全反鏡均分別固定在平移臺內(nèi)部。

入射激光從旋轉(zhuǎn)臺1的激光入射孔穿過旋轉(zhuǎn)臺1入射至平移臺2的激光入射口中,從激光入射口中入射至第一全反鏡3上,反射至調(diào)距全反鏡上,經(jīng)所有調(diào)距全反鏡及固定全反鏡依次反射后反射至掃描振鏡5上,再由掃描振鏡5將其反射至激光出射口6輸出,輸出的激光與入射激光垂直。

線性平移是指平行于入射激光經(jīng)第一全反鏡3反射后的激光光束的線性平移。

當(dāng)平移臺2進行線性平移時,所有調(diào)距全反鏡隨平移臺2的平移而平移,同時能夠保證輸出的激光與入射激光垂直,當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺1旋轉(zhuǎn)時,平移臺2跟隨旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。

還可以包括場鏡10,場鏡10安裝在激光出射口6,用于密封,保護整個裝置內(nèi)部環(huán)境。

平移臺2能夠在不平行于旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移優(yōu)選為:平移臺2能夠在垂直于旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移。

舉例如下:

參見圖2,其調(diào)距全反鏡為兩個,分別為第二全反鏡4及第三全反鏡7,所述固定全反鏡為一個,記為第四全反鏡8,所述第一全反鏡3的鏡面與入射激光呈45°放置,第二全反鏡4的鏡面與第一全反鏡3的鏡面相對應(yīng),且平行放置,令入射激光經(jīng)第二全反鏡4反射后的激光平行于入射激光,第三全反鏡7的鏡面與第二全反鏡4的鏡面對應(yīng),且與經(jīng)第二全反鏡4反射后的激光呈45°放置,第四全反鏡8的鏡面與第三全反鏡7的鏡面相對應(yīng),且平行放置,令入射激光經(jīng)第四全反鏡8反射后的激光平行于入射激光,掃描振鏡5的鏡面與第四全反鏡8的鏡面對應(yīng),且與經(jīng)第四全反鏡8反射后的激光呈45°放置。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)可見,首先,由于掃描振鏡5是與旋轉(zhuǎn)臺1的臺面固定連接的,不管平移臺2以何種角度(相對于入射激光的角度)進行線性平移,掃描振鏡5與激光入射孔之間的水平距離都不會改變,且由于需要保證最后反射至掃描振鏡5上的激光角度不變,則需要保證平移臺2的線性平移是指平行于入射激光經(jīng)第一全反鏡3反射后的激光光束的線性平移,其次,固定全反鏡與調(diào)距全反鏡可間隔放置(這里的間隔是以激光反射順序為所有全反鏡進行排序),例如圖2的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上再增加兩個調(diào)距全反鏡(第六全反鏡及第七全反鏡)及兩個固定全反鏡(第五全反鏡及第八全反鏡),則激光反射順序為第一全反鏡、第二全反鏡(調(diào)距全反鏡)、第三全反鏡(調(diào)距全反鏡)、第四全反鏡(固定全反鏡)、第五全反鏡(固定全反鏡)、第六全反鏡(調(diào)距全反鏡)、第七全反鏡(調(diào)距全反鏡)、第八全反鏡(固定全反鏡),最后是掃描振鏡,其調(diào)距體現(xiàn)在根據(jù)平移臺2的平移可以調(diào)整第一全反鏡3反射的激光到第一個調(diào)距全反鏡之間的距離以及調(diào)距全反鏡反射至的激光至固定全反鏡之間的距離,另外,第一個調(diào)距全反鏡并不一定需要與第一全反鏡3的鏡面相平行進行放置,其可以采用各種與第一全反鏡的鏡面相對應(yīng)的位置進行放置,只要經(jīng)過所有調(diào)距全反鏡、固定全反鏡及掃描振鏡5的反射后,輸出的激光是垂直于最初的入射激光即可。

最后,為保證入射激光能夠進入平移臺2,則平移臺2上的激光入射口優(yōu)選為長條形,其上可設(shè)置相應(yīng)的透明鏡面進行密封。

實施例3

本發(fā)明實施例3中的可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置,包括第一全反鏡3、掃描振鏡5、平移臺2、旋轉(zhuǎn)臺1、至少兩個調(diào)距全反鏡及至少一個固定全反鏡,平移臺2上具有激光入射口及激光出射口6,平移臺2與旋轉(zhuǎn)臺1滑動連接,平移臺2能夠在不平行于旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移,旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)軸平行于入射激光,旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)中心具有激光入射孔,與平移臺2上的激光入射口對應(yīng),能夠令入射激光穿過旋轉(zhuǎn)臺1入射至平移臺2中,第一全反鏡3、所有調(diào)距全反鏡及所有固定全反鏡均位于平移臺內(nèi)部,第一全反鏡3、固定全反鏡及掃描振鏡與旋轉(zhuǎn)臺1的臺面固定連接,調(diào)距全反鏡均分別固定在平移臺2內(nèi)部。

入射激光從旋轉(zhuǎn)臺1的激光入射孔穿過旋轉(zhuǎn)臺1入射至平移臺2的激光入射口中,從激光入射口中入射至第一全反鏡上,反射至調(diào)距全反鏡上,經(jīng)所有調(diào)距全反鏡及固定全反鏡依次反射后最終通過激光輸出口6反射至掃描振鏡5上,再由掃描振鏡5將其反射輸出,輸出的激光與入射激光垂直。

線性平移是指平行于入射激光經(jīng)第一全反鏡反射后的激光光束的線性平移。

當(dāng)平移臺進行線性平移時,所有調(diào)距全反鏡隨平移臺的平移而平移,同時能夠保證輸出的激光與入射激光垂直,當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)時,平移臺跟隨旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。

還可以包括輸出臺9,輸出臺9上具有激光出射孔及場鏡10,掃描振鏡5位于輸出臺內(nèi)部,輸出的激光通過激光出射孔輸出,場鏡10安裝在激光出射孔,用于密封,保護整個裝置內(nèi)部環(huán)境。

平移臺2能夠在不平行于旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移優(yōu)選為:平移臺2能夠在垂直于旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移。

舉例如下:

參見圖3,調(diào)距全反鏡為兩個,分別為第二全反鏡4及第三全反鏡7,固定全反鏡為一個,記為第四全反鏡8,第一全反鏡3的鏡面與入射激光呈45°放置,第二全反鏡4的鏡面與第一全反鏡3的鏡面相對應(yīng),且平行放置,令入射激光經(jīng)第二全反鏡4反射后的激光平行于入射激光,第三全反鏡7的鏡面與第二全反鏡4的鏡面對應(yīng),且與經(jīng)第二全反鏡4反射后的激光呈45°放置,第四全反鏡8的鏡面與第三全反鏡7的鏡面相對應(yīng),且平行放置,令入射激光經(jīng)第四全反鏡8反射后的激光平行于入射激光,掃描振鏡5的鏡面與第四全反鏡8的鏡面對應(yīng),且與經(jīng)第四全反鏡8反射后的激光呈45°放置。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)可見,首先,由于掃描振鏡5、固定全反鏡是與旋轉(zhuǎn)臺1的臺面固定連接的,不管平移臺2以何種角度(相對于入射激光的角度)進行線性平移,掃描振鏡5與激光入射孔之間的水平距離都不會改變,且由于需要保證最后反射至掃描振鏡5上的激光角度不變,則需要保證平移臺2的線性平移是指平行于入射激光經(jīng)第一全反鏡3反射后的激光光束的線性平移,其次,固定全反鏡與調(diào)距全反鏡可間隔放置(這里的間隔是以激光反射順序為所有全反鏡進行排序),例如圖2的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上再增加兩個調(diào)距全反鏡(第六全反鏡及第七全反鏡)及兩個固定全反鏡(第五全反鏡及第八全反鏡),則激光反射順序為第一全反鏡、第二全反鏡(調(diào)距全反鏡)、第三全反鏡(調(diào)距全反鏡)、第四全反鏡(固定全反鏡)、第五全反鏡(固定全反鏡)、第六全反鏡(調(diào)距全反鏡)、第七全反鏡(調(diào)距全反鏡)、第八全反鏡(固定全反鏡),最后是掃描振鏡,其調(diào)距體現(xiàn)在根據(jù)平移臺2的平移可以調(diào)整第一全反鏡3反射的激光到第一個調(diào)距全反鏡之間的距離以及調(diào)距全反鏡反射至的激光至固定全反鏡之間的距離,另外,第一個調(diào)距全反鏡并不一定需要與第一全反鏡3的鏡面相平行進行放置,其可以采用各種與第一全反鏡的鏡面相對應(yīng)的位置進行放置,只要經(jīng)過所有調(diào)距全反鏡、固定全反鏡及掃描振鏡5的反射后,輸出的激光是垂直于最初的入射激光即可。

最后,為保證入射激光能夠進入平移臺2,則平移臺2上的激光入射口優(yōu)選為長條形,其上可設(shè)置相應(yīng)的透明鏡面進行密封;為保證激光能夠入射到掃描振鏡5上,則平移臺2上的激光出射口也優(yōu)選為長條形,其上可設(shè)置相應(yīng)的透明鏡面進行密封。

實施例4

本發(fā)明實施例4中的可旋轉(zhuǎn)掃描的激光輸出裝置,包括第一全反鏡3、掃描振鏡5、平移臺2、旋轉(zhuǎn)臺1、固定臺11、至少兩個調(diào)距全反鏡及至少一個固定全反鏡,平移臺2上具有激光入射口及激光出射口6,平移臺2與固定臺11滑動連接,旋轉(zhuǎn)臺1與固定臺11連接,平移臺2能夠在不平行于旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移,旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)軸平行于入射激光,旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)中心具有激光入射孔,與平移臺2上的激光出射口6對應(yīng),側(cè)面具有激光出射孔,第一全反鏡3、所有調(diào)距全反鏡及所有固定全反鏡均位于平移臺2內(nèi)部,掃描振鏡5位于旋轉(zhuǎn)臺1內(nèi),掃描振鏡5與旋轉(zhuǎn)臺1固定連接,調(diào)距全反鏡均分別固定在平移臺2內(nèi)部,第一全反鏡3及所有固定全反鏡與固定臺11固定連接。

入射激光從平移臺2的激光入射口入射至第一全反鏡3上,反射至調(diào)距全反鏡上,經(jīng)所有調(diào)距全反鏡及固定全反鏡依次反射后最終通過激光輸出口6及其對應(yīng)的激光入射孔反射進旋轉(zhuǎn)臺1,進而入射至掃描振鏡5上,再由掃描振鏡5將其反射至旋轉(zhuǎn)臺1的激光出射孔輸出,輸出的激光與入射激光垂直。

線性平移是指平行于入射激光經(jīng)第一全反鏡反射后的激光光束的線性平移。

當(dāng)平移臺2進行線性平移時,所有調(diào)距全反鏡隨平移臺2的平移而平移,同時能夠保證輸出的激光與入射激光垂直,當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺1旋轉(zhuǎn)時,僅掃描振鏡5跟隨旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。

還可以包括場鏡10,場鏡10安裝在激光出射孔,用于密封,保護整個裝置內(nèi)部環(huán)境。

平移臺2能夠在不平行于旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移優(yōu)選為:平移臺2能夠在垂直于旋轉(zhuǎn)臺1的旋轉(zhuǎn)軸的平面上進行線性平移。

舉例如下:

參見圖4,調(diào)距全反鏡為兩個,分別為第二全反鏡4及第三全反鏡7,固定全反鏡為一個,記為第四全反鏡8,第一全反鏡3的鏡面與入射激光呈45°放置,第二全反鏡4的鏡面與第一全反鏡3的鏡面相對應(yīng),且平行放置,令入射激光經(jīng)第二全反鏡4反射后的激光平行于入射激光,第三全反鏡7的鏡面與第二全反鏡4的鏡面對應(yīng),且與經(jīng)第二全反鏡4反射后的激光呈45°放置,第四全反鏡8的鏡面與第三全反鏡7的鏡面相對應(yīng),且平行放置,令入射激光經(jīng)第四全反鏡8反射后的激光平行于入射激光,掃描振鏡5的鏡面與第四全反鏡8的鏡面對應(yīng),且與經(jīng)第四全反鏡8反射后的激光呈45°放置。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)可見,首先,由于掃描振鏡5是與旋轉(zhuǎn)臺1的臺面固定連接的,不管平移臺2以何種角度(相對于入射激光的角度)進行線性平移,只要保證激光發(fā)生器與固定臺11之間不發(fā)生相對運動,則掃描振鏡5與最初的入射激光發(fā)出點(激光發(fā)生器發(fā)出入射激光的位置)之間的水平距離都不會改變,且由于需要保證最后反射至掃描振鏡5上的激光角度不變,則需要保證平移臺2的線性平移是指平行于入射激光經(jīng)第一全反鏡3反射后的激光光束的線性平移,其次,固定全反鏡與調(diào)距全反鏡可間隔放置(這里的間隔是以激光反射順序為所有全反鏡進行排序),例如圖2的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上再增加兩個調(diào)距全反鏡(第六全反鏡及第七全反鏡)及兩個固定全反鏡(第五全反鏡及第八全反鏡),則激光反射順序為第一全反鏡、第二全反鏡(調(diào)距全反鏡)、第三全反鏡(調(diào)距全反鏡)、第四全反鏡(固定全反鏡)、第五全反鏡(固定全反鏡)、第六全反鏡(調(diào)距全反鏡)、第七全反鏡(調(diào)距全反鏡)、第八全反鏡(固定全反鏡),最后是掃描振鏡,其調(diào)距體現(xiàn)在根據(jù)平移臺2的平移可以調(diào)整第一全反鏡3反射的激光到第一個調(diào)距全反鏡之間的距離以及調(diào)距全反鏡反射至的激光至固定全反鏡之間的距離,另外,第一個調(diào)距全反鏡并不一定需要與第一全反鏡3的鏡面相平行進行放置,其可以采用各種與第一全反鏡的鏡面相對應(yīng)的位置進行放置,只要經(jīng)過所有調(diào)距全反鏡、固定全反鏡及掃描振鏡5的反射后,輸出的激光是垂直于最初的入射激光即可。

最后,為保證入射激光能夠進入平移臺2,則平移臺2上的激光入射口優(yōu)選為長條形,其上可設(shè)置相應(yīng)的透明鏡面進行密封;為保證激光能夠入射到掃描振鏡5上,則平移臺2上的激光出射口也優(yōu)選為長條形,其上可設(shè)置相應(yīng)的透明鏡面進行密封。

盡管本發(fā)明的內(nèi)容已經(jīng)通過上述優(yōu)選的實施方案作了詳細介紹,但應(yīng)當(dāng)認識到上述介紹不應(yīng)被認為是對本發(fā)明的限制。當(dāng)具有專業(yè)知識和技能的人員在閱讀了上述內(nèi)容后,對本發(fā)明的多種修改、代替和規(guī)避都將是顯而易見的。因此,本發(fā)明的保護范圍應(yīng)由所附的權(quán)利要求來限定。

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